JP2000252098A - 非平衡プラズマ発生装置 - Google Patents
非平衡プラズマ発生装置Info
- Publication number
- JP2000252098A JP2000252098A JP11054201A JP5420199A JP2000252098A JP 2000252098 A JP2000252098 A JP 2000252098A JP 11054201 A JP11054201 A JP 11054201A JP 5420199 A JP5420199 A JP 5420199A JP 2000252098 A JP2000252098 A JP 2000252098A
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- Japan
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- gap
- equilibrium plasma
- plasma generator
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- Pending
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- Plasma Technology (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 体積放電型のプラズマ放電を実現して放電体
の発熱を抑制できる、非平衡プラズマ発生装置を提供す
ること。 【解決手段】 網体からなる板状の導電体と、その両面
に設けた誘電体４３とで、電極体２を構成し、２個の電
極体２を、誘電体４３の面が隙間５を隔てて対向するよ
う組み合わせて、放電体１を構成し、放電体１を１個以
上積層して、構成されており、放電体１の隙間５を反応
物のみが通過し且つ隙間５で非平衡プラズマが発生する
ようになっていることを特徴とする非平衡プラズマ発生
装置である。
の発熱を抑制できる、非平衡プラズマ発生装置を提供す
ること。 【解決手段】 網体からなる板状の導電体と、その両面
に設けた誘電体４３とで、電極体２を構成し、２個の電
極体２を、誘電体４３の面が隙間５を隔てて対向するよ
う組み合わせて、放電体１を構成し、放電体１を１個以
上積層して、構成されており、放電体１の隙間５を反応
物のみが通過し且つ隙間５で非平衡プラズマが発生する
ようになっていることを特徴とする非平衡プラズマ発生
装置である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、非平衡プラズマを
発生させ、それを利用して、気体や液体を反応させる、
例えば、乾燥空気からオゾンを生成させたり、高湿空気
又は水から水酸基を生成させたりする、非平衡プラズマ
発生装置に関するものである。生成されたオゾン、水酸
基等は、悪臭除去、殺菌消毒、水質浄化等に利用され
る。
発生させ、それを利用して、気体や液体を反応させる、
例えば、乾燥空気からオゾンを生成させたり、高湿空気
又は水から水酸基を生成させたりする、非平衡プラズマ
発生装置に関するものである。生成されたオゾン、水酸
基等は、悪臭除去、殺菌消毒、水質浄化等に利用され
る。
【０００２】
【従来技術及びその課題】例えば、特開平８−１８５９
５５号公報に示されているような非平衡プラズマ（低温
プラズマ）発生装置は、筒状誘電体の貫通孔に導電体が
挿入されてなる棒状の電極体が２本線接触して構成され
た放電体を備えた、表面放電型の発生装置であり、比較
的高周波で運転でき、高濃度のオゾンや水酸基を得るこ
とができるものである。しかし、ストリーマ放電の発生
によって放電体の発熱が顕著であるために、次のような
不具合があった。エネルギー効率が低下する、放電
体の放熱を促進するために放熱ファン等を設けなければ
ならない場合がある、放電体の発熱を抑えるために間
欠運転を行わなければならず、長時間の連続運転を行う
のが困難である、反応物によっては、窒素酸化物や硫
黄酸化物が生成しやすく、二次公害を招く恐れがある。
５５号公報に示されているような非平衡プラズマ（低温
プラズマ）発生装置は、筒状誘電体の貫通孔に導電体が
挿入されてなる棒状の電極体が２本線接触して構成され
た放電体を備えた、表面放電型の発生装置であり、比較
的高周波で運転でき、高濃度のオゾンや水酸基を得るこ
とができるものである。しかし、ストリーマ放電の発生
によって放電体の発熱が顕著であるために、次のような
不具合があった。エネルギー効率が低下する、放電
体の放熱を促進するために放熱ファン等を設けなければ
ならない場合がある、放電体の発熱を抑えるために間
欠運転を行わなければならず、長時間の連続運転を行う
のが困難である、反応物によっては、窒素酸化物や硫
黄酸化物が生成しやすく、二次公害を招く恐れがある。
【０００３】本発明は、高効率の体積放電型のプラズマ
放電を実現して放電体の発熱を抑制できる、非平衡プラ
ズマ発生装置を提供することを目的とする。
放電を実現して放電体の発熱を抑制できる、非平衡プラ
ズマ発生装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
網体又は細線の絡んだもの又はその両方からなる板状の
導電体と、その両面に設けた誘電体とで、電極体を構成
し、２個の電極体を、誘電体の面が隙間を隔てて対向す
るよう組み合わせて、放電体を構成し、放電体を１個以
上積層して、構成されており、放電体の上記隙間を反応
物のみが通過し且つ上記隙間で非平衡プラズマが発生す
るようになっていることを特徴とする非平衡プラズマ発
生装置である。
網体又は細線の絡んだもの又はその両方からなる板状の
導電体と、その両面に設けた誘電体とで、電極体を構成
し、２個の電極体を、誘電体の面が隙間を隔てて対向す
るよう組み合わせて、放電体を構成し、放電体を１個以
上積層して、構成されており、放電体の上記隙間を反応
物のみが通過し且つ上記隙間で非平衡プラズマが発生す
るようになっていることを特徴とする非平衡プラズマ発
生装置である。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１は本発明の非平衡プラズマ発
生装置の斜視図である。この発生装置は、図２に示す放
電体１を４個積層して構成されている。なお、図３は図
２のIII−III断面図、図４は図２の平面透視図である。
生装置の斜視図である。この発生装置は、図２に示す放
電体１を４個積層して構成されている。なお、図３は図
２のIII−III断面図、図４は図２の平面透視図である。
【０００６】放電体１は、図５に示すように、２個の電
極体２を封止体３を介して組み合わせて構成されてい
る。そして、電極体２は、図６に示すように、板状の導
電体４１を枠体４２の孔４２１内に嵌合させ、これを両
面から板状の誘電体４３で挟んで、構成されている。従
って、導電体４１は、枠体４２及び誘電体４３によって
密封されている。なお、導電体４１のリード線４１１は
枠体４２に形成された貫通孔（図示せず）から外に引き
出されている。
極体２を封止体３を介して組み合わせて構成されてい
る。そして、電極体２は、図６に示すように、板状の導
電体４１を枠体４２の孔４２１内に嵌合させ、これを両
面から板状の誘電体４３で挟んで、構成されている。従
って、導電体４１は、枠体４２及び誘電体４３によって
密封されている。なお、導電体４１のリード線４１１は
枠体４２に形成された貫通孔（図示せず）から外に引き
出されている。
【０００７】導電体４１は、導電材からなる網体が板状
となったものである。導電材としては、金属、導電性セ
ラミックス等が用いられる。なお、導電体４１として
は、導電材からなる細線が絡んで板状となったもの、又
は導電材からなる網体に導電材からなる細線が絡んで板
状となったもの、を用いてもよい。封止体３、枠体４２
及び誘電体４３は、絶縁体であり、ガラス、セラミック
ス等からなっている。
となったものである。導電材としては、金属、導電性セ
ラミックス等が用いられる。なお、導電体４１として
は、導電材からなる細線が絡んで板状となったもの、又
は導電材からなる網体に導電材からなる細線が絡んで板
状となったもの、を用いてもよい。封止体３、枠体４２
及び誘電体４３は、絶縁体であり、ガラス、セラミック
ス等からなっている。
【０００８】放電体１において、２個の電極体２の間に
は、対向する誘電体４３と２個の封止体３とで囲まれた
隙間５が確保されている。２個の封止体３は、誘電体４
３の両縁に位置している。また、放電体１において、２
個の電極体２の各リード線４１１は、互いに反対側に露
出している。
は、対向する誘電体４３と２個の封止体３とで囲まれた
隙間５が確保されている。２個の封止体３は、誘電体４
３の両縁に位置している。また、放電体１において、２
個の電極体２の各リード線４１１は、互いに反対側に露
出している。
【０００９】４個の放電体１は、相互に誘電体４３を当
接させ且つ４個のリード線４１１が互いに反対側で揃う
よう、積層して、構成されている。片側の４個のリード
線４１１と、反対側の４個のリード線４１１とは、それ
ぞれ一まとめにして高圧高周波電源（図示せず）に接続
されている。隙間５は反応物供給源のみに連通してい
る。
接させ且つ４個のリード線４１１が互いに反対側で揃う
よう、積層して、構成されている。片側の４個のリード
線４１１と、反対側の４個のリード線４１１とは、それ
ぞれ一まとめにして高圧高周波電源（図示せず）に接続
されている。隙間５は反応物供給源のみに連通してい
る。
【００１０】上記構成の非平衡プラズマ発生装置におい
て、高圧高周波電源を作動させると、各放電体１の隙間
５にて、非平衡プラズマが発生する。この状態で、隙間
５に反応物である例えば乾燥空気を供給すると、乾燥空
気は隙間５にて非平衡プラズマに晒される。これによ
り、乾燥空気中の酸素分子が解離してオゾンが生成す
る。生成したオゾンは隙間５から排出され、次段に供給
される。
て、高圧高周波電源を作動させると、各放電体１の隙間
５にて、非平衡プラズマが発生する。この状態で、隙間
５に反応物である例えば乾燥空気を供給すると、乾燥空
気は隙間５にて非平衡プラズマに晒される。これによ
り、乾燥空気中の酸素分子が解離してオゾンが生成す
る。生成したオゾンは隙間５から排出され、次段に供給
される。
【００１１】上記構成の装置では、電極体２を構成する
導電体４１が、網体又は細線の絡んだもの又はその両方
で、構成されているので、プラズマ放電は、表面放電型
ではなく体積放電型となり、それ故、放電体１の発熱が
抑制される。従って、次のような作用を奏する。放熱
ファン等を設ける必要がなく、生産コストの低減や装置
のコンパクト化が図られる。放電体の発熱を抑えるた
めの間欠運転が不要であり、長時間の連続運転が可能と
なる。エネルギー効率が向上するので、オゾンの発生
効率が向上するとともに、窒素酸化物や硫黄酸化物の生
成が抑制されて二次公害が防止される。
導電体４１が、網体又は細線の絡んだもの又はその両方
で、構成されているので、プラズマ放電は、表面放電型
ではなく体積放電型となり、それ故、放電体１の発熱が
抑制される。従って、次のような作用を奏する。放熱
ファン等を設ける必要がなく、生産コストの低減や装置
のコンパクト化が図られる。放電体の発熱を抑えるた
めの間欠運転が不要であり、長時間の連続運転が可能と
なる。エネルギー効率が向上するので、オゾンの発生
効率が向上するとともに、窒素酸化物や硫黄酸化物の生
成が抑制されて二次公害が防止される。
【００１２】また、導電体４１は、誘電体４３によって
反応物から隔絶されており、更に、枠体４２及び誘電体
４３によって外気からも隔絶されているので、反応物や
外気に晒されない。それ故、導電体４１の腐食が防止さ
れ、従って、反応効率の低下が防止される。
反応物から隔絶されており、更に、枠体４２及び誘電体
４３によって外気からも隔絶されているので、反応物や
外気に晒されない。それ故、導電体４１の腐食が防止さ
れ、従って、反応効率の低下が防止される。
【００１３】反応物として、高湿空気又は水を供給した
場合には、水素、酸素が解離して水酸基が生成される。
なお、その他の気体や液体を反応物として供給してもよ
い。生成されたオゾン、水酸基等は、悪臭除去、殺菌消
毒、水質浄化等に利用される。
場合には、水素、酸素が解離して水酸基が生成される。
なお、その他の気体や液体を反応物として供給してもよ
い。生成されたオゾン、水酸基等は、悪臭除去、殺菌消
毒、水質浄化等に利用される。
【００１４】なお、上記構成の装置では、放電体１を４
個積層したが、これに限るものではなく、１個以上であ
ればよい。
個積層したが、これに限るものではなく、１個以上であ
ればよい。
【００１５】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、誘電体で
挟まれた板状の導電体が網体又は細線の絡んだもの又は
その両方で構成されているので、体積放電型のプラズマ
放電を行うことができる。それ故、放電体の発熱を抑制
できる。従って、放熱ファン等を設ける必要がなく、
生産コストの低減や装置のコンパクト化を図ることがで
きる。放電体の発熱を抑えるための間欠運転を不要に
でき、長時間の連続運転を行うことができる。エネル
ギー効率を向上できるので、オゾンの発生効率を向上で
きるとともに、窒素酸化物や硫黄酸化物の生成を抑制し
て二次公害を防止できる。
挟まれた板状の導電体が網体又は細線の絡んだもの又は
その両方で構成されているので、体積放電型のプラズマ
放電を行うことができる。それ故、放電体の発熱を抑制
できる。従って、放熱ファン等を設ける必要がなく、
生産コストの低減や装置のコンパクト化を図ることがで
きる。放電体の発熱を抑えるための間欠運転を不要に
でき、長時間の連続運転を行うことができる。エネル
ギー効率を向上できるので、オゾンの発生効率を向上で
きるとともに、窒素酸化物や硫黄酸化物の生成を抑制し
て二次公害を防止できる。
【００１６】また、導電体を誘電体によって反応物から
隔絶できるので、導電体が反応物によって腐食されるの
を防止でき、従って、反応効率の低下を防止できる。
隔絶できるので、導電体が反応物によって腐食されるの
を防止でき、従って、反応効率の低下を防止できる。
【図１】 本発明の非平衡プラズマ発生装置の斜視図で
ある。
ある。
【図２】 放電体の斜視図である。
【図３】 図２のIII−III断面図である。
【図４】 図２の平面透視図である。
【図５】 放電体の分解斜視図である。
【図６】 電極体の分解斜視図である。
１ 放電体 ２ 電極体 ４１ 導電体 ４３ 誘電体 ５ 隙間
Claims (1)
- 【請求項１】 網体又は細線の絡んだもの又はその両方
からなる板状の導電体と、その両面に設けた誘電体と
で、電極体を構成し、２個の電極体を、誘電体の面が隙
間を隔てて対向するよう組み合わせて、放電体を構成
し、放電体を１個以上積層して、構成されており、 放電体の上記隙間を反応物のみが通過し且つ上記隙間で
非平衡プラズマが発生するようになっていることを特徴
とする非平衡プラズマ発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11054201A JP2000252098A (ja) | 1999-03-02 | 1999-03-02 | 非平衡プラズマ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11054201A JP2000252098A (ja) | 1999-03-02 | 1999-03-02 | 非平衡プラズマ発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000252098A true JP2000252098A (ja) | 2000-09-14 |
Family
ID=12963946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11054201A Pending JP2000252098A (ja) | 1999-03-02 | 1999-03-02 | 非平衡プラズマ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000252098A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100451125B1 (ko) * | 2001-10-10 | 2004-10-02 | 한국기계연구원 | 저온 플라즈마 반응기를 이용한 유해 가스 처리 시스템 및그 제어 방법 |
| JP2005177644A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-07 | Ngk Insulators Ltd | プラズマ発生電極用成形体及びその成形方法、並びにプラズマ発生電極 |
| KR100605752B1 (ko) * | 2003-07-23 | 2006-07-31 | 안희성 | 플라즈마 발생 장치 |
| KR100844121B1 (ko) | 2007-07-20 | 2008-07-07 | (주)에스엔텍 | 대기압 플라즈마 장치, 이를 구비한 카메라 모듈의적외선필터 인라인 조립 장치, 이를 이용한 세정 방법 및이를 이용한 휴대폰 카메라 모듈의 적외선필터인라인 조립방법 |
| CN106731366A (zh) * | 2017-01-22 | 2017-05-31 | 浙江大学 | 用于室内空气净化的等离子体织网装置 |
| WO2022265006A1 (ja) * | 2021-06-14 | 2022-12-22 | 日本未来科学研究所合同会社 | プラズマ発生ユニット、プラズマ発生装置及び殺菌システム |
| JP7458107B1 (ja) | 2023-03-14 | 2024-03-29 | カーボントレードネオ株式会社 | プラズマ処理装置 |
-
1999
- 1999-03-02 JP JP11054201A patent/JP2000252098A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100451125B1 (ko) * | 2001-10-10 | 2004-10-02 | 한국기계연구원 | 저온 플라즈마 반응기를 이용한 유해 가스 처리 시스템 및그 제어 방법 |
| KR100605752B1 (ko) * | 2003-07-23 | 2006-07-31 | 안희성 | 플라즈마 발생 장치 |
| JP2005177644A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-07 | Ngk Insulators Ltd | プラズマ発生電極用成形体及びその成形方法、並びにプラズマ発生電極 |
| JP4524100B2 (ja) * | 2003-12-19 | 2010-08-11 | 日本碍子株式会社 | プラズマ発生電極用成形体の成形方法、並びにプラズマ発生電極の製造方法 |
| KR100844121B1 (ko) | 2007-07-20 | 2008-07-07 | (주)에스엔텍 | 대기압 플라즈마 장치, 이를 구비한 카메라 모듈의적외선필터 인라인 조립 장치, 이를 이용한 세정 방법 및이를 이용한 휴대폰 카메라 모듈의 적외선필터인라인 조립방법 |
| CN106731366A (zh) * | 2017-01-22 | 2017-05-31 | 浙江大学 | 用于室内空气净化的等离子体织网装置 |
| WO2022265006A1 (ja) * | 2021-06-14 | 2022-12-22 | 日本未来科学研究所合同会社 | プラズマ発生ユニット、プラズマ発生装置及び殺菌システム |
| JP7458107B1 (ja) | 2023-03-14 | 2024-03-29 | カーボントレードネオ株式会社 | プラズマ処理装置 |
| JP7474543B1 (ja) | 2023-03-14 | 2024-04-25 | カーボントレードネオ株式会社 | プラズマ処理装置 |
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