JP6643911B2 - 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、液体吐出ヘッド用基板の製造方法 - Google Patents
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Description
図3(a)は本発明に係る液体吐出ヘッドを搭載可能な液体吐出装置を示す概略斜視図である。図3(a)に示すように、リードスクリュー5004は、駆動モータ5013の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア5008,5009を介して回転する。キャリッジHCは液体吐出ヘッドユニット410を載置可能であり、リードスクリュー5004の螺旋溝5005に係合するピン(不図示)を有しており、リードスクリュー5004が回転することによって矢印a,b方向に往復移動される。
図3(b)は本発明に係る液体吐出ヘッドを備える液体吐出ヘッドユニット410の一例を示す斜視図である。液体吐出ヘッドユニット410は、液体吐出ヘッド1と、液体吐出ヘッド1に供給する液体を収容する液体収容部404を備え、これらが一体となったカートリッジを構成している。液体吐出ヘッド1は図3(a)に示す記録媒体Pに対向する面に設けられている。なお、これらは必ずしも一体である必要はなく、液体収容部404が取り外し可能な形態を取ることもできる。また、液体吐出ヘッドユニット410はテープ部材402を備えている。このテープ部材402は、液体吐出ヘッド1に電力を供給するための端子を有しており、液体吐出装置本体から接点403を介して電力や各種信号をやり取りする。
図1(a)は本発明に係る液体吐出ヘッド用基板100の発熱抵抗体106を含む部分の上面図である。液体吐出ヘッド用基板100に設けられた発熱抵抗体106の両端部に複数の電極105(105a、105b)がそれぞれ設けられている。電極105a、105bは対をなして設けられており、電極105a、105bを通って発熱抵抗体106に電気が流れることでその間の発熱抵抗体106の部分が発熱する。
(実施例1−1〜1−4)
実施例1−1〜1−4の液体吐出ヘッド用基板100を以下の通り作成した。
駆動周波数:10KHz、駆動パルス幅:2μsec
駆動電圧:液体が発泡する電圧の1.3倍
ここで、熱ストレスによる発熱抵抗体106の耐久評価を下記の判断基準で行った。
A:6.0×109パルス以上でも破断しなかった。
B:4.0×109パルス以上6.0×109パルス未満で破断した。
C:2.0×109パルス以上4.0×109パルス未満で破断した。
D:2.0×109パルス未満で破断した。
実施例2−1〜2−3の液体吐出ヘッド用基板100を作成した。本実施例では、表2に示すように、逆スパッタリングの際の圧力条件を一定として面108の傾斜角度θを一定とし、その処理時間を調整して絶縁層103の深さ方向の削れ長さF(図2(a))を異ならせた。なお、表2に示す条件以外に関しては上述の実施例と同様にした。
101 基体
102 配線層
103 絶縁層
104 開口部
105 電極
106 発熱抵抗体
Claims (16)
- 絶縁層と、前記絶縁層の表面に設けられる発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体に接続される電極と、を有する液体吐出ヘッド用基板において、
前記絶縁層は、前記絶縁層の前記表面に設けられた第1の開口と、前記第1の開口よりも開口面積が小さい第2の開口と、前記第1の開口と前記第2の開口とを繋ぐ面と、を含む第1の開口部と、前記第2の開口から前記絶縁層の裏面へ向かって延在する第2の開口部と、を備えており、
前記電極は前記第2の開口部に設けられており、
前記発熱抵抗体は、前記絶縁層の前記表面と、前記絶縁層の前記表面側の面である前記電極の表面と、前記第1の開口と前記第2の開口とを繋ぐ前記面を含む前記絶縁層の前記表面と前記電極の前記表面との間の前記絶縁層の面と、に対して繋がって接することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。 - 前記第1の開口と前記第2の開口とを繋ぐ前記面は、前記絶縁層の前記表面に対して傾斜する傾斜面、または曲面である、請求項1に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- 前記絶縁層の前記表面に直交する方向における前記第2の開口と前記電極の前記表面との距離は、前記電極の前記表面に接する前記発熱抵抗体の前記直交する方向における長さよりも小さい、請求項1または請求項2に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- 前記絶縁層の前記表面に直交する方向における前記第2の開口と前記電極の前記表面との距離が25nm以下である、請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- 前記距離が10nm以下である、請求項4に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- 前記第2の開口と前記電極の前記表面とが同一面に設けられている、請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- 前記第2の開口を通り前記絶縁層の前記表面に平行な面と、前記第1の開口と前記第2の開口とを繋ぐ前記面とが前記絶縁層の側でなす角度が70°以下である、請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- 前記角度が5°以上である、請求項7に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- 前記発熱抵抗体は前記絶縁層の前記表面よりも前記絶縁層の前記裏面の側に凹んだ位置で前記電極の前記表面と接する、請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- 少なくとも一対の前記電極を有し、
前記発熱抵抗体のうちの、前記少なくとも一対の電極の間に位置する部分が発熱する、請求項1乃至請求項9のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。 - 請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板を有し、前記発熱抵抗体を発熱させて液体を吐出する液体吐出ヘッド。
- 請求項11に記載の液体吐出ヘッドを有する液体吐出装置。
- 開口部を備えた絶縁層が設けられた基板を用意する工程と、
前記開口部を電極を形成するための電極材料で埋める工程と、
前記電極材料を研磨することで前記絶縁層の前記開口部を構成する開口が設けられた表面よりも前記電極の表面を引込んだ位置に位置させ、前記電極材料から前記電極を形成する工程と、
前記絶縁層の前記表面と前記電極の前記表面とに対して繋がって接する発熱抵抗体を設ける工程と、
を有する液体吐出ヘッド用基板の製造方法において、
前記発熱抵抗体を設ける工程の前に、前記電極を形成する工程において露出する角部であって、前記絶縁層の前記表面と前記開口部を形成する面とで構成される前記角部を除去する工程を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 - 逆スパッタリングによって前記角部を除去する工程を行う、請求項13に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記角部を除去する工程を行う装置内で、スパッタリングによって前記発熱抵抗体を設ける工程を行う、請求項14に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記電極を形成する工程では、化学的機械研磨法によって前記電極材料を研磨し、前記絶縁層の前記表面を平坦化する、請求項13乃至請求項15のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
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