JPS6293847A - 電子顕微鏡等の試料移動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は、電子顕微鏡等において、試料を光軸方向から
挿入するタイプの試料移動装置の改良に関する。

［従来の技術］ かかるタイプの試料移動装置としては、対物レンズの上
側ヨーク上面に電子線光軸を中心にして等間隔に設置し
た３個の突起上に試料を保持した試料移動台を移動可能
に載置すると共に、スプリングにより試料移動台を対物
レンズに押付けている構造のものが広く使用されている
。

［発明が解決しようとする問題点］ このような構造においては、突起に対する試料移動台の
動きはスベリであるため、試料移動台がスムーズに動か
ない。従って、微小な移動を行わせることが難しくなる
ため、１０万倍以上の高倍観察においては目的の観察位
置を光軸上に迅速にセットすることができない等、操作
性が悪い。

また、対物レンズに対する試料移動台の高さは真空を破
って鏡体を解体しない限り変化させることができないた
め、試料の高さ調整を必要とする場合には、試料移動台
と試料を保持した試料筒との間に高さ調整機構を組込ま
な【プればならず、構造が複雑となる。

本発明はかかる不都合を解決するために、対物レンズと
試料移動台とを無接触で配置することのできる装置を提
供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本発明は対物レンズと、該対
物レンズ上に水平移動可能に載貨された試料移動体と、
該試料移動体に着脱可能に装着され、かつ試料を保持し
た試料筒とを備えた装置において、前記試料移動体を対
物レンズの上方に磁気浮上させるための手段を設け、該
手段により磁気浮上した試料移動体を押えるための手段
を設けたことを特徴とする。

［実施例１ 第１図は本発明の一実施例を示す断面図であり、１は対
物レンズである。この対物レンズは磁極片２と磁路とな
る上側ヨーク３ａ、外側ヨーク３ｂ。

下側ヨーク３Ｃ，内側ヨーク３ｄ及び励磁コイル４とか
ら構成されている。

５は前記上側ヨーク３ａ上に配置された非磁性体製の試
料移動台で、その中央部には載せ台６を介して試料筒７
が着脱可能に装着されている。この試料筒７の下端には
試料（図示せず）が保持され、また、この下端部が前記
対物レンズの磁極片２内に深く垂れ下がっている。

８．９．１０　（１０は図示せず）は前記対物レンズの
上側ヨーク３ａ上面の試料移動台５と対向する部分に埋
め込まれた３周の電磁石で、この各電磁石は光軸Ｚを中
心として円周上に等間隔に配置されており、また、各電
磁石はＴ字型の磁極片１１にコイル１２を巻回すること
により構成されている。さらに、この各Ｎ　磁石８．９
．１０と上側ヨーク３ａとの間には非磁性体製のケース
１３が設けである。前記各コイル１２はリード線１４及
びハーメチックシール１５を介して大気中に置かれたス
イッチ１６．直流電源１７に接続されている。

１８．１９．２０　（２０は図示せず）は前記試料移動
台５の下面に埋め込まれた永久磁石で、各永久磁石は夫
々前記電磁石８．９．１０と相対向するように配置され
ている。

２１は前記試料移動台５を対物レンズ１の上側ヨーク３
ａに向けて押圧させるためのスプリングで、上側ヨーク
３ａに植設されたスプリング受け２２に保持されている
。また、このスプリング及びスプリング受けは３個用意
され、光軸Ｚを中心にして円周上に等間隔に配置されて
いる。

かかる装置において、スイッチ１６をオンすることによ
り電磁石８，９．１０と永久磁石１８゜１９．２０との
対向する側の極性を互いに同極にすれば、試料移動台５
は磁力の反発力によりスプリング２１の抗力に反して浮
上する。また、試料移動台の磁気浮上による高さは直流
電源１７から各コイル１２に供給する電流層を変えるこ
とにより変化させることができる。

上記実施例では試料移動台５に固定した３個の永久磁石
１８．１９．２０によって電子線が不正偏向されるのを
できるだけで少なくするために、各永久磁石は光軸を中
心に対称に配置するようになしているが、試料移動台が
任意方向に移動するので対称がくずれる。それによる不
正偏向を考慮しなければならない場合には、第２図に示
すように対物レンズ１の上側ヨーク３ａに固定された円
筒状の磁性体製のシールド体２３を各永久磁石１８．１
９．２０と電子線との間に設置したり、または、第３図
に示すように各永久磁石１８．１９゜２０を囲繞した３
個のリング状のシールド体２４を上側ヨーク３ａに夫々
固定する必要がある。この場合、各シールド体２３．２
４と試料移動体５との間には空間が設けてあり、試料移
動台の移動が阻害されないようになしである。

尚、前述の実施例では、試料移動台に永久磁石を固定し
た場合について述べたが、電磁石を固定しても良い。ま
た、対物レンズの上側ヨークに固定する磁石も電磁石に
代えて永久磁石を使用しても良い。

［発明の効果］ 以上のようになせば、試料移動台を対物レンズの上側ヨ
ーク上方に無接触状態で配置することができるため、試
料移動台の移動に際して摩擦抵抗が無くなり、試料移動
台をスムーズに移動させることができる。その結果、微
小移動が可能どなるため、高倍観察において所望とする
観察位置を迅速に光軸上にセットすることができる等、
操作性の向上を図ることができる。また、上述した実施
例のように試料移動台を磁気浮上させるための磁石とし
て電磁石を用いれば、この電磁石に供給する励磁電流量
を変化させることにより試料移動台の高さ、つまり試料
の高さを変化させることができるため、試料移動台と試
料筒との間に高さ調整機構を組込む必要が無くなり、構
成の簡略化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図及び第
３図は本発明の他の実施例を示す要部断面図である。 １：対物レンズ　　　２：磁極片 ３ａ：上側ヨーク　　４：励磁コイル ５：試料移動台　　　７：試料筒 ８．９：電磁石 １１：磁極片　　　　１２：コイル １３：ケース　　　　１４：リード線 １５：ハーメチックシール １６：スイッチ　　　１７：直流電源 １８．１９：電磁石 ２１ニスプリング ２２ニスプリング受け ２３．２４：シールド体

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 対物レンズと、該対物レンズ上に水平移動可能に載置さ
   れた試料移動体と、該試料移動体に着脱可能に装着され
   、かつ試料を保持した試料筒とを備えた装置において、
   前記試料移動体を対物レンズの上方に磁気浮上させるた
   めの手段を設け、該手段により磁気浮上した試料移動体
   を押えるための手段を設けてなる電子顕微鏡等における
   試料移動装置。