JP4936477B2 - 複屈折測定装置及び複屈折測定方法 - Google Patents
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Description
若しくは、
にて、被測定体の複屈折の大きさγと方位角φを決定するものとすることができる。
(a)測定目的とする被測定体若しくは任意の被測定体をテスト被測定体とし、当該テスト被測定体を、少なくとも180°光源の光軸まわりに回転させつつ複屈折の大きさと方位角を測定して複屈折の大きさの変動傾向と当該テスト被測定体の複屈折方位角との関係を求め、この変動傾向の原因となっている複屈折の大きさγ’と方位角φ’を推定して、それを相殺する複屈折を補償複屈折r’とし、
(b)前記テスト被測定体の測定結果に前記補償複屈折r’をベクトル合成して複屈折の大きさの変動傾向と方位角との関係を再び求め、この関係から前記テスト被測定体の複屈折の大きさの標準偏差を求め、
(c)前記複屈折の大きさγ’及び方位角φ’を適宜に変えて、前記テスト被測定体の測定結果に当該変更後の複屈折の大きさγ’及び方位角φ’から求めた補償複屈折r’を再びベクトル合成して複屈折の大きさの変動傾向と方位角との関係を改めて求め、この関係から前記テスト被測定体の複屈折の大きさの標準偏差を求め、
(d)前記(c)の処理を繰り返して前記テスト被測定体の複屈折の大きさの標準偏差が最小となる複屈折の大きさγ’及び方位角φ’を探索し、この探索の結果得られた補償複屈折を最終補償複屈折r”とし、
(e)前記(d)の処理にて得られた最終補償複屈折r”をキャリブレーション値とし、
(f)前記測定目的とする被測定体に対して前記複屈折の大きさγと方位角φを測定し、この測定結果から複屈折rを求め、
(g)前記(f)の処理で得られた複屈折rに対して前記(d)の処理で得られた最終補償複屈折r”をベクトル合成して補償済み複屈折rrealを求める。この補償済み複屈折rrealのベクトル成分が、測定系の公差を排除した被測定体の真の複屈折の大きさγrealと方位角φrealである。
図9に示す表2の2段目に2試料における複屈折位相差の測定結果を、3段目に進相軸方位角の測定結果を、4段目に測定回数をそれぞれ示している。表2の1段目には、試料の厚さ及び加工公差の管理によって、製造元が保証した複屈折位相差を示す。したがって、試料はこの公差内のある複屈折位相差を有するはずである。
試料の進相軸方位角φの測定結果は、測定値φが10°ずつ増加しているか否かで評価した。ゆえに、表2の3段目の測定値は10°に近いほど正確であることを意味する。表2の3段目内1行目に示したように、測定された2試料の進相軸方位角の平均値はいずれも10.1°であった。また、それぞれの測定値の標準偏差は1.23°及び4.31°となった。表2の3段目内3行目の値は先と同様の補正の結果であり、詳細は次に述べる。
図8の装置中で、測定結果のばらつきに支配的な影響を与える因子として、1/4波長板4における複屈折位相差の公差と、ビームスプリッタ6A,6Bが測定値に及ぼす影響とが考えられる。後者については後述し、ここでは1/4波長板4の公差が測定値に与える影響について説明する。
上述の原因により、ある一定の位相差と方位角を有する複屈折が常に測定値へベクトル合成され、図11のように測定値が正弦波様に振動したと考えられる。したがって、この変動を相殺する複屈折(以降、補償複屈折とする)を、測定値にベクトル合成すればよい。そこで、補償複屈折の位相差と方位角を論理的に推定し、実際にベクトル合成を行って標準偏差が最小となる値を探索する。尚、ベクトル合成の方法は、「高和・梅田、『赤外光横ゼーマンレーザーによる速屈折測定』、光学第19巻第7号464〜471ページ、1990年7月」に記載された方法を利用した。
表2の2段目には2試料の複屈折位相差を、3段目には進相軸方位角をそれぞれ示している。表2内の各段における3行目の斜体で記した値がばらつきを軽減する補正を行った結果である。表2の2段目内3行目に示したように、補正後も2試料の複屈折位相差γの平均値は、いずれも公差内の値であった。また、それぞれの標準偏差は、2.61[nm]及び1.11[nm]となり、補正前と比較してそれぞれ19.4%及び57.6%減少した。
Claims (5)
- 被測定体に存在する1/4波長未満の複屈折の大きさ及びその方位角を測定する複屈折測定装置であって、
前記被測定体に向けて特定の偏光状態を有する光束を射出する光源と、
前記光源と前記被測定体との間に設けられ、前記光源から射出された光束を円偏光させる1/4波長板と、
前記被測定体を経た光束に対して、所定の3つの偏光方向の光束それぞれを抽出する光学系と、
前記光学系の抽出した前記所定の3つの偏光方向の光束それぞれの光量を検出する光量検出手段と、
前記光量検出手段により検出された前記被検光束の光量それぞれを所定の関数式に代入することで、前記被測定体の複屈折の大きさ及びその方位角を算出する複屈折量算出手段と、を有する複屈折測定装置であって、
(a)測定目的とする被測定体若しくは任意の被測定体をテスト被測定体とし、当該テスト被測定体を、少なくとも180°光源の光軸まわりに回転させつつ複屈折の大きさと方位角を測定して複屈折の大きさの変動傾向とテスト被測定体の方位角との関係を求め、この変動傾向の原因となっている複屈折の大きさγ'と方位角φ'を推定し、それを相殺する複屈折を補償複屈折r'とし、
(b)前記テスト被測定体の測定結果に前記補償複屈折r'をベクトル合成して複屈折の大きさの変動傾向と方位角との関係を再び求め、この関係から前記テスト被測定体の複屈折の大きさの標準偏差を求め、
(c)前記複屈折の大きさγ'及び方位角φ'を適宜に変えて、前記テスト被測定体の測定結果に当該変更後の複屈折の大きさγ'及び方位角φ'から求めた補償複屈折r'を再びベクトル合成して複屈折の大きさの変動傾向と方位角との関係を改めて求め、この関係から前記テスト被測定体の複屈折の大きさの標準偏差を求め、
(d)前記(c)の処理を繰り返して前記テスト被測定体の複屈折の大きさの標準偏差が最小となる複屈折の大きさγ'及び方位角φ'を探索し、この探索の結果得られた複屈折を最終補償複屈折r"とし、
(e)前記(d)の処理にて得られた最終補償複屈折r"をキャリブレーション値とし、
(f)前記測定目的とする被測定体に対して前記複屈折の大きさγと方位角φを測定し、この測定結果から複屈折rを求め、
(g)前記(f)の処理で得られた複屈折rに対して前記(d)の処理で得られた最終補償複屈折r"をベクトル合成して補償済み複屈折r real を求め、この補償済み複屈折r real のベクトル成分を、測定系の誤差を排除した被測定体の真の複屈折の大きさγ real と方位角φ real として得ることを特徴とする、複屈折測定装置。 - 前記光学系は、前記所定の3つの偏光方向それぞれのみを透過させる3種のアナライザを順次光路上に切り替えて設置することで前記所定の3つの偏光方向の光束それぞれを抽出するものであることを特徴とする請求項1に記載の複屈折測定装置。
- 前記光学系は、前記被測定体を経た光束をその偏光状態を保存した状態で3つの被検光束に分割する光束分割手段と、前記3つの被検光束それぞれに対して所定の偏光方向の光束を同時に抽出する3つのアナライザとを有するものであることを特徴とする請求項1に記載の複屈折測定装置。
- 被測定体に存在する1/4波長未満の複屈折の大きさ及びその方位角を測定する複屈折測定方法であって、
前記被測定体に向けて特定の偏光状態を有する光束を射出し、
前記光源と前記被測定体との間に設けられ、前記光源から射出された光束を円偏光させ、
前記被測定体を経た光束を光学系に通して、所定の3つの偏光方向の光束それぞれを抽出し、
前記光学系の抽出した前記所定の3つの偏光方向の光束それぞれの光量を検出し、
検出した前記所定の3つの偏光方向の光束それぞれの光量を所定の関数式に代入することで、前記被測定体の複屈折の大きさ及びその方位角を算出する、複屈折測定方法であって、
(a)測定目的とする被測定体若しくは任意の被測定体をテスト被測定体とし、当該テスト被測定体を、少なくとも180°光源の光軸まわりに回転させつつ複屈折の大きさと方位角を測定して複屈折の大きさの変動傾向とテスト被測定体の方位角との関係を求め、この変動傾向の原因となっている複屈折の大きさγ'と方位角φ'を推定し、それを相殺する複屈折を補償複屈折r'とし、
(b)前記テスト被測定体の測定結果に前記補償複屈折r'をベクトル合成して複屈折の大きさの変動傾向と方位角との関係を再び求め、この関係から前記テスト被測定体の複屈折の大きさの標準偏差を求め、
(c)前記複屈折の大きさγ'及び方位角φ'を適宜に変えて、前記テスト被測定体の測定結果に当該変更後の複屈折の大きさγ'及び方位角φ'から求めた補償複屈折r'を再びベクトル合成して複屈折の大きさの変動傾向と方位角との関係を改めて求め、この関係から前記テスト被測定体の複屈折の大きさの標準偏差を求め、
(d)前記(c)の処理を繰り返して前記テスト被測定体の複屈折の大きさの標準偏差が最小となる複屈折の大きさγ'及び方位角φ'を探索し、この探索の結果得られた複屈折を最終補償複屈折r"とし、
(e)前記(d)の処理にて得られた最終補償複屈折r"をキャリブレーション値とし、
(f)前記測定目的とする被測定体に対して前記複屈折の大きさγと方位角φを測定し、この測定結果から複屈折rを求め、
(g)前記(f)の処理で得られた複屈折rに対して前記(d)の処理で得られた最終補償複屈折r"をベクトル合成して補償済み複屈折r real を求め、この補償済み複屈折r real のベクトル成分を、測定系の誤差を排除した被測定体の真の複屈折の大きさγ real と方位角φ real として得ることを特徴とする、複屈折測定方法。
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