JP6583200B2

JP6583200B2 - 露光装置

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Publication number: JP6583200B2
Application number: JP2016190388A
Authority: JP
Inventors: 康晃阪本
Original assignee: Kyocera Document Solutions Inc
Current assignee: Kyocera Document Solutions Inc
Priority date: 2016-09-28
Filing date: 2016-09-28
Publication date: 2019-10-02
Anticipated expiration: 2036-09-28
Also published as: JP2018054848A

Description

本発明は、感光体の周面にレーザー光を照射する露光装置の清掃に関する。

一般的な画像形成装置は、像担持体としての感光体と、帯電装置と、露光装置と、現像装置と、転写装置とを備え、感光体上で画像形成工程（帯電、露光、現像、転写）が行われ、記録媒体上にトナー像が形成される。

露光装置は、形成すべき画像の画像データに基づいて、感光体の周面にレーザー光を照射することによって、感光体の周面に潜像を形成するものであり、露光装置としてのレーザースキャンユニットには、感光体へのレーザー光の出射部分に透光性の光路窓が設けられている。

画像形成装置内においては、画像形成に使用するトナーが飛散することにより、トナーが露光装置の光路窓に積もることがある。光路窓にトナーが積もり、光路窓が汚れると、レーザー光の光路が遮られるため、感光体に形成される潜像画像に影響を与え、印刷品質が低下してしまう。

このため、例えば、ユーザーからの清掃指示入力を受けたタイミングで光路窓の清掃を行うことや、一定期間毎に光路窓の清掃を行うことが提案されている（例えば、下記の特許文献１を参照）。

特開昭６３−３０７４８５号公報

しかしながら、画像形成装置内におけるトナーの飛散量（すなわち、光路窓に積もるトナー量）は、装置個々の構造上のばらつきや、平均印刷率など、その使用環境によって異なる。そのため、上記のように固定されたタイミング及び期間では、清掃を行うべき程度のトナーが溜まっているにも拘わらず清掃を行う間隔が長すぎるといった事態が生じるおそれがあり、この場合、光路窓におけるトナー積載量が過度に多くなり、印刷品質の低下を招くことがある。

本発明は、上記の事情に鑑みなされたものであり、露光装置における光路窓の清掃を適正な間隔で行えるようにすることを目的とする。

本発明の一局面に係る露光装置は、レーザー光を出射する発光部と、前記レーザー光の通過部分に設けられる透過性の光路窓と、清掃部材を有し、前記清掃部材を前記光路窓に接触させながら移動する移動体と、前記移動体に前記移動を行うための駆動力を供給する駆動モーターと、予め定められた駆動周期で、前記駆動モーターを駆動して、前記移動体に前記移動を行わせる制御部と、前記駆動モーターの駆動トルクを検出するトルク検出部とを備え、前記制御部は、前記駆動モーターを駆動させているときに前記トルク検出部により検出される前記駆動トルクの大きさが、(1)予め定められた第１閾値以上であり、かつ、前記第１閾値よりも大きい予め定められた第２閾値以上の場合は、前記駆動周期をそれまでの値から、予め定められた第１の値だけ短くし、(2)前記第１閾値以上であり、かつ、前記第２閾値よりも小さい場合は、前記第１の値よりも小さい予め定められた第２の値だけ前記駆動周期をそれまでの値から短くし、(3)前記第１閾値よりも小さく、かつ、前記第１閾値よりも小さい予め定められた第３閾値以上である場合は、前記駆動周期をそれまでのままとし、(4)前記第３閾値よりも小さい場合は、前記第２の値よりも小さい予め定められた第３の値だけ前記駆動周期をそれまでの値から長くするものである。

光路窓におけるトナー積載量（実際には、トナーだけでなく、紙粉等の粉塵も含む）が多くなると、それに従って、移動体に清掃のための移動動作を行うための駆動力を供給する駆動モーターの駆動トルクが大きくなる。換言すれば、駆動モーターの駆動トルクの大きさをモニターすることで、光路窓におけるトナー積載量を把握することができる。

本発明によれば、光路窓の清掃処理を行っている際における駆動モーターの駆動トルクの大きさ（すなわち、光路窓におけるトナー積載量）に基づいて、清掃のために駆動モーターを駆動する駆動周期、すなわち、清掃処理の周期を設定するので、光路窓の清掃をトナー積載量に応じた適正な間隔で行うことができる。例えば、当該駆動トルクの大きさが予め定められた閾値を上回る場合、当該駆動周期をそれまでの駆動周期よりも短く変更すれば、光路窓におけるトナー積載量が過度に多くなる前に、光路窓の清掃が行われるので、印刷品質の低下を防ぐことができる。

本発明の第１実施形態に係る画像形成装置の構造を示した模式的な部分断面正面図である。画像形成装置を構成する露光装置及びその周辺部を概略的に示した斜視図である。画像形成装置の主要内部構成を概略的に示した機能ブロック図である。駆動モーターの駆動回路の一例を示した回路図である。第１実施形態に係る画像形成装置における制御ユニットで行われる処理動作の一例を示したフローチャートである。露光装置における光路窓の清掃タイミングを説明するための説明図であり、（Ａ）は、総印刷枚数と駆動モーターの駆動トルク（駆動電流）との関係の一例を示し、（Ｂ）は、総印刷枚数と光路窓におけるトナー積載量との関係の一例を示している。第２実施形態に係る画像形成装置における制御ユニットで行われる処理動作の一例を示したフローチャートである。

以下、本発明に係る画像形成装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る画像形成装置の構造を示した模式的な部分断面正面図である。画像形成装置１は、例えば、コピー機能、プリンター機能、スキャナー機能、及びファクシミリ機能のような複数の機能を兼ね備えた複合機であり、装置本体１１に、操作部４７、原稿給送部６、原稿読取部５、画像形成部１２、定着部１３、及び給紙部１４を含んで構成されている。

画像形成装置１で画像形成動作が行われる場合について説明する。原稿読取動作により生成された画像データや、内蔵ＨＤＤに記憶されている画像データ、ネットワーク接続されたコンピューターから受信した画像データ等に基づいて、画像形成部１２が、給紙部１４から給紙される記録紙（記録媒体）としての用紙Ｐにトナー像を形成する。

画像形成部１２は、ブラック（Ｂｋ）用の画像形成ユニット１２Ｂｋ、イエロー（Ｙ）用の画像形成ユニット１２Ｙ、シアン（Ｃ）用の画像形成ユニット１２Ｃ、及びマゼンタ（Ｍ）用の画像形成ユニット１２Ｍを含んで構成される。これら画像形成ユニット１２Ｂｋ，１２Ｙ，１２Ｃ，１２Ｍはそれぞれ静電潜像又はトナー像を担持する円柱状の感光体ドラム（像担持体）１２１と、感光体ドラム１２１の表面を帯電させる帯電装置２２０と、帯電された感光体ドラム１２１の表面を露光させる露光装置２４０と、感光体ドラム１２１にトナーを供給してトナー像を形成する現像装置２３０とを備え、感光体ドラム１２

１は、図中の反時計回りに回転駆動する。

転写ユニット１２０は、その外周面にトナー像が転写される中間転写ベルト１２５、駆動ローラー１２５ａ、従動ローラー１２５ｂ、及び一次転写ローラー１２６を含んで構成されている。

中間転写ベルト１２５は、駆動ローラー１２５ａと従動ローラー１２５ｂとの間に張架され、感光体ドラム１２１の周面に当接した状態で駆動ローラー１２５ａによって駆動され、感光体ドラム１２１と同期しながら、無端走行する。

カラー印刷が行われる場合、各色の画像形成ユニットにおいて、帯電装置２２０により感光体ドラム１２１の周囲が一様に帯電され（帯電工程）、電荷を帯びた感光体ドラム１２１の表面に、画像データに基づいて、露光装置２４０の光路窓２４１からレーザー光ＬＢが照射されて潜像が形成され（露光工程）、現像装置２３０により潜像がトナーで可視像化され（現像工程）、可視像化することによって形成されたトナー像が一次転写ローラー１２６によって中間転写ベルト１２５上に転写されるようになっている。中間転写ベルト１２５上に転写される各色（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）のトナー像は、転写タイミングを調整して中間転写ベルト１２５上で重ね合わされ、カラーのトナー像となる。二次転写ローラー１２８により、当該中間転写ベルト１２５上のカラーのトナー像が用紙Ｐに転写される。定着部１３は、熱圧着により上記転写されたトナー像を用紙Ｐに定着させる。

図２は、露光装置２４０及びその周辺部を概略的に示した斜視図である。箱型のレーザースキャンユニットを構成する露光装置２４０は、その内部にレーザー光ＬＢ（図１）を発光する発光部２４３（図１）を備え、露光装置２４０からのレーザー光ＬＢの出射口として、透光性のガラス又は樹脂等からなる光路窓２４１が、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタの各色用のレーザー発射ごとに設けられている。

光路窓２４１を清掃するための清掃部材５２を有した移動体５１は、清掃部材５２が光路窓２４１に接触するように配置されている。なお、清掃部材５２は、各色用の光路窓２４１のそれぞれに対して設けられている。移動体５１は、各清掃部材５２を対応するそれぞれの光路窓２４１に接触させながら光路窓２４１の長手方向（矢印Ａ１方向）に移動可能に構成されている。清掃部材５２としては、光路窓２４１を傷つけない素材が好ましく、例えば、スポンジ、ブラシ、不織布、可撓性を有する樹脂製のブレード、又は弾力を有するゴム等からなるブレードなどが用いられる。

移動体５１の駆動源としては、後述する駆動モーター６２（図３、図４）であるＤＣモーターが挙げられる。また、移動体５１を移動させる移動機構２は、例えば、光路窓２４１の長手方向に延びるスクリュー軸２１と、スクリュー軸２１が回転したときにねじと同じ原理で軸方向に移動してスクリュー軸２１の回転運動を直線運動に変換するロータリーライナー２２と、駆動モーター６２の回転駆動軸と共回りして、スクリュー軸と共回りするギアに噛合するギア（図略）と、上記長手方向（矢印Ａ１方向）に移動体５１が移動する最終地点に設けられて移動体５１の当該移動を規制するストッパー２３とを備える。ロータリーライナー２２には移動体５１が取り付けられている。

駆動モーター６２の駆動力は、上記各ギアを介してスクリュー軸２１に伝達される。当該駆動力によりスクリュー軸２１が回転すると、ロータリーライナー２２がスクリュー軸２１に沿って上記長手方向（矢印Ａ１方向）に直線的に移動する。これにより、移動体５１は、清掃部材５２を光路窓２４１に接触させながら光路窓２４１の長手方向に進み、ストッパー２３に係止する位置まで移動する。例えば、ストッパー２３は、当該長手方向において、光路窓２４１の長手方向端部を超えた位置に配設される。

図３は、画像形成装置１の主要内部構成を概略的に示した機能ブロック図である。画像形成装置１は、制御ユニット１０、原稿給送部６、原稿読取部５、画像形成部１２、画像メモリー３２、ＨＤＤ９２、定着部１３、給紙部１４、操作部４７、モータードライバー６１、駆動モーター６２、及び移動体５１を含んで構成されている。なお、図１に示した画像形成装置１と同様の構成部分については同符号を付し、ここではその詳しい説明を省略する。

モータードライバー６１は、移動体５１を移動させるための駆動源である駆動モーター６２に駆動電流を供給して、駆動モーター６２を回転駆動する電気回路である。

制御ユニット１０は、プロセッサー、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、及び専用のハードウェア回路を含んで構成される。プロセッサーは、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、又はＭＰＵ等である。制御ユニット１０は、制御部１００を備えている。

制御部１００は、画像形成装置１の全体的な動作制御を司る。制御部１００は、原稿給送部６、原稿読取部５、画像形成部１２、画像メモリー３２、ＨＤＤ９２、定着部１３、給紙部１４、操作部４７、及びモータードライバー６１と接続され、これら各部の駆動制御等を行う。

図４は、駆動モーター６２の駆動回路の一例を示した回路図である。駆動回路３は、上記制御部１００の一部として機能する制御デバイス７１と、モータードライバー６１と、オペアンプＯＰ１とを備える。ここで、制御デバイス７１は、入力端子７１ａにオペアンプＯＰ１から入力される電圧信号をアナログ−ディジタル変換するＡ／Ｄ変換部７２を備えている。

制御デバイス７１の出力端子７１ｂ，７１ｃはそれぞれ、モータードライバー６１の入力端子６１ａ，６１ｂと接続されている。制御デバイス７１は、モータードライバー６１を介して、駆動モーター６２の駆動を制御する。電源端子Ｖｓは電源Ｖｃｃに接続されている。

モータードライバー６１は、駆動モーター６２に駆動電流を供給して駆動モーター６２を回転駆動する。出力端子６１ｄ，６１ｅは駆動モーター６２に接続されている。また、ＳＥＮＳＥ端子６１ｆは抵抗Ｒ１を介して接地されている。ここで、駆動モーター６２の駆動電流の値は、駆動トルクの大きさに応じて変動する。このため、駆動モーター６２の駆動電流値を検出することで駆動トルクの大きさを検出できる。そこで、駆動回路３では、モータードライバー６１のＳＥＮＳＥ端子６１ｆ及びグランド間の電圧に基づいて、駆動モーター６２の駆動電流値を検出する。

モータードライバー６１のＳＥＮＳＥ端子６１ｆ及びグランド間の電圧はオペアンプＯＰ１で増幅されて、制御デバイス７１の入力端子７１ａに向けて出力される。制御デバイス７１では、入力端子７１ａに入力されたアナログの電圧信号はＡ／Ｄ変換部７２でディジタル信号に変換される。制御デバイス７１の分解能が、例えば、８ビットである場合、Ａ／Ｄ変換部７２は、当該電圧信号の強度を２５６（＝２の８乗）段階で数値化する。モータードライバー６１及びオペアンプＯＰ１は、駆動モーター６２の駆動トルク（駆動電流）の大きさを検出するトルク検出部として機能する。

次に、制御ユニット１０で行われる処理動作の一例を図５に示したフローチャートに基づいて説明する。なお、ここでは、制御デバイス７１の分解能を８ビットとし、駆動モーター６２の駆動トルクの大きさがＡ／Ｄ変換部７２により０〜２５５の２５６段階で数値化される場合について説明する。

まず、制御部１００が、光路窓２４１の清掃を行う駆動周期Ｃ１を予め定められた周期（例えば、印刷枚数１０００枚）に設定する（Ｓ１）。制御部１００が、画像形成部１２による印刷処理の回数をカウントするカウンター（図略。例えば制御ユニット１０が内蔵）のカウント値Ｃを０にリセットする（Ｓ２）。

制御部１００は、画像形成部１２に印刷処理を行わせた場合（Ｓ３でＹＥＳ）、カウント値Ｃに１を加算する（Ｓ４）。そして、制御部１００は、カウント値Ｃが上記設定された駆動周期Ｃ１に到達したか否かを判断する（Ｓ５）。

制御部１００は、カウント値Ｃが駆動周期Ｃ１に到達したと判断した場合（Ｓ５でＹＥＳ）、モータードライバー６１を介して、駆動モーター６２を駆動させる（Ｓ６）。この駆動モーター６２の駆動により、移動体５１を光路窓２４１の長手方向に光路窓２４１の一端部から他端部まで移動させる。これにより、清掃部材５２により光路窓２４１が清掃される。

一方、制御部１００が、カウント値Ｃが駆動周期Ｃ１に到達していないと判断した場合（Ｓ５でＮＯ）、処理はＳ３へ戻る。

Ｓ５でＹＥＳの後、制御部１００は、入力端子７１ａに入力されてＡ／Ｄ変換部７２によりアナログ−ディジタル変換されたデータＤ（駆動モーター６２の駆動トルクの大きさを示す）を取得する（Ｓ７）。制御部１００は、データＤが予め定められた閾値Ｔ１（例えば、１５０）以上であるか否かを判断する（Ｓ８）。すなわち、制御部１００は、光路窓２４１におけるトナー積載量が多くなり、移動体５１の上記移動について負荷が大きくなったことにより、移動体５１に駆動力を供給する駆動モーター６２の駆動トルク（駆動電流値）が過度に大きくなっていないかどうかを判断する。

制御部１００が、データＤが閾値Ｔ１以上であると判断した場合（Ｓ８でＹＥＳ）、駆動周期Ｃ１がこの時点で設定されているそれまでの周期よりも短くなるように駆動周期Ｃ１を変更する（Ｓ９）。制御部１００は、例えば、印刷枚数が１００枚少なくなるように駆動周期Ｃ１を設定する。この後、処理はＳ２へ戻る。この場合、光路窓２４１におけるトナーの積載量が多いために、駆動モーター６２に流れる駆動電流（駆動トルク）が過度に大きくなっていると認められるので、移動体５１による光路窓２４１の清掃頻度を上げるために、制御部１００が駆動周期Ｃ１をそれまでよりも短くする。

一方、制御部１００が、データＤが閾値Ｔ１以上でないと判断した場合（Ｓ８でＮＯ）、駆動周期Ｃ１を短くする必要はないので、Ｓ９の処理が行われることなく、処理はＳ２に戻る。

図６は、光路窓２４１の清掃タイミングを説明するための説明図であり、図６（Ａ）は、総印刷枚数と駆動モーター６２の駆動トルク（駆動電流）との関係の一例を示し、図６（Ｂ）は、総印刷枚数と光路窓２４１におけるトナー積載量との関係の一例を示している。

（１回目の清掃タイミング）初期設定として、光路窓２４１の清掃を行う駆動周期Ｃ１は１０００枚に設定されているので、１回目の清掃が行われるのは総印刷枚数が１０００枚に到達した時点となる。このときに検出される駆動トルクの大きさを示すデータＤが図６（Ａ）に示すように閾値Ｔ１以上であるとすると、制御部１００は、駆動周期Ｃ１を１００枚少なくし、駆動周期Ｃ１を９００枚に設定する。なお、閾値Ｔ１は、トナー積載量の積載量閾値に対応して定められる。閾値Ｔ１は、光路窓２４１におけるトナー積載量が予め定められた許容積載量の場合における、駆動モーター６２の駆動トルク（駆動電流値）に対応した値に設定される。

（２回目の清掃タイミング）駆動周期Ｃ１は９００枚に設定されているので、２回目の清掃が行われるのは総印刷枚数が１９００（＝１０００＋９００）枚に到達した時点となる。図６（Ａ）では、このときに検出される駆動トルクの大きさを示すデータＤは閾値Ｔ１以上であるため、制御部１００は、駆動周期Ｃ１をさらに１００枚少なくし、駆動周期Ｃ１を８００枚に設定する。

（３回目の清掃タイミング）駆動周期Ｃ１は８００枚に設定されているので、３回目の清掃が行われるのは総印刷枚数が２７００（＝１９００＋８００）枚に到達した時点となる。図６（Ａ）では、このときに検出される駆動トルクを示すデータＤは閾値Ｔ１未満であるため、駆動周期Ｃ１は８００枚のままとなる。

（４回目の清掃タイミング）駆動周期Ｃ１は８００枚に設定されているので、４回目の清掃が行われるのは総印刷枚数が３５００（＝２７００＋８００）枚に到達した時点となる。図６（Ａ）では、このときに検出される駆動トルクを示すデータＤは閾値Ｔ１未満であるため、駆動周期Ｃ１は８００枚のままとなる。

上記第１実施形態によれば、光路窓２４１の清掃処理を行っている際における駆動モーター６２の駆動トルクの大きさ（すなわち、光路窓２４１におけるトナー積載量）を示すデータＤが予め定められた閾値Ｔ１以上の場合、光路窓２４１の清掃処理の駆動周期Ｃ１が、それまでの周期よりも短く設定される。従って、光路窓２４１におけるトナー積載量が過度に多くなる前に、光路窓２４１の清掃が行われるように清掃頻度が高くなるので、印刷品質の低下を防ぐことができる。

次に、第２実施形態に係る画像形成装置１における制御ユニット１０の処理動作について、図７に示したフローチャートに基づいて説明する。なお、上記第１実施形態では、データＤの大小を比較するものとして閾値Ｔ１だけを用いているが、第２実施形態では、複数の閾値を用いるという点で、第１実施形態とは相違する。また、Ｓ１〜Ｓ７までは、図５に示したフローチャートと同様であるため、ここではＳ１１以降について説明する。

制御部１００は、Ｓ７でデータＤを取得した後、このデータＤが予め定められた閾値Ｔ２（例えば、１５０）以上であるか否かを判断する（Ｓ１１）。ここで、制御部１００は、データＤが閾値Ｔ２以上であると判断した場合（Ｓ１１でＹＥＳ）、データＤが、閾値Ｔ２よりも大きい予め定められた閾値Ｔ３（例えば、２００）以上であるか否かを判断する（Ｓ１２）。

制御部１００は、データＤが閾値Ｔ３以上でないと判断した場合（Ｓ１２でＮＯ）、例えば印刷枚数が１００枚少なくなるように駆動周期Ｃ１を短く変更する（Ｓ１３）。この後、処理はＳ２へ戻る。

一方、制御部１００は、データＤが閾値Ｔ３以上であると判断した場合（Ｓ１２でＹＥＳ）、例えば印刷枚数が２００枚少なくなるように駆動周期Ｃ１を更に短く変更する（Ｓ１４）。この後、処理はＳ２へ戻る。

また、Ｓ１１において、制御部１００が、データＤが閾値Ｔ２以上でないと判断した場合（Ｓ１１でＮＯ）、制御部１００は、更に、データＤが、閾値Ｔ２よりも小さい予め定められた閾値Ｔ４（例えば、１００）以上であるか否かを判断する（Ｓ１５）。

制御部１００は、データＤが閾値Ｔ４以上でないと判断した場合（Ｓ１５でＮＯ）、駆動周期Ｃ１がこの時点で設定されている周期よりも長くなるように、例えば印刷枚数が５０枚多くなるように駆動周期Ｃ１を変更する（Ｓ１６）。この場合は、光路窓２４１におけるトナーの積載量が少ないために、駆動モーター６２に流れる駆動電流（駆動トルク）が過度に小さくなっていると認められるためである。この後、処理はＳ２へ戻る。

一方、制御部１００は、データＤが閾値Ｔ４以上であると判断した場合（Ｓ１５でＹＥＳ）、駆動周期Ｃ１を変更しない。光路窓２４１におけるトナーの積載量は過度に多いとも少ないとも認められないと想定されるためである。処理はＳ２に戻る。

当該第２実施形態によれば、光路窓２４１におけるトナー積載量の大きさに応じて、駆動周期Ｃ１を長短の変化をつけて多段階に変更できるので、上記積載したトナーのトナー量に応じて的確に当該トナーを清掃できる。これにより、印刷品質の低下をより確実に防止することができる。第２実施形態では、光路窓２４１におけるトナー積載量が少ない場合、駆動周期Ｃ１をそれまでよりも長くするので、光路窓２４１に対する清掃処理の回数が必要以上に多くなるのを防ぐことができる。これにより、当該清掃処理中にコピー等の印刷処理が中断されるといった不便さが緩和され、電力消費も低減される。

また、上記実施形態では、図１乃至図７を用いて上記実施形態により示した構成及び処理は、本発明の一実施形態に過ぎず、本発明を当該構成及び処理に限定する趣旨ではない。

１画像形成装置
５１移動体
５２清掃部材
７１制御デバイス
７２Ａ／Ｄ変換部
６１モータードライバー
６２駆動モーター
１００制御部
１２１感光体ドラム
２２０帯電装置
２４０露光装置
２４１光路窓

Claims

レーザー光を出射する発光部と、
前記レーザー光の通過部分に設けられる透過性の光路窓と、
清掃部材を有し、前記清掃部材を前記光路窓に接触させながら移動する移動体と、
前記移動体に前記移動を行うための駆動力を供給する駆動モーターと、
予め定められた駆動周期で、前記駆動モーターを駆動して、前記移動体に前記移動を行わせる制御部と、
前記駆動モーターの駆動トルクを検出するトルク検出部とを備え、
前記制御部は、前記駆動モーターを駆動させているときに前記トルク検出部により検出される前記駆動トルクの大きさが、(1)予め定められた第１閾値以上であり、かつ、前記第１閾値よりも大きい予め定められた第２閾値以上の場合は、前記駆動周期をそれまでの値から、予め定められた第１の値だけ短くし、(2)前記第１閾値以上であり、かつ、前記第２閾値よりも小さい場合は、前記第１の値よりも小さい予め定められた第２の値だけ前記駆動周期をそれまでの値から短くし、(3)前記第１閾値よりも小さく、かつ、前記第１閾値よりも小さい予め定められた第３閾値以上である場合は、前記駆動周期をそれまでのままとし、(4)前記第３閾値よりも小さい場合は、前記第２の値よりも小さい予め定められた第３の値だけ前記駆動周期をそれまでの値から長くする露光装置。
前記トルク検出部は、検出した前記駆動トルクの大きさを示す電圧信号を出力し、
前記制御部は、前記電圧信号が入力される入力端子と、前記入力端子に入力される前記電圧信号をアナログ−ディジタル変換するＡ／Ｄ変換部とを有する制御デバイスとして構成され、
前記制御部は、前記Ａ／Ｄ変換部により変換されたディジタル信号が示す前記駆動トルクの大きさに基づいて前記駆動周期を変更する請求項１に記載の露光装置。