JP2019109074A - 測定装置及び測定方法 - Google Patents
測定装置及び測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019109074A JP2019109074A JP2017240607A JP2017240607A JP2019109074A JP 2019109074 A JP2019109074 A JP 2019109074A JP 2017240607 A JP2017240607 A JP 2017240607A JP 2017240607 A JP2017240607 A JP 2017240607A JP 2019109074 A JP2019109074 A JP 2019109074A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- measurement
- unit
- interference
- reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
Description
図1は、例えば磁石等の測定対象物9の形状及び磁場を同時測定する測定装置10の概略図である。この測定装置10は、測定対象物9の複数の測定点9aごとの距離及び磁場を非接触で測定することで、測定対象物9の形状(位置、変位、及び寸法も可)、及びその測定点9aごとの磁場を測定する。
図4は、制御装置25の構成を示すブロック図である。制御装置25には、測定対象物9の測定点9aの位置情報及び磁場等の各種解析結果を表示する表示部30と、これら各種解析結果を記憶する記憶部31と、が接続されている。
次に、図7を用いて上記構成の測定装置10の作用について説明する。図7は、測定装置10による測定対象物9の距離L1及び形状等と、測定対象物9の磁場との同時測定処理(測定方法)の流れを示すフローチャートである。
以上のように本実施形態の測定装置10では、測定対象物9の測定点9aごとに距離L1等の位置情報と磁場とを同時測定することができる。そして、この同時測定によって測定点9aごとの距離L1等と磁場との対応関係が明確になる。このため、測定対象物9の形状だけではなく、測定対象物9の各部における磁場(磁場分布)も同時且つ正確に測定することができる。また、本実施形態の測定装置10では非接触式の測定を行うため、強い磁場を有する測定対象物9でも距離L1等(振動数、形状)と磁場との同時測定が可能になる。
測定装置10の光学系の構成は、第1反射光BL1と第2反射光BL2との干渉光SLを分割して出力可能であれば、図1に示した構成に限定されず、同等の機能を有する部材又は構成に適宜変更することができる。
9a…測定点,
10…測定装置,
11…波長掃引光源,
12…偏光子,
13…ファイバーカプラ,
17…ミラー,
20…光検出器,
21…偏光ビームスプリッタ,
22…差動光検出器,
25…制御装置,
34…第1解析部,
35…第2解析部,
36…カー回転角解析部,
37…磁場決定部
Claims (6)
- 直線偏光を出射する光源部と、
前記光源部から出射された前記直線偏光を測定光と参照光とに分割する光分割部と、
前記光分割部にて分割された前記測定光を測定対象物の測定点に向けて出射する光出射部と、
前記光分割部にて分割された前記参照光を反射する反射部と、
前記測定点にて反射された前記測定光の第1反射光と、前記反射部にて反射された前記参照光の第2反射光との干渉光を分割して出力する干渉光出力部と、
前記干渉光出力部から出力された前記干渉光を検出する光検出部と、
前記干渉光出力部から出力された前記干渉光から、前記第1反射光の偏光状態を検出する偏光状態検出部と、
を備える測定装置。 - 前記光源部は、波長掃引しながら前記直線偏光を出力する請求項1に記載の測定装置。
- 前記光検出部による前記干渉光の検出結果に基づき、前記光出射部から前記測定点までの距離を解析する第1解析部と、
前記偏光状態検出部が検出した前記第1反射光の偏光状態に基づき、前記測定点の磁場を解析する第2解析部と、
を備える請求項1又は2に記載の測定装置。 - 前記第2解析部は、
前記偏光状態検出部が検出した前記第1反射光の偏光状態に基づき、前記第1反射光のカー回転角を解析するカー回転角解析部と、
前記カー回転角解析部の解析結果に基づき、前記カー回転角と前記磁場との関係を示す対応関係を参照して、前記測定点の磁場を決定する磁場決定部と、
を備える請求項3に記載の測定装置。 - 前記偏光状態検出部は、
前記干渉光を偏光方向が異なる複数の偏光に分割する光学素子と、
前記光学素子により分割された前記複数の偏光を差動検出する差動光検出器と、
を備える請求項1から4のいずれか1項に記載の測定装置。 - 直線偏光を出射する直線偏光出射ステップと、
直線偏光出射ステップで出射された前記直線偏光を測定光と参照光とに分割する光分割ステップと、
前記光分割ステップで分割された前記測定光を測定対象物の測定点に向けて出射する測定光出射ステップと、
前記光分割ステップで分割された前記参照光を反射する反射ステップと、
前記測定点にて反射された前記測定光の第1反射光と、前記反射ステップにて反射された前記参照光の第2反射光との干渉光を分割して出力する干渉光出力ステップと、
前記干渉光出力ステップで出力された前記干渉光を検出する干渉光検出ステップと、
前記干渉光出力ステップで出力された前記干渉光から、前記第1反射光の偏光状態を検出する偏光状態検出ステップと、
を有する測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017240607A JP7004947B2 (ja) | 2017-12-15 | 2017-12-15 | 測定装置及び測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017240607A JP7004947B2 (ja) | 2017-12-15 | 2017-12-15 | 測定装置及び測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019109074A true JP2019109074A (ja) | 2019-07-04 |
JP7004947B2 JP7004947B2 (ja) | 2022-01-21 |
Family
ID=67179411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017240607A Active JP7004947B2 (ja) | 2017-12-15 | 2017-12-15 | 測定装置及び測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7004947B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115014196A (zh) * | 2020-12-25 | 2022-09-06 | 深圳市中图仪器股份有限公司 | 用于实现绝对距离测量的测距系统 |
WO2024070358A1 (ja) * | 2022-09-28 | 2024-04-04 | オムロン株式会社 | 光ファイバケーブル、それに接続されるコントローラ及びそれらを用いた光干渉測距センサ |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012193981A (ja) * | 2011-03-15 | 2012-10-11 | Shinshu Univ | センサおよびその調整方法 |
WO2016027874A1 (ja) * | 2014-08-21 | 2016-02-25 | 公立大学法人大阪市立大学 | 応力可視化装置および力学物性値可視化装置 |
US9348000B1 (en) * | 2012-12-20 | 2016-05-24 | Seagate Technology Llc | Magneto optic kerr effect magnetometer for ultra-high anisotropy magnetic measurements |
JP2016202597A (ja) * | 2015-04-23 | 2016-12-08 | 株式会社トーメーコーポレーション | 偏光情報を利用した光干渉断層計 |
JP2017169863A (ja) * | 2016-03-24 | 2017-09-28 | キヤノン株式会社 | 光干渉断層撮影装置および光干渉断層撮影装置の作動方法 |
-
2017
- 2017-12-15 JP JP2017240607A patent/JP7004947B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012193981A (ja) * | 2011-03-15 | 2012-10-11 | Shinshu Univ | センサおよびその調整方法 |
US9348000B1 (en) * | 2012-12-20 | 2016-05-24 | Seagate Technology Llc | Magneto optic kerr effect magnetometer for ultra-high anisotropy magnetic measurements |
WO2016027874A1 (ja) * | 2014-08-21 | 2016-02-25 | 公立大学法人大阪市立大学 | 応力可視化装置および力学物性値可視化装置 |
JP2016202597A (ja) * | 2015-04-23 | 2016-12-08 | 株式会社トーメーコーポレーション | 偏光情報を利用した光干渉断層計 |
JP2017169863A (ja) * | 2016-03-24 | 2017-09-28 | キヤノン株式会社 | 光干渉断層撮影装置および光干渉断層撮影装置の作動方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115014196A (zh) * | 2020-12-25 | 2022-09-06 | 深圳市中图仪器股份有限公司 | 用于实现绝对距离测量的测距系统 |
CN115014196B (zh) * | 2020-12-25 | 2022-12-23 | 深圳市中图仪器股份有限公司 | 用于实现绝对距离测量的测距系统 |
WO2024070358A1 (ja) * | 2022-09-28 | 2024-04-04 | オムロン株式会社 | 光ファイバケーブル、それに接続されるコントローラ及びそれらを用いた光干渉測距センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7004947B2 (ja) | 2022-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108089193B (zh) | 用于确定到目标对象的距离的距离测量方法和模块 | |
JP3689681B2 (ja) | 測定装置及びそれを有する装置群 | |
JP4455024B2 (ja) | 複屈折測定装置 | |
CN106662531B (zh) | 用于原位测量样本的蚀刻深度的辉光放电光谱方法和系统 | |
JPH07107481B2 (ja) | 変位測定装置 | |
EP1840502B1 (en) | Optical interferometer for measuring changes in thickness | |
US20100067019A1 (en) | Differential-Phase Polarization-Sensitive Optical Coherence Tomography System | |
JP2005257685A (ja) | ターゲットの光学位相測定 | |
KR20150025745A (ko) | 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기 및 이를 이용한 시료의 뮬러-행렬 측정 방법 | |
US11906281B2 (en) | Device and method for measuring thickness and refractive index of multilayer thin film by using angle-resolved spectral reflectometry | |
US11378513B2 (en) | Apparatus and method for determining presence of a gas | |
JP3426552B2 (ja) | 形状計測装置 | |
JP7004947B2 (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
JPH0663867B2 (ja) | 波面状態検出用の干渉装置 | |
KR102007004B1 (ko) | 3차원 형상 측정장치 | |
KR20100041024A (ko) | 2차원 회절 격자를 이용한 6 자유도 측정 장치 | |
JP2017535779A (ja) | 遠隔対象を感知するためのシステム及び方法 | |
US7466426B2 (en) | Phase shifting imaging module and method of imaging | |
TWI579525B (zh) | 運動物件之絕對定位距離與偏擺角度同步量測之光學系統與方法 | |
JP4936477B2 (ja) | 複屈折測定装置及び複屈折測定方法 | |
JP3131242B2 (ja) | 光ビーム入射角の測定方法、測定装置及び該装置を距離測定に使用する方法 | |
KR102339215B1 (ko) | 검사 장치 및 검사 방법 | |
JP2012173218A (ja) | 干渉計及び測定方法 | |
JP3436704B2 (ja) | 複屈折測定方法及びその装置 | |
Watkins | A phase-stepped spectroscopic ellipsometer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201111 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210924 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211001 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211026 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211216 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7004947 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |