JP6616788B2 - 干渉観察装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態の干渉観察装置1Aの構成を示す図である。干渉観察装置1Aは、光源10、レンズ11、レンズ12、分岐用ビームスプリッタ21、合波用ビームスプリッタ22、ビームスプリッタ31、ミラー32、ビームスプリッタ41、ミラー42、ピエゾ素子43、ステージ44、レンズ51、レンズ52、チューブレンズ53、撮像部(受光部)61、画像取得部71および制御部72を備える。分岐用ビームスプリッタ21から合波用ビームスプリッタ22に到る迄の干渉光学系20Aは、マッハツェンダ干渉計を構成している。
図3は、第2実施形態の干渉観察装置1Bの構成を示す図である。干渉観察装置1Bは、光源10、レンズ11、レンズ12、分岐用ビームスプリッタ21、合波用ビームスプリッタ22、ビームスプリッタ31、ミラー32、ビームスプリッタ41、ミラー42、ピエゾ素子43、ステージ44、ステージ45、レンズ51、レンズ52、チューブレンズ53、ミラー54、ビームスプリッタ55、撮像部(受光部)61、光検出器(受光部)62、画像取得部71および制御部72を備える。分岐用ビームスプリッタ21から合波用ビームスプリッタ22に到る迄の干渉光学系20Bは、マッハツェンダ干渉計を構成している。
図4は、第3実施形態の干渉観察装置1Cの構成を示す図である。図4に示される第3実施形態の干渉観察装置1Cは、図3に示された構成の変形例であり、分岐用ビームスプリッタ21から合波用ビームスプリッタ22に到る迄の干渉光学系20Cの構成の点で相違する。すなわち、図4に示される第3実施形態の干渉観察装置1Cは、図3に示された構成に対し、分岐用ビームスプリッタ21が図3におけるビームスプリッタ31の機能を兼ねる点、合波用ビームスプリッタ22が図3におけるビームスプリッタ55の機能を兼ねる点、光路長差補償板35およびミラー56を備える点、ならびに、チューブレンズ53に替えてレンズ57およびレンズ58を備える点、で相違する。図3に示される構成と比べて、図4に示される構成は、ビームスプリッタの個数が2つ少ないので、安価にすることができる。
図5は、第4実施形態の干渉観察装置1Dの構成を示す図である。干渉観察装置1Dは、光源10、レンズ11、レンズ12、分岐用ビームスプリッタ21、合波用ビームスプリッタ22、像反転プリズム36、ビームスプリッタ41、ミラー42、ピエゾ素子43、ステージ44、レンズ51、レンズ52、チューブレンズ53、撮像部(受光部)61、画像取得部71および制御部72を備える。分岐用ビームスプリッタ21から合波用ビームスプリッタ22に到る迄の干渉光学系20Dは、マッハツェンダ干渉計を構成している。
図6は、第5実施形態の干渉観察装置1Eの構成を示す図である。干渉観察装置1Eは、光源10、レンズ11、レンズ12、分岐用ビームスプリッタ21、合波用ビームスプリッタ22、ビームスプリッタ31、ミラー32、ビームスプリッタ41、ミラー42、ピエゾ素子43、ステージ44、レンズ51、レンズ52、チューブレンズ53、撮像部(受光部)61、画像取得部71および制御部72を備える。本実施形態における分岐用ビームスプリッタ21から合波用ビームスプリッタ22に到る迄の干渉光学系20Eは、マッハツェンダ干渉計を構成しており、第1実施形態における干渉光学系20Aと同様の構成を有する。
本発明の一側面による干渉観察装置は、上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。
Claims (8)
- インコヒーレントな光を出力する光源と、
前記光源から出力された光を分岐して第1分岐光および第2分岐光を出力する分岐用ビームスプリッタと、前記第1分岐光と前記第2分岐光とを合波して合波光を出力する合波用ビームスプリッタとを含み、マッハツェンダ干渉計を構成する干渉光学系と、
前記合波光を受光して検出信号を出力するイメージセンサを含む撮像部と、
前記第1分岐光または前記第2分岐光の光路上に置かれた観察対象物の干渉画像を前記検出信号に基づいて取得する画像取得部と、
を備え、
前記干渉光学系は、
前記第2分岐光の光路上に第2ビームスプリッタおよび第2ミラーを含み、前記分岐用ビームスプリッタから前記第2ビームスプリッタに到達した前記第2分岐光を前記第2ビームスプリッタで透過または反射させた後に前記第2ミラーにより反射させ、前記第2ミラーにより反射されて前記第2ビームスプリッタに到達した前記第2分岐光を前記第2ビームスプリッタで反射または透過させて、前記分岐用ビームスプリッタから前記第2ビームスプリッタへの前記第2分岐光の入力方向と異なる方向へ前記第2ビームスプリッタから前記第2分岐光を出力し、前記第2ミラーの反射面に垂直な方向に前記第2ミラーが移動自在であり、
前記第1分岐光の光路上に前記第1分岐光および前記第2分岐光それぞれの反射の回数の和が偶数となる光学素子を含み、
前記合波用ビームスプリッタは、前記分岐用ビームスプリッタから出力され第1のレンズを経た前記第1分岐光を入力するとともに、前記分岐用ビームスプリッタから出力され第2のレンズを経た前記第2分岐光を入力して、これら第1分岐光と第2分岐光とを合波して前記合波光を出力し、
前記光源から前記第1および前記第2のレンズに到るまでの全ての光学素子は、前記光源の出力時のビーム径と比べて大きな開口を有し、前記第1および前記第2のレンズの前焦点面付近に前記光源の出力光を集光させる、
干渉観察装置。 - 前記干渉光学系は、前記第1分岐光の光路上に前記光学素子として第1ビームスプリッタおよび第1ミラーを含み、前記分岐用ビームスプリッタから前記第1ビームスプリッタに到達した前記第1分岐光を前記第1ビームスプリッタで透過または反射させた後に前記第1ミラーにより反射させ、前記第1ミラーにより反射されて前記第1ビームスプリッタに到達した前記第1分岐光を前記第1ビームスプリッタで反射または透過させて、前記分岐用ビームスプリッタから前記第1ビームスプリッタへの前記第1分岐光の入力方向と異なる方向へ前記第1ビームスプリッタから前記第1分岐光を出力する、
請求項1に記載の干渉観察装置。 - 前記第1分岐光および前記第2分岐光の何れか一方の光路上に前記観察対象物が配置され、他方の光路上に光路長・分散補償板が設けられ、
前記光路長・分散補償板が、前記観察対象物の配置による光路長の変化および分散の影響を補償する、
請求項1または2に記載の干渉観察装置。 - 前記光源がインコヒーレントな波長可変光源であり、
前記撮像部が前記光源から出力される各波長の光それぞれについて前記合波光を受光して前記検出信号を出力し、
各波長についての前記検出信号に基づいて前記観察対象物の波長分散を求める、
請求項1〜3の何れか1項に記載の干渉観察装置。 - 前記光源がインコヒーレントな白色光源であり、
前記撮像部が前記光源の出力帯域内の各波長の光それぞれについて前記合波光を受光して前記検出信号を出力し、
各波長についての前記検出信号に基づいて前記観察対象物の波長分散を求める、
請求項1〜4の何れか1項に記載の干渉観察装置。 - 前記光源の出力光の波長に比べて小さい振幅で前記第2ミラーを振動させて位相ロックを行う、
請求項1〜5の何れか1項に記載の干渉観察装置。 - 前記撮像部の何れかの画素から出力される検出信号に基づいて位相ロックを行なう、
請求項6に記載の干渉観察装置。 - 前記光源および前記干渉光学系を保持する筐体と、
前記筐体に設けられ、前記干渉光学系から出力された前記合波光を外部へ出力する開口を有する第1取付部と、
前記第1取付部の開口と光学的に結合される開口を有する第2取付部と、前記干渉光学系から出力され前記第1取付部の開口および前記第2取付部の開口を経た前記合波光を受光して検出信号を出力する撮像部と、を含む顕微鏡装置と、
を備える請求項1〜7の何れか1項に記載の干渉観察装置。
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