JP5610491B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 64
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 15
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 132
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 27
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 19
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- CNQCVBJFEGMYDW-UHFFFAOYSA-N lawrencium atom Chemical compound [Lr] CNQCVBJFEGMYDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000000877 morphologic effect Effects 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/09—Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/02—Details
- H01J2237/026—Shields
- H01J2237/0264—Shields magnetic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/202—Movement
- H01J2237/20221—Translation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/202—Movement
- H01J2237/20264—Piezoelectric devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
Landscapes
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
[第1の実施形態:薄膜試料の透過2次電子像観察]
[第2の実施形態:透過電子顕微鏡による試料と絞りの移動]
[第2の実施形態における試料移動手順]
[第2の実施形態における絞り位置調整手順]
[第3の実施形態:走査電子顕微鏡によるバルク試料の2次電子と反射電子像の観察]
[第3の実施形態における試料移動手順]
Claims (7)
- 試料の像を取得するために、電子レンズを用いて電子線を収束させ、前記試料に前記電子線を照射する電子顕微鏡であって、
前記試料及び前記電子レンズを収容し、内部の真空度を維持すると共に浮遊磁場を遮蔽する筐体と、
前記筐体内に配置された駆動機構と、を備え、
前記駆動機構は、
ベースと、
前記ベースに固定されたトップパーツと、
前記トップパーツの収容凹部内に配置され、前記ベース及び前記トップパーツに対してY軸方向に所定の範囲で往復動するYパーツと、
前記収容凹部内に配置され、パルス信号が送信されることにより、前記ベース及び前記トップパーツに対してY軸方向に所定の範囲で前記Yパーツを往復動させる第1の圧電アクチュエータと、
前記収容凹部内に配置され、前記ベース及び前記トップパーツに対してX軸方向に所定の範囲で往復動するXパーツと、
前記収容凹部内に配置され、パルス信号が送信されることにより、前記ベース及び前記トップパーツに対してX軸方向に所定の範囲で前記Xパーツを往復動させる第2の圧電アクチュエータと、
前記Xパーツに支持された駆動対象物と、を備えることを特徴とする電子顕微鏡。 - 前記駆動対象物は、前記電子線を絞る絞り部材であることを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡。
- 前記駆動対象物は、前記試料を支持する支持部材であることを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡。
- 前記パルス信号は、配線を介して前記筐体外から前記第1及び前記第2の圧電アクチュエータに送信されることを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡。
- 前記駆動対象物は、前記電子線を絞る絞り部材、及び前記試料を支持する支持部材の少なくとも一方であり、
第1の像倍率で前記絞り部材又は前記支持部材を駆動させる場合には、前記第1及び前記第2の圧電アクチュエータは、第1のパルス信号である前記パルス信号によって制御され、
前記第1の像倍率よりも高い第2の像倍率で前記絞り部材又は前記支持部材を駆動させる場合には、前記第1及び前記第2の圧電アクチュエータは、前記第1のパルス信号よりも周波数及び振幅の少なくとも一方が小さい第2のパルス信号である前記パルス信号によって制御されることを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡。 - 前記駆動対象物は、前記電子線を絞る絞り部材、及び前記試料を支持する支持部材の少なくとも一方であり、
第1の像倍率で前記絞り部材又は前記支持部材を駆動させる場合には、前記第1及び前記第2の圧電アクチュエータは、第1の移動速度で前記絞り部材又は前記支持部材を移動させ、
前記第1の像倍率よりも高い第2の像倍率で前記絞り部材又は前記支持部材を駆動させる場合には、前記第1及び前記第2の圧電アクチュエータは、前記第1の移動速度よりも低い第2の移動速度で前記絞り部材又は前記支持部材を移動させることを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡。 - 試料の像を取得するために、電子レンズを用いて電子線を収束させ、前記試料に前記電子線を照射する電子顕微鏡の筐体内に配置される駆動機構であって、
ベースと、
前記ベースに固定されたトップパーツと、
前記トップパーツの収容凹部内に配置され、前記ベース及び前記トップパーツに対してY軸方向に所定の範囲で往復動するYパーツと、
前記収容凹部内に配置され、パルス信号が送信されることにより、前記ベース及び前記トップパーツに対してY軸方向に所定の範囲で前記Yパーツを往復動させる第1の圧電アクチュエータと、
前記収容凹部内に配置され、前記ベース及び前記トップパーツに対してX軸方向に所定の範囲で往復動するXパーツと、
前記収容凹部内に配置され、パルス信号が送信されることにより、前記ベース及び前記トップパーツに対してX軸方向に所定の範囲で前記Xパーツを往復動させる第2の圧電アクチュエータと、
前記Xパーツに支持された駆動対象物と、を備えることを特徴とする駆動機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011531918A JP5610491B2 (ja) | 2009-09-15 | 2010-09-13 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009213254 | 2009-09-15 | ||
JP2009213254 | 2009-09-15 | ||
JP2011531918A JP5610491B2 (ja) | 2009-09-15 | 2010-09-13 | 電子顕微鏡 |
PCT/JP2010/065720 WO2011034020A1 (ja) | 2009-09-15 | 2010-09-13 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011034020A1 JPWO2011034020A1 (ja) | 2013-02-14 |
JP5610491B2 true JP5610491B2 (ja) | 2014-10-22 |
Family
ID=43758624
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011531918A Expired - Fee Related JP5610491B2 (ja) | 2009-09-15 | 2010-09-13 | 電子顕微鏡 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5610491B2 (ja) |
WO (1) | WO2011034020A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5792886B2 (ja) * | 2012-03-09 | 2015-10-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料観察方法および試料前処理方法 |
JP6116391B2 (ja) * | 2013-05-28 | 2017-04-19 | 祥悟 村中 | 電子顕微鏡の微駆動ユニット |
WO2022033941A1 (en) * | 2020-08-14 | 2022-02-17 | Asml Netherlands B.V. | Actuator arrangement and electron-optical column |
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JP2009099568A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Univ California | 透過型電子顕微鏡の試料を位置決めするための電動マニピュレーター |
-
2010
- 2010-09-13 WO PCT/JP2010/065720 patent/WO2011034020A1/ja active Application Filing
- 2010-09-13 JP JP2011531918A patent/JP5610491B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2009099568A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Univ California | 透過型電子顕微鏡の試料を位置決めするための電動マニピュレーター |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2011034020A1 (ja) | 2013-02-14 |
WO2011034020A1 (ja) | 2011-03-24 |
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A529 | Written submission of copy of amendment under article 34 pct |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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