JPH0579815A - 半導体レーザー測長器 - Google Patents
半導体レーザー測長器Info
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- JPH0579815A JPH0579815A JP3239715A JP23971591A JPH0579815A JP H0579815 A JPH0579815 A JP H0579815A JP 3239715 A JP3239715 A JP 3239715A JP 23971591 A JP23971591 A JP 23971591A JP H0579815 A JPH0579815 A JP H0579815A
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- interference signal
- semiconductor laser
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Abstract
(57)【要約】
【目的】移動鏡の位置調整を容易且つ正確に行えるよう
にしたことである。 【構成】不可視光を発する半導体レーザー１を光源とし
て用い、二分割した一方の光を参照鏡３で反射させ、他
方を移動鏡６で反射させて干渉させる。干渉信号検出系
５で得た干渉信号に基づくＳＩＮ信号とＣＯＳ信号の自
乗和を、ＣＰＵ２３で演算して、その干渉信号強度の自
乗和をレベルメーター２５で表示する。 【効果】アライメントを干渉信号の強度レベルによって
定量的に認識できる。
にしたことである。 【構成】不可視光を発する半導体レーザー１を光源とし
て用い、二分割した一方の光を参照鏡３で反射させ、他
方を移動鏡６で反射させて干渉させる。干渉信号検出系
５で得た干渉信号に基づくＳＩＮ信号とＣＯＳ信号の自
乗和を、ＣＰＵ２３で演算して、その干渉信号強度の自
乗和をレベルメーター２５で表示する。 【効果】アライメントを干渉信号の強度レベルによって
定量的に認識できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、不可視光を発する半導
体レーザーを光源として用い、干渉計測によって被測定
対象の移動距離を計測するようにした半導体レーザー測
長器に関する。
体レーザーを光源として用い、干渉計測によって被測定
対象の移動距離を計測するようにした半導体レーザー測
長器に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体レーザーは小型且つ安価であり、
しかも駆動電流によって直接変調できることから、通信
機器，情報機器，計測機器等の分野で光源等として採用
され、急速に普及してきている。特に計測分野では測長
器や干渉計等の光源として半導体レーザーが使用されて
おり、このような計測機器においては、その使用時に
は、ユーザーが直接測定系をセットアップすることが多
い。ユーザーが測定系のセッティングを行う場合、通
常、光源からの光束やビームを観察しながら行う。
しかも駆動電流によって直接変調できることから、通信
機器，情報機器，計測機器等の分野で光源等として採用
され、急速に普及してきている。特に計測分野では測長
器や干渉計等の光源として半導体レーザーが使用されて
おり、このような計測機器においては、その使用時に
は、ユーザーが直接測定系をセットアップすることが多
い。ユーザーが測定系のセッティングを行う場合、通
常、光源からの光束やビームを観察しながら行う。
【０００３】このような測長器の原理を、図３及び図４
に基づいて説明する。図中、光源として、不可視光を射
出する波長安定化された半導体レーザー光源ユニット１
が用いられており、この光源ユニット１から射出された
不可視光としての光ビームは、偏光ビームスプリッター
２により二分割され、そのうちｐ偏光はこれを透過し、
ｓ偏光は反射せしめられる。
に基づいて説明する。図中、光源として、不可視光を射
出する波長安定化された半導体レーザー光源ユニット１
が用いられており、この光源ユニット１から射出された
不可視光としての光ビームは、偏光ビームスプリッター
２により二分割され、そのうちｐ偏光はこれを透過し、
ｓ偏光は反射せしめられる。
【０００４】偏光ビームスプリッター２で反射されたｓ
偏光は、半導体レーザー光源ユニット１に対して相対的
に固定配置されたコーナーキューブ３へ入射され、入射
方向へ反射される。そして、λ／２板４を通過すること
で、９０°偏光された直線偏光となって偏光ビームスプ
リッター２を透過し、干渉信号検出系５へ導かれる。他
方、偏光ビームスプリッター２を透過したｐ偏光はこの
ｐ偏光の進行方向に移動可能な移動コーナーキューブ６
に入射し、反射せしめられる。次いで、λ／２板７を通
過することで９０°偏光された直線偏光となり、偏光ビ
ームスプリッター２で反射される。そして、上述の直線
偏光と重ね合わされて干渉信号検出系５へ導かれる。
偏光は、半導体レーザー光源ユニット１に対して相対的
に固定配置されたコーナーキューブ３へ入射され、入射
方向へ反射される。そして、λ／２板４を通過すること
で、９０°偏光された直線偏光となって偏光ビームスプ
リッター２を透過し、干渉信号検出系５へ導かれる。他
方、偏光ビームスプリッター２を透過したｐ偏光はこの
ｐ偏光の進行方向に移動可能な移動コーナーキューブ６
に入射し、反射せしめられる。次いで、λ／２板７を通
過することで９０°偏光された直線偏光となり、偏光ビ
ームスプリッター２で反射される。そして、上述の直線
偏光と重ね合わされて干渉信号検出系５へ導かれる。
【０００５】図４に示す干渉信号検出系５において、干
渉信号検出系５に入射するこれらの光線はビームスプリ
ッター８で二分割される。そして、一方の光線は反射せ
しめられてλ／４板９を通り、偏光ビームスプリッター
１０へ入射する。ここで、λ／４板９の軸は紙面と４５
°の角度をなすように設置されているから、ｐ偏光及び
ｓ偏光はλ／４板９を透過した後で互いに逆回りの円偏
光になる。しかも、干渉信号検出系５に入射するｐ偏光
とｓ偏光の位相差をδとすると、二つの円偏光同士の位
相差は、偏光ビームスプリッター１０を経由すること
で、振動方向が紙面と平行な方向ではδ＋π／２又はδ
＋３π／２となる。又、振動方向が紙面と垂直な方向で
は、位相差δに対してこれらの値が１８０°ずれた値、
即ちδ−π／２又はδ−３π／２となる。
渉信号検出系５に入射するこれらの光線はビームスプリ
ッター８で二分割される。そして、一方の光線は反射せ
しめられてλ／４板９を通り、偏光ビームスプリッター
１０へ入射する。ここで、λ／４板９の軸は紙面と４５
°の角度をなすように設置されているから、ｐ偏光及び
ｓ偏光はλ／４板９を透過した後で互いに逆回りの円偏
光になる。しかも、干渉信号検出系５に入射するｐ偏光
とｓ偏光の位相差をδとすると、二つの円偏光同士の位
相差は、偏光ビームスプリッター１０を経由すること
で、振動方向が紙面と平行な方向ではδ＋π／２又はδ
＋３π／２となる。又、振動方向が紙面と垂直な方向で
は、位相差δに対してこれらの値が１８０°ずれた値、
即ちδ−π／２又はδ−３π／２となる。
【０００６】従って、偏光ビームスプリッター１０を透
過してＰＩＮフォトディテクタ１１で検出される干渉縞
の位相はδ＋π／２又はδ＋３π／２となり、偏光ビー
ムスプリッター１０で反射されて直角プリズム１２を介
してＰＩＮフォトディテクタ１３で検出される干渉縞の
位相はδ−π／２又はδ−３π／２となる。
過してＰＩＮフォトディテクタ１１で検出される干渉縞
の位相はδ＋π／２又はδ＋３π／２となり、偏光ビー
ムスプリッター１０で反射されて直角プリズム１２を介
してＰＩＮフォトディテクタ１３で検出される干渉縞の
位相はδ−π／２又はδ−３π／２となる。
【０００７】又、ビームスプリッター８で分割された他
方の光線は、π／２ローテータ１４を通過することによ
り、振動成分は変わらないが振動方向が４５°変化し、
偏光ビームスプリッター１５へ入射して二分割される。
即ち、一方の光線は反射されてＰＩＮフォトディテクタ
１６へ入射され、他方の光線はこれを通過して直角プリ
ズム１７を介してＰＩＮフォトディテクタ１８へ入射さ
れる。そのため、得られる干渉縞の位相はδ又はδ＋π
となる。
方の光線は、π／２ローテータ１４を通過することによ
り、振動成分は変わらないが振動方向が４５°変化し、
偏光ビームスプリッター１５へ入射して二分割される。
即ち、一方の光線は反射されてＰＩＮフォトディテクタ
１６へ入射され、他方の光線はこれを通過して直角プリ
ズム１７を介してＰＩＮフォトディテクタ１８へ入射さ
れる。そのため、得られる干渉縞の位相はδ又はδ＋π
となる。
【０００８】従って、ＰＩＮフォトディテクタ１１，１
３，１６，１８では、位相がπ／２づつ異なる４つの干
渉信号が夫々得られることになる。これら４つの干渉信
号は直流成分を含んでいるため、位相が１８０°づつ異
なる２つの信号を夫々作動増幅回路１９，１９により引
き算して取り除くことで、ＳＩＮδ，ＣＯＳδの二相信
号が得られる。そして、得られた二相信号の位相差が、
波長板の誤差，電気的ノイズ，各々のＰＩＮフォトディ
テクタに入射する光量差等により９０°にならない場合
には、位相補正回路２０で補正する。更に、カウンター
２１でこの二相信号を分割してカウントし、移動方向と
共に表示する。このようにして、移動鏡６の移動量を計
測することができる。
３，１６，１８では、位相がπ／２づつ異なる４つの干
渉信号が夫々得られることになる。これら４つの干渉信
号は直流成分を含んでいるため、位相が１８０°づつ異
なる２つの信号を夫々作動増幅回路１９，１９により引
き算して取り除くことで、ＳＩＮδ，ＣＯＳδの二相信
号が得られる。そして、得られた二相信号の位相差が、
波長板の誤差，電気的ノイズ，各々のＰＩＮフォトディ
テクタに入射する光量差等により９０°にならない場合
には、位相補正回路２０で補正する。更に、カウンター
２１でこの二相信号を分割してカウントし、移動方向と
共に表示する。このようにして、移動鏡６の移動量を計
測することができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、測長器のア
ライメントにおいては、ユーザーが光学系を組み、干渉
信号が大きくなるように移動鏡やコーナーキューブの位
置，角度等を調整していく。この場合、測定時に移動鏡
が長い距離移動しても安定した計測を行い得るようにす
るためには、移動鏡の移動距離に関わらず干渉信号検出
器で常に十分な干渉信号強度が得られるようにする必要
がある。そのためには、移動鏡から反射してくる物体光
の光路と参照鏡の光路とを、正確に合致させることが要
求される。
ライメントにおいては、ユーザーが光学系を組み、干渉
信号が大きくなるように移動鏡やコーナーキューブの位
置，角度等を調整していく。この場合、測定時に移動鏡
が長い距離移動しても安定した計測を行い得るようにす
るためには、移動鏡の移動距離に関わらず干渉信号検出
器で常に十分な干渉信号強度が得られるようにする必要
がある。そのためには、移動鏡から反射してくる物体光
の光路と参照鏡の光路とを、正確に合致させることが要
求される。
【００１０】ところが、光源として半導体レーザーを使
用すると、射出光の波長が不可視域であるため肉眼では
その光束を確認することができない。そのため、ユーザ
ーが正確なアライメントを行うことは非常に困難であ
る。
用すると、射出光の波長が不可視域であるため肉眼では
その光束を確認することができない。そのため、ユーザ
ーが正確なアライメントを行うことは非常に困難であ
る。
【００１１】そこで、通常は、半導体レーザー光源ユニ
ット１から射出される赤外域等の不可視光を可視化する
ＩＲビュワーや簡便なＩＲカードを使用している。即
ち、この測長器は、例えばＩＲカードを使用した場合に
は、赤外光が入射するとその照射部分で可視光が発光す
る現象を利用して、この可視光によって光束の位置を検
出し、アライメントを行うようにしたものである。又、
赤外光を検出可能な受光素子を用いるＩＲビュワーを使
用した場合では、ビュワーを通した映像を見ながらアラ
イメントを行うものである。しかしながら、いずれの方
法を用いても、可視光を肉眼で観察しながら調整するも
のであるから位置調整が感覚的であり、粗いアライメン
トを行うことはできるが精密なアライメントは達成でき
ないという問題がある。
ット１から射出される赤外域等の不可視光を可視化する
ＩＲビュワーや簡便なＩＲカードを使用している。即
ち、この測長器は、例えばＩＲカードを使用した場合に
は、赤外光が入射するとその照射部分で可視光が発光す
る現象を利用して、この可視光によって光束の位置を検
出し、アライメントを行うようにしたものである。又、
赤外光を検出可能な受光素子を用いるＩＲビュワーを使
用した場合では、ビュワーを通した映像を見ながらアラ
イメントを行うものである。しかしながら、いずれの方
法を用いても、可視光を肉眼で観察しながら調整するも
のであるから位置調整が感覚的であり、粗いアライメン
トを行うことはできるが精密なアライメントは達成でき
ないという問題がある。
【００１２】本発明は、このような課題に鑑みて、移動
鏡，干渉信号検出系，参照鏡等の相対的な位置調整を容
易且つ正確に行えるようにした半導体レーザー測長器を
提供することを目的とする。
鏡，干渉信号検出系，参照鏡等の相対的な位置調整を容
易且つ正確に行えるようにした半導体レーザー測長器を
提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明による半
導体レーザー測長器は、干渉信号の強度レベルを表示す
る表示手段を備え、この強度レベルによって移動鏡等の
位置決め調整を行うようにしたものである。又、干渉信
号の強度レベルは、干渉させた反射光を偏光して得られ
るＳＩＮ信号とＣＯＳ信号の自乗和に基づいて算出され
るようにしたことを特徴とするものである。
導体レーザー測長器は、干渉信号の強度レベルを表示す
る表示手段を備え、この強度レベルによって移動鏡等の
位置決め調整を行うようにしたものである。又、干渉信
号の強度レベルは、干渉させた反射光を偏光して得られ
るＳＩＮ信号とＣＯＳ信号の自乗和に基づいて算出され
るようにしたことを特徴とするものである。
【００１４】ここで、半導体レーザー測長器の干渉信号
検出系で得られるＳＩＮδ信号，ＣＯＳδ信号の、表示
手段例えばブラウン管オシロスコープ上におけるリサジ
ュー図形について考える。アライメントがある程度なさ
れた状態で、ＳＩＮδ信号とＣＯＳδ信号の周波数は同
一であり、しかも位相差は９０°であるから、ＳＩＮδ
信号とＣＯＳδ信号の自乗和に基づいて算出されるリサ
ジュー図形は円形となる。この円の半径は干渉信号の強
度を表している。つまり、ブラウン管オシロスコープに
表示される円形リサジュー図形の半径が、できるだけ大
きくなるように移動鏡をアライメントすれば、干渉信号
が良好な状態で得られていることになるので、アライメ
ントが精密になされたことになる。そして、その状態で
計測すれば、移動する移動鏡の距離が長くても安定的に
測長することができる。
検出系で得られるＳＩＮδ信号，ＣＯＳδ信号の、表示
手段例えばブラウン管オシロスコープ上におけるリサジ
ュー図形について考える。アライメントがある程度なさ
れた状態で、ＳＩＮδ信号とＣＯＳδ信号の周波数は同
一であり、しかも位相差は９０°であるから、ＳＩＮδ
信号とＣＯＳδ信号の自乗和に基づいて算出されるリサ
ジュー図形は円形となる。この円の半径は干渉信号の強
度を表している。つまり、ブラウン管オシロスコープに
表示される円形リサジュー図形の半径が、できるだけ大
きくなるように移動鏡をアライメントすれば、干渉信号
が良好な状態で得られていることになるので、アライメ
ントが精密になされたことになる。そして、その状態で
計測すれば、移動する移動鏡の距離が長くても安定的に
測長することができる。
【００１５】
【実施例】次に、本発明の好適な実施例を図１及び図２
に基づいて説明する。図１はリサジュー図形の半径をメ
ーター表示する装置のブロック図を示すものであり、図
４に示す干渉信号検出系５の一対の差動増幅回路１９，
１９に電気的に接続されるようになっている。
に基づいて説明する。図１はリサジュー図形の半径をメ
ーター表示する装置のブロック図を示すものであり、図
４に示す干渉信号検出系５の一対の差動増幅回路１９，
１９に電気的に接続されるようになっている。
【００１６】図中、２２，２２は差動増幅回路１９，１
９から夫々出力されるＳＩＮδ信号，ＣＯＳδ信号をデ
ジタルデータに変換する一対のＡ／Ｄコンバーター、２
３は両Ａ／Ｄコンバーター２２，２２から夫々入力され
るＳＩＮδ信号とＣＯＳδ信号の自乗和を演算してその
値からリサジュー図形の半径を算出するＣＰＵ、２４は
ＣＰＵ２３で得られたリサジュー信号をアナログデータ
に変換するＤ／Ａコンバーター、２５はこのアナログデ
ータをリサジュー図形及びその半径として表示するため
の表示手段としてのレベルメーターである。レベルメー
ター２５で表示される表示内容は、例えば図２に示すよ
うに、Ｘ−Ｙ座標上に描出されるリサジュー図形ｆと、
その下段において、針２７によって目盛り２８上で指示
されるリサジュー図形の半径である。尚、両者のいづれ
か一方を表示するようにしてもよい。
９から夫々出力されるＳＩＮδ信号，ＣＯＳδ信号をデ
ジタルデータに変換する一対のＡ／Ｄコンバーター、２
３は両Ａ／Ｄコンバーター２２，２２から夫々入力され
るＳＩＮδ信号とＣＯＳδ信号の自乗和を演算してその
値からリサジュー図形の半径を算出するＣＰＵ、２４は
ＣＰＵ２３で得られたリサジュー信号をアナログデータ
に変換するＤ／Ａコンバーター、２５はこのアナログデ
ータをリサジュー図形及びその半径として表示するため
の表示手段としてのレベルメーターである。レベルメー
ター２５で表示される表示内容は、例えば図２に示すよ
うに、Ｘ−Ｙ座標上に描出されるリサジュー図形ｆと、
その下段において、針２７によって目盛り２８上で指示
されるリサジュー図形の半径である。尚、両者のいづれ
か一方を表示するようにしてもよい。
【００１７】本実施例は上述のように構成されており、
次にアライメント調整の仕方について説明する。図２に
おいて、（Ａ）はアライメントがあまり合っていない状
態を示すものであり、図形及び目盛りで表示されるリサ
ジュー図形の半径は小さい。この状態から、移動鏡６，
干渉信号検出系５，参照鏡３の少なくともいずれかを位
置調整をすることで、（Ｂ）及び（Ｃ）に示すようにリ
サジュー図形及びその半径が徐々に大きくなり、アライ
メントが合い干渉信号が強くなる様子が示されている。
次にアライメント調整の仕方について説明する。図２に
おいて、（Ａ）はアライメントがあまり合っていない状
態を示すものであり、図形及び目盛りで表示されるリサ
ジュー図形の半径は小さい。この状態から、移動鏡６，
干渉信号検出系５，参照鏡３の少なくともいずれかを位
置調整をすることで、（Ｂ）及び（Ｃ）に示すようにリ
サジュー図形及びその半径が徐々に大きくなり、アライ
メントが合い干渉信号が強くなる様子が示されている。
【００１８】このように本実施例によれば、レベルメー
ター２５の針２７の振れで測定系のアライメントの状態
が定量的に認識でき、光源として不可視光を射出する半
導体レーザーを用いた測長器について、アライメントを
容易且つ正確に行うことができる。そのため、移動鏡６
の移動距離が長くても安定的に測長することができる。
ター２５の針２７の振れで測定系のアライメントの状態
が定量的に認識でき、光源として不可視光を射出する半
導体レーザーを用いた測長器について、アライメントを
容易且つ正確に行うことができる。そのため、移動鏡６
の移動距離が長くても安定的に測長することができる。
【００１９】
【発明の効果】上述のように本発明に係る半導体レーザ
ー測長器は、干渉信号の強度レベルについての表示手段
を備えるようにしたから、干渉信号の強度の度合いを定
量的に表示することができ、これに基づいて測定系のア
ライメントを極めて容易且つ正確に行うことができる。
ー測長器は、干渉信号の強度レベルについての表示手段
を備えるようにしたから、干渉信号の強度の度合いを定
量的に表示することができ、これに基づいて測定系のア
ライメントを極めて容易且つ正確に行うことができる。
【図１】本発明の実施例であるリサジュー図形及びその
半径をメーター表示する装置のブロック図である。
半径をメーター表示する装置のブロック図である。
【図２】レベルメーターで表示されるリサジュー図形と
その半径を示す図である。
その半径を示す図である。
【図３】従来の半導体レーザー測長器の概略ブロック図
である。
である。
【図４】干渉信号検出系のブロック図である。
１ 半導体レーザー光源ユニット ２ 偏光ビームスプリッター ３ 参照鏡 ５ 干渉信号検出系 ６ 移動鏡 ２５ レベルメーター
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年７月７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】従って、ＰＩＮフォトディテクタ１１，１
３，１６，１８では、位相がπ／２づつ異なる４つの干
渉信号が夫々得られることになる。これら４つの干渉信
号は直流成分を含んでいるため、位相が１８０°づつ異
なる２つの信号を夫々差動増幅回路１９，１９により引
き算して取り除くことで、ＳＩＮδ，ＣＯＳδの二相信
号が得られる。そして、得られた二相信号の位相差が、
波長板の誤差，電気的ノイズ，各々のＰＩＮフォトディ
テクタに入射する光量差等により９０°にならない場合
には、位相補正回路２０で補正する。更に、カウンター
２１でこの二相信号を分割してカウントし、移動方向と
共に表示する。このようにして、移動鏡６の移動量を計
測することができる。
３，１６，１８では、位相がπ／２づつ異なる４つの干
渉信号が夫々得られることになる。これら４つの干渉信
号は直流成分を含んでいるため、位相が１８０°づつ異
なる２つの信号を夫々差動増幅回路１９，１９により引
き算して取り除くことで、ＳＩＮδ，ＣＯＳδの二相信
号が得られる。そして、得られた二相信号の位相差が、
波長板の誤差，電気的ノイズ，各々のＰＩＮフォトディ
テクタに入射する光量差等により９０°にならない場合
には、位相補正回路２０で補正する。更に、カウンター
２１でこの二相信号を分割してカウントし、移動方向と
共に表示する。このようにして、移動鏡６の移動量を計
測することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１６】図中、２２，２２は差動増幅回路１９，１
９から夫々出力されるＳＩＮδ信号，ＣＯＳδ信号をデ
ジタルデータに変換する一対のＡ／Ｄコンバーター、２
３は両Ａ／Ｄコンバーター２２，２２から夫々入力され
るＳＩＮδ信号とＣＯＳδ信号の自乗和を演算してその
値からリサジュー図形の半径を算出するＣＰＵ、２４は
ＣＰＵ２３で得られたリサジュー信号をアナログデータ
に変換するＤ／Ａコンバーター、２５はこのアナログデ
ータを表示するレベルメーターである。レベルメーター
２５で表示される表示内容は、針２７によって目盛り２
８上で指示されるリサジュー図形の半径に相当する信号
強度である。
９から夫々出力されるＳＩＮδ信号，ＣＯＳδ信号をデ
ジタルデータに変換する一対のＡ／Ｄコンバーター、２
３は両Ａ／Ｄコンバーター２２，２２から夫々入力され
るＳＩＮδ信号とＣＯＳδ信号の自乗和を演算してその
値からリサジュー図形の半径を算出するＣＰＵ、２４は
ＣＰＵ２３で得られたリサジュー信号をアナログデータ
に変換するＤ／Ａコンバーター、２５はこのアナログデ
ータを表示するレベルメーターである。レベルメーター
２５で表示される表示内容は、針２７によって目盛り２
８上で指示されるリサジュー図形の半径に相当する信号
強度である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】本実施例は上述のように構成されており、
次にアライメント調整の仕方について説明する。図２に
おいて、（Ａ）はアライメントがあまり合っていない状
態を示すものであり、目盛りで表示されるリサジュー図
形の半径は小さい。この状態から、移動鏡６，干渉信号
検出系５，参照鏡３の少なくともいずれかを位置調整を
することで、（Ｂ）及び（Ｃ）に示すようにリサジュー
図形が徐々に大きくなり、アライメントが合い干渉信号
が強くなる様子が示されている。
次にアライメント調整の仕方について説明する。図２に
おいて、（Ａ）はアライメントがあまり合っていない状
態を示すものであり、目盛りで表示されるリサジュー図
形の半径は小さい。この状態から、移動鏡６，干渉信号
検出系５，参照鏡３の少なくともいずれかを位置調整を
することで、（Ｂ）及び（Ｃ）に示すようにリサジュー
図形が徐々に大きくなり、アライメントが合い干渉信号
が強くなる様子が示されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例であるリサジュー図形の半径に
相当する信号強度をメーター表示する装置のブロック図
である。
相当する信号強度をメーター表示する装置のブロック図
である。
【図２】リサジュー図形と、レベルメーターで表示され
る干渉信号強度を示す図である。
る干渉信号強度を示す図である。
【図３】従来の半導体レーザー測長器の概略ブロック図
である。
である。
【図４】干渉信号検出系のブロック図である。
Claims (2)
- 【請求項１】光源として不可視光を発する半導体レーザ
ーから発せられた光を二分割し、一方の光を光源に対し
て固定された参照鏡に入射させると共に他方の光を移動
可能な移動鏡に入射させ、該参照鏡及び移動鏡で反射さ
れた各反射光を同一光路へ導いて干渉させ、得られた干
渉信号から移動鏡の移動距離を測定するようにした半導
体レーザー測長器において、 前記干渉信号の強度レベルを表示する表示手段を備えて
いて、該干渉信号の強度レベルによって前記移動鏡の位
置決め調整を行うようにしたことを特徴とする半導体レ
ーザー測長器。 - 【請求項２】前記干渉信号の強度レベルは、前記干渉さ
せた反射光から偏光を用いて得られるＳＩＮ信号とＣＯ
Ｓ信号の自乗和に基づいて得られるようにしたことを特
徴とする請求項１に記載の半導体レーザー測長器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3239715A JPH0579815A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 半導体レーザー測長器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3239715A JPH0579815A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 半導体レーザー測長器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0579815A true JPH0579815A (ja) | 1993-03-30 |
Family
ID=17048851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3239715A Withdrawn JPH0579815A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 半導体レーザー測長器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0579815A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005308547A (ja) * | 2004-04-21 | 2005-11-04 | Mitsutoyo Corp | エンコーダ、その信号確認装置及び信号確認プログラム |
| JP2009186191A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-20 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 寸法測定装置及び寸法測定方法 |
| JP2011013246A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Opnext Japan Inc | 干渉計、復調器及び光通信モジュール |
| WO2016121250A1 (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | 干渉観察装置および干渉観察方法 |
| WO2020049620A1 (ja) * | 2018-09-03 | 2020-03-12 | 株式会社島津製作所 | 干渉計移動鏡位置測定装置及びフーリエ変換赤外分光光度計 |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP3239715A patent/JPH0579815A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US10393500B2 (en) | 2015-01-30 | 2019-08-27 | Hamamatsu Photonics K.K. | Interference observation device and interference observation method |
| WO2020049620A1 (ja) * | 2018-09-03 | 2020-03-12 | 株式会社島津製作所 | 干渉計移動鏡位置測定装置及びフーリエ変換赤外分光光度計 |
| JPWO2020049620A1 (ja) * | 2018-09-03 | 2021-05-20 | 株式会社島津製作所 | 干渉計移動鏡位置測定装置及びフーリエ変換赤外分光光度計 |
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