JP5249739B2 - 観察装置および観察方法 - Google Patents

Description

本発明は、観察対象物の膜および膜の近傍における顆粒の挙動を観察する装置および方法に関するものである。

干渉光学系を用いて対象物を観察または測定する装置として、特許文献１に開示されたものが知られている。この文献に開示された装置は、対象物からの反射光とミラーからの反射光とによる干渉縞の振幅ピークが両反射光の光路長差に依存することを利用して、干渉縞の振幅ピークに基づいて対象物を観察または測定する。
特開平９−２１８０１６号公報

しかしながら、特許文献１に開示された装置は、細胞等の対象物の詳細な情報（例えば、細胞膜付近における顆粒の挙動に関する情報）を得ることができない。本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、細胞等の対象物の詳細な情報を得ることができる観察装置および観察方法を提供することを目的とする。

本発明に係る観察装置は、観察対象物の膜および膜の近傍における顆粒の挙動を観察する装置であって、(1) 光を出力する光源と、(2) 該光源から出力された光を２分岐して第１分岐光および第２分岐光として出力し、第１分岐光がミラーにより反射されて生じる第１反射光を入力するとともに、第２分岐光が観察対象物の表面または内部で反射されて生じる第２反射光を入力して、これら第１反射光と第２反射光とを干渉させて当該干渉光を出力する干渉光学系と、(3)干渉光学系から出力される干渉光を結像する結像光学系と、(4) 結像光学系により結像された干渉光像を撮像する撮像部と、(5) 光源から観察対象物の基準位置を経て撮像部に到るまでの光路長と、光源からミラーを経て撮像部に到るまでの光路長との、光路長差を調整する光路長差調整手段と、(6)光路長差が目標値になるように光路長差調整手段による光路長差調整動作を制御する制御部と、を備える。

本発明に係る観察装置は、撮像部により撮像された干渉光像に基づいて、観察対象物の表面または内部で生じた第２反射光の強度成分および位相成分それぞれの像を求め、位相成分の像に基づいて観察対象物の膜で第２分岐光が反射されて生じた第２反射光による干渉光像が得られた観察範囲を特定し、強度成分の像のうち少なくとも観察範囲内の像を時系列に画像表示して、この画像に基づいて観察対象物の膜および膜の近傍における顆粒の挙動を観察することを特徴とする。

本発明に係る観察方法は、観察対象物の膜および膜の近傍における顆粒の挙動を観察する方法であって、上記のような光源，干渉光学系，結像光学系，撮像部，光路長差調整手段および制御部を用い、撮像部により撮像された干渉光像に基づいて、観察対象物の表面または内部で生じた第２反射光の強度成分および位相成分それぞれの像を求め、位相成分の像に基づいて観察対象物の膜で第２分岐光が反射されて生じた第２反射光による干渉光像が得られた観察範囲を特定し、強度成分の像のうち少なくとも観察範囲内の像を時系列に画像表示して、この画像に基づいて観察対象物の膜および膜の近傍における顆粒の挙動を観察することを特徴とする。

本発明に係る観察装置または本発明に係る観察方法では、強度成分の像のうち観察範囲内の像とともに位相成分の像のうち観察範囲内の像をも時系列に画像表示させて、これらの画像に基づいて観察対象物の膜および膜の近傍における顆粒の挙動を観察するのが好適である。

本発明に係る観察装置または本発明に係る観察方法では、制御部が、撮像部により撮像された干渉光像において観察範囲が所定範囲内に納まるように、光路長差調整手段による光路長差調整動作を制御するのが好適である。

本発明に係る観察装置は、光路長差を検出する光路長差検出手段を更に備え、光路長差検出手段による検出結果に基づいて光路長差調整手段が光路長差を調整するのが好適である。本発明に係る観察方法は、光路長差を検出する光路長差検出手段を更に用い、光路長差検出手段による検出結果に基づいて光路長差調整手段により光路長差を調整するのが好適である。

本発明に係る観察装置または本発明に係る観察方法では、(a) 光路長差調整手段が、観察対象物およびミラーのうち一方の第１対象物を移動させる第１移動手段と、観察対象物およびミラーのうち他方の第２対象物を移動させる第２移動手段とを含み、第１移動手段または第２移動手段による移動動作により光路長差を調整し、(b) 第１移動手段が、第２移動手段の作動範囲より狭い作動範囲を有するとともに、第２移動手段の位置精度より高い位置精度を有し、(c) 第２移動手段が、干渉光学系と第２対象物との間の光学系を維持したまま第２対象物を移動させ、(d)制御部が、光路長差の各目標値において第１移動手段による移動量が作動範囲内の所定範囲内となるように第２移動手段による移動動作を連続的または断続的に行わせ、第２移動手段による移動動作の際にも光路長差が各目標値になるように第１移動手段による移動動作をフィードバック制御するのが好適である。

本発明に係る観察装置または本発明に係る観察方法では、位相シフト法により光路長差調整手段により光路長差が各目標値に順次に設定されて撮像部により撮像された干渉光像に基づいて、観察対象物の表面または内部で生じた第２反射光の強度成分および位相成分それぞれの像を求めるのが好適である。

なお、撮像部により撮像された干渉光像の強度成分および位相成分を求める方法としては、位相シフト法に限らず種々の干渉縞解析方法を適用することが可能であり、例えば、空間的縞走査法，フーリエ変換法，ヒルベルト変換法が適用されてもよい。

本発明に係る観察装置または本発明に係る観察方法では、観察対象物の膜が細胞膜であるのが好適である。

本発明によれば、細胞等の対象物の詳細な情報（例えば、細胞膜付近における顆粒の挙動に関する情報）を得ることができる。

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

図１は、本実施形態に係る観察装置１の構成図である。この図に示される観察装置１は、観察対象物９の表面または内部を観察するものであって、光源１１，１２、レンズ２１〜２５、アパーチャ３１、光合波器４１、光分波器４２、ハーフミラー４３、撮像部５１、解析部５２、表示部５３、受光部６１、変位検出部６２、ピエゾアクチュエータ７１、駆動部７２、ミラー７３、ステージ８１、駆動部８２および制御部９０を備える。

光源１１は、コヒーレント長が比較的短い光λ_１を出力するものであり、例えば、波長帯域６００ｎｍ〜９００ｎｍの広帯域光を出力することができるタングステンランプやハロゲンランプである。また、光源１１は、波長フィルタリングして所定波長範囲の光を出力するようにしてもよい。光源１１から出力される光λ_１のコヒーレンス長は５μｍ以下であるのが好ましい。特に観察対象物９が細胞であって、その細胞の膜を観察する場合には、光源１１から出力される光λ_１のコヒーレンス長は、その細胞の厚みと比べて充分に短いことが好ましく、例えば細胞の厚みの３分の１より短いことが好ましい。

一方、光源１２は、コヒーレント長が比較的長い光λ_２を出力するものであり、例えば波長１.３１μｍのレーザ光を出力する半導体レーザ光源である。光合波器４１は、光源１１から出力されてレンズ２１およびアパーチャ３１を経て到達した光λ_１を反射させるとともに、光源１２から出力されて到達した光λ_２を透過させて、これらの光を合波してレンズ２２へ出力する。

ハーフミラー４３は、光合波器４１により合波されてレンズ２２を経て到達した光λ_１，λ_２を２分岐して第１分岐光および第２分岐光とし、第１分岐光をレンズ２３へ出力し、第２分岐光をレンズ２４へ出力する。また、ハーフミラー４３は、第１分岐光がレンズ２３を経てミラー７３により反射されて生じる第１反射光を再びレンズ２３を経て入力するとともに、第２分岐光がレンズ２４を経て観察対象物９の表面または内部で反射されて生じる第２反射光を再びレンズ２４を経て入力して、これら第１反射光と第２反射光とを干渉させて当該干渉光をレンズ２５へ出力する。すなわち、ハーフミラー４３は、干渉光学系を構成する要素である。また、観察対象物９に対向するレンズ２４は、焦点深度が短いことが好ましく、例えば１μｍ未満であることが好ましい。

光分波器４２は、ハーフミラー４３から出力されてレンズ２５を経た光を入力し、そのうち光λ_１を反射させて撮像部５１へ出力し、光λ_２を透過させて受光部６１へ出力する。レンズ２３〜２５は、ハーフミラー４３から出力されて光分波器４２により分波された干渉光λ_１を撮像部５１の撮像面上に結像する結像光学系を構成する要素である。撮像部５１は、その結像された干渉光λ_１の像を撮像するものであり、例えばＣＣＤカメラである。受光部６１は、ハーフミラー４３から出力されて光分波器４２により分波された光λ_２の強度を検出するものであり、例えばフォトダイオードである。

ここで、ハーフミラー４３からミラー７３により反射されて再びハーフミラー４３に到るまでの光路長と、ハーフミラー４３から観察対象物９の基準位置により反射されて再びハーフミラー４３に到るまでの光路長との光路長差をΔＬとする。なお、観察対象物９の基準位置は、観察対象物９の最も高い位置（レンズ２４に最も近い位置）であってもよいし、観察対象物９を載せる台であってもよし、これらの中間の位置であってもよし、また、その他の位置であってもよい。

前述したように、光源１２から出力され受光部６１に到達する光λ_２のコヒーレント長は比較的長いので、図２（ａ）に示されるように、受光部５１に到達する光λ_２の強度は、比較的広い光路長差ΔＬの範囲において周期的に変化する。これに対して、光源１１から出力され撮像部５１に到達する光λ_１のコヒーレント長は比較的短いので、図２（ｂ）に示されるように、撮像部６１に到達する光λ_１の強度は、比較的狭い光路長差ΔＬの範囲において周期的に変化し、しかも、光路長差ΔＬが値０に近いほど干渉の振幅が大きい。

このことを利用して、解析部５２は、光路長差が複数の目標値それぞれに設定されたときに撮像部５１により撮像された光λ_１の干渉光像を取得する。この干渉光像は、ハーフミラー４３からミラー７３までの光路長と、ハーフミラー４３から観察対象物９の或るスライス面までの光路長とが互いに略等しいときに、ミラー７３で生じた第１反射光と該スライス面（および、該スライス面を中心とする光λ_１のコヒーレンス長程度の範囲）で生じた第２反射光との干渉による像である。さらに、解析部５２は、取得した干渉光像に基づいて所定の解析を行う。表示部５３は、解析部５２による解析の結果を画像表示する。解析部５２による解析および表示部５３による画像表示については後述する。

観察対象物９は、好適には例えば図３に示されるように、略平坦な基板９１の主面に形成された薄膜９２の上に置かれた半透明の細胞９３である。薄膜９２は、光λ_２を高い反射率で反射させることで、後述するフィードバック制御の際の基準面として好適に用いられる。観察対象物９としての細胞９３の断面としてスライス面Ｓが設定される。このスライス面Ｓは、レンズ２４の光軸に垂直な面であり、また、その光軸方向に関して位置が可変である。

変位検出部６２は、受光部６１により検出された光λ_２の強度の変化から、光路長差（または、或る基準値に対する相対的な光路長差の変化量）を求める。すなわち、光源１２、受光部６１および変位検出部６２は、光路長差を検出する光路長差検出手段を構成する要素である。なお、ピエゾアクチュエータ７１によりミラー７３に微小振動を与えて、或る光路長差を中心にして変調を与えることで、より正確に光路長差を検出することができる。

ピエゾアクチュエータ７１，駆動部７２，ステージ８１および駆動部８２は、光路長差を調整する光路長差調整手段を構成する要素である。ピエゾアクチュエータ７１は、駆動部７２により駆動されて、ハーフミラー４３とミラー７３との間の光学系の光軸に平行な方向に、ミラー７３を移動させる。このとき、レンズ２３を移動させることなく、ハーフミラー４３とミラー７３との間の光学系を維持したままとする。レンズ２３のフォーカス面は、焦点深度（例えば０.５μｍ）の精度でミラー７３の反射面に一致している。

ステージ８１は、駆動部８２により駆動されて、ハーフミラー４３と観察対象物９との間の光学系の光軸に平行な方向に観察対象物９を移動させる。このとき、レンズ２４を移動させることなく、ハーフミラー４３と観察対象物９との間の光学系を維持したままとする。すなわち、ハーフミラー４３から測った観察対象物９側のフォーカス面までの距離を維持したままとする。

ピエゾアクチュエータ７１（第１移動手段）の作動範囲は、ステージ８１（第２移動手段）の作動範囲より狭い。また、ピエゾアクチュエータ７１の位置精度は、ステージ８１の位置精度より高い。なお、ステージ８１を移動させるための駆動部８２としては、例えば長距離移動型のピエゾアクチュエータや、ステッピングモータによる回転機構を用いることが可能である。

制御部９０は、変位検出部６２による光路長差検出結果に基づいて、光路長差が複数の目標値に順次になるように、駆動部７２，８２を介してピエゾアクチュエータ７１およびステージ８１による光路長差調整動作を制御する。特に、制御部９０は、複数の目標値それぞれにおいて、ピエゾアクチュエータ７１による移動量が作動範囲内の所定範囲内となるように、ステージ８１による移動動作を連続的または断続的に行わせる。また、制御部９０は、ステージ８１による移動動作の際にも、変位検出部６２による光路長差検出結果に基づいて、光路長差が各目標値になるようにピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する。

図４は、ピエゾアクチュエータ７１およびステージ８１による光路長差調整動作について説明する図である。この図には、ハーフミラー４３とミラー７３との間の光学系が示され、ハーフミラー４３と観察対象物９との間の光学系が示され、また、光路長差を調整するピエゾアクチュエータ７１およびステージ８１が示されている。ここで、ハーフミラー４３とレンズ２３との間の間隔をｘ_１とし、レンズ２３とミラー７３との間の間隔をｘ_２とする。また、ハーフミラー４３とレンズ２４との間の間隔をｙ_１とし、レンズ２４と観察対象物９との間の間隔をｙ_２とする。なお、観察対象物９が図３に示される構成である場合には、ｙ_２はレンズ２４から観察対象物９の或るスライス面までの間隔とする。間隔ｘ_２は、ピエゾアクチュエータ７１による移動動作により調整される。間隔ｙ_２は、ステージ８１による移動動作により調整される。ピエゾアクチュエータ７１またはステージ８１により、間隔（ｘ_１＋ｘ_２）又は間隔（ｙ_１＋ｙ_２）を変更することで、光路長差ΔＬを調整することができる。

仮に、ステージ８１による移動動作により間隔ｙ_２のみを調整する場合、ステージ８１の作動範囲が比較的広いことから、広いダイナミックレンジで光路長差を調整することができる。しかし、この場合、ステージ８１の位置精度が比較的低いことから、高精度で光路長差を調整することができず、したがって、高精度に観察対象物９の形状等を測定することができない。

一方、仮に、ピエゾアクチュエータ７１による移動動作により間隔ｘ_２のみを調整する場合、ピエゾアクチュエータ７１の位置精度が比較的高いことから、高精度で光路長差を調整することができる。しかし、この場合、ピエゾアクチュエータ７１の作動範囲が比較的狭いことから、広いダイナミックレンジで光路長差を調整することができず、したがって、広いダイナミックレンジで観察対象物９の形状等を測定することができない。

また、仮に、ピエゾアクチュエータ７１の作動範囲内であっても広い範囲に亘って移動動作を行わせると、レンズ２３の焦点距離と間隔ｘ_２との差が大きくなる場合があり、その場合には、結像光学系による干渉光の結像面と撮像部５１の撮像面とが互いに大きくずれてしまい、撮像部５１により撮像される干渉光像が不鮮明となって、観察対象物９の形状等の測定を高精度に行うことができない。

そこで、本実施形態では、高精度かつ広ダイナミックレンジで観察対象物の表面または内部を測定する為に、制御部９０は、複数の目標値それぞれにおいて、ピエゾアクチュエータ７１による移動量が作動範囲内の所定範囲内となるように、ステージ８１による移動動作を連続的または断続的に行わせる。また、制御部９０は、ステージ８１による移動動作の際にも、変位検出部６２による光路長差検出結果に基づいて、光路長差が各目標値になるようにピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する、以下では、ピエゾアクチュエータ７１およびステージ８１それぞれの好適な２つの動作態様について説明する。

図５は、本実施形態に係る観察装置１の第１動作態様を説明するフローチャートである。また、図６は、この第１動作態様における間隔ｘ_２，間隔ｙ_２および光路長差｛(ｙ_１＋ｙ_２)−(ｘ_１＋ｘ_２)｝それぞれの時間的変化を示す図である。この第１動作態様では、制御部９０は、駆動部８２を介して、ステージ８１による移動動作を連続的に行わせる。

初めに、ステップＳ１１では、制御部９０は、駆動部８２を介してステージ８１による移動動作を開始させる。光路長差を或る目標値から次の目標値に一定時間間隔Δｔで移行させるとし、その移行の際の間隔ｙ_２の変化量をΔｙとしたときに、ステージ８１の移動速度は「Δｙ／Δｔ」に設定される。これにより、レンズ２４と観察対象物９との間の間隔ｙ_２は、時間の経過とともに略リニアに変化していく。しかし、ステージ８１の位置精度が比較的低いことから、間隔ｙ_２の時間的変動は比較的大きい。

そこで、ステップＳ１２では、制御部９０は、光路長差が該目標値になるように、駆動部７２を介してピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する。このとき、ピエゾアクチュエータ７１により間隔ｘ_２が調整されて、光路長差｛(ｙ_１＋ｙ_２)−(ｘ_１＋ｘ_２)｝が高精度に設定される。

ステップＳ１３では、制御部９０は、光路長差が或る目標値に設定されてから一定時間Δｔが経過したか否かを判断し、一定時間Δｔが経過したら次のステップＳ１４の処理に進む。ステップＳ１４では、制御部９０は、次の目標値が有るか否かを判断し、次の目標値が有れば次のステップＳ１５の処理に進み、次の目標値が無ければステップＳ１８の処理に進む。

ステップＳ１５では、制御部９０は、光路長差が次の目標値に移行される前に、その移行後の目標値においてピエゾアクチュエータ７１による移動量ｘ_２が所定範囲から外れるか否かを判断する。そして、制御部９０は、その移動量ｘ_２が所定範囲から外れると判断した場合にはステップＳ１６を経てステップＳ１７の処理に進み、また、その移動量ｘ_２が所定範囲内にあると判断した場合には直ちにステップＳ１７の処理に進む。ステップＳ１６では、制御部９０は、次の目標値に移行した後にピエゾアクチュエータ７１による移動量ｘ_２が所定範囲内に入るようにステージ８１による移動動作の速さを調整する。

ステップＳ１７では、制御部９０は、光路長差を次の目標値に設定し、駆動部７２を介してピエゾアクチュエータ７１をΔｘだけステップ的に移動させる。その後、ステップＳ１２の処理に戻って、制御部９０は、光路長差が新たな目標値になるように、駆動部７２を介してピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する。ステップＳ１８では、制御部９０は、駆動部８２を介してステージ８１による移動動作を終了させる。

このように第１動作態様では、制御部９０は、ステージ８１による移動動作を連続的に行わせ、光路長差が或る目標値から次の目標値に移行される際に、ピエゾアクチュエータ７１による移動動作をステップ的に行わせ、また、光路長差が或る目標値に設定されている期間には、光路長差が該目標値になるようにピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する。このように制御部９０がピエゾアクチュエータ７１およびステージ８１それぞれの移動動作を制御することにより、ステージ８１の移動動作の広いダイナミックレンジと、ピエゾアクチュエータ７１の移動動作の高い位置精度とを、共に活かすことができて、高精度かつ広ダイナミックレンジで観察対象物９の表面形状等を測定することができる。

また、第１動作態様では、制御部９０は、光路長差が或る目標値から次の目標値に移行される前に、その移行後の目標値においてピエゾアクチュエータ７１による移動量が所定範囲から外れる場合に、該移動量が該所定範囲内に入るようにステージ８１による移動動作の速さを調整する（ステップＳ１５，Ｓ１６）。このように制御部９０がステージ８１の移動速度を調整することにより、ステージ８１の移動速度や目標値変更の時間間隔Δｔの精度が不充分である場合であっても、ピエゾアクチュエータ７１による移動量を所定範囲内に維持することができるので、観察対象物９の表面形状等の高精度測定を維持することができる。なお、光路長差の目標値の個数をＮとしたときに、Ｎ・Δｔの時間内にステージ８１を速度「Δｙ／Δｔ」で等速移動させたときの移動距離が充分な精度（例えば誤差が±１μｍ以下）であれば、ステップＳ１５，１６は不要であり、ステップＳ１４の後に直ちにステップＳ１７の処理に進めばよい。

図７は、本実施形態に係る観察装置１の第２動作態様を説明するフローチャートである。また、図８は、この第２動作態様における間隔ｘ_２，間隔ｙ_２および光路長差｛(ｙ_１＋ｙ_２)−(ｘ_１＋ｘ_２)｝それぞれの時間的変化を示す図である。この第２動作態様では、制御部９０は、駆動部８２を介して、ステージ８１による移動動作を断続的に行わせる。

ステップＳ２１では、制御部９０は、光路長差が目標値になるように、駆動部７２を介してピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する。このとき、ステージ８１は移動していないが、ステージ８１の位置精度が比較的低いことから、間隔ｙ_２の時間的変動は比較的大きい。しかし、ピエゾアクチュエータ７１により間隔ｘ_２が調整されて、光路長差｛(ｙ_１＋ｙ_２)−(ｘ_１＋ｘ_２)｝が高精度に設定される。

ステップＳ２２では、制御部９０は、光路長差が或る目標値に設定されてから一定時間Δｔが経過したか否かを判断し、一定時間Δｔが経過したら次のステップＳ２３の処理に進む。ステップＳ２３では、制御部９０は、次の目標値が有るか否かを判断し、次の目標値が有れば次のステップＳ２４の処理に進み、次の目標値が無ければ終了する。

ステップＳ２４では、制御部９０は、光路長差が次の目標値に移行される前に、その移行後の目標値においてピエゾアクチュエータ７１による移動量ｘ_２が所定範囲から外れるか否かを判断する。そして、制御部９０は、その移動量ｘ_２が所定範囲から外れると判断した場合にはステップＳ２５を経てステップＳ２６の処理に進み、また、その移動量ｘ_２が所定範囲内にあると判断した場合には直ちにステップＳ２６の処理に進む。

ステップＳ２５では、制御部９０は、次の目標値に移行した後にピエゾアクチュエータ７１による移動量ｘ_２が所定範囲内に入るようにステージ８１を移動させた後に停止させ、また、そのステージ８１が移動している期間にも、そのときの光路長差が各目標値になるようにピエゾアクチュエータ７１による移動動作を制御する。なお、このときのステージ８１の移動に際しては、次の目標値においてピエゾアクチュエータ７１による移動量ｘ_２が所定範囲の上限を超える場合には、ピエゾアクチュエータ７１による移動量ｘ_２が所定範囲の下限の近くになるようにする。逆に、次の目標値においてピエゾアクチュエータ７１による移動量ｘ_２が所定範囲の下限を超える場合には、ピエゾアクチュエータ７１による移動量ｘ_２が所定範囲の上限の近くになるようにする。

ステップＳ２６では、制御部９０は、光路長差を次の目標値に設定し、駆動部７２を介してピエゾアクチュエータ７１をΔｘだけステップ的に移動させる。その後、ステップＳ２１の処理に戻って、制御部９０は、光路長差が新たな目標値になるように、駆動部７２を介してピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する。

このように第２動作態様では、制御部９０は、光路長差が各目標値になるようにピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する。このように制御部９０がピエゾアクチュエータ７１およびステージ８１それぞれの移動動作を制御することにより、ステージ８１の移動動作の広いダイナミックレンジと、ピエゾアクチュエータ７１の移動動作の高い位置精度とを、共に活かすことができて、高精度かつ広ダイナミックレンジで観察対象物９の表面形状等を測定することができる。なお、ステージ８１の位置精度が悪い場合には、第１動作態様より第２動作態様の方が有効である。

次に、本実施形態に係る観察装置１および本実施形態に係る観察方法における観察対象物９の観察（特に解析部５２による解析および表示部５３による画像表示）について更に詳細に説明する。

観察対象物９の表面または内部で反射されて撮像部５１の撮像面に到達する第２反射光Ｅ(x,y)は、振幅成分Ｒ(x,y)および位相成分φ(x,y)を含んでいて、下記（１）式で表される。撮像部５１により撮像される干渉像は、光λ_１のコヒーレンス長の程度で第１反射光および第２反射光それぞれの光路長が一致するような該第２反射光が生じる観察対象物９のスライス面（および、該スライス面を中心とする光λ_１のコヒーレンス長程度の範囲）の情報を反映したものである。なお、ｘ，ｙは、該スライス面における直交２軸の座標値を表す。

第２反射光Ｅ(x,y)の振幅成分Ｒ(x,y)は、該スライス面における光λ_１の反射率、すなわち、反射体の有無の情報を表す。また、第２反射光Ｅ(x,y)の位相成分φ(x,y)は、該スライス面における反射体のｚ方向（光軸に平行な方向）の位置の情報を表す。例えば、観察対象物９の該スライス面に存在する反射体（例えば、細胞膜、核小体の膜、リソソームの膜、等）がｚ方向にΔｚだけ移動した場合、撮像部５１の撮像面に到達する第２反射光Ｅ(x,y)の位相成分φ(x,y)は ４πｎ_１Δｚ／λ_１ だけ変化する。ここで、ｎ_１は観察対象物９の屈折率である。すなわち、位相成分φ(x,y)の変化量は、スライス面における反射体のｚ方向の位置変化量を表す。

このような第２反射光Ｅ(x,y)の振幅成分Ｒ(x,y)および位相成分φ(x,y)は好適には位相シフト法により求められる。位相シフト法では、制御部９０および駆動部７２による制御によりピエゾアクチュエータ７１が駆動されて光路長差ΔＬがλ_１／４ずつシフトされ、順に撮像部５１により４枚の干渉光像Ｉ_１(x,y)，Ｉ_２(x,y)，Ｉ_３(x,y)，Ｉ_４(x,y)が撮像される。ここで、λ_１は、光源１１から出力される低コヒーレント光の中心波長である。これら４枚の干渉光像から、下記（２）式に従って、干渉光像の正弦成分Ｘ(x,y)および余弦成分Ｙ(x,y)が得られる。

そして、これら干渉光像の正弦成分Ｘ(x,y)および余弦成分Ｙ(x,y)から、下記（３）式に従って、第２反射光Ｅ(x,y)の振幅成分Ｒ(x,y)，強度成分Ａ(x,y)および位相成分φ(x,y)が得られる。強度成分Ａ(x,y)は振幅成分Ｒ(x,y)の２乗の値を有するので、両者は実質的には互いに同種の情報を表す。なお、正弦成分Ｘ(x,y)および余弦成分Ｙ(x,y)は、第２反射光Ｅ(x,y)の振幅成分Ｒ(x,y)および位相成分φ(x,y)を用いて、下記（４）式のように表される。また、干渉光像の複素振幅Ｃ(x,y)は、下記（５）式または（６）式で表される。解析部５２は、このような振幅成分Ｒ(x,y)，強度成分Ａ(x,y)および位相成分φ(x,y)を求める。

位相シフト法には様々な改良アルゴリズムが存在するが、何れのアルゴリズムが用いられてもよい。例えば、Schwider-Hariharan Algorithm として知られるアルゴリズムに従って、５枚の干渉光像Ｉ_１(x,y)〜Ｉ_５(x,y)に基づいて、下記（７）式に従って、干渉光像の正弦成分Ｘ(x,y)および余弦成分Ｙ(x,y)が求められてもよく、さらに、これらから、第２反射光Ｅ(x,y)の振幅成分Ｒ(x,y)，強度成分Ａ(x,y)および位相成分φ(x,y) が求められてもよい。

また、７枚の干渉光像Ｉ_１(x,y)〜Ｉ_７(x,y)に基づいて、下記（８）式に従って、干渉光像の正弦成分Ｘ(x,y)および余弦成分Ｙ(x,y)が求められてもよく、さらに、これらから、第２反射光Ｅ(x,y)の振幅成分Ｒ(x,y)，強度成分Ａ(x,y)および位相成分φ(x,y) が求められてもよい。

本実施形態では任意の位相シフト法のアルゴリズムが用いられ得る。ただし、上記（２）式に従う位相シフト法の基本アルゴリズムと比べると、上記（７）式または（８）式に従う位相シフト法の改良アルゴリズムは、位相シフト量の誤差に対してロバストである等の利点があり、本実施形態のように光λ_１のコヒーレンス長が比較的短い場合に好適に用いられる。

図９は、本実施形態に係る観察装置１を用いて複数組の正弦成分Ｘ(x,y)および余弦成分Ｙ(x,y)を時系列で取得する場合の位相シフト量の時間的変化の様子を示す図である。ここでは、４枚の干渉光像Ｉ_１(x,y)〜Ｉ_４(x,y)から上記（２）式に従って第２反射光Ｅ(x,y)の振幅成分Ｒ(x,y)および位相成分φ(x,y) を求める場合について説明する。この図に示されるように、制御部９０および駆動部７２による制御によりピエゾアクチュエータ７１が駆動されて光路長差ΔＬが一定時間毎にλ_１／４ずつシフトされて、位相シフト量が０と３λ_１／４との間で増減が繰り返される。これにより、順次に干渉光学像Ｉ_１，Ｉ_２，Ｉ_３，Ｉ_４，Ｉ_３，Ｉ_２，Ｉ_１，Ｉ_２，Ｉ_３，Ｉ_４，…が得られる。そして、第１の干渉光学像Ｉ_１から第４の干渉光学像Ｉ_４までが用いられて、１番目のＸ_１，Ｙ_１，Ｒ_１およびφ_１が得られる。また、第４の干渉光学像Ｉ_４から第７の干渉光学像Ｉ_１までが用いられて、２番目のＸ_２，Ｙ_２，Ｒ_２およびφ_２が得られる。さらに、第７の干渉光学像Ｉ_１から第１０の干渉光学像Ｉ_４までが用いられて、３番目のＸ_３，Ｙ_３，Ｒ_３およびφ_３が得られる。

このようにして、干渉光像の正弦成分Ｘ_ｎおよび余弦成分Ｙ_ｎ ならびに 第２反射光の振幅成分Ｒ_ｎおよび位相成分φ_ｎが一定時間間隔で順次に得られる。また、強度成分Ａ_ｎも一定時間間隔で順次に得られる。以降では、これらは、正弦成分Ｘ(x,y,n)、余弦成分Ｙ(x,y,n)、振幅成分Ｒ(x,y,n)，強度成分Ａ(x,y,n)および位相成分φ(x,y,n) と表記される場合がある。ここで、各成分の表記におけるｎは、その成分がｎ番目に得られたものであることを示すものであり、時間変数に相当するものである。

前述したとおり、位相成分φ(x,y,n)は、ハーフミラー４３からミラー７３までの光路長と、ハーフミラー４３から観察対象物９の或るスライス面までの光路長とが互いに略等しいときに、該スライス面における反射体のｚ方向（光軸に平行な方向）の位置の情報を表す。また、位相成分φ(x,y,n)の変化量は、該スライス面における反射体のｚ方向の位置変化量を表す。そこで、解析部５２により、一定時間間隔で複数枚の位相成分φ(x,y,n)が得られると、これらが表示部５３により時系列に画像表示（動画表示）されることで、観察対象物９のスライス面における反射体のｚ方向の位置変化の様子が観察され得る。

観察対象物９のスライス面における反射体のｚ方向の位置変化の様子の観察は、一定時間間隔で取得された複数枚の位相成分φ(x,y,n)に基づいて以下のような数理処理手法によることが可能である。各位置(x,y)について、通常は２πの幅の範囲でしか値を有しない位相成分φ(x,y,n)は、このままでは定量的な評価には不適当であるので、図１０に示されるように、時系列に見たときに位相が不連続になっている箇所を繋ぎ合わせる処理（すなわち、位相アンラッピング）が行われる。

位相アンラッピング前の位相成分を小文字でφ(x,y,n)と表し、位相アンラッピング後の位相成分を大文字でΦ(x,y,n)と表すことにする。図１０（ａ）は、位相アンラッピング前の位相成分φ(x,y,n)の時間変化の様子を示す。同図（ｂ）は、位相アンラッピング後の位相成分Φ(x,y,n)の時間変化の様子を示す。以下では、一定時間間隔で順にＮ枚の位相アンラッピング後の位相成分Φ(x,y,1)〜Φ(x,y,N)が得られたとする。

また、位相成分φ(x,y,1)〜φ(x,y,N)（または、位相アンラッピング後の位相成分Φ(x,y,1)〜Φ(x,y,N)）に対応して、振幅成分Ｒ(x,y,1)〜Ｒ(x,y,N) または 強度成分Ａ(x,y,1)〜Ａ(x,y,N) が時系列に得られる。前述したとおり、振幅成分Ｒ(x,y,n)および強度成分Ａ(x,y,n)は、ハーフミラー４３からミラー７３までの光路長と、ハーフミラー４３から観察対象物９の或るスライス面までの光路長とが互いに略等しいときに、該スライス面における光λ_１の反射率、すなわち、反射体の有無の情報を表す。なお、振幅成分Ｒ(x,y,n)と強度成分Ａ(x,y,n)とは実質的には互いに同種の情報を表すので、以下では強度成分Ａ(x,y,n)を用いて説明することにする。

本実施形態では、解析部５２は、位相シフト法により光路長差調整手段（ピエゾアクチュエータ７１，駆動部７２，ステージ８１および駆動部８２）により光路長差が各目標値に順次に設定されて撮像部５１により撮像された干渉光像に基づいて、観察対象物９の表面または内部で生じた第２反射光の強度成分Ａ(x,y,n)および位相成分φ(x,y,n)それぞれの像を求める。

そして、解析部５２は、位相成分φ(x,y,n)の像に基づいて観察対象物９の膜で第２分岐光が反射されて生じた第２反射光による干渉光像が得られた観察範囲を特定し、強度成分Ａ(x,y,n)の像のうち少なくとも観察範囲内の像を時系列に表示部５３により画像表示させる。また、解析部５２は、強度成分Ａ(x,y,n)の像のうち観察範囲内の像とともに、位相成分φ(x,y,n)またはΦ(x,y,n)の像のうち観察範囲内の像をも、時系列に表示部５３により画像表示させるのが好適である。

表示部５３により強度成分Ａ(x,y,n)の像を表示するに際しては、各画素の強度値に応じてグレイスケールまたは擬似カラー等により表示する。同様に、表示部５３により位相成分φ(x,y,n)またはΦ(x,y,n)の像を表示するに際しては、各画素の位相値に応じてグレイスケールまたは擬似カラー等により表示する。また、位相成分を色相に反映させ、強度成分を彩度または明度に反映させて、ＨＳＶ色空間で画像を表示するのも好適である。

観察範囲の特定に際しては、位相アンラッピング前の位相成分φ(x,y,n)の像の中で、縞模様状に表示される範囲が選ばれる。または、位相アンラッピング後の位相成分Φ(x,y,n)の像の中で、空間的位相変化率が基準値より小さい範囲が選ばれる。このようにして特定される観察範囲は、観察対象物９の膜の近傍で第２分岐光が反射されて生じた第２反射光による干渉光像が得られた範囲を表す。

観察範囲の特定に用いられる位相成分φ(x,y,n)またはΦ(x,y,n)の像は、観察範囲特定後に時系列に表示部５３により画像表示される位相成分の像の何れかであってもよいし、これらとは別に得られた位相成分φ(x,y)またはΦ(x,y)の像（ただし、観察対象物９における同一スライス面の位相成分像）であってもよい。

図１１〜図１５は、本実施形態に係る観察装置１により得られた画像例等を示す。観察対象物９としてＨｅＬａ細胞が用いられた。図１１は、位相アンラッピング前の位相成分φ(x,y)の画像を示す図である。図１２は、位相アンラッピング後の位相成分Φ(x,y)の画像を示す図である。図１３は、強度成分Ａ(x,y)の画像を示す図である。図１４は、位相成分または強度成分の画像における膜の範囲を説明する図である。図１５は、観察対象物９におけるスライス面Ｓを説明する図である。なお、位相アンラッピング前の位相成分φ(x,y)の画像（図１１）、および、位相アンラッピング後の位相成分Φ(x,y)の画像（図１２）は、各画素の位相値をグレイスケールで表しているが、位相変化に対する諧調値変化の大きさが相違している。また、強度成分Ａ(x,y)の画像（図１３）は、各画素の強度値をグレイスケールで表しており、強度値が大きい画素ほど濃度を大きく示している。

図１４において、位相成分または強度成分の画像における観察範囲がハッチングで示されている。このハッチングで示された観察範囲は、位相アンラッピング前の位相成分φ(x,y)の画像（図１１）において縞模様状に表示される範囲であり、位相アンラッピング後の位相成分Φ(x,y)の画像（図１２）において空間的位相変化率が基準値より小さい範囲である。また、強度成分Ａ(x,y)の画像（図１３）中の観察範囲においては強度のコントラストが大きい。

これらの画像から、図１５に示されるように、観察対象物９において最も高い地点（レンズ２４に最も近い地点）より幾らか低いところ（レンズ２４から幾らか遠ざかったところ）にスライス面Ｓが設定されていて、観察対象物９である細胞の膜のうちスライス面Ｓ近傍の範囲が観察範囲となっていることが判る。

図１６は、強度成分Ａ(x,y)の５枚の画像を示す図である。同図（ａ）〜（ｅ）の５枚の画像は、図１３の強度成分Ａ(x,y)の画像のうち観察範囲内の一部を示すものであって、１.２秒間隔で順に得られたものである。図中で、矢印で指示された黒点は、観察対象物９である細胞の膜の付近にある反射体である顆粒を表している。この顆粒が細胞膜に略沿って移動していることが判る。図１７は、強度成分Ａ(x,y)の時系列の画像から得られた顆粒の移動の軌跡を示す図である。この図は、顆粒が２１.６秒間に位置Ｐ_Ｓから位置Ｐ_Ｅまで図中の線に沿って移動したことを示している。なお、同図中の３点Ａ，Ｂ，Ｃは、細胞膜における基準点を示す。図１８は、位相成分φ(x,y)またはΦ(x,y)の時系列の画像から得られたｚ方向の顆粒の移動の様子を示す図である。この図は、細胞膜における基準点Ａ，Ｂ，Ｃが何れもｚ方向に殆ど変化していないのに対して、顆粒Ｐが２１.６秒間にｚ方向に約６００ｎｍ移動したことを示している。

図１６〜図１８から以下のことが判る。すなわち、強度成分Ａ(x,y)の時系列の画像から高反射率の顆粒の２次元的な移動の様子を観察することが可能であり、また、強度成分Ａ(x,y)および位相成分φ(x,y)の双方の時系列の画像から高反射率の顆粒の３次元的な移動の様子を観察することが可能である。一方、この顆粒の軌跡とは僅かに離れた基準点Ａ，Ｂ，Ｃは何れもｚ方向に殆ど変化しない。したがって、観察期間中、細胞膜の全体のｚ方向位置は殆ど変わることがなく、この細胞膜を基準として常に略同じ高さのスライス面Ｓ近傍の観察範囲における顆粒の移動を観察することができる。

図１９は、強度成分Ａ(x,y)の画像を示す図である。同図（ｂ）は、同図（ａ）中の矩形の範囲を拡大して示すものである。同図中に５点Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅが示されている。そのうち４点Ｂ〜Ｅは点Ａの周囲に配置されている。図２０は、強度成分Ａ(x,y)の５枚の画像を示す図である。同図（ａ）〜（ｅ）の５枚の画像は、図１９（ｂ）の強度成分Ａ(x,y)の画像１.２秒間隔で順に示すものである。この図は、特に点Ａの濃度が変化していること、すなわち、点Ａにおける反射強度が変化していることを示している。図２１は、強度成分Ａ(x,y)の５点Ａ〜Ｅそれぞれの反射強度の時間変化の様子を示す図である。この図は、４点Ｂ〜Ｅそれぞれの反射強度の変化に比べて点Ａの反射強度の変化が大きいことを示している。図２２は、位相成分φ(x,y)から得られた５点Ａ〜Ｅそれぞれのｚ方向位置の時間変化の様子を示す図である。この図は、４点Ｂ〜Ｅの何れもｚ方向に殆ど変化していないのに対して、点Ａのｚ方向位置の変化が大きいことを示している。

図１９〜図２２から以下のことが判る。すなわち、４点Ｂ〜Ｅそれぞれは反射強度の変化が僅かでｚ方向の移動も僅かであるのに対して、点Ａは、反射強度の変化が認められ、これに続いてｚ方向位置の変化が認められる。したがって、図２３に示されるように、顆粒Ｐは、細胞膜９ａの点Ａの下方にあった状態（同図（ａ））から次第に上方に移動していき、細胞膜９ａと相互作用する状態（同図（ｂ））に変化したものと推測される。このように、観察期間中、細胞膜の全体のｚ方向位置は殆ど変わることがなく、この細胞膜を基準として常に略同じ高さのスライス面Ｓ近傍の観察範囲における顆粒の移動を観察することができる。

なお、上記の例では、運動性が比較的低いＨｅＬａ細胞が観察対象物９として用いられたことから、観察期間中において細胞膜の全体の位置は殆ど変わることがなかった。しかし、細胞の種類によっては細胞膜の全体の位置が上下に大きく動く場合がある。細胞膜の全体の位置が上下に動くと、観察範囲が変化して、注目する顆粒が観察範囲の外に出る事態が生じる場合があるが、そのような事態は好ましくない。そこで、制御部９０は、撮像部５１により撮像された干渉光像において観察範囲が所定範囲内に納まるように、光路長差調整手段（ピエゾアクチュエータ７１，駆動部７２，ステージ８１および駆動部８２）による光路長差調整動作を制御することが好ましい。例えば、図１６〜図１８に示された例における３点Ａ〜Ｃそれぞれの高さの平均値の変動や、図１９〜図２３に示された例における４点Ｂ〜Ｅそれぞれの高さの平均値の変動が、所定範囲（例えば３００ｎｍ）内に納まるようにすることが好ましい。

以上のように、本実施形態では、細胞膜の運動性が低い細胞を観察対象物９とする場合には、一定の高さのスライス面Ｓ近傍の観察範囲を保証した上で、強度成分Ａ(x,y)の時系列の画像から顆粒の２次元的な移動の様子を観察することが可能であり、また、強度成分Ａ(x,y)および位相成分φ(x,y)の双方の時系列の画像から顆粒の３次元的な移動の様子を観察することが可能である。また、強度成分Ａ(x,y)および位相成分φ(x,y)の双方の時系列の画像から、細胞膜と顆粒との相互作用をも観察することができる。一方、本実施形態では、細胞膜の運動性が高い細胞を観察対象物９とする場合には、撮像部５１により撮像された干渉光像において観察範囲が所定範囲内に納まるように、光路長差調整手段による光路長差調整動作を制御することにより、注目する顆粒が観察範囲の外に出る事態を回避することができる。なお、特許文献１に開示された技術では、常に同じ高さのスライス面Ｓ近傍の観察範囲を観察することの保証はなく、本実施形態のような観察を行うことは困難である。

本実施形態に係る観察装置１の構成図である。 撮像部５１または受光部５１に到達する光の強度と光路長差との関係を示す図である。 観察対象物９の構成例を示す図である。 ピエゾアクチュエータ７１およびステージ８１による光路長差調整動作について説明する図である。 本実施形態に係る観察装置１の第１動作態様を説明するフローチャートである。 本実施形態に係る観察装置１の第１動作態様における間隔ｘ_２，間隔ｙ_２および光路長差｛(ｙ_１＋ｙ_２)−(ｘ_１＋ｘ_２)｝それぞれの時間的変化を示す図である。 本実施形態に係る観察装置１の第２動作態様を説明するフローチャートである。 本実施形態に係る観察装置１の第２動作態様における間隔ｘ_２，間隔ｙ_２および光路長差｛(ｙ_１＋ｙ_２)−(ｘ_１＋ｘ_２)｝それぞれの時間的変化を示す図である。 本実施形態に係る観察装置１を用いて複数組の正弦成分Ｘ(x,y)および余弦成分Ｙ(x,y)を時系列で取得する場合の位相シフト量の時間的変化の様子を示す図である。 位相アンラッピングを説明する図である。 位相アンラッピング前の位相成分φ(x,y)の画像を示す図である。 位相アンラッピング後の位相成分Φ(x,y)の画像を示す図である。 強度成分Ａ(x,y)の画像を示す図である。 位相成分または強度成分の画像における膜の範囲を説明する図である。 観察対象物９におけるスライス面Ｓを説明する図である。 強度成分Ａ(x,y)の５枚の画像を示す図である。 強度成分Ａ(x,y)の時系列の画像から得られた顆粒の移動の軌跡を示す図である。 位相成分φ(x,y)またはΦ(x,y)の時系列の画像から得られたｚ方向の顆粒の移動の様子を示す図である。 強度成分Ａ(x,y)の画像を示す図である。同図（ｂ）は、同図（ａ）中の矩形の範囲を拡大して示すものである。 強度成分Ａ(x,y)の５枚の画像を示す図である。 強度成分Ａ(x,y)の５点Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅそれぞれの反射強度の時間変化の様子を示す図である。 位相成分φ(x,y)から得られた５点Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅそれぞれのｚ方向位置の時間変化の様子を示す図である。 細胞膜９ａと顆粒Ｐとの相互作用の様子を示す図である。

符号の説明

１…観察装置、９…観察対象物、１１，１２…光源、２１〜２５…レンズ、３１…アパーチャ、４１…光合波器、４２…光分波器、４３…ハーフミラー、５１…撮像部、５２…解析部、５３…表示部、６１…受光部、６２…変位検出部、７１…ピエゾアクチュエータ、７２…駆動部、７３…ミラー、８１…ステージ、８２…駆動部、９０…制御部。

Claims (13)

1. 観察対象物の膜および膜の近傍における顆粒の挙動を観察する装置であって、
   光を出力する光源と、
   該光源から出力された光を２分岐して第１分岐光および第２分岐光として出力し、前記第１分岐光がミラーにより反射されて生じる第１反射光を入力するとともに、前記第２分岐光が観察対象物の表面または内部で反射されて生じる第２反射光を入力して、これら第１反射光と第２反射光とを干渉させて当該干渉光を出力する干渉光学系と、
   前記干渉光学系から出力される干渉光を結像する結像光学系と、
   前記結像光学系により結像された干渉光像を撮像する撮像部と、
   前記光源から前記観察対象物の基準位置を経て前記撮像部に到るまでの光路長と、前記光源から前記ミラーを経て前記撮像部に到るまでの光路長との、光路長差を調整する光路長差調整手段と、
   前記光路長差が目標値になるように前記光路長差調整手段による光路長差調整動作を制御する制御部と、
   を備え、
   前記撮像部により撮像された干渉光像に基づいて、前記観察対象物の表面または内部で生じた前記第２反射光の強度成分および位相成分それぞれの像を求め、前記位相成分の像に基づいて前記観察対象物の膜で前記第２分岐光が反射されて生じた前記第２反射光による干渉光像が得られた観察範囲を特定し、前記強度成分の像のうち少なくとも前記観察範囲内の像を時系列に画像表示して、この画像に基づいて前記観察対象物の膜および膜の近傍における顆粒の挙動を観察する、
   ことを特徴とする観察装置。
2. 前記強度成分の像のうち前記観察範囲内の像とともに前記位相成分の像のうち前記観察範囲内の像をも時系列に画像表示させて、これらの画像に基づいて前記観察対象物の膜および膜の近傍における顆粒の挙動を観察する、ことを特徴とする請求項１に記載の観察装置。
3. 前記制御部が、前記撮像部により撮像された干渉光像において前記観察範囲が所定範囲内に納まるように、前記光路長差調整手段による光路長差調整動作を制御する、ことを特徴とする請求項１に記載の観察装置。
4. 前記光路長差を検出する光路長差検出手段を更に備え、
   前記光路長差検出手段による検出結果に基づいて前記光路長差調整手段が前記光路長差を調整する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の観察装置。
5. 前記光路長差調整手段が、前記観察対象物および前記ミラーのうち一方の第１対象物を移動させる第１移動手段と、前記観察対象物および前記ミラーのうち他方の第２対象物を移動させる第２移動手段とを含み、前記第１移動手段または前記第２移動手段による移動動作により前記光路長差を調整し、
   前記第１移動手段が、前記第２移動手段の作動範囲より狭い作動範囲を有するとともに、前記第２移動手段の位置精度より高い位置精度を有し、
   前記第２移動手段が、前記干渉光学系と前記第２対象物との間の光学系を維持したまま前記第２対象物を移動させ、
   前記制御部が、前記光路長差の各目標値において前記第１移動手段による移動量が前記作動範囲内の所定範囲内となるように前記第２移動手段による移動動作を連続的または断続的に行わせ、前記第２移動手段による移動動作の際にも前記光路長差が各目標値になるように前記第１移動手段による移動動作をフィードバック制御する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の観察装置。
6. 位相シフト法により前記光路長差調整手段により前記光路長差が各目標値に順次に設定されて前記撮像部により撮像された干渉光像に基づいて、前記観察対象物の表面または内部で生じた前記第２反射光の強度成分および位相成分それぞれの像を求める、ことを特徴とする請求項１に記載の観察装置。
7. 観察対象物の膜および膜の近傍における顆粒の挙動を観察する方法であって、
   光を出力する光源と、
   該光源から出力された光を２分岐して第１分岐光および第２分岐光として出力し、前記第１分岐光がミラーにより反射されて生じる第１反射光を入力するとともに、前記第２分岐光が観察対象物の表面または内部で反射されて生じる第２反射光を入力して、これら第１反射光と第２反射光とを干渉させて当該干渉光を出力する干渉光学系と、
   前記干渉光学系から出力される干渉光を結像する結像光学系と、
   前記結像光学系により結像された干渉光像を撮像する撮像部と、
   前記光源から前記観察対象物の基準位置を経て前記撮像部に到るまでの光路長と、前記光源から前記ミラーを経て前記撮像部に到るまでの光路長との、光路長差を調整する光路長差調整手段と、
   前記光路長差が目標値になるように前記光路長差調整手段による光路長差調整動作を制御する制御部と、
   を用い、
   前記撮像部により撮像された干渉光像に基づいて、前記観察対象物の表面または内部で生じた前記第２反射光の強度成分および位相成分それぞれの像を求め、前記位相成分の像に基づいて前記観察対象物の膜で前記第２分岐光が反射されて生じた前記第２反射光による干渉光像が得られた観察範囲を特定し、前記強度成分の像のうち少なくとも前記観察範囲内の像を時系列に画像表示して、この画像に基づいて前記観察対象物の膜および膜の近傍における顆粒の挙動を観察する、
   ことを特徴とする観察方法。
8. 前記強度成分の像のうち前記観察範囲内の像とともに前記位相成分の像のうち前記観察範囲内の像をも時系列に画像表示させて、これらの画像に基づいて前記観察対象物の膜および膜の近傍における顆粒の挙動を観察する、ことを特徴とする請求項７に記載の観察方法。
9. 前記制御部が、前記撮像部により撮像された干渉光像において前記観察範囲が所定範囲内に納まるように、前記光路長差調整手段による光路長差調整動作を制御する、ことを特徴とする請求項７に記載の観察方法。
10. 前記光路長差を検出する光路長差検出手段を更に用い、
    前記光路長差検出手段による検出結果に基づいて前記光路長差調整手段により前記光路長差を調整する、
    ことを特徴とする請求項７に記載の観察方法。
11. 前記光路長差調整手段が、前記観察対象物および前記ミラーのうち一方の第１対象物を移動させる第１移動手段と、前記観察対象物および前記ミラーのうち他方の第２対象物を移動させる第２移動手段とを含み、前記第１移動手段または前記第２移動手段による移動動作により前記光路長差を調整し、
    前記第１移動手段が、前記第２移動手段の作動範囲より狭い作動範囲を有するとともに、前記第２移動手段の位置精度より高い位置精度を有し、
    前記第２移動手段が、前記干渉光学系と前記第２対象物との間の光学系を維持したまま前記第２対象物を移動させ、
    前記制御部が、前記光路長差の各目標値において前記第１移動手段による移動量が前記作動範囲内の所定範囲内となるように前記第２移動手段による移動動作を連続的または断続的に行わせ、前記第２移動手段による移動動作の際にも前記光路長差が各目標値になるように前記第１移動手段による移動動作をフィードバック制御する、
    ことを特徴とする請求項７に記載の観察方法。
12. 位相シフト法により前記光路長差調整手段により前記光路長差が各目標値に順次に設定されて前記撮像部により撮像された干渉光像に基づいて、前記観察対象物の表面または内部で生じた前記第２反射光の強度成分および位相成分それぞれの像を求める、ことを特徴とする請求項７に記載の観察方法。
13. 前記観察対象物の膜が細胞膜であることを特徴とする請求項７に記載の観察方法。