JP7102788B2 - 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
図1に示すように、インクジェットプリンタ1は、プラテン2、キャリッジ3、インクジェットヘッド4、搬送機構5等を備えている。なお、以下では、図1に示す前後左右の各方向をプリンタの「前」「後」「左」「右」と定義する。また、紙面手前側を「上」、紙面向こう側を「下」とそれぞれ定義する。
次に、インクジェットヘッド4の詳細構成について説明する。なお、インクジェットヘッド4の4つのヘッドユニット16は、全て同じ構成であるため、そのうちの1つについて説明を行い、他のヘッドユニット16については説明を省略する。
流路基板21は、シリコン基板である。流路基板21には、複数の圧力室26が形成されている。流路基板21の厚みは、例えば、100μmである。複数の圧力室26は搬送方向に配列されて、走査方向に並ぶ2列の圧力室列を構成している。なお、図2では、図の簡略化のため、1つの圧力室列を構成する圧力室が18個しか示されていないが、実際には、より多くの圧力室が非常に小さなピッチで配列されている。また、流路基板21には、複数の圧力室26を覆う振動膜30(本発明の「第1膜」)が形成されている。振動膜30は、シリコン基板である流路基板21の表面の一部を酸化することによって形成された、二酸化ケイ素(SiO2)で形成された絶縁性の膜である。
ノズルプレート23は、流路基板21の下面に配置されている。ノズルプレート23は、ポリイミドなどの合成樹脂により形成されている。ノズルプレート23の厚みは、例えば、30~50μmである。ノズルプレート23には、流路基板21の複数の圧力室26の走査方向における外側の端部とそれぞれ連通する、複数のノズル20が形成されている。図2に示すように、複数のノズル20は、流路基板21の複数の圧力室26と同様に搬送方向に配列され、走査方向に並ぶ2つのノズル列を構成している。2つのノズル列の間では、搬送方向におけるノズル20の位置が、各ノズル列における配列ピッチPの半分(P/2)だけずれている。
圧電アクチュエータ24は、上述した振動膜30と、振動膜30の上面において、2列に配列された複数の圧力室26にそれぞれ対応して配置された複数の圧電素子39を備えている。
図2~図4に示すように、流路基板21の左端部上面、及び、右端部上面には、配線部材である2枚のCOF50がそれぞれ接合されている。各COF50は、フレキシブル基板51と、フレキシブル基板51に実装された2つの駆動IC52(52a,52b)と、駆動IC52と複数の駆動接点42aとの接続、グランド接点38と図示しない制御装置との接続などを行うための複数の配線53とを有している。
図4(a)、(b)に示すように、リザーバ形成部材25は、圧電アクチュエータ24を挟んで、流路基板21と反対側(上側)に配置され、圧電アクチュエータ24を介して、流路基板21と接合されている。リザーバ形成部材25は、例えば、流路基板21と同様に、シリコン基板であってもよいが、金属材料や合成樹脂材料で形成された部材であってもよい。
次に、インクジェットヘッド4の製造方法について説明する。インクジェットヘッド4を製造するためには、まず、図5(a)に示すように、流路基板21となるシリコン基板121の上面の一部を酸化させることによって、基板121の上面に振動膜30を形成する(本発明の「第1膜形成工程」)。
以上に説明した実施形態では、貫通孔72の縁が、貫通孔73の縁よりも貫通孔73の内側に位置し、振動膜30の上面(流路基板21と反対側の面)の貫通孔73と重なる部分に接着剤75が配置されている。そして、この接着剤75により、二酸化ケイ素(SiO2)の振動膜30と、窒化ケイ素(SiNx)の配線保護膜43との境界部が覆われている。これにより、振動膜30と配線保護膜43との間にインクがしみ込んでしまうのを防止することができる。
16 ヘッドユニット
21 流路基板
24 圧電アクチュエータ
25 リザーバ形成部材
26 圧力室
30 振動膜
39 駆動素子
42 配線
43 配線保護膜
47 インク供給流路
71 凹部
72 貫通孔
73 貫通孔
75 接着剤
121 基板
201 ヘッドユニット
203 貫通孔
211 ヘッドユニット
212 振動膜
213 貫通孔
214 接着剤
221 ヘッドユニット
222 保護膜
223 絶縁膜
225 貫通孔
226 貫通孔
227 接着剤
231 ヘッドユニット
232 圧力室
Claims (17)
- 圧力室を有する基板と、
前記圧力室内の液体に圧力を付与する駆動素子、を有するアクチュエータと、
前記圧力室に液体を供給する供給流路、を有する流路部材と、を備え、
前記アクチュエータは、
前記基板上に配置され、前記圧力室を覆う第1膜と、
前記第1膜の前記基板と反対側の面に配置された第2膜と、を有し、
前記第1膜及び前記第2膜を挟んで、前記基板と前記流路部材とが接着剤で接着され、
前記第1膜の、前記第1膜と前記第2膜との積層方向において、前記圧力室及び前記供給流路と重なる部分に、第1貫通孔が形成され、
前記第2膜の、前記積層方向において前記第1貫通孔と重なる部分に、第2貫通孔が形成され、
前記第1貫通孔の縁が、前記第2貫通孔の縁よりも前記第2貫通孔の内側に位置し、
前記第1膜の前記基板と反対側の面の、前記第2貫通孔と重なる部分に、前記第1膜と前記第2膜との境界部を覆う前記接着剤が配置され、
前記第1膜の前記基板と反対側の面の、前記積層方向において前記圧力室と重なる部分に凹部が形成され、
前記第1貫通孔の縁が、前記凹部の縁よりも前記凹部の内側に位置し、
前記凹部の縁が、前記第2貫通孔の縁と前記積層方向に重なる、又は、前記第2貫通孔の縁よりも前記第2貫通孔の内側に位置することを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記凹部の深さが、前記第1膜の厚みの半分よりも大きいことを特徴とする請求項1記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第1膜は、前記第2膜よりも厚みが大きいことを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第1貫通孔の内壁面には、前記接着剤が付着していないことを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 前記供給流路の前記第2貫通孔との接続部分の縁が、第1貫通孔の縁よりも、前記第1貫通孔及び前記第2貫通孔の内側に位置していることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 前記接着剤は、エポキシ樹脂を含む接着剤であることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第1膜が、二酸化ケイ素によって形成されていることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 前記基板が、シリコン基板であることを特徴とする請求項1~7のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第2膜が絶縁性材料によって形成されていることを特徴とする請求項1~8のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 前記アクチュエータは、前記駆動素子と接続される配線を有し、
前記第2膜は、前記配線を覆う配線保護膜であることを特徴とする請求項9に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記配線保護膜が、窒化ケイ素の膜であることを特徴と請求項10に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第2膜は、前記駆動素子を覆う素子保護膜であることを特徴とする請求項9に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記素子保護膜は、二酸化ケイ素によって形成された膜とアルミナによって形成された膜とが積層された膜であることを特徴とする請求項12に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第1貫通孔の縁が、前記圧力室の縁よりも前記圧力室の内側に位置していることを特徴とする請求項1~13のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 基板上に、アクチュエータを構成する第1膜を形成する第1膜形成工程と、
前記第1膜の前記基板と反対側の面に、前記アクチュエータを構成する第2膜を形成する第2膜形成工程と、
前記第1膜に第1貫通孔を形成する第1貫通孔形成工程と、
前記第2膜に、前記第1膜と前記第2膜との積層方向において前記第1貫通孔と重なる第2貫通孔を形成する第2貫通孔形成工程と、
前記第1膜及び前記第2膜を挟んで、前記基板と流路部材とを接着剤で接着する接着工程と、
前記接着工程の後、前記基板に、前記積層方向において前記第1貫通孔と重なる圧力室を形成する圧力室形成工程と、を備え、
前記第1貫通孔の縁が、前記第2貫通孔の縁よりも前記第2貫通孔の内側に位置するように、前記第1貫通孔形成工程で前記第1膜に前記第1貫通孔を形成し、前記第2貫通孔形成工程において前記第2膜に前記第2貫通孔を形成し、
前記第2貫通孔形成工程において、前記第1膜の前記基板と反対側の面の、前記積層方向において前記圧力室と重なる部分に凹部を形成し、
前記第1貫通孔の縁が、前記凹部の縁よりも前記凹部の内側に位置するように、前記第1貫通孔形成工程で前記第1膜に前記第1貫通孔を形成し、
前記凹部の縁が、前記第2貫通孔の縁と前記積層方向に重なる、又は、前記第2貫通孔の縁よりも前記第2貫通孔の内側に位置するように前記第2貫通孔形成工程において前記第2膜に前記第2貫通孔を形成することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第2貫通孔形成工程で前記第2膜に前記第2貫通孔を形成した後に、前記第1貫通孔形成工程で前記第1膜に前記第1貫通孔を形成することを特徴とする請求項15に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記圧力室形成工程において、前記基板にエッチングを施すことによって前記圧力室を形成することを特徴とする請求項15又は16に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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