JP6639922B2 - 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
得られたオーミック電極のコンタクト抵抗は、TLM法(Transmission Line Method)により測定を行った。具体的には、炭化珪素からなる半導体層の上にニオブ(Nb)及びニッケル(Ni)を含む混合膜である金属膜によりライン状の微細パターンを多数形成し、このパターン化した金属膜に対して短時間アニール処理をしてニオブカーバイド及びニッケルシリサイドが混在したオーミック電極パターンを形成する。この多数のライン状微細パターンは、互いに一定の距離をもって形成されており、隣り合う電極間の電流−電圧(I−V)特性をとり、電気抵抗を距離の関数としてグラフ化することによりオーミック抵抗の精密測定を行うことができる。I−V特性の測定は、マニュアルプローバにサンプルを設置し、マニュアルプローバの2つの測定用針をそれぞれサンプル表面の一定距離をもち隣り合う電極パターンに当て、複数のソース・メジャー・ユニットからなるAgilent社製半導体パラメータアナライザ4156Cを、トライアキシャル同軸ケーブルを通して測定用針にケルビン接続し、電流-電圧特性の測定を行った。具体的な測定条件は、片方の電極をグランド接続(電圧0V)にし、もう片方の電極に―3.0Vから3.0Vまで電圧を印可スイープし、同時のこの電極を通して流れる電流値を測定した。
オーミック電極の断面の観察のために、FIB(Fast Ion Beam)法による評価サンプル作製を行った。この方法を用い、Arイオンビームをサンプルに断面に合わせて照射し、微細断面片に加工を行った。FIB加工により得られたオーミック電極の断面を、透過型電子顕微鏡(Hitachi HF-2000:日立製作所社製)を用いて観察した。また、電子回折像から結晶性を評価した。
n型4H−SiCからなる基板(オフ角:4°、ドーパント:窒素、1×1018cm-3)のC面に、厚さが100nmのニオブ及びニッケルを含む金属膜を形成した。金属膜の形成は、ニオブ及びニッケルの両方をターゲットして、スパッタリング装置(E200S:キャノンアネルバ社製)を用いて行った。成膜条件は純化Arガスを50sccmの流量で装置に導入し、圧力を1.1Paとし、入力電力を50Wとした。このため、金属膜中のニオブの存在比は、約50at%となる。
ターゲットをニッケルのみとして、金属膜を50nmの厚さのニッケル膜とした以外は、実施例1と同様にした。
ターゲットをニオブのみとして、金属膜を50nmの厚さのニオブ膜とした以外は、実施例1と同様にした。
ターゲットをモリブデン(Mo)として、金属膜を50nmの厚さのモリブデン膜とした以外は、実施例1と同様にした。
ターゲットをニオブのみとして、厚さが50nmのニオブ膜を形成した後、ターゲットをニッケルのみとして厚さが50nmニッケル膜を形成し、金属膜を100nmの厚さのNi/Nb積層膜とした以外は、実施例1と同様にした。
ターゲットをモリブデンのみとして、厚さが50nmのモリブデン膜を形成した後、ターゲットをニッケルのみとして厚さが50nmニッケル膜を形成し、金属膜を100nmの厚さのNi/Mo積層膜とした以外は、実施例1と同様にした。
部分的に非晶質SiCが形成された基板を用いた以外は、比較例1と同様にした。
102 SiC層
103 p型ウェル
104 n型ソース領域
105 ソース電極
106 ゲート絶縁膜
107 ゲート電極
111 ドレイン電極
111A 金属膜
201 基板
211 レーザ光源
212 レーザ光
213 ミラー
221 チャンバ
222 ステージ
223 窓部
Claims (8)
- 炭化珪素からなる半導体層の上にニオブ及びニッケルを含む混合金属膜を形成する工程と、
前記混合金属膜に対して短時間アニール処理をして、ニオブカーバイド及びニッケルシリサイドが混在し、結晶粒径が10nm以上のニオブカーバイド及びニッケルシリサイドの結晶を含まず、前記半導体層と接する非晶質膜を有するオーミック電極を形成する工程とを備えている、炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記短時間アニール処理は、レーザアニール処理である、請求項1に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記レーザアニール処理における照射エネルギの総量は、1.5J/cm2以上、3.0J/cm2以下である、請求項2に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記混合金属膜は、ニオブとニッケルとをターゲットとした、又はニオブ及びニッケルを含む合金をターゲットとしたスパッタ法により形成する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記非晶質膜中において、X線回折において前記ニオブカーバイド及びニッケルシリサイドの結晶構造が観察されない、請求項1〜4のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記混合金属膜中における前記ニオブの前記ニッケルに対する比率は、10at%以上、60at%以下である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 炭化珪素からなる半導体層の上に設けられたオーミック電極を備え、
前記オーミック電極は、ニオブカーバイド及びニッケルシリサイドが混在し、且つ結晶粒径が10nm以上のニオブカーバイド及びニッケルシリサイドの結晶を含まない、前記半導体層と接する非晶質膜を有する、炭化珪素半導体装置。 - 前記非晶質膜は、X線回折において前記ニオブカーバイド及びニッケルシリサイドの結晶構造が観察されない、請求項7に記載の炭化珪素半導体装置。
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