JP2007035559A - ステージおよびステージの微粉検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ステータとロータとの接触部分あるいは近傍に光を照射する光源と、光が接触部分あるいは近傍に発生した微粉によって散乱された光あるいは散乱されない光を検出し、電気信号として検出する受光素子とを有するステージである。
【選択図】図1
Description
図1の(a)は、全体構造図(平面図)を示す。
図2の(a)は、全体の平面図を示す。
尚、図2の(c)では、磨耗粉を複数枚(あるいは1枚でもよい)の磨耗粉反射板15でレーザの通路に可及的に多く(長い時間滞留する)ようにして検出感度を向上させたが、これに限られず、レーザ通路に孔を空けた収集容器あるいは収集板(例えば円錐の頭部に穴をあけ、中間に図示のレーザ光が通過する孔を空けた収集容器あるいは当該収集容器の一部を切り出した収集板)でもよい。
2:ステータ
3:ロータ
4:圧電セラミック
5,6:電源
10:超音波モータ
11:光源(半導体レーザ)
12:レンズ
13:受光素子
14:暗視野用フィルタ
15:磨耗粉反射板
16:光通過窓
Claims (7)
- 圧電素子の力で駆動されるステータと摩擦力で前記ステータに固定するロータとからなる超音波モータを用いた荷電粒子顕微鏡用のステージにおいて、
前記ステータと前記ロータとの接触部分あるいは近傍に光を照射する光源と、
前記光が前記接触部分あるいは近傍に発生した微粉によって散乱された光あるいは散乱されない光を受光し、電気信号として検出する受光素子と
を有するステージ。 - 前記照射された直接の光を遮断し、前記微粉で散乱された光を検出することを特徴とする請求項1記載のステージ。
- 前記微粉で散乱した光をレンズで集光して検出することを特徴とする請求項1あるいは請求項2記載のステージ。
- 前記検出した信号変化が、所定閾値以上のときに警報を発することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のステージ。
- 前記ステータと前記ロータとの接触部分あるいは近傍に、発生した微粉を収集する収集板を配置し、前記光の散乱による検出効率を向上させることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のステージ。
- 前記光源は点光源、平行光源あるいはレーザを用いた光源としたことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載のステージ。
- 圧電素子の力で駆動されるステータと、摩擦力で前記ステータに固定するロータとからなる超音波モータを用いた荷電粒子顕微鏡用のステージの微粉検出方法において、
光源によって前記ステータと前記ロータとの接触部分あるいは近傍に光を照射するステップと、
受光素子によって前記光が前記接触部分あるいは近傍に発生した微粉によって散乱された光あるいは散乱されない光を受光し、電気信号として検出するステップと
を有するステージの微粉検出方法。
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