JP6589474B2 - 液体吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出装置に関する。

特許文献１に記載の液体吐出装置は、ノズル列方向に配列された複数の圧力室が形成された流路形成基板と、ノズル列方向に延びるマニホールドが形成されたケース部材とを有する。

特許文献２には、ダンパー室としても機能するマニホールドに、その長手方向に複数の整流板が等間隔に配置された構造が開示されている。

特開２０１４−５８１６７号公報 特開２００６−２１２７８１号公報

ここで、特許文献１に記載の液体吐出装置のマニホールドでは、長手方向の中央側でインクの流速が大きくなり、端側でインクの流速が小さくなる。そのため、複数のノズル間でインク供給量がばらつくき、リフィル性能に差が出る虞がある。

ここで、特許文献１のマニホールドにおいて、特許文献２のように、複数の整流板をマニホールド流路の長手方向に等間隔に配置することが考えられる。しかしながら、長手方向に流速の分布があるので、複数のノズル間でのインクの供給量のばらつきを十分に解消することができない虞がある。

本発明の目的は、複数のノズル間での液体の供給量のばらつきを確実に解消することが可能な液体吐出装置を提供することである。

第１の発明に係る液体吐出装置は、第１方向に延びて複数のノズルと連通する共通液室が形成された、液室形成部材と、前記液室形成部材に対して前記第１方向と直交する第２方向の一方側に配置され、前記共通液室に液体を供給するための液体供給流路、及び、前記第１方向に延びて前記液体供給流路を前記共通液室に連通させる連通部を有する、液体供給部材と、前記連通部に設けられ、前記第１方向に間隔を空けて並ぶ複数の整流部材と、を備え、前記複数の整流部材は、前記第１方向端部における配置間隔が、前記第１方向中央部における配置間隔よりも大きい。

本発明では、第１方向に延びて共通液室と液体供給流路とを連通させる連通部に、複数の整流部材が前記第１方向に並べて配置されている。ここで、整流部材自体は、液体の流れに対して抵抗となるが、本発明では、第１方向の端側では、中央側と比べて、整流部材の配置間隔が大きくなっている。そのため、連通部の中央部において液体が流れにくくなる一方で、連通部の端側では液体が流れやすくなる。これにより、共通液室の第１方向における液体の供給量のばらつきが抑えられる。また、連通部の中央部において液体が流れにくくなることにより、共通液室の中央部で液体の流速が過度に大きくなって、共通液室内の液体に大きな圧力変動が生じてしまうのを抑制することができる。

第２の発明に係る液体吐出装置は、第１の発明に係る液体吐出装置において、前記液体供給部材は、ダンパー部を有し、前記ダンパー部は、前記連通部を介して前記共通液室と連通し、前記液体供給流路の一部を構成するダンパー室と、前記ダンパー部の側壁部に形成された開口部と、前記開口部を覆うように前記側壁部に取り付けられたダンパー膜と、を有する。

本発明によると、共通液室の上流側にダンパー部が設けられることにより、共通液室に供給される液体の圧力変動がより効果的に抑制される。また、連通部に複数の整流部材が設けられていることによって、ダンパー膜を貼り付けるときの液体供給部材の剛性が高まり、ダンパー膜を貼り付ける際の液体供給部材の破損を防止できる。

第３の発明に係る液体吐出装置は、第２の発明に係る液体吐出装置において、前記開口部の縁部は、前記ダンパー室側から外側に向かうほど前記開口部の断面積が小さくなるテーパー状に形成されている。

本発明によると、開口部の縁部の形状が、外側ほど狭まる形状となっているため、開口部の縁部近傍にエアが溜まりにくい。

第４の発明に係る液体吐出装置は、第２又は第３の発明に係る液体吐出装置において、前記ダンパー部の、前記第２方向において前記連通部と反対側には、前記ダンパー室に液体を供給する供給部が形成され、前記供給部は、前記側壁部に形成された前記開口部の、前記第２方向における前記一方側の縁位置よりも、さらに前記一方側の位置にある。

本発明によると、ダンパー膜がダンパー室の内側に変形しても、供給部とダンパー膜とが離れているため、供給部がダンパー膜で塞がれない。

第５の発明に係る液体吐出装置は、第４の発明に係る液体吐出装置において、前記供給部は、前記ダンパー室の前記第２方向に延びる中心線に対して、前記開口部側に偏って配置されている。

本発明によると、供給部が、ダンパー室の中心線に対して開口部側に偏って配置されているため、供給部からダンパー室内に流入した液体がダンパー膜に衝突しやすい。これにより、ダンパー膜の変形による圧力変動の抑制効果が高まる。

第６の発明に係る液体吐出装置は、第４又は第５の発明に係る液体吐出装置において、前記ダンパー室を形成する壁部のうち、前記ダンパー膜と対向する部分の内面は、前記供給部に向かうほど前記ダンパー室の断面積が小さくなるテーパー状に形成されている。

本発明によると、ダンパー膜と対向する壁面がテーパー状であるため、エアが供給部側に抜けやすくなりエアが溜まりにくい。これにより、エアの滞留に起因して、ダンパー膜の変形による圧力変動の抑制効果が低下してしまうのを防止できる。

第７の発明に係る液体吐出装置は、第２〜第６の何れかの発明に係る液体吐出装置において、前記液室形成部材は、前記第１方向に沿って並行して延びる２つの前記共通液室を有し、前記液体供給部材は、前記２つの共通液室にそれぞれ対応して、並んで配置された２つの前記ダンパー部を有し、各ダンパー部の、他のダンパー部と向かい合う内側の側壁部に、前記ダンパー膜が取り付けられている。

本発明によると、２つのダンパー部を有する構成において、各ダンパー部の内側の側壁部にダンパー膜が設けられているため、製造時などにダンパー膜が破損しにくい。

第８の発明に係る液体吐出装置は、第２〜第６の何れかの発明に係る液体吐出装置において、前記液室形成部材は、前記第１方向に沿って並行して延びる２つの前記共通液室を有し、前記液体供給部材は、前記２つの共通液室にそれぞれ対応して、並んで配置された２つの前記ダンパー部を有し、各ダンパー部の外側の側壁部に、前記ダンパー膜が取り付けられている。

本発明によると、２つのダンパー部を有する構成において、各ダンパー部の外側に側壁部が設けられているため、ダンパー膜の取り付けが容易であり、２つのダンパー部を１つの部材で構成することが可能となる。

第９の発明に係る液体吐出装置は、第１方向に延びて複数のノズルと連通するマニホールド流路が形成されたマニホールドプレートと、前記マニホールドプレートに前記第１方向と直交する第２方向から積層し、外部から液体が供給される供給流路と、前記第１方向に前記供給流路よりも長く延びて前記マニホールド流路に連通する連通流路とを有し、前記供給流路と前記連通流路とを前記第２方向の両端に持つ液体流路が形成された液体供給部材と、を備え、前記液体供給部材の前記連通流路は、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記マニホールド流路の一方側端部と接続され、前記第３方向に対向する前記連通流路の内壁面同士を繋ぐ複数の整流用リブを有し、前記複数の整流用リブは、前記第１方向に間隔をあけて並ぶとともに、前記供給流路から遠い前記整流用リブ同士の間隔が、前記供給流路に近い前記整流用リブ同士の間隔よりも大きい。

本発明では、第１方向に延びてマニホールド流路と連通する連通流路に、複数の整流用リブが前記第１方向に並べて配置されている。ここで、整流用リブ自体は、液体の流れに対して抵抗となるが、本発明では、第１方向において、供給流路から遠い整流用リブ同士の間隔が、供給流路に近い整流用リブ同士の間隔よりも大きくなっている。そのため、連通流路の供給流路から近い部分において液体が流れにくくなる一方で、連通流路の供給流路から遠い部分では液体が流れやすくなる。これにより、マニホールド流路の第１方向における液体の供給量のばらつきが抑えられる。また、連通流路の供給流路から近い部分で液体が流れにくくなることにより、マニホールド流路の供給流路から近い部分で液体の流速が過度に大きくなって、マニホールド流路内の液体に大きな圧力変動が生じてしまうのを抑制することができる。

第１０の発明に係る液体吐出装置は、第９の発明に係る液体吐出装置において、前記液体供給部材は、前記第３方向に関して前記一方側の側壁部の一部を構成し、可撓性を有する第１ダンパー膜を備え、前記供給流路が、前記第２方向に関して、前記連通流路と反対側に配置されているとともに、前記第３方向に関して、他方側の側壁部よりも前記一方側の側壁部に偏って配置されている。

本発明によると、供給流路が、第２方向に関して、連通流路と反対側に配置されているとともに、第３方向に関して、他方側の側壁部よりも一方側の側壁部に偏って配置されているため、供給流路からダンパー室内に流入した液体が第１ダンパー膜に衝突しやすい。これにより、ダンパー膜の変形による圧力変動の抑制効果が高まる。

第１１の発明に係る液体吐出装置は、第９又は第１０の発明に係る液体吐出装置において、前記マニホールドプレートは、前記第２方向に関して、前記液体供給部材と反対側の前記マニホールド流路の側壁部の一部が、可撓性を有する第２ダンパー膜で構成されている。

供給流路から供給された液体は、連通流路からマニホールド流路に向けて第２方向に流れ込む。このとき、液体は流れの方向を第２方向から第３方向に変える。これに対して、本発明では、マニホールド流路の第２方向における液体供給部材と反対側の側壁部の一部が、可撓性を有する第２ダンパー膜で構成されている。そのため、連通流路からマニホールド流路に向けて流れ込んだ液体が、第２ダンパー膜に衝突しながら第３方向へと向きを変える。これにより、マニホールド流路内の液体の圧力変動を、第２ダンパー膜の変形によって効果的に抑制することができる。

本発明によれば、共通液室（マニホールド流路）の第１方向における液体の供給量のばらつきを抑えることができる。また、共通液室（マニホールド流路）の中央部（供給流路に近い部分）で液体の流速が過度に大きくなって、共通液室（マニホールド流路）内の液体に大きな圧力変動が生じてしまうのを抑制することができる。

本発明の実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。 インクジェットヘッドの平面図である。 図２のIII−III線断面図である。 変形例１の図２相当の図である。 変形例１の図３相当の図である。 変形例２の図２相当の図である。 変形例３の図２相当の図である。

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。
（プリンタの全体構成）
図１に示すように、本実施の形態に係るプリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３（本発明の「液体吐出装置」）、用紙搬送ローラ４などを備えている。キャリッジ２は、２本のガイドレール５に支持され、ガイドレール５に沿って走査方向（本発明の「第３方向」）に往復移動する。インクジェットヘッド３は、キャリッジ２に搭載され、その下面に複数のノズル１５ａ、１５ｂが形成されている。用紙搬送ローラ４は、搬送方向におけるキャリッジ２の両側に配置され、記録用紙Ｐを搬送方向（本発明の「第１方向」）に搬送する。なお、搬送方向は、走査方向と直交する方向である。また、以下では、図１に示すように、走査方向の右側及び左側を定義して説明を行う。

そして、プリンタ１では、印字指令を受けると、記録用紙Ｐの搬送と、これに同期したキャリッジ２の往復移動が始まる。これに対応してインクジェットヘッド３が駆動され、ノズル１５ａ、１５ｂからインクが吐出され、記録用紙Ｐには画像データに基づく画像が形成される。

（インクジェットヘッド）
次に、インクジェットヘッド３について説明する。図２、図３に示すように、インクジェットヘッド３は、圧力室プレート２１と、マニホールドプレート２２（本発明の「液室形成部材」）と、ノズルプレート２３と、カバープレート２４と、振動膜３１と、圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂと、支持基板３４と、インク供給部材３５ａ、３５ｂとを備えている。なお、本発明では、インク供給部材３５ａと３５ｂとを合わせたものが、本発明の「液体供給部材」に相当する。

圧力室プレート２１は、シリコン（Ｓｉ）によって形成され、複数の貫通孔を有する。貫通孔は、開口の形状が長円形状であり、走査方向が長手方向である。各貫通孔は、振動膜３１およびマニホールドプレート２２で上下に封止されて、複数の圧力室１０ａ、１０ｂを構成する。複数の圧力室１０ａ、１０ｂは搬送方向に並び、２つの圧力室列９ａ、９ｂを形成している。複数の圧力室１０ａ、１０ｂは、全体として、搬送方向に千鳥状に等間隔で並ぶ。つまり、左側の圧力室１０ａは、右側の圧力室１０ｂに対して、圧力室列９ａ、９ｂ内における圧力室同士の間隔の半分の長さだけ、搬送方向にずれている。

マニホールドプレート２２は、圧力室プレート２１の下面に接合され、圧力室プレート２１よりも走査方向の両側に長い。マニホールドプレート２２は、シリコン(Ｓｉ)によって形成され、２本のマニホールド流路１１ａ、１１ｂ（本発明の「共通液室」）、複数の絞り流路１２ａ、１２ｂ及び複数のディセンダ流路１３ａ、１３ｂを有する。

マニホールド流路１１ａは、走査方向左側の下半部に形成され、下面に開口している。マニホールド流路１１ａは、搬送方向に、圧力室列９ａの全長にわたって延び、走査方向には、圧力室プレート２１の左端を挟んで両側に広がる。マニホールド流路１１ａは、右側端部で絞り流路１２ａと上下方向（本発明の「第２方向」）に重なる。また、マニホールド流路１１ａは、左側端部で上方に延びて、マニホールドプレート２２の上面にも開口している。

マニホールド流路１１ｂは、その配置形態が、走査方向のマニホールドプレート２２の中央部に関して、マニホールド流路１１ａとほぼ対称の関係を有する。つまり、マニホールド流路１１ｂも、搬送方向には、圧力室列９ｂの全長にわたって延びている。また、マニホールド流路１１ｂは、走査方向に、圧力室プレート２１の右端を挟んでその両側に広がる。マニホールド流路１１ｂは、その左側端部で上方の絞り流路１２ｂと重なり、右側端部では上方に延びて、マニホールドプレート２２の上面に開口している。

複数の絞り流路１２ａは、走査方向左側の上半部に形成されている。各絞り流路１２ａは、上下方向に延びて、上端が圧力室１０ａの左端部と接続し、下端がマニホールド流路１１ａと接続している。複数の絞り流路１２ｂも、走査方向右側の上半部において、圧力室１０ｂの右端部をマニホールド流路１１ｂに接続している。つまり、絞り流路は圧力室と１対１の関係で配置され、複数の絞り流路１２ａ、１２ｂは、全体として、搬送方向に千鳥状に等間隔で並んでいる。

複数のディセンダ流路１３ａは、走査方向左側で、マニホールドプレート２２を貫通する貫通孔である。ディセンダ流路１３ａは、上端が圧力室１０ａの右端部と接続し、下端がノズル１５ａと接続している。複数のディセンダ流路１３ｂも、走査方向右側で、圧力室１０ｂの左端部をノズル１５ｂと接続している。つまり、ディセンダ流路も圧力室と１対１の関係で配置され、複数のディセンダ流路１３ａ、１３ｂは、全体として、搬送方向に千鳥状に等間隔で並んでいる。

ノズルプレート２３は、合成樹脂材料等からなり、マニホールドプレート２２の下面の中央部に接合されている。ノズルプレート２３には、複数のノズル１５ａ、１５ｂが形成されており、１つのディセンダ流路に１つのノズルが対応する。各ノズル１５ａ、１５ｂは、出射側の開口に向けて先細りである。なお、形状・サイズの均一性の観点から、ノズルプレート２３は、シリコン製であってもよい。

以上より、１つの圧力室に対して、１つの絞り流路、１つのディセンダ流路および１つのノズルが連通して、マニホールド流路の出口に端を発する個別インク流路を構成している。搬送方向の中央部に関して、搬送方向のお互いのずれは別として、左右の個別インク流路は対称の位置関係を持つ。

カバープレート２４は、金属材料などからなり、マニホールドプレート２２の下面に接合されて、ノズルプレート２３の周囲を取り囲む。カバープレート２４は、マニホールド流路１１ａ、１１ｂの下側の開口を塞いでいる。また、カバープレート２４のマニホールド流路１１ａ、１１ｂと重なる部分２４ａ、２４ｂは、可撓性を有している。２つの部分２４a、２４ｂは、カバープレート２４をハーフエッチングした凹部であり、薄肉部が、ダンパー（本発明の「第２ダンパー」）として機能する。部分２４a、２４ｂはインクの圧力で変形し、マニホールド流路１１ａ、１１ｂ内の圧力変動が抑制される。なお、カバープレート２４は、合成樹脂のような可撓性材料でもよく、この場合には、ハーフエッチング加工が不要となる。

振動膜３１は、ジルコニア（ＺｒＯ₂）、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、酸化シリコン（ＳｉＯ₂）、窒化シリコン（Ｓｉ₃Ｎ₄）等の絶縁性材料からなり、圧力室プレート２１の上面に形成されている。振動膜３１は、全ての圧力室１０ａ、１０ｂの開口を塞ぐ。本実施の形態では、振動膜３１が、圧力室プレート２１の上面全体を覆っている。図３の振動膜３１は、単層であるが、異なる材料からなる多層であってもよい。

圧電アクチュエータ３２ａは、圧電層４１ａと、複数の個別電極４２ａと、共通電極４３ａと、保護膜４４ａとを備えている。このうち、複数の個別電極４２ａ、圧電層４１ａおよび共通電極４３ａが、振動膜３１上で、この順に積層されている。圧電アクチュエータ３２ａは、個別電極４２ａ／圧電層４１ａ／共通電極４３ａのサンドイッチ構造を単位の圧電素子として、これを個別電極４２ａの数だけ含んでいる。

個別電極４２ａは、白金（Ｐｔ）などの導電性材料からなり、圧力室１０ａ毎に設けられている。個別電極４２ａは、短冊状形状を有し、主要部が圧力室１０ａの中央部と重なる。

圧電層４１ａは、圧電材料からなり、本実施の形態では、チタン酸ジルコン酸鉛が主成分である。圧電層４１ａは、一続きの帯状に形成され、搬送方向に延びる。圧電層４１ａは、振動膜３１上で全ての個別電極４２ａを覆っている。ただし、個別電極４２ａの走査方向の右側の端部は、圧電層４１ａから露出している。なお、圧電層４１ａは、圧力室１０ａ毎に個別に形成されていていてもよい。あるいは、圧電層４１ａは、一続きの帯状であっても、圧力室１０ａ間にスリットを有していてもよい。これらの場合、保護膜４４ａは、平面視で各圧力室１０ａの縁部を覆うように配置される。

共通電極４３ａは、イリジウム（Ｉｒ）などの導電性材料からなる。共通電極４３ａは、圧電層４１ａ上を圧電層４１ａに沿って延びている。共通電極４３ａは、搬送方向に長い帯状に形成され、圧力室列９ａの全長に亘る。ここで、圧電層４１ａのうち、個別電極４２ａと共通電極４３ａとで挟まれた部分が、圧電素子の変位領域（活性部）である。活性部は個別電極ごとにあり、本実施形態では、個別電極から共通電極に向けて分極されている。

保護膜４４ａは、二酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）などの絶縁性材料からなる。保護膜４４ａは、帯状圧電層４１ａの端縁部を、振動膜３１の近傍部分ともども覆う。特に、圧電層４１ａの右端側では、保護膜４４ａが、個別電極４２ａの右端部を露出して圧電層４１ａを被覆している。なお、保護膜４４ａにより、圧電層４１ａの端部や個別電極４２が、単位素子を駆動しても破損しない。

ここで、両電極４２ａ、４３ａ間に電圧を印可すると、活性部は個別に変位する。活性部は、分極方向と平行な厚み方向に延び、分極方向と直交する面方向に縮む。圧電アクチュエータ３２ａには、このような圧電素子が、個別電極４２ａの数だけ作り込まれているといえる。このとき、圧電素子は、振動膜３１と協働して、圧力室側に凸のユニモルフ変形をする。つまり、１つの圧電素子とこれに対応する振動膜３１は、１つの単位アクチュエータを構成し、対応する圧力室１０ａ、１０ｂの容積を変化させる。

圧電アクチュエータ３２ｂは、圧電層４１ｂと、複数の個別電極４２ｂと、共通電極４３ｂと、保護膜４４ｂとを備えている。圧電アクチュエータ３２ｂは、圧電アクチュエータ３２ａとは、圧電素子の配置形態に違いがあるが、構成部材及び圧電層４１ｂの分極状態は同じである。圧電アクチュエータ３２ｂには、個別電極４２ｂと同数の圧電素子が作りこまれている。

２つの圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂにおいて、圧電素子の配置形態には、圧力室の配置形態が反映されている。圧電素子は、圧力室と１対１の位置関係があり、搬送方向に千鳥状に並んで、２本の圧電素子列（２つの圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂ）を構成している。圧電素子同士は、列間で搬送方向にずれており、圧力室の配置形態に倣っている。なお、搬送方向のずれを加味すれば、列間の中央部に関して、圧電素子は走査方向に対称といえる。

また、走査方向において、列間の中央部（２つの圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂに挟まれる領域）には、複数の個別引出配線５２ａ、５２ｂと、共通引出配線５３ａ、５３ｂとが配置されている。

個別引出配線は、個別電極に対して１対１で設けられ、金（Ａｕ）、アルミニウム（Ａｌ）などの導電性材料からなる。個別引出配線５２ａは、左端を保護膜４４ａ上に持ち、途中部で個別電極４２ａの右端部（保護膜４４ａから露出した部分）と接続し、右端を圧電アクチュエータ３２ｂ近傍に持つ。一方、個別引出配線５２ｂは、搬送方向の配置ずれを加味すれば、走査方向に個別引出配線５２ａと対称の形態を有する。本実施の形態では、個別引出配線は、走査方向に沿って引き出され、搬送方向には、２つの引出配線５２ａ、５２ｂが交互に配置されている。

共通引出配線５３ａ、５３ｂも、個別引出配線と同じ導電性材料からなる。２つの共通引出配線５３ａ、５３ｂは、個別引出配線５２ａ、５２ｂの並びに隣接配置され、搬送方向にこれを挟む。共通引出配線５３ａは、搬送方向の上流側に配置され、共通引出配線５３ｂは、下流側に配置されている。走査方向に関して、共通引出配線５３ａは、左端が共通電極４３ａと接続され、右端を圧電アクチュエータ３２ｂ近傍に持つ。共通引出配線５３ｂは、右端が共通電極４３ｂと接続され、左端を圧電アクチュエータ３２ａ近傍に持つ。共通引出配線５３ａ、５３ｂは、搬送方向に別れて配置されているが、走査方向には圧電素子列間の中央部を挟んで対称に形成されている。以上のように、素子列間の中央部は、個別引出配線および共通引出配線が集まっており、ＣＯＦ６５が接続されることになる。

ＣＯＦ６５は、平板状の柔軟部材であり、複数の信号配線が配設されている。また、途中部には、ドライバＩＣ６６が実装されている。ＣＯＦ６５の一端部は、素子列間の中央部で、引出配線５２ａ、５２ｂ、５３ａ、５３ｂと接続されている。一方、他端部は、上方に引き出されて、回路基板に接続されている。圧電素子の駆動に際して、回路基板から画像データが出力される。ドライバＩＣ６６は、画像データに基づいて、駆動信号を生成する。駆動信号は、個別引出配線５２ａ、５２ｂを介して、各圧電素子に供給されることになる。なお、駆動信号は、パルス信号であって、グランド電位と駆動電位（例えば、２０Ｖ）との組み合わせである。共通引出配線５３ａ、５３ｂには、常にグランド電位が供給されている。

（インクジェットヘッドの駆動方法）
ここで、インクジェットヘッド３においてノズルからインクを吐出させる方法について説明する。インクジェットヘッド３では、駆動前の状態（スタンバイ状態）において、全ての個別電極４２ａ、４２ｂがグランド電位に保持されている。

あるノズルからインクを吐出させる際には、そのノズルに対応する個別電極の電位をグランド電位から駆動電位に切り換える。個別電極の電位が共通電極より高くなると、圧電層の活性部に、個別電極から共通電極に向かう電界が生じる。活性部は、分極の方向が電界の方向と同じため、面方向に縮む。一方、振動膜３１は、電界による自発的な変位がない。これにより、圧電層と振動膜との間で歪み差が生じ、対応する駆動素子は圧力室側に凸に変形する。このとき、圧力室内のインクが加圧され、その一部がノズルから吐出される。この後、個別電極の電位がグランド電位に戻すと、駆動素子の変形が解かれ、圧力室の容積も駆動電位の印加前の容積に戻る。このとき、マニホールド流路から圧力室にインクが補充され、次のインク吐出（駆動電位の印加）に対する準備が整う。

（支持基板）
支持基板３４は、シリコン（Ｓｉ）によって形成され、振動膜３１の上面に接合されている。支持基板３４は、２つの対向部６１ａ、６１ｂと、２つの連結部６２ａ、６２ｂとを有する。連結部６２ａは、搬送方向の上流部分で２つの対向部６１ａ、６１ｂを連結し、連結部６２ｂが搬送方向の下流部分で両者を連結している。支持基板３４は、外形が四角形状の枠体で、圧力室プレート２１と外側輪郭が重なる。支持基板３４により、インクジェットヘッド３の剛性は向上し、圧電アクチュエータが外界から保護される。中空の中央部３４ａからは、振動膜３１の一部（圧電素子列間の中央部の大部分）が露出している。ＣＯＦ６５は、この中央部３４ａから引き出されている。なお、ＣＯＦ６５の安定な電気的接続の観点からは、中央部３４ａに、接着剤やモールド剤が充填されていてもよい。

対向部６１ａは、圧力室プレート２１の走査方向左側で、圧力室列９ａと対向する。対向部６１ａの下面には、凹部６６ａが開口している。この開口は、平面視で圧力室列９ａと重なり、全ての圧力室１０ａを内包している。そのため、凹部６６ａおよび振動膜３１が作る空間には、圧電アクチュエータ３２ａの大部分が収容されている。

対向部６１ｂは、中空の中央部３４ａを挟んで、対向部６１ａと対称の配置形態を持つ。対向部６１ｂも、下面に凹部６６ｂを有し、その内側には、圧電アクチュエータ３２ｂの大部分が収容されている。

（インク供給部材）
インク供給部材は、合成樹脂材料などからなり、インクをマニホールドプレート２２に供給する。インク供給部材は、マニホールド流路毎に配置されている。本実施形態では、２つのインク供給部材を有し、マニホールドプレート２２の走査方向両端部に立設されている。インク供給部材は、搬送方向にマニホールドプレート２２の全長にわたって延びている。インク供給部材は、ダンパー部と、連通流路（本発明の「連通部」）と、供給流路（本発明の「供給部」）とを有している。なお、２つのインク供給部材は、図３に示すように、支持部材３４に関して対称の配置形態を持つ。そこで、以下では、走査方向左側のインク供給部材３５ａを例にとって説明する。

インク供給部材３５ａのダンパー部７１ａは、ダンパー室８１ａと、開口部８２ａと、ダンパー膜８３ａ（本発明の「ダンパー膜」及び「第１ダンパー膜」）と、を有している。ダンパー室８１ａは、上方の供給流路７３ａと下方の連通流路７２ａとを滑らかに結ぶ。ダンパー室８１ａの上部は、傾斜面で構成された先細り部であり、断面の小さい供給流路７３ａに繋がる。例えば、図３に示すように、ダンパー室８１ａの左側内壁面８１ａ１は、上方ほどより右側に位置する。一方、ダンパー室８１ａの下部は、搬送方向に延びて、連通流路７２ａの全長に亘って上下に重なる。これにより、ダンパー室８１ａは、上側に向かうほど、上下方向と直交する断面の断面積が小さくなっている。

開口部８２ａは、ダンパー部７１ａの走査方向右側の側壁部に形成され、ダンパー室８１ａを露出させている。また、開口部８２ａの縁部８２ａ１は、走査方向の右側（ダンパー室８１ａ側から外側）に向かうほど、走査方向と直交する断面の断面積が小さくなるテーパー状に形成されている。

ダンパー膜８３ａは、可撓性を有するフィルム状の部材である。ダンパー膜８３ａは、開口部８２ａのある側壁に外側から貼り付けられ、開口部８２ａを覆う。ダンパー膜８３ａは、ダンパー室８１ａを画定している。そして、ダンパー膜８３ａが変形することで、ダンパー室８１ａ内のインクの圧力変動を抑制することができる。

連通流路７２ａは、インク供給部材３５ａの下端部に位置して、ダンパー室８１ａとマニホールド流路１１ａの上方の開口とを滑らかに繋ぐ。連通流路７２ａの下部は、搬送方向に延びて、マニホールド流路１１ａの開口とその全長に亘って上下に重なる。

また、連通流路７２ａには、複数の整流用リブ８６ａ（本発明の「整流部材」）が設けられている。複数の整流用リブ８６ａは、搬送方向に配列されている。搬送方向において、連通流路７２ａの中央部が、供給流路７３ａと対向している。そのため、整流用リブ８６ａ同士の配置間隔は、連通流路７２ａの中央側から端側に向かうほど広くなっている（図２でＷ１１＜Ｗ１２＜Ｗ１３となっている）。また、各整流用リブ８６ａは、連通流路７２ａの走査方向に対向する内壁面同士を繋いでいる。これにより、連通流路７２ａは、整流用リブ８６ａによって搬送方向に仕切られる。

ここで、整流用リブ８６ａは、連通流路７２ａ内の流れを均一化するとともに、ダンパー膜８３ａの貼着時には、連通流路７２ａの右側壁部を貼着方向に内側から支持する。つまり、整流用リブ８６ａは、流れの整流板であり、構造的補強部材である。

供給流路７３ａは、図２に示すように、円柱孔である。供給流路７３ａは、搬送方向において、ダンパー室８１ａの中央部と重なる。供給流路７３ａの下端は、開口部８２ａの上側の縁８２ａ２に比べ、さらに上側（本発明の「第２方向における一方側」）にある。また、供給流路７３ａは、走査方向において、ダンパー室８１ａの中心Ｃ１に対して右側（開口部８２ａ側）に偏っている。別の言い方をすると、供給流路７３ａは、走査方向において、ダンパー部７１ａの左側の側壁部（本発明の「他方側の側壁部」）よりも右側の側壁部（本発明の「一方側の側壁部」）に近づけて配置されている。供給流路７３ａの上端は、図示しないチューブ等を介して、図示しないインクカートリッジと接続されている。

インク供給部材３５ｂは、インク供給部材３５ａと同じ材料からなる。また、インク供給部材３５ｂは、上述のように、インク供給部材３５ａと支持部材３４に関して対称の関係にある。具体的には、インク供給部材３５ｂは、ダンパー部７１ｂ、連通流路７２ｂ、供給流路７３ｂを有し、各部位の構造的特徴がインク供給部材３５ａと共通する。例えば、ダンパー部７１ｂでは、ダンパー室８１ｂ、開口部８２ｂとその縁部８２ｂ１、８２ｂ２の位置関係や形態が、連通流路７２ｂでは、整流用リブ８６ｂの形態が、また、供給流路７３ｂでは、その形態や供給流路７３ｂと他部位位置関係等が共通事項である。

なお、本実施の形態では、ダンパー室８１ａと供給流路７３ａとを合わせた流路、及び、ダンパー室８１ｂと供給流路７３ｂとを合わせた流路が、それぞれ、本発明の液体供給流路に相当する。

以上の構成により、外部から供給流路に供給されたインクは、ダンパー室に広がり、連通流路からマニホールド流路に流入する。この間、インク内に圧力変動があれば、ダンパー膜がこれを抑制・除去し、流速に分布があれば、整流用リブがこれを均一化する。さらに、インクは、マニホールド流路から個別のインク流路に分配される。個別インク流路では、インクが、絞り流路、圧力室およびディセンダ流路に流れて、ノズルに至る。圧電素子が駆動されると、圧力室の容積が変化し、ノズルからインクが小さな滴となって吐出されることになる。

本実施の形態では、インク供給部材は、ヘッドへのインク供給手段であるとともに、流路の形状変換手段である。インク供給部材は、チューブの断面が円形な流路からマニホールド流路の断面が長尺スリット状の流路へと、流路の形態を変換している。ここで、圧電素子の駆動により圧力室内のインクが消費されると、室内に生じる負圧によって、チューブからインクが補給される。インク供給部材内では、インクが、供給流路からダンパー室に向けて流れ込む。ダンパー室内には、インクの補給量によっては、供給流路の形態に規制された流れが生じることになる。具体的には、供給流路に対向するダンパー室や連通流路の部分では、インクの供給量が多くなる。この部分から離れるに従い、インクの供給量が少なくなる。ダンパー室や連通流路では、インクの供給量が、搬送方向中央部を最大として、その両側で減少する分布を持つことになる。これに対して、本実施の形態では、連通流路７２ａ、７２ｂに整流用リブ８６ａ、８６ｂが設けられている。さらに、整流用リブ８６ａ、８６ｂの配置間隔は、搬送方向の中央部側ほど狭くなっている。整流用リブ８６ａ、８６ｂは、インクの流れに対して抵抗となるため、連通流路７２ａ、７２ｂの中央部においてインクが流れにくく、端側ではインクが流れやすくなる。これにより、連通流路７２ａ、７２ｂからマニホールド流路１１ａ、１１ｂへのインクの供給量が、場所によらず均一になる。

また、本実施の形態では、マニホールド流路１１ａ、１１ｂの上流側にダンパー部７１ａ、７１ｂが設けられているため、マニホールド流路１１ａ、１１ｂに供給されるインクの圧力変動をより効果的に抑制することができる。また、本実施の形態では、整流用リブ８６ａ、８６ｂにより、インク供給部材３５ａ、３５ｂが補強されるため、インク供給部材３５ａ、３５ｂにダンパー膜８３ａ、８３ｂを貼り付ける際に、インク供給部材３５ａ、３５ｂが破損してしまうのを防止することができる。

また、本実施の形態では、開口部８２ａ、８２ｂの縁部８２ａ１、８２ｂ１が、ダンパー室８１ａ、８１ｂから外側に向かうほど、開口部８２ａ、８２ｂの、走査方向と直交する断面の面積が小さくなるようなテーパー状になっている。これにより、縁部８２ａ１、８２ｂ１近傍には、気泡が溜まりにくい。

また、上述したようにして、ノズル１５ａ、１５ｂからインクを吐出されたときには、ダンパー室８１ａ、８１ｂの圧力が一時的に低下し、ダンパー膜８３ａ、８３ｂがダンパー室８１ａ、８１ｂの内側に変形する。このとき、本実施の形態と異なり、供給流路７３ａ、７３ｂの下端が、開口部８２ａ、８２ｂの上側の縁８２ａ２、８２ｂ２と同じ高さにあると、変形したダンパー膜８３ａ、８３ｂによって供給流路７３ａ、７３ｂが塞がれてしまい、インクの供給不足を招く虞がある。

これに対して、本実施の形態では、供給流路７３ａ、７３ｂの下端が、開口部８２ａ、８２ｂの上側の縁８２ａ２、８２ｂ２よりもさらに上側に位置している。そのため、ダンパー膜８３ａ、８３ｂと供給流路７３ａ、７３ｂとの間に隙間が確保されるので、ダンパー膜８３ａ、８３ｂが変形しても、供給流路７３ａ、７３ｂがダンパー膜８３ａ、８３ｂに塞がれない。

さらに、本実施の形態では、供給流路７３ａ、７３ｂが、ダンパー室８１ａ、８１ｂの中心線Ｃ１、Ｃ２に対して、開口部８２ａ、８２ｂ側に偏って配置されている。これにより、ダンパー膜８３ａ、８３ｂがダンパー室８１ａ、８１ｂの内側に変形しているときに、ダンパー室８１ａ、８１ｂに流れ込んだインクが、ダンパー膜８３ａ、８３ｂに衝突しやすい。ダンパー室８１ａ、８１ｂ内のインクの圧力変動を効率よく抑制できる。

ここで、ダンパー膜８３ａ、８３ｂがダンパー室８１ａ、８１ｂの内側に変形しているときに、流れ込んだインクをダンパー膜８３ａ、８３ｂに衝突しやすくする観点から、供給流路７３ａ、７３ｂは、走査方向において、ダンパー室８１ａ、８１ｂの内側に変形したダンパー膜８３ａ、８３ｂと上下方向に重なる程度に、中心線Ｃ１、Ｃ２に対して、開口部８２ａ、８２ｂ側に偏って配置されていることが好ましい。

また、本実施の形態では、ダンパー室８１ａの左側の内壁面、及び、ダンパー室８１ｂの右側の内壁面（すなわち、ダンパー室８１ａ、８１ｂの、開口部８２ａ、８２ｂと反対側の内壁面）が、上側に向かうほど上下方向と直交する断面の断面積が小さくなるようなテーパー状となっている。そのため、ダンパー室８１ａ、８１ｂ内のエアは、テーパー状の内壁面に案内されることにより供給流路７３ａ、７３ｂ側に抜けやすく、ダンパー室８１ａ、８１ｂ内にエアが溜まりにくくなる。これにより、エアの個別インク流路への流入を防止することができる。

また、本実施の形態では、ダンパー部７１ａの右側の側壁部、及び、ダンパー部７１ｂの左側の側壁部（すなわち、ダンパー部７１ａ、７１ｂの互いに向かい合う内側の側壁部）に、ダンパー膜８３ａ、８３ｂが貼り付けられている。そのため、２つのダンパー膜８３ａ、８３ｂには、外力が直接的に及びにくくなっている。これにより、インクジェットヘッド３の製造時などに、ダンパー膜８３ａ、８３ｂが破損しにくい。

また、上述の実施の形態では、連通流路７２ａ、７２ｂからマニホールド流路１１ａ、１１ｂに下向きにインクが流れ込むのに対して、マニホールド流路１１ａ、１１ｂの下側の壁（カバープレート２４の部分２４ａ、２４ｂ）が、圧力変動を抑制するダンパーとなっている。このとき、マニホールド流路１１ａ、１１ｂに流れ込んだインクは、ダンパーとなる壁に向かった後、これに沿って移動する。これにより、マニホールド流路１１ａ、１１ｂ内のインクの圧力変動が、より確実に抑制される。

ところで、インクの吐出動作により、マニホールド流路１１ａ、１１ｂに不要な振動が残留することがあるが、ダンパーとなる壁（部分２４ａ、２４ｂ）が効果的にこれを抑制して、圧力室間の流体クロストークやメニスカス破壊を防ぐことができる。

次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。

上述の実施の形態では、２つのインク供給部材３５ａ、３５ｂを個別に持ち、２つの開口部８２ａ、８２ｂの配設部位を走査方向内側に対向する側壁とした。変形例１では、図４、図５に示すように、１つのインク供給部材１０１（本発明の「液体供給部材」）を持ち、２つの開口部１０４ａ、１０４ｂの配設部位を、走査方向の外側に向く側壁としている。

図４に示すように、インク供給部材１０１は枠状部材である。その内縁の内側には、支持部材３４全体が、収容されている。インク供給部材１０１は、２つの流路形成部１０１ａ、１０１ｂと、２つの連結部１０１ｃ、１０１ｄと、を有する。２つの連結部１０１ｃ、１０１ｄは、２つの流路形成部１０１ａ、１０１ｂを、搬送方向の両端で連結している。流路形成部は、上述のインク供給部材と同様に、流路の変換手段でもある。

インク供給部材１０１は、走査方向の中心を搬送方向に延びる中心線に関して、左右対称の構造を有している。そこで、以下の説明では、主に走査方向の左側の構造について述べることにする。

流路形成部１０１ａは、マニホールドプレート２２の走査方向における左端部の上面に配置されている。流路形成部１０１ａは、ダンパー部１０２ａに加え、インク供給部材３５ａと同様に連通流路７２ａ及び供給流路１０３ａとを有している。

ダンパー部１０２ａでは、開口部１０４ａが、走査方向における左側（外側）の側壁部に設けられている。ダンパー膜１０５ａが、開口部１０４ａに外側から貼り付けられて、開口を覆っている。また、供給流路１０３ａは、ダンパー室１０６ａの中心線Ｃ３に対して、左側（ダンパー膜１０５ａ側）に偏って配置されている。

連結部１０１ｃは、走査方向に延び、流路形成部１０１ａと１０１ｂの搬送方向における上流側の端部同士を連結させている。連結部１０１ｄは、走査方向に延び、流路形成部１０１ａと１０１ｂの搬送方向における下流側の端部同士を連結させている。

上述の実施の形態において、インク供給部材３５ａ、３５ｂの代わりに、これらが一体となった１つの部材を設けると、ダンパー膜８３ａ、８３ｂを貼り付けるのが困難になる虞がある。

これに対して、変形例１では、開口部が、走査方向における外側の側壁部に設けられている。そのため、インク供給部材を製造する際、ダンパー膜を単に外側から貼り付ければよく、作業性が高い。また、１つのインク供給部材１０１が、２つの流路形成部を含んでおり、部品点数を減らすことができる。

なお、変形例１のように、ダンパー部１０２ａ、１０２ｂの走査方向における外側の側壁部に開口部１０４ａ、１０４ｂが設けられている場合でも、流路形成部１０１ａに対応する部材と、流路形成部１０１ｂに対応する部材とを別々に設けてもよい。

また、上述の実施の形態のように、ダンパー部７１ａ、７１ｂの走査方向における内側の側壁部に開口部８２ａ、８３ｂが設けられている場合でも、ダンパー膜８３ａ、８３ｂを貼り付けることが可能であれば、インク供給部材３５ａ、３５ｂの代わりに、これら２つの部材に対応する部分を有する１つのインク供給部材を設けてもよい。

また、上述の実施の形態では、ダンパー室８１ａ、８１ｂの走査方向におけるダンパー膜８３ａ、８３ｂと反対側の内壁面がテーパー状になっていたが、これには限られない。例えば、これらの側壁面は、搬送方向及び上下方向と平行な面であってもよい。

また、上述の実施の形態では、供給流路７３ａ、７３ｂが、ダンパー室８１ａ、８１ｂの中心線Ｃ１、Ｃ２に対して、ダンパー膜８３ａ、８３ｂ側に偏っていたが、これには限られない。

供給流路７３ａ、７３ｂは、供給流路７３ａ、７３ｂの中心線が、それぞれ、ダンパー室８１ａ、８１ｂの中心線Ｃ１、Ｃ２と重なるように配置されていてもよい。あるいは、供給流路７３ａ、７３ｂは、中心線Ｃ１、Ｃ２に対して、ダンパー膜８３ａ、８３ｂと反対側に偏って配置されていてもよい。

また、上述の実施の形態では、供給流路７３ａ、７３ｂの下端が、開口部８２ａ、８２ｂの上側の縁８２ａ２の位置よりもさらに上側に位置していたが、これには限られない。供給流路７３ａ、７３ｂの下端が、開口部８２ａ、８２ｂの上側の縁８２ａ２の位置と同じ高さに位置していてもよい。

また、上述の実施の形態では、開口部８２ａ、８２ｂの縁部８２ａ１、８２ｂ１が、ダンパー室８１ａ、８１ｂから外側に向かうほど、開口部８２ａ、８２ｂの走査方向と直交する断面の断面積が小さくなるようなテーパー状になっていたが、これには限られない。縁部８２ａ１、８２ｂ１は、テーパー状になっておらず、走査方向と平行になっていてもよい。

また、上述の実施の形態では、連通流路７２ａ、７２ｂは、搬送方向において中央側から端側に向かうほど、整流用リブ８６ａ、８６ｂの間隔が徐々に大きくなっていたが、これには限られない。変形例２では、図６に示すように、連通流路７２ａ、７２ｂの中央部において、複数の整流用リブ１１１ａ、１１１ｂが所定の第１間隔Ｗ２１で等間隔に配列されている。また、連通流路７２ａ、７２ｂの端側において、複数の整流用リブ１１１ａ、１１１ｂが第１間隔Ｗ２１よりも大きい第２間隔Ｗ２２で等間隔に配列されている。この場合でも、連通流路７２ａ、７２ｂにおいては、搬送方向の中央部においてインクが流れにくく、搬送方向の端側においてインクが流れやすくなる。

また、上述の実施の形態では、整流用リブ８６ａ、８６ｂが、走査方向と平行に延びていたが、これには限られない。変形例３では、図７に示すように、連通流路７２ａに設けられた複数の整流用リブ１２１ａが、走査方向に対して傾いている。また、複数の整流用リブ１２１ａのうち、互いに隣接する整流用リブ１２１ａは、走査方向に対して互いに逆向きに傾いている。また、複数の整流用リブ１２１ａのうち、搬送方向における連通流路７２ａの端側に位置する整流用リブ１２１ａほど、走査方向に対する傾きが大きくなっている。これにより、搬送方向における連通流路７２ａの端側にいくほど、連通流路７２ａの走査方向の中央部における整流用リブ１２１ａの配置間隔（平均の配置間隔）が大きくなっている（図７でＷ３１＜Ｗ３２＜Ｗ３３＜Ｗ３４となっている）。連通流路７２ｂに設けられる複数の整流用リブ１２１ｂについても同様である。

また、上述の実施の形態では、連通流路７２ａ、７２ｂの上流側にダンパー室８１ａ、８１ｂが接続されていたが、これには限られない。連通流路７２ａ、７２ｂの上流側に、ダンパー膜によって形成された壁のないインク流路が接続されていてもよい。

また、上述の実施の形態では、インクジェットヘッド３が、２つのマニホールド流路１１ａ、１１ｂと、これに対応する２組のダンパー部、連通流路及び供給流路を有するものであったが、これには限られない。インクジェットヘッドは、１つのマニホールド流路と、これに対応する１組のダンパー部、連通流路及び供給流路を有するものであってもよい。さらに、３つ以上のマニホールド流路と、これに対応する流路構成を有するものにも適用できる。

以上説明した実施例・変形例では、インク供給部材において、供給流路が、ダンパー室の搬送方向中央部に配置されていた。しかし、供給流路の配置位置は、これに限定されない。例えば、配置位置を、搬送方向一方の端部側としてもよい。連通流路の供給流路と上下に対向する部分は、他の部分に比べて、液体の供給量は多くなる。この場合でも、液体の供給量の均一化という観点から、この対向部分から離れるに従い、リブの設置密度を小さくするとよい。

以上の実施例・変形例では、供給流路が連通流路と対向する場合、いずれも整流用リブを避けて配置されているが、この配置形態に限定されない。供給流路は、整流用リブと上下方向に対向していても良い。インクの流れが、連通流路に達した時点で上下方向の指向性を残していても、整流用リブがこれを搬送方向に分散するので、液体の供給量が均一になる。

以上の実施例・変形例では、インクの流れとダンパー膜との衝突可能性の観点から、ダンパー室の中心線に対して、供給流路の設置位置を開口部側に設定していたが、例えば、ダンパー膜が最大に変位した場合、供給流路を上下方向に重なる位置に配置してもよい。ダンパー膜がインクの流れと直接作用し、圧力変動をさらに抑制しやすくなる。

また、以上では、ノズルからインクの吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。ノズルからインク以外の液体を吐出する、インクジェットヘッド以外の液体吐出装置に本発明を適用することも可能である。

３ インクジェットヘッド
１１ａ、１１ｂ マニホールド流路
１５ａ、１５ｂ ノズル
２２ マニホールドプレート
２４ カバープレート
３５ａ、３５ｂ インク供給部材
７１ａ、７１ｂ ダンパー部
７２ａ、７２ｂ 連通流路
７３ａ、７３ｂ 供給流路
８１ａ、８１ｂ ダンパー室
８２ａ、８２ｂ 開口部
８３ａ、８３ｂ ダンパー膜
８６ａ、８６ｂ 整流用リブ
１０１ インク供給部材
１０２ａ、１０２ｂ ダンパー部
１０３ａ、１０３ｂ 供給流路
１０４ａ、１０４ｂ 開口部
１０５ａ、１０５ｂ ダンパー膜
１０６ａ、１０６ｂ ダンパー室
１１１ａ、１１１ｂ 整流用リブ
１２１ａ、１２１ｂ 整流用リブ

Claims (9)

1. 第１方向に延びて複数のノズルと連通する共通液室が形成された、液室形成部材と、
   前記液室形成部材に対して前記第１方向と直交する第２方向の一方側に配置され、前記共通液室に液体を供給するための液体供給流路、及び、前記第１方向に延びて前記液体供給流路を前記共通液室に連通させる連通部を有する、液体供給部材と、
   前記連通部に設けられ、前記第１方向に間隔を空けて並ぶ複数の整流部材と、を備え、
   前記複数の整流部材は、前記第１方向端部における配置間隔が、前記第１方向中央部における配置間隔よりも大きく、
   前記液体供給部材は、ダンパー部を有し、
   前記ダンパー部は、
   前記連通部を介して前記共通液室と連通し、前記液体供給流路の一部を構成するダンパー室と、
   前記ダンパー部の側壁部に形成された開口部と、
   前記開口部を覆うように前記側壁部に取り付けられたダンパー膜と、を有し、
   前記開口部の縁部は、前記ダンパー室側から外側に向かうほど前記開口部の断面積が小さくなるテーパー状に形成されていることを特徴とする液体吐出装置。
2. 第１方向に延びて複数のノズルと連通する共通液室が形成された、液室形成部材と、
   前記液室形成部材に対して前記第１方向と直交する第２方向の一方側に配置され、前記共通液室に液体を供給するための液体供給流路、及び、前記第１方向に延びて前記液体供給流路を前記共通液室に連通させる連通部を有する、液体供給部材と、
   前記連通部に設けられ、前記第１方向に間隔を空けて並ぶ複数の整流部材と、を備え、
   前記複数の整流部材は、前記第１方向端部における配置間隔が、前記第１方向中央部における配置間隔よりも大きく、
   前記液体供給部材は、ダンパー部を有し、
   前記ダンパー部は、
   前記連通部を介して前記共通液室と連通し、前記液体供給流路の一部を構成するダンパー室と、
   前記ダンパー部の側壁部に形成された開口部と、
   前記開口部を覆うように前記側壁部に取り付けられたダンパー膜と、を有し、
   前記ダンパー部の、前記第２方向において前記連通部と反対側には、前記ダンパー室に液体を供給する供給部が形成され、
   前記供給部は、前記ダンパー室の前記第２方向に延びる中心線に対して、前記開口部側に偏って配置されていることを特徴とする液体吐出装置。
3. 第１方向に延びて複数のノズルと連通する共通液室が形成された、液室形成部材と、
   前記液室形成部材に対して前記第１方向と直交する第２方向の一方側に配置され、前記共通液室に液体を供給するための液体供給流路、及び、前記第１方向に延びて前記液体供給流路を前記共通液室に連通させる連通部を有する、液体供給部材と、
   前記連通部に設けられ、前記第１方向に間隔を空けて並ぶ複数の整流部材と、を備え、
   前記複数の整流部材は、前記第１方向端部における配置間隔が、前記第１方向中央部における配置間隔よりも大きく、
   前記液体供給部材は、ダンパー部を有し、
   前記ダンパー部は、
   前記連通部を介して前記共通液室と連通し、前記液体供給流路の一部を構成するダンパー室と、
   前記ダンパー部の側壁部に形成された開口部と、
   前記開口部を覆うように前記側壁部に取り付けられたダンパー膜と、を有し、
   前記ダンパー部の、前記第２方向において前記連通部と反対側には、前記ダンパー室に液体を供給する供給部が形成され、
   前記ダンパー室を形成する壁部のうち、前記ダンパー膜と対向する部分の内面は、前記供給部に向かうほど前記ダンパー室の断面積が小さくなるテーパー状に形成されていることを特徴とする液体吐出装置。
4. 前記供給部は、前記側壁部に形成された前記開口部の、前記第２方向における前記一方側の縁位置よりも、さらに前記一方側の位置にあることを特徴とする請求項２又は３に記載の液体吐出装置。
5. 前記液室形成部材は、前記第１方向に沿って並行して延びる２つの前記共通液室を有し、
   前記液体供給部材は、前記２つの共通液室にそれぞれ対応して、並んで配置された２つの前記ダンパー部を有し、
   各ダンパー部の、他のダンパー部と向かい合う内側の側壁部に、前記ダンパー膜が取り付けられていることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の液体吐出装置。
6. 前記液室形成部材は、前記第１方向に沿って並行して延びる２つの前記共通液室を有し、
   前記液体供給部材は、前記２つの共通液室にそれぞれ対応して、並んで配置された２つの前記ダンパー部を有し、
   各ダンパー部の外側の側壁部に、前記ダンパー膜が取り付けられていることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の液体吐出装置。
7. 第１方向に延びて複数のノズルと連通するマニホールド流路が形成されたマニホールドプレートと、
   前記マニホールドプレートに前記第１方向と直交する第２方向から積層し、外部から液体が供給される供給流路と、前記第１方向に前記供給流路よりも長く延びて前記マニホールド流路に連通する連通流路とを有し、前記供給流路と前記連通流路とを前記第２方向の両端に持つ液体流路が形成された液体供給部材と、を備え、
   前記液体供給部材の前記連通流路は、
   前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記マニホールド流路の一方側端部と接続され、
   前記第３方向に対向する前記連通流路の内壁面同士を繋ぐ複数の整流用リブを有し、
   前記複数の整流用リブは、
   前記第１方向に間隔をあけて並ぶとともに、前記供給流路から遠い前記整流用リブ同士の間隔が、前記供給流路に近い前記整流用リブ同士の間隔よりも大きいことを特徴とする液体吐出装置。
8. 前記液体供給部材は、
   前記第３方向に関して前記一方側の側壁部の一部を構成し、可撓性を有する第１ダンパー膜を備え、
   前記供給流路が、前記第２方向に関して、前記連通流路と反対側に配置されているとともに、前記第３方向に関して、他方側の側壁部よりも前記一方側の側壁部に偏って配置されていることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出装置。
9. 前記マニホールドプレートは、
   前記第２方向に関して、前記液体供給部材と反対側の前記マニホールド流路の側壁部の一部が、可撓性を有する第２ダンパー膜で構成されていることを特徴とする請求項７又は８に記載の液体吐出装置。

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