JP6547668B2 - 搬送部材清浄化装置、該装置用安全装置およびウエブの製造方法 - Google Patents
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Description
なお、本発明は、上述した実施形態に限られることなく、適宜の変形、修正および代替などが可能である。
2 ウエブ
100 ブレード支持部
101 ブレード支持体
102 接触検出センサ
103 過変位検出センサ
104 速度制御センサ
107 接触ローラ
108 角度調整ねじ
200 進退機構
201 ロッド
300 移動機構
302 スライダーユニット
400 旋回機構
402 ロータリアクチュエータ
500 ブレード部
501 ブレード押さえ
503 ブレードズレ防止ピン
600 ブレード
601 ブレード穴
Claims (12)
- ウエブを搬送する搬送部材を清浄化するための搬送部材清浄化装置であって、
搬送部材に付着した汚れを除去する清浄化部材を着脱可能に支持するとともに、前記搬送部材に対する前記清浄化部材の接触を検出し、当該検出に応じて前記清浄化部材支持部の前進が停止されるようにするための接触検出センサと、前記接触が生じた位置よりもさらに前記搬送部材に向かう方向への前記清浄化部材の過変位を検出し、当該検出に応じて前記清浄化部材支持部の前進が停止されるようにするための過変位検出センサと、を備える清浄化部材支持部と、
前記清浄化部材が前記搬送部材の表面に対して接触する位置と離隔した位置とに設定されるように、前記搬送部材に対して前記清浄化部材支持部を前進/後退させる進退機構と、
前記清浄化部材支持部を前記搬送部材の所定方向に移動させる移動機構と、
前記清浄化部材支持部を旋回させる旋回機構と、
を備え、
前記進退機構を駆動して前記清浄化部材支持部を後退させ、前記移動機構を駆動して前記所定方向上の所定位置に前記清浄化部材支持部を移動させ、前記旋回機構により前記清浄化部材支持部を旋回させて、前記移動機構による前記清浄化部材支持部の移動空間外の位置に前記清浄化部材が設定されるようにしたことを特徴とする搬送部材清浄化装置。 - 前記清浄化部材に付着した汚れを含む、前記清浄化部材の状況に応じて、前記清浄化部材が前記移動空間外の位置に設定されるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の搬送部材清浄化装置。
- 前記所定位置は、前記清浄化部材が前記搬送部材と対向しない前記所定方向上の位置であり、前記旋回機構は、前記移動空間に隣接するように前記清浄化部材支持部を旋回させることを特徴とする請求項1に記載の搬送部材清浄化装置。
- 前記進退機構は、前記清浄化部材が前記搬送部材との接触位置に接近するにつれて、前記清浄化部材支持部の前進速度を制御するためのセンサを有することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の搬送部材清浄化装置。
- 前記清浄化部材は、ブレードであることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の搬送部材清浄化装置。
- 請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の搬送部材清浄化装置に具備されている清浄化部材支持部。
- 前記過変位を超える前記清浄化部材のさらなる変位を阻止するべく、前記搬送部材に接触する接触ローラを更に備えたことを特徴とする請求項6に記載の清浄化部材支持部。
- 前記清浄化部材を着脱可能に支持する清浄化部と、前記接触検出センサ、前記過変位検出センサおよび前記接触ローラを支持する支持体と、を備えたことを特徴とする請求項7に記載の清浄化部材支持部。
- 前記接触検出センサは突出端を有し、前記清浄化部は、前記支持体に配設された対向する一対のピン間に回動可能に支持され、前記搬送部材に対する前記清浄化部材の接触に応じて回動可能であり、当該回動に伴って前記清浄化部の一部が前記突出端に当接することにより、前記接触が検出されることを特徴とする請求項8に記載の清浄化部材支持部。
- 前記清浄化部は、前記搬送部材に対して清浄化部材が接触する角度を調整する機構を有することを特徴とする請求項8または請求項9に記載の清浄化部材支持部。
- 前記清浄化部は、前記清浄化部材を揺動自在に支持する首振り機構を有することを特徴とする請求項8ないし請求項10のいずれか1項に記載の清浄化部材支持部。
- 請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の搬送部材清浄化装置を用いて清浄化された搬送部材でウエブを搬送する手順を含むことを特徴とするウエブの製造方法。
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