JP6534544B2 - オゾンガス発生装置およびオゾンガス発生装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図1を参照して、本発明の一実施形態によるオゾンガス発生装置100の構成について説明する。
図4を参照して、オゾンガス発生装置100(オゾンガス生成部1)の製造方法について説明する。
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
次に、図5を参照して、本実施形態によるオゾンガス発生装置100の機能膜13の評価を行った実験結果について説明する。
なお、今回開示された実施形態および実施例は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態および実施例の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
12 誘電体
13 機能膜
100 オゾンガス発生装置
Claims (7)
- 互いに対向するように所定の間隔を隔てて配置された一対の電極と、
前記一対の電極の互いに対向する面にそれぞれ設けられた一対の誘電体と、
前記一対の誘電体の互いに対向する面の少なくとも一方側に設けられた機能膜とを備え、
前記機能膜は、チタンおよびニオブの結晶系の酸化化合物を含む、オゾンガス発生装置。 - 前記機能膜の酸化チタンおよび酸化ニオブの結晶系の化合物は、モル数においてNb2O5がTiO2の0.1倍以上6倍以下となる酸化チタンおよび酸化ニオブにより生成されている、請求項1に記載のオゾンガス発生装置。
- 前記機能膜は、酸化チタンの固溶体をさらに含む、請求項1または2に記載のオゾンガス発生装置。
- 前記機能膜の酸化チタンおよび酸化ニオブの結晶系の化合物は、TiNb2O7およびTi2Nb10O29のうち少なくとも一方を含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載のオゾンガス発生装置。
- 酸化チタンおよび酸化ニオブを1000℃以上で加熱することにより酸化チタンおよび酸化ニオブの結晶系の化合物を生成する工程と、
互いに対向するように所定の間隔を隔てて配置された一対の電極を設ける工程と、
前記一対の電極の互いに対向する面にそれぞれ一対の誘電体を設ける工程と、
前記一対の誘電体の互いに対向する面の少なくとも一方側に酸化チタンおよび酸化ニオブの結晶系の化合物を含む機能膜を設ける工程とを備える、オゾンガス発生装置の製造方法。 - 酸化チタンおよび酸化ニオブの結晶系の化合物を生成する工程は、酸化チタンおよび酸化ニオブを混合する工程と、混合した酸化チタンおよび酸化ニオブを1000℃以上で加熱して結晶系の化合物を生成する工程と、生成した化合物を粉砕する工程とを含む、請求項5に記載のオゾンガス発生装置の製造方法。
- 前記機能膜を設ける工程は、生成した酸化チタンおよび酸化ニオブの結晶系の化合物と、酸化チタンの固溶体とを前記誘電体に塗布する工程を含む、請求項5または6に記載のオゾンガス発生装置の製造方法。
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