JP4862444B2 - 試料ホルダ、元素分析装置、及び、元素分析方法 - Google Patents
試料ホルダ、元素分析装置、及び、元素分析方法 Download PDFInfo
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Description
実施例1および実施例2の試料ホルダ10(或いは試料ホルダ40)を使用する元素分析は次のような方法で行なう。なお、試料ホルダ40と試料ホルダ10とは同じ方法となるため、以下の説明は試料ホルダ10で代表して記載し、試料ホルダ40の記載は省略する。
2、15…位置敏感型検出器
3…電源
5…離脱イオン
7、27…タイマー
10、40、51…試料ホルダ
11…探針
13…2次元位置検出器
14…マルチチャネルプレート
16…筐体
17…支点
18…XY方向ピエゾ
19…Z方向ピエゾ
20…駆動部
21…支持部材
23…電源
23−1…本体
23−2…配線
25、55…電子線
26…従来の試料設置場所
28、28’…開口
29…位置決め用玉
30…電子顕微鏡
31…電子銃
32…加速管
33…コンデンサレンズ
34…試料室
35、36…対物レンズ
37…中間レンズ
38…投影レンズ
39…蛍光板
52…メッシュ
58…設置用部材
Claims (4)
- 被測定体を搭載する透過型電子顕微鏡用の試料ホルダにおいて、
前記被測定体に照射される電子線および前記被測定体を透過した前記電子線がそれぞれ通過する第1および第2の開口を有する筐体と、
前記筐体の内部に設けられ、前記被測定体から離脱した元素の位置および飛行時間を測定する検出手段とを有する
ことを特徴とする試料ホルダ。 - 被測定体を移動する駆動部を更に有する
ことを特徴とする請求項1に記載の試料ホルダ。 - 被測定体の元素を分析する元素分析装置において、
前記被測定体を搭載する試料ホルダを設置する試料室を有する透過型電子顕微鏡と、前記試料室に設置される試料ホルダとを備え、
前記試料ホルダは、
前記被測定体に照射される電子線が通過する開口を有する筐体と、前記筐体の内部にあって前記被測定体から離脱した元素の位置および飛行時間を測定する検出手段とを有することを特徴とする元素分析装置。 - 被測定体を搭載する試料ホルダを設置する透過型電子顕微鏡を使用して、前記被測定体の元素を分析する元素分析方法において、
前記試料ホルダの筐体に設けた第1の開口から前記電子線を前記被測定体に照射し、 前記被測定体を透過した前記電子線を結像する前記透過型電子顕微鏡により前記被測定体の表面を観察する工程と、
前記筐体の内部にあって前記被測定体から離脱した元素の位置および飛行時間を測定可能な検出手段により、前記被測定体から電界離脱した元素の位置及び飛行時間を測定する工程と
を備えることを特徴とする元素分析方法。
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