JP6544374B2 - 磁気センサ - Google Patents
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 741
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 290
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 155
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 151
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 53
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 44
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 14
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 68
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 102220492437 2'-5'-oligoadenylate synthase 3_R33A_mutation Human genes 0.000 description 6
- 230000005290 antiferromagnetic effect Effects 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 238000003491 array Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000002885 antiferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/095—Magnetoresistive devices extraordinary magnetoresistance sensors
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/063—Magneto-impedance sensors; Nanocristallin sensors
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/07—Hall effect devices
- G01R33/072—Constructional adaptation of the sensor to specific applications
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/091—Constructional adaptation of the sensor to specific applications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/093—Magnetoresistive devices using multilayer structures, e.g. giant magnetoresistance sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/096—Magnetoresistive devices anisotropic magnetoresistance sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/098—Magnetoresistive devices comprising tunnel junctions, e.g. tunnel magnetoresistance sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/10—Plotting field distribution ; Measuring field distribution
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/07—Hall effect devices
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Description
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図6を参照して、本発明の第1の実施の形態に係る磁気センサを含む磁気センサユニットの構成について説明する。図6は、磁気センサユニット100を示す斜視図である。磁気センサユニット100は、上面101aを有する基板101と、本実施の形態に係る磁気センサ1と、この磁気センサ1とは別の2つの磁気センサ2,3とを備えている。磁気センサ1〜3は、基板101の上面101a上において一列に並ぶように配置されている。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。始めに、図9および図10を参照して、本実施の形態に係る磁気センサの構成について説明する。図9は、本実施の形態に係る磁気センサの構成を模式的に示す説明図である。図10は、本実施の形態に係る磁気センサの一部を示す分解斜視図である。本実施の形態に係る磁気センサ1は、以下の点で第1の実施の形態と異なっている。本実施の形態に係る磁気センサ1は、第1の実施の形態における配線層30の代わりに、配線層130を備えている。配線層130は、第1および第2の磁気検出素子20A,20Bを電気的に接続する。Z方向から見た配線層130の全体の形状は、ミアンダ形状である。配線層130は、複数の下部電極131と、複数の上部電極132とを含んでいる。なお、図9では、下部電極131および上部電極132を省略して、配線層130の全体の形状のみを示している。
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。始めに、図11および図12を参照して、本実施の形態に係る磁気センサの構成について説明する。図11は、本実施の形態に係る磁気センサの構成を模式的に示す説明図である。図12は、本実施の形態に係る磁気センサの一部を示す分解斜視図である。本実施の形態に係る磁気センサ1は、以下の点で第1の実施の形態と異なっている。本実施の形態では、磁界検出部20の第1ないし第4の抵抗部21〜24の各々は、第1の実施の形態における複数の磁気検出素子列120の代わりに、1つの磁気検出素子列220を含んでいる。
次に、本発明の第4の実施の形態について説明する。始めに、図14および図15を参照して、本実施の形態に係る磁気センサの構成について説明する。図14は、本実施の形態に係る磁気センサの構成を模式的に示す説明図である。図15は、本実施の形態に係る磁気センサの一部を示す分解斜視図である。
次に、図17を参照して、本発明の第5の実施の形態について説明する。図17は、本実施の形態に係る磁気センサの構成を模式的に示す説明図である。本実施の形態に係る磁気センサ1は、以下の点で第4の実施の形態と異なっている。本実施の形態に係る磁気センサ1では、第4の実施の形態における第3および第4の抵抗部23,24が設けられていない。また、磁界検出部20は、第4の実施の形態における第1および第2の出力ポートE1,E2の代わりに、1つの出力ポートEを含んでいる。
次に、本発明の第6の実施の形態について説明する。始めに、図18ないし図20を参照して、本実施の形態に係る磁気センサの構成について説明する。図18は、本実施の形態に係る磁気センサの構成を模式的に示す説明図である。図19は、本実施の形態に係る磁気センサの一部を示す分解斜視図である。図20は、ヨーク11と第1および第2の磁気検出素子20A,20Bの位置関係を示す説明図である。
次に、図21を参照して、本発明の第7の実施の形態について説明する。図21は、本実施の形態に係る磁気センサの構成を模式的に示す説明図である。本実施の形態に係る磁気センサ1は、以下の点で第5の実施の形態と異なっている。本実施の形態に係る磁気センサ1では、第1の抵抗部21の第1および第2の磁気検出素子21A,21Bとヨーク11の位置関係は、第6の実施の形態における第1の抵抗部21または第4の抵抗部24の第1および第2の磁気検出素子20A,20Bとヨーク11の位置関係と同じである。また、第2の抵抗部22の第1および第2の磁気検出素子22A,22Bとヨーク11の位置関係は、第6の実施の形態における第2の抵抗部22または第3の抵抗部23の第1および第2の磁気検出素子20A,20Bとヨーク11の位置関係と同じである。
次に、本発明の第8の実施の形態について説明する。始めに、図22ないし図24を参照して、本実施の形態に係る磁気センサの構成について説明する。図22は、本実施の形態に係る磁気センサの構成を模式的に示す説明図である。図23は、本実施の形態に係る磁気センサの一部を示す分解斜視図である。図24は、ヨークと第1および第2の磁気検出素子20A,20Bの位置関係を示す説明図である。
次に、本発明の第9の実施の形態について説明する。始めに、図25および図26を参照して、本実施の形態に係る磁気センサの構成について説明する。図25は、本実施の形態に係る磁気センサの構成を模式的に示す説明図である。図26は、ヨーク13と第1および第2の磁気検出素子20A,20Bの位置関係を示す説明図である。
Claims (14)
- 磁界変換部と、磁界検出部とを備えた磁気センサであって、
前記磁界変換部は、軟磁性体よりなり、第1の仮想の直線に平行な方向の入力磁界成分を含む入力磁界を受けて、出力磁界を発生し、
前記磁界検出部は、前記出力磁界を受けて、前記入力磁界成分に対応する出力信号を生成し、
前記出力磁界は、前記第1の仮想の直線と交差する第2の仮想の直線に平行な方向の出力磁界成分であって前記入力磁界成分に応じて変化する出力磁界成分を含み、
前記磁界変換部は、前記第1の仮想の直線に平行な方向の一方の端に位置する端面を有し、
前記第1の仮想の直線と交差し前記第2の仮想の直線を含む仮想の平面上に第1の素子配置領域と第2の素子配置領域が存在し、
前記仮想の平面上に前記磁界変換部の前記端面を垂直投影してできる領域を端面投影領域としたときに、前記第1および第2の素子配置領域の各々は、前記端面投影領域の内部と外部の一方にのみ存在し、
前記入力磁界成分の強度に対する、前記仮想の平面内の任意の点における前記出力磁界成分の強度の比率を、その任意の点における変換効率とし、前記任意の点を前記第2の仮想の直線に平行な一方向に移動させるときの、前記任意の点の位置の変化量に対する前記任意の点における前記変換効率の変化量の比率を、前記任意の点における変換効率の傾きとしたときに、前記第1の素子配置領域内の任意の第1点における前記変換効率の傾きと、前記第2の素子配置領域内の任意の第2点における前記変換効率の傾きの一方は正の値であり、他方は負の値であり、
前記磁界検出部は、第1の磁気抵抗効果素子および第2の磁気抵抗効果素子を含み、
前記第1の磁気抵抗効果素子は、前記第2の素子配置領域とは交差せずに、前記第1の素子配置領域と交差するように配置され、
前記第2の磁気抵抗効果素子は、前記第1の素子配置領域とは交差せずに、前記第2の素子配置領域と交差するように配置され、
前記第1の磁気抵抗効果素子は、自身が受けた出力磁界成分に対応する第1の抵抗値を有し、
前記第2の磁気抵抗効果素子は、自身が受けた出力磁界成分に対応する第2の抵抗値を有し、
前記第1の磁気抵抗効果素子と前記第2の磁気抵抗効果素子は、並列に接続され、
前記出力信号は、前記第1の抵抗値と前記第2の抵抗値の合成抵抗値に依存することを特徴とする磁気センサ。 - 前記第1および第2の磁気抵抗効果素子の各々は、第2の仮想の直線に直交する、前記仮想の平面上の第3の仮想の直線に平行な方向に長い形状を有していることを特徴とする請求項1記載の磁気センサ。
- 前記第2の仮想の直線は、前記第1の仮想の直線に直交していることを特徴とする請求項1または2記載の磁気センサ。
- 更に、前記第1の磁気抵抗効果素子と前記第2の磁気抵抗効果素子を保持する基板を備えたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の磁気センサ。
- 前記第1の素子配置領域のうち前記第1の磁気抵抗効果素子と交差する部分の重心を第1の重心とし、前記第2の素子配置領域のうち前記第2の磁気抵抗効果素子と交差する部分の重心を第2の重心としたときに、前記第1の重心における前記変換効率の傾きの絶対値に対する、前記第2の重心における前記変換効率の傾きの絶対値の比率は、0.48〜2.1の範囲内であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の磁気センサ。
- 前記第1の素子配置領域は、前記端面投影領域の外部にのみ存在し、
前記第2の素子配置領域は、前記端面投影領域の内部にのみ存在し、
前記端面投影領域は、前記第1の素子配置領域と前記第2の素子配置領域の間に位置する端縁であって、前記第2の仮想の直線に直交する端縁を有していることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の磁気センサ。 - 前記磁界変換部は、ヨークを含み、
前記ヨークは、前記第1の仮想の直線に平行な方向の一方の端に位置するヨーク端面を有し、
前記端面投影領域は、前記仮想の平面上に前記ヨーク端面を垂直投影してできるヨーク端面投影領域を含み、
前記第1の素子配置領域と前記第2の素子配置領域は、前記端面投影領域の外部にのみ存在し、且つ前記ヨーク端面投影領域を挟んで前記第2の仮想の直線に平行な方向における互いに反対側に位置していることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の磁気センサ。 - 前記磁界変換部は、ヨークを含み、
前記ヨークは、前記第1の仮想の直線に平行な方向の一方の端に位置するヨーク端面を有し、
前記端面投影領域は、前記仮想の平面上に前記ヨーク端面を垂直投影してできるヨーク端面投影領域を含み、
前記第1の素子配置領域と前記第2の素子配置領域は、前記ヨーク端面投影領域の内部にのみ存在し、
前記ヨーク端面投影領域は、前記第2の仮想の直線に平行な方向における互いに反対側の端に位置する第1の端縁と第2の端縁を有し、
前記第1の素子配置領域は、前記第1の端縁と前記第2の素子配置領域の間に位置し、
前記第2の素子配置領域は、前記第2の端縁と前記第1の素子配置領域の間に位置していることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の磁気センサ。 - 前記磁界変換部は、第1のヨークおよび第2のヨークを含み、
前記第1のヨークは、前記第1の仮想の直線に平行な方向の一方の端に位置する第1のヨーク端面を有し、
前記第2のヨークは、前記第1の仮想の直線に平行な方向の一方の端に位置する第2のヨーク端面を有し、
前記第1の素子配置領域は、前記第2のヨーク端面よりも前記第1のヨーク端面により近く、
前記第2の素子配置領域は、前記第1のヨーク端面よりも前記第2のヨーク端面により近く、
前記第1のヨーク端面は、前記第1の素子配置領域に最も近い第1の端縁を有し、
前記第2のヨーク端面は、前記第2の素子配置領域に最も近い第2の端縁を有し、
前記第1の素子配置領域内の前記第1点と前記第1の端縁との間の距離を第1の距離とし、前記第2の素子配置領域内の前記第2点と前記第2の端縁との間の距離を第2の距離としたときに、前記第1点と前記第2点を前記第2の仮想の直線に平行な一方向に変化させると、前記第1の距離と前記第2の距離の一方は減少し、他方は増加することを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の磁気センサ。 - 磁界変換部と、磁界検出部とを備えた磁気センサであって、
前記磁界変換部は、軟磁性体よりなり、第1の仮想の直線に平行な方向の入力磁界成分を含む入力磁界を受けて、出力磁界を発生し、
前記磁界検出部は、前記出力磁界を受けて、前記入力磁界成分に対応する出力信号を生成し、
前記出力磁界は、前記第1の仮想の直線と交差する第2の仮想の直線に平行な方向の出力磁界成分であって前記入力磁界成分に応じて変化する出力磁界成分を含み、
前記磁界検出部は、それぞれ前記入力磁界成分に応じて変化する抵抗値を有する第1の抵抗部および第2の抵抗部を含み、
前記第1の抵抗部と前記第2の抵抗部は、直列に接続され且つ通電されるように構成され、
前記入力磁界成分が変化すると、前記第1の抵抗部の抵抗値と前記第2の抵抗部の抵抗値の一方は増加し、他方は減少し、
前記出力信号は、前記第1の抵抗部と前記第2の抵抗部との接続点の電位に依存し、
前記第1および第2の抵抗部の各々は、第1の磁気抵抗効果素子および第2の磁気抵抗効果素子を含み、
前記磁界変換部は、前記第1の仮想の直線に平行な方向の一方の端に位置する端面を有し、
前記第1の仮想の直線と交差し前記第2の仮想の直線を含む仮想の平面上に第1の素子配置領域と第2の素子配置領域が存在し、
前記仮想の平面上に前記磁界変換部の前記端面を垂直投影してできる領域を端面投影領域としたときに、前記第1および第2の素子配置領域の各々は、前記端面投影領域の内部と外部の一方にのみ存在し、
前記入力磁界成分の強度に対する、前記仮想の平面内の任意の点における前記出力磁界成分の強度の比率を、その任意の点における変換効率とし、前記任意の点を前記第2の仮想の直線に平行な一方向に移動させるときの、前記任意の点の位置の変化量に対する前記任意の点における前記変換効率の変化量の比率を、前記任意の点における変換効率の傾きとしたときに、前記第1の素子配置領域内の任意の第1点における前記変換効率の傾きと、前記第2の素子配置領域内の任意の第2点における前記変換効率の傾きの一方は正の値であり、他方は負の値であり、
前記第1の磁気抵抗効果素子は、前記第2の素子配置領域とは交差せずに、前記第1の素子配置領域と交差するように配置され、
前記第2の磁気抵抗効果素子は、前記第1の素子配置領域とは交差せずに、前記第2の素子配置領域と交差するように配置され、
前記第1の磁気抵抗効果素子は、自身が受けた出力磁界成分に対応する第1の抵抗値を有し、
前記第2の磁気抵抗効果素子は、自身が受けた出力磁界成分に対応する第2の抵抗値を有し、
前記第1の磁気抵抗効果素子と前記第2の磁気抵抗効果素子は、並列に接続されていることを特徴とする磁気センサ。 - 磁界変換部と、磁界検出部とを備えた磁気センサであって、
前記磁界変換部は、軟磁性体よりなり、第1の仮想の直線に平行な方向の入力磁界成分を含む入力磁界を受けて、出力磁界を発生し、
前記磁界検出部は、前記出力磁界を受けて、前記入力磁界成分に対応する出力信号を生成し、
前記出力磁界は、前記第1の仮想の直線と交差する第2の仮想の直線に平行な方向の出力磁界成分であって前記入力磁界成分に応じて変化する出力磁界成分を含み、
前記磁界検出部は、電源ポートと、グランドポートと、第1の出力ポートと、第2の出力ポートと、それぞれ前記入力磁界成分に応じて変化する抵抗値を有する第1の抵抗部、第2の抵抗部、第3の抵抗部および第4の抵抗部を含み、
前記第1の抵抗部は、前記電源ポートと前記第1の出力ポートとの間に設けられ、
前記第2の抵抗部は、前記第1の出力ポートと前記グランドポートとの間に設けられ、
前記第3の抵抗部は、前記電源ポートと前記第2の出力ポートとの間に設けられ、
前記第4の抵抗部は、前記第2の出力ポートと前記グランドポートとの間に設けられ、
前記磁界検出部は、前記電源ポートと前記グランドポートとの間に通電されるように構成され、
前記入力磁界成分が変化すると、前記第1ないし第4の抵抗部のそれぞれの抵抗値は、前記第1および第4の抵抗部の抵抗値が増加すると共に前記第2および第3の抵抗部の抵抗値が減少するか、前記第1および第4の抵抗部の抵抗値が減少すると共に前記第2および第3の抵抗部の抵抗値が増加するように変化し、
前記出力信号は、前記第1の出力ポートと前記第2の出力ポートとの間の電位差に依存し、
前記第1ないし第4の抵抗部の各々は、第1の磁気抵抗効果素子および第2の磁気抵抗効果素子を含み、
前記磁界変換部は、前記第1の仮想の直線に平行な方向の一方の端に位置する端面を有し、
前記第1の仮想の直線と交差し前記第2の仮想の直線を含む仮想の平面上に第1の素子配置領域と第2の素子配置領域が存在し、
前記仮想の平面上に前記磁界変換部の前記端面を垂直投影してできる領域を端面投影領域としたときに、前記第1および第2の素子配置領域の各々は、前記端面投影領域の内部と外部の一方にのみ存在し、
前記入力磁界成分の強度に対する、前記仮想の平面内の任意の点における前記出力磁界成分の強度の比率を、その任意の点における変換効率とし、前記任意の点を前記第2の仮想の直線に平行な一方向に移動させるときの、前記任意の点の位置の変化量に対する前記任意の点における前記変換効率の変化量の比率を、前記任意の点における変換効率の傾きとしたときに、前記第1の素子配置領域内の任意の第1点における前記変換効率の傾きと、前記第2の素子配置領域内の任意の第2点における前記変換効率の傾きの一方は正の値であり、他方は負の値であり、
前記第1の磁気抵抗効果素子は、前記第2の素子配置領域とは交差せずに、前記第1の素子配置領域と交差するように配置され、
前記第2の磁気抵抗効果素子は、前記第1の素子配置領域とは交差せずに、前記第2の素子配置領域と交差するように配置され、
前記第1の磁気抵抗効果素子は、自身が受けた出力磁界成分に対応する第1の抵抗値を有し、
前記第2の磁気抵抗効果素子は、自身が受けた出力磁界成分に対応する第2の抵抗値を有し、
前記第1の磁気抵抗効果素子と前記第2の磁気抵抗効果素子は、並列に接続されていることを特徴とする磁気センサ。 - 磁界変換部と、磁界検出部とを備えた磁気センサであって、
前記磁界変換部は、軟磁性体よりなり、第1の仮想の直線に平行な方向の入力磁界成分を含む入力磁界を受けて、出力磁界を発生し、
前記磁界検出部は、前記出力磁界を受けて、前記入力磁界成分に対応する出力信号を生成し、
前記出力磁界は、前記第1の仮想の直線と交差する第2の仮想の直線に平行な方向の出力磁界成分であって前記入力磁界成分に応じて変化する出力磁界成分を含み、
前記磁界変換部は、前記第1の仮想の直線に平行な方向の一方の端に位置する端面を有し、
前記第1の仮想の直線と交差し前記第2の仮想の直線を含む仮想の平面上に第1の素子配置領域と第2の素子配置領域が存在し、
前記仮想の平面上に前記磁界変換部の前記端面を垂直投影してできる領域を端面投影領域としたときに、前記第1および第2の素子配置領域の各々は、前記端面投影領域の内部と外部の一方にのみ存在し、
前記入力磁界成分の強度に対する、前記仮想の平面内の任意の点における前記出力磁界成分の強度の比率を、その任意の点における変換効率とし、前記任意の点を前記第2の仮想の直線に平行な一方向に移動させるときの、前記任意の点の位置の変化量に対する前記任意の点における前記変換効率の変化量の比率を、前記任意の点における変換効率の傾きとしたときに、前記第1の素子配置領域内の任意の第1点における前記変換効率の傾きと、前記第2の素子配置領域内の任意の第2点における前記変換効率の傾きの一方は正の値であり、他方は負の値であり、
前記磁界検出部は、第1の磁気抵抗効果素子および第2の磁気抵抗効果素子を含み、
前記第1の磁気抵抗効果素子は、前記第2の素子配置領域とは交差せずに、前記第1の素子配置領域と交差するように配置され、
前記第2の磁気抵抗効果素子は、前記第1の素子配置領域とは交差せずに、前記第2の素子配置領域と交差するように配置され、
前記第1の磁気抵抗効果素子は、自身が受けた出力磁界成分に対応する第1の抵抗値を有し、
前記第2の磁気抵抗効果素子は、自身が受けた出力磁界成分に対応する第2の抵抗値を有し、
前記磁界検出部は、直列に接続された複数の素子対を含み、
前記複数の素子対の各々は、並列に接続された前記第1の磁気抵抗効果素子と前記第2の磁気抵抗効果素子によって構成され、
前記出力信号は、前記第1の抵抗値と前記第2の抵抗値の合成抵抗値に依存することを特徴とする磁気センサ。 - 磁界変換部と、磁界検出部とを備えた磁気センサであって、
前記磁界変換部は、軟磁性体よりなり、第1の仮想の直線に平行な方向の入力磁界成分を含む入力磁界を受けて、出力磁界を発生し、
前記磁界検出部は、前記出力磁界を受けて、前記入力磁界成分に対応する出力信号を生成し、
前記出力磁界は、前記第1の仮想の直線と交差する第2の仮想の直線に平行な方向の出力磁界成分であって前記入力磁界成分に応じて変化する出力磁界成分を含み、
前記磁界変換部は、前記第1の仮想の直線に平行な方向の一方の端に位置する端面を有し、
前記第1の仮想の直線と交差し前記第2の仮想の直線を含む仮想の平面上に第1の素子配置領域と第2の素子配置領域が存在し、
前記仮想の平面上に前記磁界変換部の前記端面を垂直投影してできる領域を端面投影領域としたときに、前記第1の素子配置領域は、前記端面投影領域の外部にのみ存在し、前記第2の素子配置領域は、前記端面投影領域の内部にのみ存在し、
前記端面投影領域は、前記第1の素子配置領域と前記第2の素子配置領域の間に位置する端縁であって、前記第2の仮想の直線に直交する端縁を有し、
前記入力磁界成分の強度に対する、前記仮想の平面内の任意の点における前記出力磁界成分の強度の比率を、その任意の点における変換効率とし、前記任意の点を前記第2の仮想の直線に平行な一方向に移動させるときの、前記任意の点の位置の変化量に対する前記任意の点における前記変換効率の変化量の比率を、前記任意の点における変換効率の傾きとしたときに、前記第1の素子配置領域内の任意の第1点における前記変換効率の傾きと、前記第2の素子配置領域内の任意の第2点における前記変換効率の傾きの一方は正の値であり、他方は負の値であり、
前記磁界検出部は、第1の磁気抵抗効果素子および第2の磁気抵抗効果素子を含み、
前記第1の磁気抵抗効果素子は、前記第2の素子配置領域とは交差せずに、前記第1の素子配置領域と交差するように配置され、
前記第2の磁気抵抗効果素子は、前記第1の素子配置領域とは交差せずに、前記第2の素子配置領域と交差するように配置され、
前記第1の磁気抵抗効果素子は、自身が受けた出力磁界成分に対応する第1の抵抗値を有し、
前記第2の磁気抵抗効果素子は、自身が受けた出力磁界成分に対応する第2の抵抗値を有し、
前記出力信号は、前記第1の抵抗値と前記第2の抵抗値の合成抵抗値に依存することを特徴とする磁気センサ。 - 磁界変換部と、磁界検出部とを備えた磁気センサであって、
前記磁界変換部は、軟磁性体よりなり、第1の仮想の直線に平行な方向の入力磁界成分を含む入力磁界を受けて、出力磁界を発生し、
前記磁界検出部は、前記出力磁界を受けて、前記入力磁界成分に対応する出力信号を生成し、
前記出力磁界は、前記第1の仮想の直線と交差する第2の仮想の直線に平行な方向の出力磁界成分であって前記入力磁界成分に応じて変化する出力磁界成分を含み、
前記磁界変換部は、前記第1の仮想の直線に平行な方向の一方の端に位置する端面を有し、
前記第1の仮想の直線と交差し前記第2の仮想の直線を含む仮想の平面上に第1の素子配置領域と第2の素子配置領域が存在し、
前記入力磁界成分の強度に対する、前記仮想の平面内の任意の点における前記出力磁界成分の強度の比率を、その任意の点における変換効率とし、前記任意の点を前記第2の仮想の直線に平行な一方向に移動させるときの、前記任意の点の位置の変化量に対する前記任意の点における前記変換効率の変化量の比率を、前記任意の点における変換効率の傾きとしたときに、前記第1の素子配置領域内の任意の第1点における前記変換効率の傾きと、前記第2の素子配置領域内の任意の第2点における前記変換効率の傾きの一方は正の値であり、他方は負の値であり、
前記磁界検出部は、第1の磁気抵抗効果素子および第2の磁気抵抗効果素子を含み、
前記第1の磁気抵抗効果素子は、前記第2の素子配置領域とは交差せずに、前記第1の素子配置領域と交差するように配置され、
前記第2の磁気抵抗効果素子は、前記第1の素子配置領域とは交差せずに、前記第2の素子配置領域と交差するように配置され、
前記第1の磁気抵抗効果素子は、自身が受けた出力磁界成分に対応する第1の抵抗値を有し、
前記第2の磁気抵抗効果素子は、自身が受けた出力磁界成分に対応する第2の抵抗値を有し、
前記出力信号は、前記第1の抵抗値と前記第2の抵抗値の合成抵抗値に依存し、
前記磁界変換部は、ヨークを含み、
前記ヨークは、前記第1の仮想の直線に平行な方向の一方の端に位置する1つの平面からなるヨーク端面を有し、
前記仮想の平面上に前記磁界変換部の前記端面を垂直投影してできる領域を端面投影領域としたときに、前記端面投影領域は、前記仮想の平面上に前記ヨーク端面を垂直投影してできるヨーク端面投影領域を含み、
前記第1の素子配置領域と前記第2の素子配置領域は、前記ヨーク端面投影領域の内部にのみ存在し、
前記ヨーク端面投影領域は、前記第2の仮想の直線に平行な方向における互いに反対側の端に位置する第1の端縁と第2の端縁を有し、
前記第1の素子配置領域は、前記第1の端縁と前記第2の素子配置領域の間に位置し、
前記第2の素子配置領域は、前記第2の端縁と前記第1の素子配置領域の間に位置していることを特徴とする磁気センサ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017059291A JP6544374B2 (ja) | 2017-03-24 | 2017-03-24 | 磁気センサ |
US15/891,576 US10401441B2 (en) | 2017-03-24 | 2018-02-08 | Magnetic sensor |
CN201810166434.7A CN108627782B (zh) | 2017-03-24 | 2018-02-28 | 磁传感器 |
DE102018104620.0A DE102018104620A1 (de) | 2017-03-24 | 2018-02-28 | Magnetsensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017059291A JP6544374B2 (ja) | 2017-03-24 | 2017-03-24 | 磁気センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018162993A JP2018162993A (ja) | 2018-10-18 |
JP6544374B2 true JP6544374B2 (ja) | 2019-07-17 |
Family
ID=63450476
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017059291A Active JP6544374B2 (ja) | 2017-03-24 | 2017-03-24 | 磁気センサ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10401441B2 (ja) |
JP (1) | JP6544374B2 (ja) |
CN (1) | CN108627782B (ja) |
DE (1) | DE102018104620A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6724459B2 (ja) * | 2016-03-23 | 2020-07-15 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP6620834B2 (ja) * | 2018-03-27 | 2019-12-18 | Tdk株式会社 | 磁気センサおよび磁気センサシステム |
JP7006633B2 (ja) * | 2019-02-13 | 2022-01-24 | Tdk株式会社 | 磁気センサシステム |
US20200300935A1 (en) * | 2019-03-22 | 2020-09-24 | Lexmark International, Inc. | Hall Effect Prism Sensor |
CN113812011A (zh) * | 2019-05-27 | 2021-12-17 | 昭和电工株式会社 | 磁传感器 |
JP7063307B2 (ja) * | 2019-06-05 | 2022-05-09 | Tdk株式会社 | 磁気センサおよび磁気センサシステム |
JP7172939B2 (ja) * | 2019-10-01 | 2022-11-16 | Tdk株式会社 | 磁気センサ装置 |
JP7173104B2 (ja) * | 2020-07-21 | 2022-11-16 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2717850B2 (ja) | 1989-05-30 | 1998-02-25 | 富士通株式会社 | 高速通信機構を持った並列計算機 |
JP2650169B2 (ja) * | 1991-08-19 | 1997-09-03 | 株式会社村田製作所 | 磁気センサ |
JPH11329186A (ja) * | 1998-05-14 | 1999-11-30 | Murata Mfg Co Ltd | 近接センサ |
JP5500785B2 (ja) * | 2008-05-14 | 2014-05-21 | 新科實業有限公司 | 磁気センサ |
US8742665B2 (en) * | 2009-11-18 | 2014-06-03 | Applied Materials, Inc. | Plasma source design |
WO2011068146A1 (ja) | 2009-12-02 | 2011-06-09 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
WO2012096132A1 (ja) * | 2011-01-13 | 2012-07-19 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
JP5809478B2 (ja) * | 2011-08-02 | 2015-11-11 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
EP2813860B1 (en) * | 2012-02-07 | 2017-10-18 | Asahi Kasei Microdevices Corporation | Magnetic sensor and magnetic detection method of the same |
JP2013210335A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Alps Electric Co Ltd | 磁気センサ |
JP5393844B2 (ja) * | 2012-06-08 | 2014-01-22 | 株式会社フジクラ | 磁気素子制御装置、磁気素子制御方法及び磁気検出装置 |
CN103116143B (zh) * | 2013-01-22 | 2015-01-14 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 一体式高精度三轴磁传感器 |
EP2878966B1 (en) | 2013-03-26 | 2017-07-26 | Asahi Kasei Microdevices Corporation | Magnetic sensor and magnetic detecting method |
JP6121316B2 (ja) * | 2013-12-20 | 2017-04-26 | アルプス電気株式会社 | 磁気検知装置 |
JP2015135288A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | 株式会社デンソー | 電流センサ |
JP6305181B2 (ja) * | 2014-04-15 | 2018-04-04 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
JP6460372B2 (ja) * | 2014-06-04 | 2019-01-30 | Tdk株式会社 | 磁気センサ及びその製造方法、並びにそれを用いた計測機器 |
US10353021B2 (en) * | 2014-07-25 | 2019-07-16 | Mitsubishi Electric Corporation | Magnetic sensor device |
JP6597369B2 (ja) * | 2015-03-12 | 2019-10-30 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP6597370B2 (ja) * | 2015-03-12 | 2019-10-30 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP6503802B2 (ja) * | 2015-03-12 | 2019-04-24 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP2016176911A (ja) * | 2015-03-23 | 2016-10-06 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP6278050B2 (ja) * | 2016-03-11 | 2018-02-14 | Tdk株式会社 | 回転角度検出装置及び回転機械装置 |
-
2017
- 2017-03-24 JP JP2017059291A patent/JP6544374B2/ja active Active
-
2018
- 2018-02-08 US US15/891,576 patent/US10401441B2/en active Active
- 2018-02-28 DE DE102018104620.0A patent/DE102018104620A1/de active Pending
- 2018-02-28 CN CN201810166434.7A patent/CN108627782B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102018104620A1 (de) | 2018-09-27 |
CN108627782A (zh) | 2018-10-09 |
JP2018162993A (ja) | 2018-10-18 |
US20180275217A1 (en) | 2018-09-27 |
CN108627782B (zh) | 2020-12-11 |
US10401441B2 (en) | 2019-09-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180829 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20190109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190329 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20190408 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190521 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190603 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |