JP6724601B2 - 飛行時間型質量分析装置 - Google Patents
飛行時間型質量分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6724601B2 JP6724601B2 JP2016128299A JP2016128299A JP6724601B2 JP 6724601 B2 JP6724601 B2 JP 6724601B2 JP 2016128299 A JP2016128299 A JP 2016128299A JP 2016128299 A JP2016128299 A JP 2016128299A JP 6724601 B2 JP6724601 B2 JP 6724601B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- plate
- base plate
- front surface
- flight
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
a)おもて面が平面であるベースプレートと、
b)前記ベースプレートの裏面側に配置され、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内の互いに直交する二軸方向に可動部を移動可能である直交駆動部と、
c)前記可動部と一体である又は該可動部に取り付けられた、前記ベースプレートを挟んでそのおもて面に載置された金属製である前記サンプルプレート又は該サンプルプレートを保持する金属製である試料保持部を引き寄せる磁石と、
を備え、前記サンプルプレート又は前記試料保持部の裏面は平面であり、その平面である裏面と前記ベースプレートの平面であるおもて面とが面で接触し、前記サンプルプレート又は前記試料保持部が前記ベースプレート上を摺動するように構成されていることを特徴としている。
a)おもて面が平面であるベースプレートと、
b)前記ベースプレートのおもて面に載置された前記サンプルプレート又は該サンプルプレートを保持する試料保持部の側面を、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内の一軸方向に押す及び/又は引く第1の駆動部と、
c)前記ベースプレートのおもて面に載置された前記サンプルプレート又は前記試料保持部の側面を、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内で前記第1の駆動部により押される及び/又は引かれる方向と直交する方向に押す及び/又は引く第2の駆動部と、
を備え、前記サンプルプレート又は前記試料保持部の裏面は平面であり、その平面である裏面と前記ベースプレートの平面であるおもて面とが面で接触し、前記サンプルプレート又は前記試料保持部が前記ベースプレート上を摺動するように構成されていることを特徴としている。
第1、第2の態様のいずれにおいても、ベースプレートのおもて面自体が、試料保持部が二軸方向に移動する際のその二軸に直交する方向(ベースプレートの厚さ方向)の位置を規制する一種のガイドとして機能する。そのため、ベースプレートのおもて面の平坦性が高ければ、試料保持部の移動に伴う試料とイオン引き出し・加速用の電極との間の距離の変動は抑えられる。
上述したようにプレートホルダ3は本発明におけるベースプレートに相当する平坦な底面板1a上に載置されている。この上面板は例えば非磁性ステンレス等の磁力に引き付けられない材料から成る。その上面は高い平坦性を有するのみならず、高い平滑性を有していることが好ましい。そのために、底面板1aの上面は適宜の表面加工又は表面処理がなされているものであってもよい。
1a…底面板
2…サンプルプレート
3…プレートホルダ
10…真空チャンバ
10a…窓
11…引出電極
12…加速電極
13…レーザ照射部
14…反射鏡
15…フライトチューブ
16…検出器
20…X−Y移動機構
21、22…リニアガイド
21a、22a…可動部
23…磁石
31a、31b、33a、33b、41、43…アーム
32、42…x軸方向駆動部
34、44…y軸方向駆動部
Claims (3)
- サンプルプレート上に設けられた試料にレーザ光又は粒子線を照射することにより該試料からイオンを生成し、生成されたイオンを加速して飛行空間中に導入し該飛行空間においてイオンを質量電荷比に応じて分離して検出する飛行時間型質量分析装置であって、
a)おもて面が平面であるベースプレートと、
b)前記ベースプレートの裏面側に配置され、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内の互いに直交する二軸方向に可動部を移動可能である直交駆動部と、
c)前記可動部と一体である又は該可動部に取り付けられた、前記ベースプレートを挟んでそのおもて面に載置された金属製である前記サンプルプレート又は該サンプルプレートを保持する金属製である試料保持部を引き寄せる磁石と、
を備え、前記サンプルプレート又は前記試料保持部の裏面は平面であり、その平面である裏面と前記ベースプレートの平面であるおもて面とが面で接触し、前記サンプルプレート又は前記試料保持部が前記ベースプレート上を摺動するように構成されていることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。 - サンプルプレート上に設けられた試料にレーザ光又は粒子線を照射することにより該試料からイオンを生成し、生成されたイオンを加速して飛行空間中に導入し該飛行空間においてイオンを質量電荷比に応じて分離して検出する飛行時間型質量分析装置であって、
a)おもて面が平面であるベースプレートと、
b)前記ベースプレートのおもて面に載置された前記サンプルプレート又は該サンプルプレートを保持する試料保持部の側面を、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内の一軸方向に押す及び/又は引く第1の駆動部と、
c)前記ベースプレートのおもて面に載置された前記サンプルプレート又は前記試料保持部の側面を、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内で前記第1の駆動部により押される及び/又は引かれる方向と直交する方向に押す及び/又は引く第2の駆動部と、
を備え、前記サンプルプレート又は前記試料保持部の裏面は平面であり、その平面である裏面と前記ベースプレートの平面であるおもて面とが面で接触し、前記サンプルプレート又は前記試料保持部が前記ベースプレート上を摺動するように構成されていることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。 - 請求項1又は2に記載の飛行時間型質量分析装置であって、
前記ベースプレートは試料が収容される試料室の底面板であることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016128299A JP6724601B2 (ja) | 2016-06-29 | 2016-06-29 | 飛行時間型質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016128299A JP6724601B2 (ja) | 2016-06-29 | 2016-06-29 | 飛行時間型質量分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018006050A JP2018006050A (ja) | 2018-01-11 |
JP6724601B2 true JP6724601B2 (ja) | 2020-07-15 |
Family
ID=60949577
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016128299A Active JP6724601B2 (ja) | 2016-06-29 | 2016-06-29 | 飛行時間型質量分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6724601B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109061609B (zh) * | 2018-08-01 | 2021-09-07 | 歌尔光学科技有限公司 | Tof模组标定装置及方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4942752Y1 (ja) * | 1970-12-25 | 1974-11-22 | ||
JP2007257851A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Shimadzu Corp | 質量分析装置 |
US20140268134A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Electro Scientific Industries, Inc. | Laser sampling methods for reducing thermal effects |
AU2013382989B2 (en) * | 2013-03-22 | 2018-06-07 | Eth Zurich | Laser ablation cell |
JP6172003B2 (ja) * | 2014-03-19 | 2017-08-02 | 株式会社島津製作所 | 飛行時間型質量分析装置 |
-
2016
- 2016-06-29 JP JP2016128299A patent/JP6724601B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018006050A (ja) | 2018-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9972480B2 (en) | Pulsed ion guides for mass spectrometers and related methods | |
JP3205635U (ja) | サンプルプレート移動機構及びそれを備えたレーザ脱離イオン化質量分析装置 | |
JP6285735B2 (ja) | 質量分析装置 | |
JP6724601B2 (ja) | 飛行時間型質量分析装置 | |
JP5885474B2 (ja) | 質量分布分析方法及び質量分布分析装置 | |
JP6172003B2 (ja) | 飛行時間型質量分析装置 | |
US20060138316A1 (en) | Time-of-flight mass spectrometer | |
US10886118B1 (en) | Ion source with mixed magnets | |
JP2013105737A (ja) | 顕微レーザー質量分析装置 | |
US10026601B2 (en) | Reflectors for time-of-flight mass spectrometers having plates with symmetric shielding edges | |
US10971349B2 (en) | Ion analyzer | |
US10622200B2 (en) | Ionization sources and systems and methods using them | |
JP5032076B2 (ja) | 質量分析装置 | |
JP6044715B2 (ja) | 飛行時間型質量分析装置 | |
US10867782B2 (en) | Time-of-flight mass spectrometer | |
JP6536313B2 (ja) | 質量分析装置用部材 | |
JP6652212B2 (ja) | サンプルプレート移動機構及びそれを備えたレーザ脱離イオン化質量分析装置 | |
JP2017049216A (ja) | 位置補正用試料、質量分析装置、および質量分析方法 | |
US9892902B2 (en) | Ion radiation device and surface analyzer using said device | |
JP2007299658A (ja) | 飛行時間型質量分析装置 | |
Miltenberger | Secondary ion emission in MeV-SIMS | |
JP2018010766A (ja) | 飛行時間型質量分析装置 | |
WO2021193574A1 (ja) | 飛行時間型質量分析装置 | |
US20220310376A1 (en) | Ionizer | |
US9129790B2 (en) | Orthogonal acceleration TOF with ion guide mode |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181029 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190820 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190903 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200212 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20200410 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200430 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200526 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200608 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6724601 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |