JP2014142297A - 近接センサおよび遊技機 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、検知感度が高いと共に、検知範囲が広い近接センサおよび遊技機を提供することを目的とする。
【解決手段】第1の磁気抵抗効果素子2および第2の磁気抵抗効果素子3を有する近接センサ1であって、第1および第2の磁気抵抗効果素子2、3は、それぞれ、外部磁界により磁化が変動する1対の自由磁性層と、1対の自由磁性層間にある非磁性層とを有してなると共に、第1の磁気抵抗効果素子2において、1対の自由磁性層の磁化容易軸方向が第1の方向に配向されてなり、第2の磁気抵抗効果素子3において、1対の自由磁性層の磁化容易軸方向が第2の方向に配向されてなり、第1の方向と第2の方向とが異なることを特徴とする近接センサおよび遊技機。
【選択図】図2
【解決手段】第1の磁気抵抗効果素子2および第2の磁気抵抗効果素子3を有する近接センサ1であって、第1および第2の磁気抵抗効果素子2、3は、それぞれ、外部磁界により磁化が変動する1対の自由磁性層と、1対の自由磁性層間にある非磁性層とを有してなると共に、第1の磁気抵抗効果素子2において、1対の自由磁性層の磁化容易軸方向が第1の方向に配向されてなり、第2の磁気抵抗効果素子3において、1対の自由磁性層の磁化容易軸方向が第2の方向に配向されてなり、第1の方向と第2の方向とが異なることを特徴とする近接センサおよび遊技機。
【選択図】図2
Description
本発明は、磁気抵抗効果素子を用いた近接センサおよび近接センサを備えた遊技機に関する。
従来、外部磁界の変化により被検知対象の接近を検知する近接センサが知られている。この近接センサは、外部磁界の印加により電気抵抗が変化する磁気抵抗効果素子を備えて構成され、磁気抵抗効果素子の電気抵抗の変化を検知することにより、被検知対象の接近を検知する。
図12は、特許文献1に開示される近接センサと磁石との位置関係を示す模式的な上面図である。図12には、被検知対象である磁石233と、磁石233を検知する近接センサ201が図示されている。特許文献1に開示される近接センサ201は、1つの磁気抵抗効果素子を有し、図12に示すように、外部磁界を印加させる磁石233の方向に、磁気抵抗効果素子の磁化容易軸方向D203を配向させている。
特許文献1に開示される近接センサ201においては、図12に示すように、磁石233の方向に配向された磁化容易軸方向D203を備える磁気抵抗効果素子のみを用いて、磁石233の接近を検知している。そのため、検知感度の高い方向が1方向のみであるため、検知できる視野角が狭いので、磁石233の検知感度が低いと共に、磁石233の検知範囲が狭いという課題があった。
この課題を解決するために、機器などに複数の近接センサ201を設置しようとすると、
表示器や、つまみ、スイッチなどのために、近接センサ201の設置できる個数や、設置できる箇所が制限されるという課題があった。
表示器や、つまみ、スイッチなどのために、近接センサ201の設置できる個数や、設置できる箇所が制限されるという課題があった。
本発明の目的は、このような課題を顧みてなされたものであり、検知感度が高いと共に、検知範囲が広い近接センサおよび遊技機を提供することである。
本発明の近接センサは、第1の磁気抵抗効果素子および第2の磁気抵抗効果素子を有する近接センサであって、前記第1および第2の磁気抵抗効果素子は、それぞれ、外部磁界により磁化が変動する1対の自由磁性層と、前記1対の自由磁性層間にある非磁性層とを有してなると共に、前記第1の磁気抵抗効果素子において、前記1対の自由磁性層の磁化容易軸方向が第1の方向に配向されてなり、前記第2の磁気抵抗効果素子において、前記1対の自由磁性層の磁化容易軸方向が第2の方向に配向されてなり、前記第1の方向と前記第2の方向とが異なることを特徴とする。
第1の磁気抵抗効果素子の備える自由磁性層の磁化は、外部磁界の第1の方向の成分に応じて変化し易く、第2の磁気抵抗効果素子の備える自由磁性層の磁化は、外部磁界の第2の方向の成分に応じて変化し易い。
このように、本発明の近接センサは、外部磁界の異なる2方向の成分に応じて磁化が変化し易い磁気抵抗効果素子を有する。そのため、本発明によれば、広い検知範囲において、検知感度が高い近接センサを実現できる。
本発明の近接センサは、異なる2方向に配向された磁化容易軸を利用して、外部磁界を検知する。そのため、本発明によれば、検知できる視野角が広いので、検知範囲が広い近接センサを実現できる。
よって、本発明によれば、検知感度が高いと共に、検知範囲が広い近接センサを提供することが可能である。
前記第1および第2の磁気抵抗効果素子が、1つの基板上に形成されていることが好ましい。このような態様であれば、半導体プロセス技術を用いて、多数の小型な近接センサを同時に製造することができる。よって、安価で小型な近接センサを製造することができる。
前記第1の磁気抵抗効果素子の前記1対の自由磁性層において、無磁界中で両者の磁化方向が反平行となっており、前記第2の磁気抵抗効果素子の前記1対の自由磁性層において、無磁界中で両者の磁化方向が反平行となっていることが好ましい。このような態様であれば、第1の磁気抵抗効果素子および第2の磁気抵抗効果素子の電気抵抗が、外部磁界により大きく変化する。そのため、検知感度が更に高いと共に、検知範囲が更に広い近接センサを実現できる。
前記第1の磁気抵抗効果素子が、前記第1の方向に離間する1対の軟磁性体に挟まれて、
前記第2の磁気抵抗効果素子が、前記第2の方向に離間する1対の軟磁性体に挟まれていることが好ましい。
前記第2の磁気抵抗効果素子が、前記第2の方向に離間する1対の軟磁性体に挟まれていることが好ましい。
このような態様であれば、外部磁界が増幅されて、第1の磁気抵抗効果素子および第2の磁気抵抗効果素子に印加される。また、第1の磁気抵抗効果素子には、外部磁界が第1の方向に集束されて印加され、第2の磁気抵抗効果素子には、外部磁界が第2の方向に集束されて印加される。そのため、検知感度が更に高いと共に、検知範囲が更に広い近接センサを実現できる。
前記第1の方向と前記第2の方向とが直交することが好ましい。このような態様であれば、外部磁界を更に広い視野角で検知することができる。そのため、検知範囲が更に広い近接センサを実現できる。
本発明の近接センサは、第1の磁気抵抗効果素子および第2の磁気抵抗効果素子を有する近接センサであって、前記第1および第2の磁気抵抗効果素子は、それぞれ、外部磁界により磁化が変動する1対の自由磁性層と、前記1対の自由磁性層間にある非磁性層とを有してなると共に、前記近接センサは、被検知対象が存在する領域に対して板面で仕切られた領域に配置されており、前記第1の磁気抵抗効果素子において、前記1対の自由磁性層の磁化容易軸方向が第1の方向に配向されてなり、前記第2の磁気抵抗効果素子において、前記1対の自由磁性層の磁化容易軸方向が第2の方向に配向されてなり、前記第1の方向と前記第2の方向とが異なることを特徴とする。
第1の磁気抵抗効果素子の備える自由磁性層の磁化は、外部磁界の第1の方向の成分に応じて変化し易く、第2の磁気抵抗効果素子の備える自由磁性層の磁化は、外部磁界の第2の方向の成分に応じて変化し易い。このように、本発明の近接センサは、外部磁界の異なる2方向の成分に応じて磁化が変化し易いと共に、異なる2方向に配向された磁化容易軸を利用して、外部磁界を検知する。
よって、本発明によれば、被検知対象が存在する領域に対して板面で仕切られた領域に配置される近接センサにおいて、検知感度が高いと共に、検知範囲が広いことを可能にする。
前記第1および第2の磁気抵抗効果素子が、1つの基板上に形成されていることが好ましい。このような態様であれば、半導体プロセス技術を用いて、多数の小型な近接センサを同時に製造することができる。よって、安価で小型な近接センサを製造することができる。
前記第1の方向が前記板面に直交することが好ましい。このような態様であれば、近接センサを中心にして、その周囲に検知範囲が設けられる。そのため、近接センサの設置位置と検知範囲の関係が明確であるので、近接センサの設置が容易である。
前記第1の磁気抵抗効果素子の前記1対の自由磁性層において、無磁界中で両者の磁化方向が反平行となっており、前記第2の磁気抵抗効果素子の前記1対の自由磁性層において、磁界中で両者の磁化方向が反平行となっていることが好ましい。このような態様であれば、第1の磁気抵抗効果素子および第2の磁気抵抗効果素子の電気抵抗が、外部磁界により大きく変化する。そのため、検知感度が更に高いと共に、検知範囲が更に広い近接センサを実現できる。
前記第1の磁気抵抗効果素子が、前記第1の方向に離間する1対の軟磁性体に挟まれて、
前記第2の磁気抵抗効果素子が、前記第2の方向に離間する1対の軟磁性体に挟まれていることが好ましい。
前記第2の磁気抵抗効果素子が、前記第2の方向に離間する1対の軟磁性体に挟まれていることが好ましい。
このような態様であれば、外部磁界が増幅されて、第1の磁気抵抗効果素子および第2の磁気抵抗効果素子に印加される。また、第1の磁気抵抗効果素子には、外部磁界が第1の方向に集束されて印加され、第2の磁気抵抗効果素子には、外部磁界が第2の方向に集束されて印加される。そのため、検知感度が更に高いと共に、検知範囲が更に広い近接センサを実現できる。
前記第1の方向と前記第2の方向とが直交することが好ましい。このような態様であれば、外部磁界を更に広い視野角で検知することができる。そのため、検知範囲が更に広い近接センサを実現できる。
前記第1の磁気抵抗効果素子および前記第2の磁気抵抗効果素子の素子形状が、ミアンダ形状であることが好ましい。このような態様であれば、近接センサの検知感度を更に向上させることができると共に、近接センサの検知範囲を更に広げることができる。
前記第1の磁気抵抗効果素子においては、前記ミアンダ形状の長尺方向が、前記第1の方向に平行であると共に、前記第2の磁気抵抗効果素子においては、前記ミアンダ形状の長尺方向が、前記第2の方向に平行であることが好ましい。
このような態様であれば、磁化容易軸がミアンダ形状の長尺方向と平行に配向されるので、検知感度を更に向上させることができる。
本発明の遊技機は、前記近接センサと、前記近接センサが配置される筐体と、を具備することを特徴とする。
このような態様であれば、本発明の遊技機において、近接センサの検知感度を向上させると共に、近接センサの検知範囲を拡大させることができる。よって、近接センサの配置の自由度が向上されることができ、近接センサの数を削減できることができ、および近接センサの数を削減しても正確に外部磁界を検知することができる。
よって、本発明によれば、検知感度が高いと共に、検知範囲が広い近接センサおよび遊技機が可能である。
以下、本発明の実施形態の近接センサおよび遊技機について図面を用いて詳細に説明する。なお、各図面の寸法は適宜変更して示している。
<第1の実施形態>
図1は、第1の実施形態に係る近接センサを設置した遊技機の斜視図である。遊技機30は、図1に示すように、正面に円形の凹状部が設けられる筐体31と、筐体31の凹状部を覆うように設けられるガラス板32と、筐体31に配置される近接センサ1とを備える。近接センサ1は、被検知対象である磁石33が存在する領域に対してガラス板32で仕切られた領域に配置されている。
図1は、第1の実施形態に係る近接センサを設置した遊技機の斜視図である。遊技機30は、図1に示すように、正面に円形の凹状部が設けられる筐体31と、筐体31の凹状部を覆うように設けられるガラス板32と、筐体31に配置される近接センサ1とを備える。近接センサ1は、被検知対象である磁石33が存在する領域に対してガラス板32で仕切られた領域に配置されている。
筐体31の凹状部底部には、正面視において円形の遊技盤が固定され、この遊技盤とガラス板32との間には、各種表示器や各種飾りが施され、遊技球の移動範囲となる遊技領域が形成されている。近接センサ1は、この筐体31内の遊技領域の中央に対応する位置に配置され、ガラス板32を介して磁石33の発する磁界を検知できるように、その検知範囲が設定されている。
近接センサは、磁石を用いた不正行為などを検知するために、遊技機に設置されている。遊技機において磁石を用いた不正行為を検知する場合、近接センサは、広い検知範囲において、磁石の接近を精度よく検知することが必要とされる。
特許文献1に開示される従来の近接センサは、検知感度の高い方向が1方向のみであるため、検知できる視野角が狭いので、検知範囲が狭くなり、遊技機に設置した場合に不感領域が生じる。このため、不感領域を削減するべく、複数の近接センサを使用し、それぞれの近接センサの不感領域をカバーするように設置する必要がある。ところが、各種表示器や各種飾りのために、近接センサの設置できる個数や、設置できる箇所は制限される。
そのため、本実施形態では、検知感度が高いと共に、検知範囲が広い近接センサを用いることで、上記課題を解決している。なお、本実施形態においては、本実施形態に係る近接センサを設置した遊技機について説明するが、本実施形態に係る近接センサは遊技機以外にも適用可能である。
本実施形態においては、図1に示すXYZ直交座標軸を設定している。Y軸は、近接センサ1と、近接センサ1に最も近いガラス板32内の点と、を結んだ線分に対して平行な軸とする。X軸およびZ軸は、Y軸に直交しており、Z軸は、鉛直方向に平行な軸とする。
図2は、第1の実施形態に係る近接センサの平面略図である。図3は、第1の実施形態に係る磁気抵抗効果素子の部分拡大図である。本実施形態の近接センサ1は、図2に示すように、1つの基板7のセンサ面6上に、第1の磁気抵抗効果素子2と、第2の磁気抵抗効果素子3とが形成されて構成されている。なお、第1の磁気抵抗効果素子2および第2の磁気抵抗効果素子3は、1つの基板7上にスパッタ法などの成膜技術や、フォトリソグラフィ法などのパターン形成技術などを用いて形成される。
第1の磁気抵抗効果素子2および第2の磁気抵抗効果素子3は、図2に示すように、平面視でミアンダ形状に形成されている。このミアンダ形状は、図3に示すように、複数の帯状で長尺パターンである素子部2a、3aが、素子部2a、3aの端部で接続電極4によって2つずつ接続されて、つづら折り状に折り返すパターンである。
第1の磁気抵抗効果素子2は、図2に示すように、第1の方向、すなわち図面上下(Y)方向に離間する1対の軟磁性体2b、2cに挟まれている。また、第2の磁気抵抗効果素子3は、第2の方向、すなわち図面左右(X)方向に離間する1対の軟磁性体3b、3cに挟まれている。そして、素子部2aまたは素子部3aは、それぞれ、その長尺パターンを1対の軟磁性体2b、2cまたは1対の軟磁性体3b、3cに略直交させるように、1対の軟磁性体2b、2cまたは1対の軟磁性体3b、3cの間をつづら折り状に折り返している。第1の磁気抵抗効果素子2と第2の磁気抵抗効果素子3とは、1つの基板7上にパターニングされている。
このミアンダ形状に対して、図3に示すように、素子部2a、3aの長手方向を、長尺方向D1とし、素子部2a、3aの短手方向を、幅方向D2と定義する。図2に示す第1の磁気抵抗効果素子2においては、長尺方向D1は図面上下(Y)方向であり、幅方向D2は図面左右(X)方向である。図2に示す第2の磁気抵抗効果素子3においては、長尺方向D1は図面左右(X)方向であり、幅方向D2は図面上下(Y)方向である。
図4は、第1の実施形態に係る近接センサの磁気抵抗効果素子の積層構造を示す図である。図4を参照して、本実施形態に係る近接センサ1に用いられる磁気抵抗効果素子の積層構造および磁化容易軸方向D3について説明する。なお、図4は、図3に図示する素子部2a、3aを、長尺方向D1に沿って切断した断面に対応する。
なお、本実施形態おいては、磁気抵抗効果素子としてCIP(Current In Plane)−GMR(Giant Magneto Resistive)素子を例に説明するが、これに限定されるものではない。本実施形態に係る近接センサ1は、CPP(Current Perpendicular to Plane)−GMR素子や、TMR(Tunnel Magneto Resistive effect)素子を用いてもよい。
図2および図4に示すように、本実施形態に係る近接センサ1に用いられる磁気抵抗効果素子2、3は、下から順に積層される第1の自由磁性層11、非磁性層12、および第2の自由磁性層13を有して構成されている。
第1の自由磁性層11、および第2の自由磁性層13は、NiFe合金、Co、CoFe合金、CoNi合金、およびCoFeNi合金のいずれか、あるいはそれらの積層膜で形成することができ、同一の磁性材料によって形成されることが好ましい。第1の自由磁性層11および第2の自由磁性層13を同一の磁性材料によって形成する場合は、両層の単位面積あたりの磁気モーメントがほぼ等しくなるように、第1の自由磁性層11の膜厚と第2の自由磁性層13の膜厚とをほぼ等しくする。また、第1の自由磁性層11および第2の自由磁性層13をそれぞれ単層で形成する場合は、第1の自由磁性層11および第2の自由磁性層13のうち少なくとも一方がCoFeNi合金で形成されていることが好ましい。第1の自由磁性層11および第2の自由磁性層13をそれぞれ多層で形成する場合は、第1の自由磁性層11がNiFe合金層とCoFe合金層とからなる積層体で形成され、第2の自由磁性層13が積層順を逆にしてCoFe合金層とNiFe合金層とからなる積層体で形成されることが好ましい。
非磁性層12は、Cu、Cr、Au、Agなどの導電性を有する非磁性材料により形成される。特にCuによって形成されることが好ましい。
次に、本実施形態に係る磁気抵抗効果素子の製造工程について説明する。まず、スパッタリングや蒸着などにより、第1の自由磁性層11、非磁性層12、および第2の自由磁性層13の順に連続成膜して積層する。なお、スパッタリングや蒸着の条件については、従来公知の条件を適用可能である。
本実施形態においては、成膜工程で磁場を印加し、第1の自由磁性層11と第2の自由磁性層13の磁化方向を図4の矢印A方向に固定しながら成膜する。第2の自由磁性層13の磁化方向は、印加磁場除去後に交換結合磁界により第1の自由磁性層11の磁化方向と反平行の方向、すなわち矢印B方向に向く。第1の自由磁性層11と第2の自由磁性層13との間には反平行方向の交換結合磁界が形成される。このとき印加磁場に平行な方向に磁化容易軸方向D3が形成される。
この磁化容易軸方向D3が形成されることにより、外部磁界が印加された場合、第1の自由磁性層11および第2の自由磁性層13の磁化が、磁化容易軸方向D3に揃い易い。そのため、外部磁界の変化の検知が容易になり、近接センサ1の検知感度が向上する。なお、磁化容易軸方向D3は、磁気抵抗効果素子の製造工程において磁化方向を調整することにより、任意に調整することができる。以上の工程により、本実施の形態に係る磁気抵抗効果素子を得ることができる。
図5は、第1の実施形態に係る近接センサの模式的な電気回路図である。近接センサ1の電気回路は、図5に示すように、外部磁界によって電気抵抗が変化しない固定抵抗素子5と、外部磁界によって電気抵抗が変化する第1の磁気抵抗効果素子2および第2の磁気抵抗効果素子3を有して構成されている。
近接センサ1の電気回路は、図5に示すように、電源端子Vddに固定抵抗素子5の1端が電気的に直列接続されている。第1の磁気抵抗効果素子2と第2の磁気抵抗効素子3とが電気的に並列に接続されており、固定抵抗素子5の他端に、第1の磁気抵抗効果素子2および第2の磁気抵抗効素子3の1端が電気的に直列接続されている。次に、第1の磁気抵抗効果素子2および第2の磁気抵抗効素子3の他端が、グランド端子GNDに電気的に直列接続されている。そして、固定抵抗素子5の他端と第1の磁気抵抗効果素子2および第2の磁気抵抗効素子3の1端との間の接続部から、出力端子Voutが引き出されている。
第1の磁気抵抗効果素子2と第2の磁気抵抗効果素子3が、電気的に並列に接続されているので、外部磁界により第1の磁気抵抗効果素子2と第2の磁気抵抗効果素子3のどちらかの電気抵抗が変化すると、固定抵抗素子5と第1の磁気抵抗効果素子2および第2の磁気抵抗効果素子3の間の電位である中点電位Voutは変化する。このようにして、近接センサ1においては、外部磁界に応じて変化する中点電位Voutによって外部磁界を検知することができる。
固定抵抗素子5は、Cu、Cr、Au、Agなどの導電性を有する非磁性材料により形成される。また、固定抵抗素子5は、反強磁性層、第1の自由磁性層11、第2の自由磁性層13、および非磁性層12の順に連続成膜して形成することもできる。
図6は、第1の実施形態に係る近接センサと磁石との位置関係を示す模式的な上面図である。本実施形態の近接センサ1は、図6に示すように、第1の磁気抵抗効果素子2の磁化容易軸方向D3をガラス板32の主面32aに略直交するようにして、遊技領域の中央に対応する位置にセンサ面6を水平(XY面に平行)にして配置される。そのため、第2の磁気抵抗効果素子3の磁化容易軸方向D3は、ガラス板32の主面32aに略平行であって、図面上下(X)方向に向いている。
磁石33の周囲には、磁石33を中心にして磁力線Mが形成されている。磁石33の磁界は、ガラス板32外面上より、ガラス板32内側の遊技領域に印加される。
本実施形態においては、ガラス板32外側から遊技領域内に印加される磁界を検知することにより磁石33を検知する。磁石33が、図6に示すように、Y軸に直交する平面視で、近接センサ1を中心にして、近接センサ1の近傍に相当するガラス板32外側に位置する場合には、たとえば図面に示す位置Cでは、ガラス板32の主面32aに略直交する磁界が、近接センサ1に印加される。そのため、ガラス板32の主面32aに略直交する磁化容易軸方向D3を持つ第1の磁気抵抗効果素子2の電気抵抗が変化するので、近接センサ1は磁石33を検知することができる。
磁石33が、近接センサ1の近傍に相当するガラス板32外側から、図面上下(X)方向に離れていくと、たとえば図面に示す位置Dでは、ガラス板32の主面32aに略平行であると共に、図面上下(X)方向に向いている磁界が、近接センサ1に印加される。そのため、第2の磁気抵抗効果素子3の電気抵抗が変化し、近接センサ1は磁石33を検知することができる。
磁気抵抗効果素子においては、図4を用いて説明するが、第1の自由磁性層11と第2の自由磁性層13との磁化方向が互いに反平行な際に、磁気抵抗効果素子の電気抵抗は最大値である。そして、第1の自由磁性層11と第2の自由磁性層13との磁化方向が互いに平行になると、磁気抵抗効果素子の電気抵抗は最小値となる。本実施形態においては、磁石がない(外部磁界がない)際には、第1の自由磁性層11と第2の自由磁性層13との磁化方向は互いに反平行であり、磁気抵抗効果素子の電気抵抗は最大値である。そして、磁石が接近してくると、第1の自由磁性層11と第2の自由磁性層13とは、同方向に磁化容易軸方向D3を持つので、互いに同じ方向に容易に磁化されて、磁気抵抗効果素子の電気抵抗は最小値に変化する。このように、本実施形態によれば、磁気抵抗効果素子の電気抵抗は、外部磁界により大きく変化する。
本願の図12は、特許文献1に開示される近接センサと磁石との位置関係を示す模式的な上面図である。従来技術の近接センサ201は、図12に示すように、磁化容易軸方向D203がガラス板232の主面232aに略直交する磁気抵抗効果素子のみを有している。そのため、磁石233が、Y軸に直交する平面視で、近接センサ201を中心にして、近接センサ201の近傍に相当するガラス板232外側に位置する場合には、近接センサ201は、磁石33を検知することができる。ところが、磁石233が、近接センサ201の近傍に相当するガラス板232外側から、図面上下(X)方向に離れていくと、磁石233の磁界は、ガラス板232の主面232aに略平行な成分のみとなるので、近接センサ201は、磁石33を検知することができない。
上記のように、本実施形態によれば、特許文献1に開示される従来技術に比べて、図面上下(X)方向に広がった領域において検知感度を高くすることができ、この領域に検知範囲を広げることができる。
図7は、第1の実施形態に係る近接センサのガラス板に直交方向の検知範囲の説明図である。図7に図示される検知範囲は、XY平面に平行な面におけるものである。近接センサ1は、磁石33が存在する領域に対してガラス板32で仕切られた遊技領域に配置されている。
図7には、検知範囲R1、検知範囲R2、検知範囲R3が図示されており、検知範囲R1は第1の磁気抵抗効果素子2によるもの、検知範囲R2と検知範囲R3は、第2の磁気抵抗効果素子3によるものである。
第1の磁気抵抗効果素子2の磁化容易軸方向D3は、ガラス板32の主面32aに略直交している。そのため、第1の磁気抵抗効果素子2は、Y軸方向に検知感度が高く、第1の磁気抵抗効果素子2の検知範囲R1は、Y軸方向に長軸を有する楕円状である。
また、Y軸に直交する平面視で、磁石33が近接センサ1と重なる際に、磁化容易軸方向D3の磁界成分は最大であり、この位置から磁石33が外れると、磁化容易軸方向D3の磁界成分は小さくなる。そのため、近接センサ1は検知範囲R1の中心に位置する。
第2の磁気抵抗効果素子3の磁化容易軸方向D3は、ガラス板32の主面32aに略平行、すなわちX軸方向である。Y軸に直交する平面視で、磁石33が近接センサ1から離れた際に、磁石33は、主面32aに略平行な方向に大きな磁界成分を持つので、第2の磁気抵抗効果素子3の検知範囲R2および検知範囲R3は、近接センサ1を中心にして、X軸方向に離間して位置する。
第2の磁気抵抗効果素子3は、X軸方向に検知感度が高いので、検知範囲R2および検知範囲R3は、X軸方向に長軸を有する楕円状である。また、第2の磁気抵抗効果素子3は、磁化容易軸方向D3がX軸方向であることや、X軸方向に長尺な素子部3aの形状磁気異方性、それに加えて複数の素子部3aが並列に配置されていることにより、主面32aに平行する方向から外れた磁界成分によっても磁化され易い。そのため、検知範囲R2および検知範囲R3は、Y軸方向に広がっている。
よって、本実施形態の近接センサ1の検知範囲は、検知範囲R1、検知範囲R2、および検知範囲R3からなる。特許文献1に開示される従来技術の検知範囲は、検知範囲R1に相当する。そのため、磁石33が、ガラス板32に接近して来て、検知範囲R1、検知範囲R2、および検知範囲R3のどれかの範囲に入ると、本実施形態の近接センサ1は、磁石33を検知する。
図8は、第1の実施形態に係る近接センサのガラス板に平行方向の検知範囲の説明図である。図8に図示される検知範囲は、XZ平面に平行な面におけるものである。近接センサ1は、磁石33が存在する領域に対してガラス板32で仕切られた遊技領域に配置されている。
第1の磁気抵抗効果素子2は、磁化容易軸方向D3がY軸方向であることや、Y軸方向に長尺な素子部3aの形状磁気異方性、それに加えて複数の素子部3aが並列に配置されていることにより、主面32aに略直交する方向から外れた磁界成分によっても磁化され易い。そのため、検知範囲R1は、近接センサ1を中心にして、XZ平面内で広がっている。また、第1の磁気抵抗効果素子2の検知感度は、XZ平面内で略等方的であり、図8に図示する検知範囲R1は、略円形である。
第2の磁気抵抗効果素子3は、その磁化容易軸方向D3がX軸方向なので、X軸方向に検知感度が高く、検知範囲R2および検知範囲R3は、X軸方向に広がる楕円状である。また、第2の磁気抵抗効果素子3は、磁化容易軸方向D3がX軸方向であることや、X軸方向に長尺な素子部3aの形状磁気異方性、それに加えて複数の素子部3aが並列に配置されていることにより、主面32aに平行する方向から外れた磁界成分によっても磁化され易い。そのため、検知範囲R2および検知範囲R3は、Z軸方向に長軸を有する楕円状に広がっている。
本実施形態の近接センサ1の検知範囲は、図7および図8に示すように、検知範囲R1、検知範囲R2、検知範囲R3とからなる。そして、検知範囲R2と検知範囲R3が、検知範囲R1を中心にして、X軸方向に離間して位置している。検知範囲R1、検知範囲R2、検知範囲R3は、ラグビボール状(楕円球状)の形状であり、対応する磁気抵抗効果素子の磁化容易軸方向に直交する断面が略円形であり、対応する磁気抵抗効果素子の磁化容易軸方向に平行な断面が、略楕円形である。
本実施形態の近接センサ1の検知範囲は、特許文献1に開示される従来の近接センサの検知範囲に比べて、検知範囲R1の外側に広がる検知範囲R2および検知範囲R3の範囲の分だけ広い。また、本実施形態の近接センサ1によれば、従来の近接センサに比べて、検知感度が高い範囲が形成される。
よって、本発明によれば、検知感度が高いと共に、検知範囲が広い近接センサおよび遊技機が可能である。
本実施形態の近接センサによれば、1つの近接センサによって広い検知範囲を確保できる。よって、本実施形態の遊技機においては、近接センサの配置の自由度が向上することができ、近接センサの数を削減できることができ、および近接センサの数を削減しても正確に磁石を検知することができる。それにより、近接センサの配置位置の数を少なく構成でき、配線の複雑さを軽減でき、近接センサの占める面積と場所を削減できるため、遊技機の各種表示器や各種飾りなどの配置の自由度を増すことができる。また、1つの基板に2つの素子、すなわち第1の磁気抵抗効果素子と第2の磁気抵抗効果素子をパターンニングして構成するため、第1の磁気抵抗効果素子と第2の磁気抵抗効果素子の2つの磁化容易軸方向の角度が精度よく構成され、近接センサの精度を高めることができる。
本実施形態においては、第1の磁気抵抗効果素子2と第2の磁気抵抗効果素子3との磁化容易軸方向D3を直交するように設けたが、これに限定されるものではない。被検知対象の接近する方向や、被検知対象の存在する範囲に対応して、第1の磁気抵抗効果素子2と第2の磁気抵抗効果素子3との磁化容易軸方向D3を、鈍角や鋭角に設けることも可能である。
本実施形態の近接センサ1においては、図2に示すように、磁気抵抗効果素子2、3において、それぞれ、素子部2aが軟磁性体2b、2cに挟まれるように、素子部3aが軟磁性体3b、3cに挟まれるように、センサ面6の上に形成されている。
第1の磁気抵抗効果素子2においては、図2、図3、および図6に示すように、磁化容易軸方向D3(ガラス板33の主面33aに略直交する方向)、すなわち検知する磁界成分の方向に、軟磁性体2b、2cが素子部2aを挟むように設けられる。また、第2の磁気抵抗効果素子3においては、図2、図3、および図6に示すように、磁化容易軸方向D3(ガラス板33の主面33aに略平行する方向)、すなわち検知する磁界成分の方向に、軟磁性体3b、3cが素子部3aを挟むように設けられる。
この際、高い透磁性を有する軟磁性体2b、2c、3b、3cは、磁気ヨークとして機能する。そのため、素子部2a、3aが、両側から軟磁性体2b、2c、3b、3cに挟まれていることにより、磁石33から素子部2a、3aに到達する磁力が増幅されて、検知感度が向上し、磁化容易軸方向D3に検知範囲が拡大される。
また、軟磁性体2b、2c、3b、3cは、磁気ヨークとして、磁石33の磁界を、第1の磁気抵抗効果素子2および第2の磁気抵抗効果素子3の磁化容易軸方向D3に集束するように作用する。この作用によって、軟磁性体2b、2c、3b、3cは、磁化容易軸方向D3に直交する方向に検知範囲を拡大する。
軟磁性体2b、2c、3b、3cの材質としては、CoZrNb、CoZrTi、NiFe、Co、Fe、およびNiからなる群から選ばれた少なくとも1つが含まれる合金などの各種軟磁性材料を用いることができる。これらの中でも、適度な保持力と透磁性の観点からCoZrNbが好ましい。また、軟磁性体2b、2c、3b、3cの膜厚としては、300nm〜1000nmの範囲であることが好ましい。軟磁性体2b、2c、3b、3cの膜厚が300nm以上であれば、ヨーク効果が増加し、良好な検知感度が得られる。また、軟磁性体2b、2c、3b、3cの膜厚が1000nm以下であれば、検知方向を広角的に設けられるので、検知範囲が広いと共に安定した検知を確保できる。このように、軟磁性体2b、2c、3b、3cを形成することにより、検知の上限感度を、例えば0.7mTから0.25mTに向上させることができる。
<変形例>
図9は、変形例に係る近接センサの平面略図である。本実施形態の変形例である近接センサにおいては、図9に示すように、第1の磁気抵抗効果素子2および第2の磁気抵抗効果素子3が、軟磁性体2b、2c、3b、3cを有していない。そのため、本変形例の近接センサは、平面面積を小さくすることができる。そのため、本変形例の近接センサは、小型化に優れると共に、基板からの取得数を増やせるので、低コスト化に優れる。
図9は、変形例に係る近接センサの平面略図である。本実施形態の変形例である近接センサにおいては、図9に示すように、第1の磁気抵抗効果素子2および第2の磁気抵抗効果素子3が、軟磁性体2b、2c、3b、3cを有していない。そのため、本変形例の近接センサは、平面面積を小さくすることができる。そのため、本変形例の近接センサは、小型化に優れると共に、基板からの取得数を増やせるので、低コスト化に優れる。
<第2の実施形態>
図10は、第2の実施形態に係る近接センサの平面略図である。図11は、第2の実施形態に係る近接センサと磁石との位置関係を示す模式的な上面図である。本実施形態の近接センサ51においては、図2と図10を比較して分かるように、第1の実施形態における第2の磁気抵抗効果素子3を45°反時計まわりに回転させたように、第2の磁気抵抗効果素子53が配置されている。
図10は、第2の実施形態に係る近接センサの平面略図である。図11は、第2の実施形態に係る近接センサと磁石との位置関係を示す模式的な上面図である。本実施形態の近接センサ51においては、図2と図10を比較して分かるように、第1の実施形態における第2の磁気抵抗効果素子3を45°反時計まわりに回転させたように、第2の磁気抵抗効果素子53が配置されている。
そのため、本実施形態においては、第2の磁気抵抗効果素子53の検知範囲R2と検知範囲R3が、図7と図11を比較して分かるように、第1の実施形態に比較して45°反時計まわりに回転されたように配置される。
別な言い方をすると、本実施形態における第2の磁気抵抗効果素子53の磁化容易軸方向D3が、第1の実施形態に対して45°反時計まわりに回転させられ、第2の磁気抵抗効果素子53の磁化容易軸方向D3が、近接センサ51のより前方に向けられた。その結果、本実施形態の検知範囲R3は、図7と図11を比較して分かるように、第1の実施形態の検知範囲R3より、より前方に突き出ている。
よって、本実施形態によれば、磁石が接近する際に、第1の実施形態に比べて、検知範囲R3においてより早く磁石を検知することが可能である。
1 近接センサ
2 第1の磁気抵抗効果素子
2a 素子部
2b 軟磁性体、
2c 軟磁性体
3 第2の磁気抵抗効果素子
3a 素子部
3b 軟磁性体
3c 軟磁性体
5 固定抵抗素子
6 センサ面
7 基板
11 第1の自由磁性層
12 非磁性層
13 第2の自由磁性層
30 遊技機
31 筐体
32 ガラス板
33 磁石
2 第1の磁気抵抗効果素子
2a 素子部
2b 軟磁性体、
2c 軟磁性体
3 第2の磁気抵抗効果素子
3a 素子部
3b 軟磁性体
3c 軟磁性体
5 固定抵抗素子
6 センサ面
7 基板
11 第1の自由磁性層
12 非磁性層
13 第2の自由磁性層
30 遊技機
31 筐体
32 ガラス板
33 磁石
Claims (14)
- 第1の磁気抵抗効果素子および第2の磁気抵抗効果素子を有する近接センサであって、前記第1および第2の磁気抵抗効果素子は、それぞれ、外部磁界により磁化が変動する1対の自由磁性層と、前記1対の自由磁性層間にある非磁性層とを有してなると共に、
前記第1の磁気抵抗効果素子において、前記1対の自由磁性層の磁化容易軸方向が第1の方向に配向されてなり、
前記第2の磁気抵抗効果素子において、前記1対の自由磁性層の磁化容易軸方向が第2の方向に配向されてなり、
前記第1の方向と前記第2の方向とが異なることを特徴とする近接センサ。 - 前記第1および第2の磁気抵抗効果素子が、1つの基板上に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の近接センサ。
- 前記第1の磁気抵抗効果素子の前記1対の自由磁性層において、無磁界中で両者の磁化方向が反平行となっており、
前記第2の磁気抵抗効果素子の前記1対の自由磁性層において、無磁界中で両者の磁化方向が反平行となっていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の近接センサ。 - 前記第1の磁気抵抗効果素子が、前記第1の方向に離間する1対の軟磁性体に挟まれて、
前記第2の磁気抵抗効果素子が、前記第2の方向に離間する1対の軟磁性体に挟まれていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の近接センサ。 - 前記第1の方向と前記第2の方向とが直交することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の近接センサ。
- 第1の磁気抵抗効果素子および第2の磁気抵抗効果素子を有する近接センサであって、前記第1および第2の磁気抵抗効果素子は、それぞれ、外部磁界により磁化が変動する1対の自由磁性層と、前記1対の自由磁性層間にある非磁性層とを有してなると共に、
前記近接センサは、被検知対象が存在する領域に対して板面で仕切られた領域に配置されており、
前記第1の磁気抵抗効果素子において、前記1対の自由磁性層の磁化容易軸方向が第1の方向に配向されてなり、
前記第2の磁気抵抗効果素子において、前記1対の自由磁性層の磁化容易軸方向が第2の方向に配向されてなり、
前記第1の方向と前記第2の方向とが異なることを特徴とする近接センサ。 - 前記第1および第2の磁気抵抗効果素子が、1つの基板上に形成されていることを特徴とする請求項6に記載の近接センサ。
- 前記第1の方向が前記板面に直交することを特徴とする請求項6または請求項7に記載の近接センサ。
- 前記第1の磁気抵抗効果素子の前記1対の自由磁性層において、無磁界中で両者の磁化方向が反平行となっており、
前記第2の磁気抵抗効果素子の前記1対の自由磁性層において、磁界中で両者の磁化方向が反平行となっていることを特徴とする請求項6から請求項8のいずれか1項に記載の近接センサ。 - 前記第1の磁気抵抗効果素子が、前記第1の方向に離間する1対の軟磁性体に挟まれて、
前記第2の磁気抵抗効果素子が、前記第2の方向に離間する1対の軟磁性体に挟まれていることを特徴とする請求項6から請求項9のいずれか1項に記載の近接センサ。 - 前記第1の方向と前記第2の方向とが直交することを特徴とする請求項6から請求項10のいずれか1項に記載の近接センサ。
- 前記第1の磁気抵抗効果素子および前記第2の磁気抵抗効果素子の素子形状が、ミアンダ形状であることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の近接センサ。
- 前記第1の磁気抵抗効果素子においては、前記ミアンダ形状の長尺方向が、前記第1の方向に平行であると共に、前記第2の磁気抵抗効果素子においては、前記ミアンダ形状の長尺方向が、前記第2の方向に平行であることを特徴とする請求項12に記載の近接センサ。
- 請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の近接センサと、前記近接センサが配置される筐体と、を具備することを特徴とする遊技機。
Priority Applications (1)
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JP2013011671A JP2014142297A (ja) | 2013-01-25 | 2013-01-25 | 近接センサおよび遊技機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013011671A JP2014142297A (ja) | 2013-01-25 | 2013-01-25 | 近接センサおよび遊技機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014142297A true JP2014142297A (ja) | 2014-08-07 |
Family
ID=51423701
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013011671A Pending JP2014142297A (ja) | 2013-01-25 | 2013-01-25 | 近接センサおよび遊技機 |
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Country | Link |
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