JPH02172802A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
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- JPH02172802A JPH02172802A JP32578888A JP32578888A JPH02172802A JP H02172802 A JPH02172802 A JP H02172802A JP 32578888 A JP32578888 A JP 32578888A JP 32578888 A JP32578888 A JP 32578888A JP H02172802 A JPH02172802 A JP H02172802A
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- discharge
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- electrode
- ozone
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- Pending
Links
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Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
【産業上の利用分野〕
本発明は、オゾン発生機における放電面の材質およびそ
の形状と電極の冷却に関する。
の形状と電極の冷却に関する。
“オゾン利用の新技術（昭和６１年１１月２０日発行、
王 書房）′に、従来のオゾン発生装置についての記載
がなされている。同文献の第５９頁にセラミックオゾン
ナイザーについて論じられている。上記従来技術では、
放電電極や、セラミック層が放電空間に存在するために
、放電の衝撃によってこれらの生成物質が飛散し、オゾ
ンとともにウェーハ上に到来し、付着するという問題が
あった。
王 書房）′に、従来のオゾン発生装置についての記載
がなされている。同文献の第５９頁にセラミックオゾン
ナイザーについて論じられている。上記従来技術では、
放電電極や、セラミック層が放電空間に存在するために
、放電の衝撃によってこれらの生成物質が飛散し、オゾ
ンとともにウェーハ上に到来し、付着するという問題が
あった。
Ｃ発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術では、放電面を構成する材質から半導体に
不向きな不純物の発生を防止することが十分でないとい
う問題があった。
不向きな不純物の発生を防止することが十分でないとい
う問題があった。
また、放電電極の冷却が十分でないと、耐圧に備えるた
めに放電面の厚さを厚くする必要があり、放電電圧を高
くしなければならないという問題があった。
めに放電面の厚さを厚くする必要があり、放電電圧を高
くしなければならないという問題があった。
本発明の目的は、半導体に不向きな不純物の発生のない
オゾン発生装置を提供することにある。
オゾン発生装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、コンパクトなオゾン発生装置でか
つ、電極の冷却効果の得やすいオゾン発生装置を提供す
ることにある。
つ、電極の冷却効果の得やすいオゾン発生装置を提供す
ることにある。
上記目的を達成するために、本発明は、放電面に石英の
平行平板を使用し、上記放電面間の空隙に原料気体を導
入せしめるようにしたものである。
平行平板を使用し、上記放電面間の空隙に原料気体を導
入せしめるようにしたものである。
さらに、電極の冷却には、フレオンガス等による絶縁冷
媒を使用したものである。
媒を使用したものである。
放電面に石英の平行平板を使用することによって不純物
の発生を少なくできる。さらにまた、石英の平行平板を
採用することによりコンパクトなオゾン発生装置が実現
できる。
の発生を少なくできる。さらにまた、石英の平行平板を
採用することによりコンパクトなオゾン発生装置が実現
できる。
電極板に、薄い石英板を接着させることにより放電電圧
を低くすることができるので、ａｔ源を小さくすること
ができる。
を低くすることができるので、ａｔ源を小さくすること
ができる。
電極の冷却に、絶縁性のガスを冷媒として用いることに
より、安全で、冷却効果が大きく、オゾンの発生能率を
高めることができる。
より、安全で、冷却効果が大きく、オゾンの発生能率を
高めることができる。
以下本発明の一実施例を第１図により説明する。
薄い石英の平板１は、導電性の接着剤２によって電極板
３に密着させている。対向する石英板１′との間は、テ
フロン等のスペーサー４によって狭い放電空間５を形成
する。放電空間５には。
３に密着させている。対向する石英板１′との間は、テ
フロン等のスペーサー４によって狭い放電空間５を形成
する。放電空間５には。
バイブロを通して原料カスが供給され、放？ヒ空間５の
中を流れながら、電極板３．３′に供給された高電圧に
よって、誘導率の高い石英板１，１′を介して放電電力
が供給され、オゾンを生成する。
中を流れながら、電極板３．３′に供給された高電圧に
よって、誘導率の高い石英板１，１′を介して放電電力
が供給され、オゾンを生成する。
生成したオゾンは、パイプ７を通って供給される。
電極板３，３′は、フレオン等の冷媒８によって冷却さ
れるので、温度上昇を防出できる。
れるので、温度上昇を防出できる。
ここで実施の一例として、石英板１．１′の厚さを０．
６ｍａとし、放電空間５のギャップを１ｎ＋ｍ。
６ｍａとし、放電空間５のギャップを１ｎ＋ｍ。
放電面積２５０Ｘ２５０ｍとした放電空間を形成し、原
料ガスとして乾燥した９９．９％以上の純酸素を毎分１
０ｕ流し、供給電圧を約８ＫＶ。
料ガスとして乾燥した９９．９％以上の純酸素を毎分１
０ｕ流し、供給電圧を約８ＫＶ。
（周波数１０ Ｋ ＨＺ ）としたとき得られたオゾン
は、１６０ ｇ ／ Ｎ ｒｎ’であった。
は、１６０ ｇ ／ Ｎ ｒｎ’であった。
この種のオゾン発生機では、放電電圧は、通常。
１０ＫＶ以上である点や、不純物としてＡｎ、Ｂ等の発
生が、全くない点、さらにはオゾン発生量に比して、大
きさがコンパクトである点から、上記実施例の装置は従
来例に比して格段と優れた性能を有していると記ろ。
生が、全くない点、さらにはオゾン発生量に比して、大
きさがコンパクトである点から、上記実施例の装置は従
来例に比して格段と優れた性能を有していると記ろ。
なお１本放電セルを直列又は、並列に並べ、さらに高濃
度、大容量のオゾンが得られる。
度、大容量のオゾンが得られる。
ここで、石英板の厚さを上記実施例よりもさらに薄くし
てやれば、所要電圧をさらに低くすることが可能となる
。
てやれば、所要電圧をさらに低くすることが可能となる
。
放電空間のギャップ、供給電力の増加、周波数の変更等
によって、生成オゾンの濃度も変化することは言うまで
もない。
によって、生成オゾンの濃度も変化することは言うまで
もない。
本発明によれば、放電空間を薄い石英の平行平板で形成
できるので、不純物の発生のない、電源の小さな、コン
パクトなオゾン発生装置を提供できる。
できるので、不純物の発生のない、電源の小さな、コン
パクトなオゾン発生装置を提供できる。
また、安全な絶縁気体で電極を十分冷却できるので、高
濃度のオゾンを発生できる効果もある。
濃度のオゾンを発生できる効果もある。
第１図は、本発明の基本構成を示すオゾン発生装置の断
面図である。 １．１′・・・薄い石英板、２・・・導電極接着剤、３
・・・電極板、４・・・スペーサ、５・・・放電空間、
６・・・パイプ、７・・・パイプ、８・・・冷媒。
面図である。 １．１′・・・薄い石英板、２・・・導電極接着剤、３
・・・電極板、４・・・スペーサ、５・・・放電空間、
６・・・パイプ、７・・・パイプ、８・・・冷媒。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、酸素又は、空気を原料ガスとし、該原料ガスを狭い
放電空間に流して、高周波、高電圧で放電させてオゾン
を生成する装置において、対向する電極板に導電性の接
着剤により、薄い石英板を密着させ、対向する両石英板
を通して、該石英板の間に流す原料ガスを前記電極板か
ら供給する高周波高電圧によつて放電させたことを特徴
とするオゾン発生装置。 ２、電極板をフレオンガス等の電気的に絶縁物である冷
媒によつて冷却したことを特徴とする請求項第１項記載
のオゾン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32578888A JPH02172802A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32578888A JPH02172802A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | オゾン発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02172802A true JPH02172802A (ja) | 1990-07-04 |
Family
ID=18180612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32578888A Pending JPH02172802A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02172802A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5549874A (en) * | 1992-04-23 | 1996-08-27 | Ebara Corporation | Discharge reactor |
| DE102005052605A1 (de) * | 2005-11-04 | 2007-05-10 | Ust Umweltsensortechnik Gmbh | Miniaturisierter selbstreinigender Ozon- und Ionisationsgenerator |
| JP2012176868A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-13 | Murata Mfg Co Ltd | オゾン発生装置 |
-
1988
- 1988-12-26 JP JP32578888A patent/JPH02172802A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5549874A (en) * | 1992-04-23 | 1996-08-27 | Ebara Corporation | Discharge reactor |
| DE102005052605A1 (de) * | 2005-11-04 | 2007-05-10 | Ust Umweltsensortechnik Gmbh | Miniaturisierter selbstreinigender Ozon- und Ionisationsgenerator |
| DE102005052605B4 (de) * | 2005-11-04 | 2012-09-13 | Ust Umweltsensortechnik Gmbh | Miniaturisierter selbstreinigender Ozon- und Ionisationsgenerator |
| JP2012176868A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-13 | Murata Mfg Co Ltd | オゾン発生装置 |
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