JP6614535B2 - 金属汚染物質除去装置 - Google Patents
金属汚染物質除去装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6614535B2 JP6614535B2 JP2018037244A JP2018037244A JP6614535B2 JP 6614535 B2 JP6614535 B2 JP 6614535B2 JP 2018037244 A JP2018037244 A JP 2018037244A JP 2018037244 A JP2018037244 A JP 2018037244A JP 6614535 B2 JP6614535 B2 JP 6614535B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- metal
- upstream
- metal contaminant
- internal space
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Description
評価方法:HBrガスを1cc/min(1013hPa、25℃)の流量で30分間サンプル内を通過させ、ウェハに吹き付けてウェハメタル汚染量をICPMS(誘導結合プラズマ質量分析法)によって測定した。
サンプル2:SUS16L3/8インチ配管(比較例2)
サンプル3:ガスフィルタ(エレメント:テフロン(登録商標)メンブレン:本発明実施例2のフッ素樹脂製網状体1枚に相当する。)(比較例3)
サンプル4:ガスフィルタ(エレメント:ステンレス焼結体)(比較例4)
サンプル5:実施例1に係る金属汚染物質除去装置(本発明1)
サンプル6:実施例2に係る金属汚染物質除去装置(本発明2)
サンプル7:実施例3に係る金属汚染物質除去装置(本発明3)
サンプル8:実施例1に係る金属汚染物質除去装置+80℃加熱(本発明4)
サンプル9:実施例2に係る金属汚染物質除去装置+80℃加熱(本発明5)
サンプル10:実施例3に係る金属汚染物質除去装置+80℃加熱(本発明6)
2 ライン
3、3B シリンダ
4 流入口
5 流出口
6 内部空間
7 上流側端子
8 下流側端子
9 支持ロッド
10、10B 中空チューブ
10A 網状体
11、11B 加熱用ヒータ
31 上流側接続端部
32 下流側接続端部
33 上流側円筒部
34 下流側円筒部
35 上流側コンポーネント
36 下流側コンポーネント
61 ロッド内部空間
62 ロッド外部空間
72 上流側装着端子
82 下流側装着端子
100,100A,100B トラップエレメント
Claims (7)
- 金属汚染物質を含むプロセスガスが流れるライン上に配設され、前記ラインの上流側に接続される流入口及び前記ラインの下流側と接続される流出口を有するシリンダと、該シリンダの内部空間内に配設されるトラップエレメントとによって構成される金属汚染物質除去装置において、
前記トラップエレメントは、一端が前記流入口と連通すると共に他端が前記流出口と連通し、前記シリンダの内部空間に屈曲して配置されるフッ素樹脂製多孔質の中空チューブであること、および、
前記流入口と前記シリンダの内部空間とが連通孔を介して連通されることを特徴とする金属汚染物質除去装置。 - 前記流入口と連通する上流側端子及び前記流出口と連通する下流側端子は、シリンダの内部空間内を軸方向に延出する支持ロッドによってシリンダの両端に押圧されて保持され、前記中空チューブが、前記上流側端子から前記支持ロッドの内部に画成されるロッド内部空間に延出し、さらに該ロッド内部空間から前記支持ロッドの外部に画成されるロッド外部空間に延出して支持ロッドの外周に巻回され、その後、前記支持ロッドのロッド内部空間に戻って前記下流側端子と接続されることを特徴とする請求項1記載の金属汚染物質除去装置。
- 前記ロッド内部空間及び前記ロッド外部空間は、前記シリンダの流入口と導通することを特徴とする請求項2記載の金属汚染物質除去装置。
- 前記上流側端子の上流側には、複数のフッ素樹脂製網状体がプロセスガスの流入方向に垂直に配された多層構造からなる上流側トラップエレメントを具備することを特徴とする請求項2又は3のいずれか1つに記載の金属汚染物質除去装置。
- 前記シリンダの円筒状側面は、蛇腹状に形成され、シリンダ自体が屈曲自在であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の金属汚染物質除去装置。
- 前記シリンダ自体若しくはシリンダの上流側に、前記プロセスガスを加熱するための加熱手段を設けたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の金属汚染物質除去装置。
- 請求項1に記載の金属汚染物質除去装置と、金属汚染物質を含むプロセスガスが流れるライン上に配設され、前記ラインの上流側に接続される上流側端子及び前記ラインの下流側と接続される下流側端子を具備するシリンダと、シリンダ内部に配設されるトラップエレメントとによって構成され、前記トラップエレメントは、一端が前記上流側端子と接続されると共に他端が閉塞され、前記シリンダの内部空間に屈曲して配置されるフッ素樹脂製多孔質の中空チューブであり、前記中空チューブの外側に位置する空間が流出口と連通する金属汚染処理装置を連続してライン上に配置したことを特徴とする金属汚染物質除去装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018037244A JP6614535B2 (ja) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 金属汚染物質除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018037244A JP6614535B2 (ja) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 金属汚染物質除去装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019150761A JP2019150761A (ja) | 2019-09-12 |
JP6614535B2 true JP6614535B2 (ja) | 2019-12-04 |
Family
ID=67947628
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018037244A Active JP6614535B2 (ja) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 金属汚染物質除去装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6614535B2 (ja) |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1494451A (en) * | 1975-02-12 | 1977-12-07 | Smidth & Co As F L | Apparatus for measuring the content of dust in gases |
JPS58223423A (ja) * | 1982-06-22 | 1983-12-26 | Agency Of Ind Science & Technol | 排ガス用遠心力式ダスト・ミスト捕集装置 |
JPS5989240U (ja) * | 1982-12-08 | 1984-06-16 | 横河電機株式会社 | 分析計用フイルタ |
JPH038339Y2 (ja) * | 1986-12-02 | 1991-02-28 | ||
JPH03284306A (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-16 | Toyobo Co Ltd | 多層型可撓性管状濾材 |
JP3008218U (ja) * | 1994-08-24 | 1995-03-07 | 株式会社堀場製作所 | 船舶用窒素酸化物分析装置 |
JP2000046703A (ja) * | 1998-07-30 | 2000-02-18 | Ebara Corp | 土壌中のガス採取装置及びガス採取方法 |
JP2001083052A (ja) * | 1999-09-13 | 2001-03-30 | Miura Co Ltd | 塩素化有機化合物の採取器および塩素化有機化合物の採取方法 |
JP2004160290A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 脱気・溶解処理用モジュール |
JP2006090732A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Dkk Toa Corp | 全有機炭素含量の測定方法および装置 |
JP4315348B2 (ja) * | 2004-12-13 | 2009-08-19 | 住友精化株式会社 | ガス置換方法およびガス置換装置並びに分析システム |
CN101111755B (zh) * | 2005-01-31 | 2012-01-25 | 野村微科学股份有限公司 | 超纯水中的微粒数测定方法、微粒数测定用过滤装置、其制造方法以及用于该装置的中空纤维膜单元 |
JP4280782B2 (ja) * | 2007-04-10 | 2009-06-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体製造装置のガス供給システム |
JP4994418B2 (ja) * | 2009-04-20 | 2012-08-08 | 東洋エンジニアリング株式会社 | 油水分離方法、それを用いた水再利用方法、およびそのシステム |
-
2018
- 2018-03-02 JP JP2018037244A patent/JP6614535B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019150761A (ja) | 2019-09-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102859033B (zh) | 用于气体输送系统的涂布的方法 | |
JP3796754B2 (ja) | 流体の濾過および/または精製に関する装置および方法 | |
JP2010255103A (ja) | 処理装置 | |
KR20080079204A (ko) | 반도체 제조 장치의 가스 공급 시스템 및 가스 공급 집적유닛 | |
KR20130086925A (ko) | 가스 처리 시스템 | |
KR101946495B1 (ko) | 증기 및 가스 여과를 위한 방법 및 장치 | |
JP6614535B2 (ja) | 金属汚染物質除去装置 | |
US20190247791A1 (en) | Method, system, and device for removing hydrogen peroxide or hydrazine from a process gas stream | |
JP2013139607A (ja) | ガス生成装置 | |
CN116272181A (zh) | 捕集过滤器系统的歧管组件 | |
JP4280782B2 (ja) | 半導体製造装置のガス供給システム | |
JP3889932B2 (ja) | フッ素含有化合物及びcoを含むガスの処理方法及び装置 | |
CN116272180A (zh) | 用于半导体设备的捕获过滤器系统 | |
US12005379B2 (en) | Filter apparatus with vented core | |
WO1993024267A1 (en) | Method of forming oxide passivation film at weld portion and process apparatus | |
JP6221613B2 (ja) | ガスの処理装置及びガスの処理方法 | |
US20170036158A1 (en) | High Purity Gas Purifier | |
JP6377937B2 (ja) | フィルタ装置 | |
JP4440546B2 (ja) | ガス供給ライン構造 | |
US7943095B2 (en) | Purifier | |
JPH05154322A (ja) | 金属フィルタ | |
JP2006288938A (ja) | 化学フィルター及び化学フィルターを有するファンフィルターユニット | |
US11738299B2 (en) | Exhaust gas processing system including adsorbent for suppressing powder-like byproduct | |
WO2007110657A1 (en) | Solid-state gas purifier | |
JP2015036658A (ja) | 試料ガス中の金属のサンプリング方法およびサンプリング装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180322 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181226 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190213 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190409 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191002 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191025 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6614535 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |