JP6699635B2 - 磁気センサ - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図10を参照して、本発明の第1の実施の形態に係る磁気センサを含む磁気センサユニットの構成について説明する。図10は、磁気センサユニット100を示す斜視図である。磁気センサユニット100は、上面101aを有する基板101と、本実施の形態に係る磁気センサ1と、この磁気センサ1とは別の2つの磁気センサ2,3とを備えている。磁気センサ1〜3は、基板101の上面101a上において一列に並ぶように配置されている。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。始めに、図15を参照して、本実施の形態に係る磁気センサの構成について説明する。図15は、本実施の形態に係る磁気センサの一部の、Y方向に垂直な断面を示す断面図である。本実施の形態に係る磁気センサ1は、以下の点で第1の実施の形態と異なっている。本実施の形態では、磁性膜15は、ヨーク11の第1端11aに接していない。
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。始めに、図16を参照して、本実施の形態に係る磁気センサの構成について説明する。図16は、本実施の形態に係る磁気センサの一部の、Y方向に垂直な断面を示す断面図である。本実施の形態に係る磁気センサ1は、以下の点で第1の実施の形態と異なっている。本実施の形態では、第1ないし第4の抵抗部21〜24および配線部30と基板101との間に、磁性膜15が配置されている。
次に、本発明の第4の実施の形態について説明する。始めに、図18および図19を参照して、本実施の形態に係る磁気センサの構成について説明する。図18は、本実施の形態に係る磁気センサの構成を模式的に示す説明図である。図19は、本実施の形態に係る磁気センサの一部の、Y方向に垂直な断面を示す断面図である。
Claims (11)
- 磁界変換部と、磁界検出部と、軟磁性体よりなる磁性膜とを備え、
前記磁界変換部は、軟磁性体よりなる少なくとも1つのヨークを含み、
前記少なくとも1つのヨークは、第1の仮想の直線に平行な方向の入力磁界成分を含む入力磁界を受けて、出力磁界を発生し、
前記出力磁界は、前記第1の仮想の直線と交差する第2の仮想の直線に平行な方向の出力磁界成分であって前記入力磁界成分に応じて変化する出力磁界成分を含み、
前記磁界検出部は、少なくとも1つの磁気検出素子を含み、
前記少なくとも1つの磁気検出素子は、前記出力磁界を受けて、前記出力磁界成分に対応する検出値を生成し、
前記少なくとも1つのヨークは、前記第1の仮想の直線に平行な方向の両端に位置する第1端と第2端を有し、
前記第1端は前記第2端よりも前記少なくとも1つの磁気検出素子により近く、
前記少なくとも1つの磁気検出素子は、前記第1の仮想の直線に平行な方向の両端に位置する第3端と第4端を有し、
前記第4端は前記第3端よりも前記少なくとも1つのヨークにより近く、
前記第1端を含み前記第1の仮想の直線と交差し第2の仮想の直線に平行な第1の仮想の平面と、前記第4端を含み前記第1の仮想の平面に平行な第2の仮想の平面とを想定したとき、前記磁性膜は、前記第1の仮想の平面から前記第2の仮想の平面までの空間的な範囲内に位置し、
前記少なくとも1つのヨークは、前記第2の仮想の直線に平行な方向の寸法である幅を有し、
前記磁性膜は、前記第1の仮想の直線に平行な方向の寸法である厚みと、前記第2の仮想の直線に平行な方向の寸法である幅とを有し、
前記磁性膜の厚みは、前記少なくとも1つのヨークの幅よりも小さく、
前記磁性膜の幅は、前記少なくとも1つのヨークの幅よりも大きいことを特徴とする磁気センサ。 - 前記磁性膜は、前記少なくとも1つのヨークの前記第1端に接していることを特徴とする請求項1記載の磁気センサ。
- 更に、非磁性材料よりなり前記少なくとも1つのヨークを前記磁性膜から隔てる非磁性膜を備えたことを特徴とする請求項1記載の磁気センサ。
- 前記第2の仮想の直線および前記第1の仮想の平面は、前記第1の仮想の直線に直交していることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の磁気センサ。
- 前記磁性膜の厚みは、前記少なくとも1つのヨークの幅の1/2以下であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の磁気センサ。
- 前記少なくとも1つのヨークは、前記第2の仮想の直線に直交する第3の仮想の直線に平行な方向の第1の寸法を有し、
前記磁性膜は、前記第3の仮想の直線に平行な方向の第2の寸法を有し、
前記第2の寸法は、前記第1の寸法以上であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の磁気センサ。 - 磁界変換部と、磁界検出部と、軟磁性体よりなる磁性膜とを備え、
前記磁界変換部は、軟磁性体よりなる少なくとも1つのヨークを含み、
前記少なくとも1つのヨークは、第1の仮想の直線に平行な方向の入力磁界成分を含む入力磁界を受けて、出力磁界を発生し、
前記出力磁界は、前記第1の仮想の直線と交差する第2の仮想の直線に平行な方向の出力磁界成分であって前記入力磁界成分に応じて変化する出力磁界成分を含み、
前記磁界検出部は、少なくとも1つの磁気検出素子を含み、
前記少なくとも1つの磁気検出素子は、前記出力磁界を受けて、前記出力磁界成分に対応する検出値を生成し、
前記少なくとも1つのヨークは、前記第1の仮想の直線に平行な方向の両端に位置する第1端と第2端を有し、
前記第1端は前記第2端よりも前記少なくとも1つの磁気検出素子により近く、
前記少なくとも1つの磁気検出素子は、前記第1の仮想の直線に平行な方向の両端に位置する第3端と第4端を有し、
前記第4端は前記第3端よりも前記少なくとも1つのヨークにより近く、
前記第1端を含み前記第1の仮想の直線と交差し第2の仮想の直線に平行な第1の仮想の平面と、前記第4端を含み前記第1の仮想の平面に平行な第2の仮想の平面と、前記第3端を含み前記第1の仮想の平面に平行な第3の仮想の平面とを想定したとき、前記磁性膜は、前記第3の仮想の平面に対して前記第1の仮想の平面とは反対側に位置し、
前記少なくとも1つのヨークは、前記第2の仮想の直線に平行な方向の寸法である幅を有し、
前記磁性膜は、前記第1の仮想の直線に平行な方向の寸法である厚みと、前記第2の仮想の直線に平行な方向の寸法である幅とを有し、
前記磁性膜の厚みは、前記少なくとも1つのヨークの幅よりも小さく、
前記磁性膜の幅は、前記少なくとも1つのヨークの幅よりも大きいことを特徴とする磁気センサ。 - 前記磁性膜と前記第3の仮想の平面との間の距離は、前記第1の仮想の平面と前記第2の仮想の平面との間の距離以下であることを特徴とする請求項7記載の磁気センサ。
- 前記第2の仮想の直線および前記第1の仮想の平面は、前記第1の仮想の直線に直交していることを特徴とする請求項7または8記載の磁気センサ。
- 前記磁性膜の厚みは、前記少なくとも1つのヨークの幅の1/2以下であることを特徴とする請求項7ないし9のいずれかに記載の磁気センサ。
- 前記少なくとも1つのヨークは、前記第2の仮想の直線に直交する第3の仮想の直線に平行な方向の第1の寸法を有し、
前記磁性膜は、前記第3の仮想の直線に平行な方向の第2の寸法を有し、
前記第2の寸法は、前記第1の寸法以上であることを特徴とする請求項7ないし10のいずれかに記載の磁気センサ。
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