JP6627441B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
最初に本願発明の実施形態の内容を列記して説明する。本願発明の一実施形態は、基板上に設けられた窒化物半導体を有するチャネル層と、チャネル層上に設けられ、チャネル層よりも電子親和力が大きい窒化物半導体を有する電子供給層と、その膜厚が10nm以上50nm以下の窒化シリコン膜あるいは酸化窒化シリコン膜からなる第1絶縁膜と、第1絶縁膜上に設けられ、その膜厚が20nm以上100nm以下の酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜、酸化シリコン膜および酸化窒化アルミニウム膜の何れかからなる第2絶縁膜と、電子供給層上に設けられたゲート電極、ソース電極及びドレイン電極と、を備える半導体装置である。
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
図1は、第1実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。図1に示されるように、半導体装置であるトランジスタ1は、基板2、チャネル層3、電子供給層4、キャップ層5、ソース電極6、ドレイン電極7、ゲート電極8、窒化シリコン膜(第1絶縁膜)9、及び酸化アルミニウム膜(第2絶縁膜)10を備えている。トランジスタ1はHEMTであり、例えばアクリル樹脂又は窒化シリコン膜等から形成される保護膜(第3絶縁膜)11によって覆われている。トランジスタ1では、チャネル層3と電子供給層4との界面に2次元電子ガス(2DEG:2 Dimensional Electron Gas)が生じることにより、チャネル層3内にチャネル領域が形成される。
以下では、第2実施形態に係る半導体装置及びその製造方法について説明する。第2実施形態の説明において第1実施形態と重複する記載は省略し、第1実施形態と異なる部分を記載する。つまり、技術的に可能な範囲において、第2実施形態に第1実施形態の記載を適宜用いてもよい。
まず、SiC基板上に、OMVPE法により、3000nmの膜厚を有し、チャネル層として機能するGaN層と、20nmの膜厚を有し、電子供給層として機能するn型のAlGaN層と、2nmの膜厚を有し、キャップ層として機能するi型のGaN層と、を順に形成した。次に、i型のGaN層上に、CVD法により、20nmの膜厚を有し、シリコンに対する窒素の組成が2/3である窒化シリコン膜を形成した。次に、窒化シリコン膜上に、原子層堆積法により、40nmの膜厚を有し、アルミニウムに対する酸素の組成が3/2である酸化アルミニウム膜を形成した。次に、窒化シリコン膜及び酸化アルミニウム膜の一部をエッチングにより開口した後、Ti層とAl層Au層との積層構造であるソース電極及びドレイン電極をAlGaN層上に形成すると共に、Ni層とAu層との積層構造であるゲート電極をキャップ層上に形成することにより、トランジスタを形成した。このトランジスタは、図1に示される構造を有している。トランジスタに発生する電流コラプスの評価を以下の通り行った。
窒化シリコン膜上に酸化アルミニウム膜を形成しなかった以外は、実施例と同様にしてトランジスタを形成した。このトランジスタは、図4に示される構造を有している。
電流コラプスの評価では、まず実施例及び比較例のトランジスタのドレイン−ソース間電圧に対するドレイン電流の変化の測定(第1のVds−Id測定)を行った。第1のVds−Id測定では、実施例及び比較例のトランジスタにおいて、ゲート−ソース間電圧Vgsを2Vとし、ドレイン−ソース間電圧Vdsを0Vから10Vに変化した場合のドレイン電流Idの変化を測定した。次に、これらのトランジスタにパルス状のストレス印加を行った。このストレス印加では、ゲート−ソース間電圧Vgsを−5Vとし、ドレイン−ソース間電圧Vdsを10Vとした。パルス状のストレス印加間で、これらのトランジスタのドレイン−ソース間電圧に対するドレイン電流の変化の測定(第2のVds−Id測定)を行った。第2のVds−Id測定では、ゲート−ソース間電圧Vgsを2Vとし、ドレイン−ソース間電圧Vdsを0Vから10Vに変化した場合のドレイン電流Idの変化を測定した。そして、実施例及び比較例における第1のVds−Id測定結果と、第2のVds−Id測定結果との間の変化を評価した。
Claims (6)
- 基板上に設けられた窒化物半導体を有するチャネル層と、
前記チャネル層上に設けられ、前記チャネル層よりも電子親和力が大きい窒化物半導体を有する電子供給層と、
前記電子供給層上に設けられ、その膜厚が10nm以上50nm以下の窒化シリコン膜あるいは酸化窒化シリコン膜からなる第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜上に設けられ、その膜厚が20nm以上100nm以下の酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜、酸化シリコン膜および酸化窒化アルミニウム膜の何れかからなる第2絶縁膜と、
前記電子供給層上に設けられたゲート電極、ソース電極及びドレイン電極と、
を備え、
前記ソース電極及び前記ドレイン電極と、前記第1絶縁膜とは、互いに離間しており、
前記第2絶縁膜の一部は、前記ソース電極と前記第1絶縁膜との間、及び前記ドレイン電極と前記第1絶縁膜との間に埋め込まれている、
半導体装置。 - 前記窒化シリコン膜および前記酸化窒化シリコン膜の組成は、それぞれ(SixNy:4/3≧y/x≧3/17)、(SiOxNy:1≧x>0かつ1≧y>0)である、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記酸化アルミニウム膜、前記窒化アルミニウム膜、前記酸化シリコン膜および前記酸化窒化アルミニウム膜のそれぞれの組成は、(AlxOy:3≧y/x>3/2)、(AlNx:2≧x≧1)、(SiOx:4≧x≧2)、(AlOxNy:4≧x≧1かつ1≧y≧1/2)である、請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 前記電子供給層と前記第1絶縁膜との間に設けられた窒化物半導体を有するキャップ層をさらに備える、請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ゲート電極の上面と前記第2絶縁膜とを被覆する第3絶縁膜が設けられてなる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 基板上に設けられた窒化物半導体を有するチャネル層と、
前記チャネル層上に設けられ、前記チャネル層よりも電子親和力が大きい窒化物半導体を有する電子供給層と、
前記電子供給層上に設けられ、窒化シリコン膜(SixNy:4/3≧y/x≧3/17)あるいは酸化窒化シリコン膜(SiOxNy:1≧x>0かつ1≧y>0)からなる第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜上に設けられ、酸化アルミニウム膜(AlxOy:3≧y/x>3/2)、窒化アルミニウム膜(AlNx:2≧x≧1)、酸化シリコン膜(SiOx:4≧x≧2)および酸化窒化アルミニウム膜(AlOxNy:4≧x≧1かつ1≧y≧1/2)の何れかからなる第2絶縁膜と、
前記電子供給層上に設けられたゲート電極、ソース電極及びドレイン電極と、
を備え、
前記ソース電極及び前記ドレイン電極と、前記第1絶縁膜とは、互いに離間しており、
前記第2絶縁膜の一部は、前記ソース電極と前記第1絶縁膜との間、及び前記ドレイン電極と前記第1絶縁膜との間に埋め込まれている、
半導体装置。
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