JP6551620B1 - 磁壁移動型磁気記録素子及び磁気記録アレイ - Google Patents
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Abstract
Description
「第1実施形態」
図1は、第1実施形態にかかる磁壁移動型磁気記録素子100を模式的に示した斜視図である。図2は、第1実施形態にかかる磁壁移動型磁気記録素子100を模式的に示した平面図である。磁壁移動型磁気記録素子100は、第1強磁性層10と磁気記録層20と非磁性層30とを備える。図1に示す磁壁移動型磁気記録素子100は、平面視で第1強磁性層10を挟む位置に、第1電極41と第2電極42とを備える。
<第1強磁性層> 図1に示す第1強磁性層10は、z方向から平面視した平面視形状が長方形であり、厚み方向の幅及び長さが一定の直方体である。
第1強磁性層10は、強磁性体を含む。第1強磁性層10を構成する強磁性材料としては、例えば、Cr、Mn、Co、Fe及びNiからなる群から選択される金属、これらの金属を1種以上含む合金、これらの金属とB、C、及びNの少なくとも1種以上の元素とが含まれる合金等を用いることができる。具体的には、Co−Fe、Co−Fe−B、Ni−Feが挙げられる。
第1強磁性層10の膜厚は、第1強磁性層10の磁化容易軸をz方向とする(垂直磁化膜にする)場合は、1.5nm以下とすることが好ましく、1.0nm以下とすることがより好ましい。第1強磁性層10の膜厚を薄くすると、第1強磁性層10と他の層(非磁性層30)との界面で、第1強磁性層10に垂直磁気異方性(界面垂直磁気異方性)を付加できる。すなわち、第1強磁性層10の磁化の向きをz方向にできる。
磁気記録層20は、x方向に延在している。磁気記録層20は、内部に磁壁21を有する。磁壁21は、互いに反対方向の磁化を有する第1の磁区22と第2の磁区23との境界である。図1に示す磁壁移動型磁気記録素子100は、第1の磁区22が−z方向に配向した磁化を有し、第2の磁区23が+z方向に配向した磁化を有する。
非磁性層30には、公知の材料を用いることができる。例えば、非磁性層30が絶縁体からなる場合(トンネルバリア層である場合)、その材料としては、Al2O3、SiO2、MgO、及び、MgAl2O4等を用いることができる。また、これらの他にも、Al、Si、Mgの一部が、Zn、Be等に置換された材料等も用いることができる。これらの中でも、MgOやMgAl2O4はコヒーレントトンネルが実現できる材料であるため、スピンを効率よく注入できる。非磁性層30が金属からなる場合、その材料としては、Cu、Au、Ag等を用いることができる。さらに、非磁性層30が半導体からなる場合、その材料としては、Si、Ge、CuInSe2、CuGaSe2、Cu(In,Ga)Se2等を用いることができる。
図3に示す第2実施形態にかかる磁壁移動型磁気記録素子101は、第1強磁性層11がy方向の側面に複数の凹部11Aを有する。基準面をどの位置にするかによっては、第1強磁性層11が複数の凸部を有するとみなしてもよい。第2実施形態にかかる磁壁移動型磁気記録素子101は、複数の凹部11Aを有する点が第1実施形態にかかる磁壁移動型磁気記録素子100と異なり、同様の構成については同様の符号を付し、説明を省く。
図6に示す第3実施形態にかかる磁壁移動型磁気記録素子102は、z方向から平面視した形状は、第1実施形態にかかる磁壁移動型磁気記録素子100と同一であるが、y方向に沿う所定の面で切断した磁気記録層25の断面形状が第1実施形態にかかる磁壁移動型磁気記録素子100と異なる。第1実施形態にかかる磁壁移動型磁気記録素子100と異なり、同様の構成については同様の符号を付し、説明を省く。
図10は、第4実施形態にかかる磁壁移動型磁気記録素子105の斜視模式図である。図10に示す磁壁移動型磁気記録素子105は、磁気記録層20と非磁性層30との間に、第2強磁性層50を備える点が、第1実施形態にかかる磁壁移動型磁気記録素子100と異なる。第1実施形態にかかる磁壁移動型磁気記録素子100と同様の構成については同様の符号を付し、説明を省く。
図12は、第5実施形態にかかる磁気記録アレイ200の平面図である。図12に示す磁気記録アレイ200は、磁壁移動型磁気記録素子100が3×3のマトリックス配置をしている。図12は、磁気記録アレイの一例であり、磁壁移動型磁気記録素子100の種類、数及び配置は任意である。
磁壁移動型磁気記録素子100には、それぞれ1本のワードラインWL1〜3と、1本のソースラインSL1〜3、1本のリードラインRL1〜3が接続されている。
電流を印加するワードラインWL1〜3及びソースラインSL1〜3を選択することで、任意の磁壁移動型磁気記録素子100の磁気記録層20にパルス電流を流し、書き込み動作を行う。また電流を印加するリードラインRL1〜3及びソースラインSL1〜3を選択することで、任意の磁壁移動型磁気記録素子100の積層方向に電流を流し、読み込み動作を行う。電流を印加するワードラインWL1〜3、ソースラインSL1〜3、及びリードラインRL1〜3はトランジスタ等により選択できる。それぞれが多値で情報を記録できる複数の磁壁移動型磁気記録素子100にデータを記録することで、磁気記録アレイの高容量化を実現できる。
20、25 磁気記録層
11A、20A、25A 凹部
25a 第1部分
25b 薄肉部
21 磁壁
22 第1の磁区
23 第2の磁区
30 非磁性層
41 第1電極
42 第2電極
50 第2強磁性層
100、101、102、103、104、105 磁壁移動型磁気記録素子
200 磁気記録アレイ
Claims (10)
- 強磁性体を含み、凹部又は凸部を側面に有する第1強磁性層と、
前記第1強磁性層の積層方向と交差する第1の方向に延在し、磁壁を含む磁気記録層と、
前記第1強磁性層と前記磁気記録層との間に挟まれた非磁性層と、を備え、
前記磁気記録層は、磁壁をトラップする凹部又は凸部を側面に有し、
前記積層方向から平面視した際の前記第1の方向と直交する第2の方向において、前記第1強磁性層の幅が前記磁気記録層の最短幅より狭い、磁壁移動型磁気記録素子。 - 前記第1の方向における前記磁気記録層における凹部又は凸部の位置と、前記第1の方向における前記第1強磁性層における凹部又は凸部の位置と、が一致する、請求項1に記載の磁壁移動型磁気記録素子。
- 前記積層方向からの平面視において、前記磁気記録層の前記第1の方向に沿う第1辺と、前記第1辺と最近接する前記第1強磁性層の前記第1の方向に沿う第2辺と、が平行である、請求項1に記載の磁壁移動型磁気記録素子。
- 前記積層方向からの平面視で前記磁気記録層の前記第1強磁性層と重畳しない第1部分が、前記第2の方向における幅が最短となる位置における前記磁気記録層の前記積層方向の厚みより厚みの薄い薄肉部を有し、
前記薄肉部が、前記磁気記録層の前記第2の方向における幅が最長となる位置にある、請求項1〜3のいずれか一項に記載の磁壁移動型磁気記録素子。 - 前記積層方向からの平面視で前記磁気記録層の前記第1強磁性層と重畳しない第1部分において、
前記磁気記録層の前記第2の方向における幅が最短となる位置における前記積層方向の厚みd1が、前記磁気記録層の前記第2の方向における幅が最長となる位置における前記積層方向の厚みd2より厚い、請求項1〜4のいずれか一項に記載の磁壁移動型磁気記録素子。 - 前記第1強磁性層及び前記磁気記録層の磁化容易軸が、前記積層方向である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の磁壁移動型磁気記録素子。
- 前記第1強磁性層及び前記磁気記録層の磁化容易軸が、前記積層方向と直交する面内方向である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の磁壁移動型磁気記録素子。
- 前記磁気記録層の側面における凹部又は凸部の数が10個以上である、請求項1〜7のいずれか一項に記載の磁壁移動型磁気記録素子。
- 前記磁気記録層と前記非磁性層との間に、前記磁気記録層の磁化状態を反映する第2強磁性層を備える、請求項1〜8のいずれか一項に記載の磁壁移動型磁気記録素子。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載の磁壁移動型磁気記録素子を複数備える、磁気記録アレイ。
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