JP6580032B2 - 高圧bf3/h2混合物の製造 - Google Patents
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Description
Oleg BylおよびJoseph D.Sweeneyの名において2013年5月17日に出願された、高圧BF3/H2混合物の製造に対する米国仮特許出願第61/824,709号の優先権を米国特許法第119条(e)のもとでここに主張する。米国仮特許出願第61/824,709号の開示内容を本明細書に引用して援用する。
(A)成分の第一のガスの供給源容器、および前記少なくとも2つの成分ガスで充填される複数の標的容器を準備すること;
(B)前記成分の第一のガスを前記複数の標的容器のうちの少なくとも1つに、所定の圧力に達するまで、または圧力が安定するまでの時間流すこと;
(C)成分の第一のガスが流された前記複数の標的容器の少なくとも1つを閉じることを含む、前記複数の標的容器の少なくとも1つへの成分の第一のガスの流れを止めること;
(D)成分の第一のガスが導入されていない前記複数の標的容器の他のそれぞれに対してステップ(A)から(C)を繰り返すこと;
(E)前記供給源容器を閉じること;ならびに
(F)場合により、前記複数の標的容器で成分の第一のガスの所定の目標圧力に達するまで、別の供給源容器で、ステップ(A)から(E)を繰り返し、前記複数の標的容器において前記所定の目標圧力で成分の第一のガスを提供すること
を含む。
(A)成分の第一のガスの第一の供給源容器、および前記少なくとも2つの成分ガスで充填される複数の標的容器を準備すること;
(B)前記成分の第一のガスを、前記第一の供給源容器から、前記複数の標的容器のうちの第一の容器に、所定の圧力に達するまで、または圧力が安定するまでの時間流すこと;
(C)前記第一の供給源容器を閉じることを含む、前記複数の標的容器のうちの前記第一の容器への前記成分の第一のガスの流れを止めること;
(D)前記第一の標的容器の圧力を測定すること;
(E)ステップ(D)で測定した圧力が所定の充填圧力未満の場合、前記第一の供給源容器より高い圧力で、前記第一の標的容器の圧力が前記所定の充填圧力に達するまで、少なくとも前記成分の第一のガスの第二の供給源容器でステップ(A)から(D)を繰り返すこと;
(F)前記所定の充填圧力に達したときに前記第一の標的容器を閉じること;ならびに
(G)前記複数の標的容器のすべてが、前記所定の充填圧力で前記成分の第一のガスを含むまで、前記複数の標的容器の別の容器でステップ(A)から(F)を繰り返すこと
を含む。
(A)成分の第一のガスの供給源容器、および前記少なくとも2つの成分ガスで充填される複数の標的容器を準備すること;
(B)前記成分の第一のガスを前記複数の標的容器のうちの少なくとも1つに、所定の圧力に達するまで、または圧力が安定するまで(即ち、経時変化が止まるまで)の時間流すこと;
(C)成分の第一のガスが流された前記複数の標的容器の少なくとも1つを閉じることを含む、前記複数の標的容器の少なくとも1つへの成分の第一のガスの流れを止めること;
(D)成分の第一のガスが導入されていない前記複数の標的容器の他の容器のそれぞれに対してステップ(A)から(C)を繰り返すこと;
(E)前記供給源容器を閉じること;ならびに
(F)場合により、前記複数の標的容器で成分の第一のガスの所定の目標圧力に達するまで、別の供給源容器で、ステップ(A)から(E)を繰り返し、前記複数の標的容器において前記所定の目標圧力で成分の第一のガスを提供すること
を含む。
(A)成分の第一のガスの第一の供給源容器、および前記少なくとも2つの成分ガスで充填される複数の標的容器を準備すること;
(B)前記成分の第一のガスを、前記第一の供給源容器から、前記複数の標的容器のうちの第一の容器に、所定の圧力に達するまで、または圧力が安定するまでの時間流すこと;
(C)前記第一供給源容器を閉鎖することを含む、前記複数の標的容器のうちの前記第一の容器への前記成分の第一のガスの流れを止めること;
(D)前記第一の標的容器の圧力を測定すること;
(E)ステップ(D)で測定した圧力が所定の充填圧力未満の場合、前記第一の供給源容器より高い圧力で、前記第一の標的容器の圧力が前記所定の充填圧力に達するまで、少なくとも前記成分の第一のガスの第二の供給源容器でステップ(A)から(D)を繰り返すこと;
(F)前記所定の充填圧力に達したときに前記第一の標的容器を閉じること;ならびに
(G)前記複数の標的容器のすべてが、前記所定の充填圧力で前記成分の第一のガスを含むまで、前記複数の標的容器の別の容器でステップ(A)から(F)を繰り返すこと
を含む。
(i)成分の第一のガスの機械的なガスの圧縮を含む第一の加圧工程;
(ii)中間容器に成分の第一のガスを集め、前記成分の第一のガスを冷却して少なくとも部分的にこれを凝縮し、前記少なくとも部分的に凝縮した成分の第一のガスを温めてこの圧力を増加させることを含む第二の加圧工程;
(iii)中間容器に成分の第一のガスを集め、前記成分の第一のガスを熱してこの圧力を増加させることを含む第三の加圧工程;および
(iv)成分の第一のガスを含む第一の供給源容器を加熱することを含む第四の加圧工程
からなる群から選ばれた加圧工程によって行われる。
(A)前記成分ガスの前記別の成分ガスのうちの1種で前記標的容器充填弁まで、前記ガス混合物に対する所定の圧力において前記充填マニホールドを充填すること;
(B)前記標的容器充填弁を開けて、前記成分ガスの前記別の成分ガスのうちの前記1種を前記充填マニホールドから前記標的容器に流し、これを前記ガス混合物に対する所定の圧力にすること;
(C)前記標的容器を閉じること;ならびに
(D)これら標的容器の別の容器でステップ(B)および(C)を繰り返すこと
を含む。
この順序において、充填工程は、BF3を加圧した供給源ボンベから標的ボンベへ直接流すことによって行われる。これら標的ボンベは、1から1少なくとも2つのボンベを含むロットでよい。かかる充填工程では、これら供給源ボンベは常に標的ボンベより高圧であるべきである。供給源ボンベからのより完全な材料の取出しを達成するため、カスケード技術を用いることができる。
1.供給源ボンベ#1(供給源−1)を開いて初期供給源圧力P(供給源−1)を測定する。
2.標的ボンベ#1(標的−1)開いて初期標的圧力P(標的−1)を測定する。
3.P(供給源−1)>P(標的−1)の場合に限って次のステップに進む。
4.前記供給源および標的ボンベを分ける弁を開け、所望の圧力に達するまで、または圧力が安定するまでの時間、BF3を流す。最終圧力を記録する。
5.前記供給源および標的ボンベを分ける弁を閉じる。
6.前記標的−1ボンベを閉じる。
7.前記ロットのすべての標的ボンベについてステップ2から6を繰り返す。
8.供給源−1を閉じる。
9.必要に応じて、所望の標的ボンベ圧力に達するまで、別の供給源ボンベについてステップ1から8を繰り返す。
1.標的ボンベ#1(標的−1)開いて初期標的圧力P(標的−1)を測定する。
2.供給源ボンベ#1(供給源−1)を開いて初期源圧力P(供給源−1)を測定する。
3.P(供給源−1)>P(標的−1)の場合に限って次のステップに進む。
4.前記供給源および標的ボンベを分ける弁を開け、所望の圧力に達するまで、または圧力が安定するまでの時間、BF3を流す。最終圧力を記録する。
5.前記供給源−1ボンベを閉じる。
6.前記標的ボンベ圧力が所望の最終充填圧力よりも依然として低い場合、供給源ボンベ#2(これは供給源ボンベ#1よりも高圧である。)を用いて前のステップを繰り返す。これは別の(1以上の)供給源ボンベで、前記標的ボンベ圧力が所望の値に達するまで繰り返すことができる。
7.最終充填圧力に達したときに標的−1ボンベを閉じる。
8.残りの標的ボンベについてステップ1から7を繰り返す。
(i)電動式ガス圧縮機を用いて、前記標的容器にガスが流れるように、ガスを加圧する;または、
(ii)前記ガスが凝縮されるように、前記ガスを冷却した中間小容量容器に集めることで、前記標的容器との関連で前記ガスの圧力を上げるためにかかる中間容器をこの後温めることができ、この温められた中間容器からのガスで前記標的容器を充填できるようにする;または、
(iii)供給源および標的容器の間の中間容器を前記ガスで充填することができ、この後この中間容器が、前記標的容器の圧力を超えて前記ガスの圧力を上げるために加熱されることができるので、前記標的容器をこの中間容器からのガスで充填することができる;または、
(iv)供給源容器を加熱する。
この例示的方法においては、H2を添加して、温度21.5℃でのガス混合物の圧力1090psiaを達成する。これら成分の順序は、H2を最初に充填し、続いてBF3でこの容器を充填することによって置き換えてBF3/H2混合物を形成してもよいことがわかるであろう。H2を最初に充填し、続いてBF3でこの容器を充填するかかる逆の充填順序においては、前記H2の圧力を最初に測定し、加えるべきBF3の量を決定し、ガス混合物を完成させるべきである(この逆の例においても最終的な混合物の21.5℃での圧力は1090psiaであろう。)。
1.これら標的ボンベを温度制御した環境に置いてボンベの温度を所定の設定点温度水準で安定させる。
2.この充填工程のH2圧力を1090psiaに設定する。
3.所定の時間、例えば5から10分間、H2をマニホールドの流れの回路に留まらせながら、マニホールドのラインをH2で1090psiaまで充填し、この後これらマニホールドのラインを空にする。
4.このマニホールドの流れの回路を、標的ボンベの充填弁に至るまで充填して選択した圧力の1090psiaにする。
5.標的ボンベ(標的−1)を一時的に開けて1090psiaの圧力まで充填し、この後この標的ボンベを閉じる。これら水素充填は、供給源水素ボンベの圧力が1090psia未満のときには、カスケード式で行われる必要があり得る。
6.すべての標的ボンベについてステップ5を順次繰り返す。
7.これら標的ボンベを設定点の温度に戻す。
8.標的容器(標的−1)の圧力を確認し、必要に応じて標的圧力の1090psiaに達するまでH2を追加する。
Claims (11)
- 成分ガスでガス混合物供給容器を充填してガス混合物の精密組成を得る方法であって、前記ガス混合物が少なくとも2つの成分ガスを含み、前記方法が
(A)前記少なくとも2つの成分ガスのうちの第一の成分ガスであって、四フッ化ゲルマニウム、ゲルマン、三フッ化ホウ素、ジボラン、四フッ化二ホウ素、四フッ化ケイ素、シラン、一酸化炭素、二酸化炭素、二フッ化カルボニル、アルシン、セレン化水素、硫化水素、ホスフィン、三塩化ホウ素、二フッ化キセノン、およびアンモニアからなる群から選択された少なくとも1つのガスを含む、第一の成分ガスの供給源容器、および前記少なくとも2つの成分ガスで充填される複数の標的容器を準備すること;
(B)前記第一の成分ガスを前記複数の標的容器のうちの少なくとも1つに、所定の圧力に達するまで、または圧力が安定するまでの時間流すこと;
(C)前記第一の成分ガスが流された前記複数の標的容器の前記少なくとも1つを閉じることを含む、前記複数の標的容器の前記少なくとも1つへの前記第一の成分ガスの流れを止めること;
(D)前記第一の成分ガスが導入されていない前記複数の標的容器の他のそれぞれに対してステップ(A)から(C)を繰り返すこと;
(E)前記供給源容器を閉じること;
(F)場合により、前記複数の標的容器で前記第一の成分ガスの所定の目標圧力に達するまで、別の供給源容器で、ステップ(A)から(E)を繰り返し、前記複数の標的容器において前記所定の目標圧力で前記第一の成分ガスを提供すること;ならびに
(G)前記少なくとも2つの成分のガスのうちの第二の成分ガスであって、アルゴン、ネオン、キセノン、水素、フッ素、酸素、窒素およびヘリウムからなる群から選択された少なくとも1つのガスを含む、第二の成分ガスについてステップ(A)から(F)を繰り返すことによって前記ガス混合物を得ること
を含む、方法。 - 成分ガスでガス混合物供給容器を充填してガス混合物の精密組成を得る方法であって、前記ガス混合物が少なくとも2つの成分ガスを含み、前記方法が
(A)前記少なくとも2つの成分ガスのうちの第一の成分ガスであって、四フッ化ゲルマニウム、ゲルマン、三フッ化ホウ素、ジボラン、四フッ化二ホウ素、四フッ化ケイ素、シラン、一酸化炭素、二酸化炭素、二フッ化カルボニル、アルシン、セレン化水素、硫化水素、ホスフィン、三塩化ホウ素、二フッ化キセノン、およびアンモニアからなる群から選択された少なくとも1つのガスを含む、第一の成分ガスの第一の供給源容器、および前記少なくとも2つの成分ガスで充填される複数の標的容器を準備すること;
(B)前記第一の成分ガスを、前記第一の供給源容器から、前記複数の標的容器のうちの第一の標的容器に、所定の圧力に達するまで、または圧力が安定するまでの時間流すこと;
(C)前記第一の供給源容器を閉じることを含む、前記複数の標的容器のうちの前記第一の容器への前記第一の成分ガスの流れを止めること;
(D)前記第一の標的容器の圧力を測定すること;
(E)ステップ(D)で測定された圧力が所定の充填圧力未満の場合、前記第一の供給源容器より高い圧力で、前記第一の標的容器の圧力が前記所定の充填圧力に達するまで、少なくとも前記第一の成分ガスの第二の供給源容器でステップ(A)から(D)を繰り返すこと;
(F)前記所定の充填圧力に達したときに前記第一の標的容器を閉じること;
(G)前記複数の標的容器のすべてが、前記所定の充填圧力で前記第一の成分ガスを含むまで、前記複数の標的容器の別の容器でステップ(A)から(F)を繰り返すこと;ならびに
(H)前記少なくとも2つの成分のガスのうちの第二の成分ガスであって、アルゴン、ネオン、キセノン、水素、フッ素、酸素、窒素およびヘリウムからなる群から選択された少なくとも1つのガスを含む、第二の成分ガスについてステップ(A)から(G)を繰り返すことによって前記ガス混合物を得ること
を含む、方法。 - 前記第一の成分ガスが供給源容器から標的容器へ流される場合のいかなるときにも、一つの供給源容器と一つの標的容器だけが互いに開いたガス流連結状態にある、請求項1または2の何れか一項に記載の方法。
- 標的容器がガスボンベを含む、請求項1または2の何れか一項に記載の方法。
- 前記第一の成分ガスが、ガス混合物中の成分ガスのうちの最も重いガスを含む、請求項1または2の何れか一項に記載の方法。
- 供給源容器が標的容器よりも高圧である、請求項1または2の何れか一項に記載の方法。
- 供給源容器が標的容器よりも低圧である請求項1または2の何れか一項に記載の方法であって、前記第一の成分ガスを加圧して、複数の標的容器の一つに流すための加圧した成分の第一のガスを形成することをさらに含み、前記加圧は、
(i)前記第一の成分ガスの機械的なガスの圧縮を含む第一の加圧工程;
(ii)中間容器に前記第一の成分ガスを集め、前記第一の成分ガスを冷却して少なくとも部分的にこれを凝縮し、前記少なくとも部分的に凝縮した第一の成分ガスを温めてこの圧力を増加させることを含む第二の加圧工程;
(iii)中間容器に前記第一の成分ガスを集め、前記第一の成分ガスを熱してこの圧力を増加させることを含む第三の加圧工程;および
(iv)前記第一の成分ガスを含む前記第一の供給源容器を加熱することを含む第四の加圧工程
からなる群から選ばれた加圧工程によって行われる、方法。 - 前記第一の成分ガスで標的容器を充填した後に、前記第二の成分ガスで続いて充填するために、前記標的容器を熱的に制御することをさらに含む、請求項1または2の何れか一項に記載の方法。
- 前記ガス混合物が、三フッ化ホウ素および水素を含む、請求項1または2の何れか一項に記載の方法。
- 前記ガス混合物が、少なくとも1つのイオン注入用不純物ガスを含む、請求項1または2の何れか一項に記載の方法。
- 請求項1から10の何れか一項に記載の方法であって、供給源容器が、あらかじめ混合されたガス組成物を含み、前記方法が、前記供給源容器から所定のガス混合物組成を得るために行われる、方法。
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