JP2003089507A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】高濃度、高発生効率、高信頼性のオゾン発生装
置を得ること。 【解決手段】圧力容器3の内部に収納された誘電体1と当
該誘電体1の一方の面に一定間隔で配置された放電電極2
Aを形成し、少なくとも一本の電極を有し、もう一方の
一部の面を導電性の膜で被覆した電極基板2Bとを設置
し、原料ガスとして乾燥空気のガスを圧力容器3の外部
から供給する放電空間を形成し、圧力容器3の内部に収
め、電極基板2Bの表裏の電極間に高電圧を印加してオゾ
ン化ガスを生成させるオゾン発生装置において、原料ガ
スの圧力を０.２ＭＰａ以上とする。
置を得ること。 【解決手段】圧力容器3の内部に収納された誘電体1と当
該誘電体1の一方の面に一定間隔で配置された放電電極2
Aを形成し、少なくとも一本の電極を有し、もう一方の
一部の面を導電性の膜で被覆した電極基板2Bとを設置
し、原料ガスとして乾燥空気のガスを圧力容器3の外部
から供給する放電空間を形成し、圧力容器3の内部に収
め、電極基板2Bの表裏の電極間に高電圧を印加してオゾ
ン化ガスを生成させるオゾン発生装置において、原料ガ
スの圧力を０.２ＭＰａ以上とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば浄水処理、
パルプ漂白、排ガス処理、産業廃水処理、医療器具の殺
菌、脱臭、脱色等のオゾン処理を目的としたオゾン発生
装置に係り、特に窒素酸化物の生成を抑制して、高濃度
のオゾンを高効率で発生できるようにした信頼性の高い
オゾン発生装置に関するものである。
パルプ漂白、排ガス処理、産業廃水処理、医療器具の殺
菌、脱臭、脱色等のオゾン処理を目的としたオゾン発生
装置に係り、特に窒素酸化物の生成を抑制して、高濃度
のオゾンを高効率で発生できるようにした信頼性の高い
オゾン発生装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、例えば上下水道の殺菌・脱臭
・脱色、工業排水処理の脱臭・脱色、パルプ漂白、およ
び医療機器の殺菌等を行なう目的で、オゾンが用いられ
てきている。
・脱色、工業排水処理の脱臭・脱色、パルプ漂白、およ
び医療機器の殺菌等を行なう目的で、オゾンが用いられ
てきている。
【０００３】そして、このようなオゾンを発生させる手
段として、オゾン発生装置とオゾン発生装置に周辺機器
を具備したオゾン発生装置が設けられている。
段として、オゾン発生装置とオゾン発生装置に周辺機器
を具備したオゾン発生装置が設けられている。
【０００４】特に、近年、水源の汚濁に伴なう富栄養価
に基づく水問題、難分解性物質の混入が懸念され、水道
水汚染に象徴される微量レベルの有機物に対処しなけれ
ばならないケ−スが増えており、オゾンを用いた高度な
処理が求められるようになってきている。
に基づく水問題、難分解性物質の混入が懸念され、水道
水汚染に象徴される微量レベルの有機物に対処しなけれ
ばならないケ−スが増えており、オゾンを用いた高度な
処理が求められるようになってきている。
【０００５】このような用途に用いられるオゾン発生装
置には、沿面電極間で沿面放電させてオゾンを発生させ
るのが一般的である。
置には、沿面電極間で沿面放電させてオゾンを発生させ
るのが一般的である。
【０００６】図１０は、この種の一般的な従来の沿面放
電オゾン発生装置の放電部の構成例を示す概要図であ
る。
電オゾン発生装置の放電部の構成例を示す概要図であ
る。
【０００７】図１０に示すように、この種の沿面放電オ
ゾン発生装置は、誘電体５１の一方の面に、線状の電極
５２Ａがスクリ−ン印刷等で一定の間隔で配置されてお
り、誘電体５１の他方の面に、電極５２Ｂが配置されて
いる。
ゾン発生装置は、誘電体５１の一方の面に、線状の電極
５２Ａがスクリ−ン印刷等で一定の間隔で配置されてお
り、誘電体５１の他方の面に、電極５２Ｂが配置されて
いる。
【０００８】そして、この電極５２Ａ面に原料ガスを流
し、電極５２Ａ，５２Ｂ間に電源５５から高電圧を印加
して、図示しない沿面放電を形成してオゾン化ガスを生
成させる。
し、電極５２Ａ，５２Ｂ間に電源５５から高電圧を印加
して、図示しない沿面放電を形成してオゾン化ガスを生
成させる。
【０００９】この時、原料ガスの圧力は、大気圧付近の
圧力であり、最大でも０.１８ＭＰａ以下である。
圧力であり、最大でも０.１８ＭＰａ以下である。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来のオゾン発生装置においては、オゾンが生
成すると同時に、大量の窒素酸化物も生成され、窒素酸
化物がオゾンと反応してオゾンを分解することになる。
たような従来のオゾン発生装置においては、オゾンが生
成すると同時に、大量の窒素酸化物も生成され、窒素酸
化物がオゾンと反応してオゾンを分解することになる。
【００１１】このため、オゾンの濃度が低下するばかり
でなく、オゾンの発生効率も低下するという問題点があ
る。
でなく、オゾンの発生効率も低下するという問題点があ
る。
【００１２】そこで、最近では、このような窒素酸化物
の生成を抑制するための手段の出現が、強く望まれてき
ている。
の生成を抑制するための手段の出現が、強く望まれてき
ている。
【００１３】本発明の目的は、窒素酸化物の生成を抑制
して、高濃度のオゾンを高効率で発生させることが可能
な極めて信頼性の高いオゾン発生装置を提供することに
ある。
して、高濃度のオゾンを高効率で発生させることが可能
な極めて信頼性の高いオゾン発生装置を提供することに
ある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に対応する発明では、圧力容器の内部に
収納された誘電体と当該誘電体の一方の面に一定間隔で
配置された放電電極を形成し、少なくとも一本の電極を
有し、誘電体のもう一方の一部の面を導電性の膜で被覆
した電極基板とを設置し、原料ガスとして乾燥空気のガ
スを圧力容器の外部から供給する放電空間を形成し、圧
力容器の内部に収め、電極基板の表裏の電極間に高電圧
を印加してオゾン化ガスを生成させるオゾン発生装置に
おいて、原料ガスの圧力を０.２ＭＰａ以上とするよう
にしている。
めに、請求項１に対応する発明では、圧力容器の内部に
収納された誘電体と当該誘電体の一方の面に一定間隔で
配置された放電電極を形成し、少なくとも一本の電極を
有し、誘電体のもう一方の一部の面を導電性の膜で被覆
した電極基板とを設置し、原料ガスとして乾燥空気のガ
スを圧力容器の外部から供給する放電空間を形成し、圧
力容器の内部に収め、電極基板の表裏の電極間に高電圧
を印加してオゾン化ガスを生成させるオゾン発生装置に
おいて、原料ガスの圧力を０.２ＭＰａ以上とするよう
にしている。
【００１５】従って、請求項１に対応する発明のオゾン
発生装置においては、原料ガスの圧力を０.２ＭＰａ以
上とすることにより、窒素酸化物の生成を抑制すること
ができ、窒素酸化物によるオゾンの分解を抑制すること
ができる。すなわち、原料ガスの圧力を上げることで、
窒素に励起されるエネルギ−が減り、酸素に使われるエ
ネルギ−が増えるため、オゾン濃度が向上し、オゾン発
生効率も向上することができる。
発生装置においては、原料ガスの圧力を０.２ＭＰａ以
上とすることにより、窒素酸化物の生成を抑制すること
ができ、窒素酸化物によるオゾンの分解を抑制すること
ができる。すなわち、原料ガスの圧力を上げることで、
窒素に励起されるエネルギ−が減り、酸素に使われるエ
ネルギ−が増えるため、オゾン濃度が向上し、オゾン発
生効率も向上することができる。
【００１６】また、請求項２に対応する発明では、上記
請求項１に対応する発明のオゾン発生装置において、電
極基板の導電性の膜を被覆した面に冷却体を設置するよ
うにしている。
請求項１に対応する発明のオゾン発生装置において、電
極基板の導電性の膜を被覆した面に冷却体を設置するよ
うにしている。
【００１７】従って、請求項２に対応する発明のオゾン
発生装置においては、電極基板の導電性の膜を被覆した
面に冷却体を設置することにより、放電空間中のガス温
度を下げることができ、オゾンの熱による自己分解を抑
制することができ、オゾン発生特性を向上することがで
きる。
発生装置においては、電極基板の導電性の膜を被覆した
面に冷却体を設置することにより、放電空間中のガス温
度を下げることができ、オゾンの熱による自己分解を抑
制することができ、オゾン発生特性を向上することがで
きる。
【００１８】さらに、請求項３に対応する発明では、上
記請求項２に対応する発明のオゾン発生装置において、
電極基板の導電性の膜を省略するようにしている。
記請求項２に対応する発明のオゾン発生装置において、
電極基板の導電性の膜を省略するようにしている。
【００１９】従って、請求項３に対応する発明のオゾン
発生装置においては、電極基板の導電性の膜を被覆した
面に冷却体を設置した時に、その電極基板の導電性の膜
を省略することにより、電極基板のコストを低減するこ
とができる。
発生装置においては、電極基板の導電性の膜を被覆した
面に冷却体を設置した時に、その電極基板の導電性の膜
を省略することにより、電極基板のコストを低減するこ
とができる。
【００２０】一方、請求項４に対応する発明では、上記
請求項２に対応する発明のオゾン発生装置において、一
つの冷却体の表裏面に電極基板を配置するようにしてい
る。
請求項２に対応する発明のオゾン発生装置において、一
つの冷却体の表裏面に電極基板を配置するようにしてい
る。
【００２１】従って、請求項４に対応する発明のオゾン
発生装置においては、一つの冷却体の表裏面に電極基板
を配置することにより、コンパクトなオゾン発生装置を
実現することができる。
発生装置においては、一つの冷却体の表裏面に電極基板
を配置することにより、コンパクトなオゾン発生装置を
実現することができる。
【００２２】また、請求項５に対応する発明では、上記
請求項２に対応する発明のオゾン発生装置において、電
極基板と冷却体とを積層化するようにしている。
請求項２に対応する発明のオゾン発生装置において、電
極基板と冷却体とを積層化するようにしている。
【００２３】従って、請求項５に対応する発明のオゾン
発生装置においては、電極基板と冷却体とを積層化する
ことにより、オゾン発生量の大きい場合でも、コンパク
トに収めることができる。
発生装置においては、電極基板と冷却体とを積層化する
ことにより、オゾン発生量の大きい場合でも、コンパク
トに収めることができる。
【００２４】さらに、請求項６に対応する発明では、上
記請求項１に対応する発明のオゾン発生装置において、
電極基板の放電空間側に、あるガス流空間を形成するた
めのガスガイドを設置するようにしている。
記請求項１に対応する発明のオゾン発生装置において、
電極基板の放電空間側に、あるガス流空間を形成するた
めのガスガイドを設置するようにしている。
【００２５】従って、請求項６に対応する発明のオゾン
発生装置においては、電極基板の放電空間側に、あるガ
ス流空間を形成するためのガスガイドを設置することに
より、生成されたオゾンが圧力容器内部の空間に拡散す
ることがないため、高濃度の状態でオゾンを回収するこ
とができる。
発生装置においては、電極基板の放電空間側に、あるガ
ス流空間を形成するためのガスガイドを設置することに
より、生成されたオゾンが圧力容器内部の空間に拡散す
ることがないため、高濃度の状態でオゾンを回収するこ
とができる。
【００２６】一方、請求項７に対応する発明では、上記
請求項１に対応する発明のオゾン発生装置において、電
極基板上で一定間隔に配置された放電電極とほぼ同一方
向に原料ガスを流すようにしている。
請求項１に対応する発明のオゾン発生装置において、電
極基板上で一定間隔に配置された放電電極とほぼ同一方
向に原料ガスを流すようにしている。
【００２７】従って、請求項７に対応する発明のオゾン
発生装置においては、電極基板上で一定間隔に配置され
た放電電極とほぼ同一方向に原料ガスを流すことによ
り、ガス流を安定させることができ、極めて安定したオ
ゾン発生特性を得ることができる。
発生装置においては、電極基板上で一定間隔に配置され
た放電電極とほぼ同一方向に原料ガスを流すことによ
り、ガス流を安定させることができ、極めて安定したオ
ゾン発生特性を得ることができる。
【００２８】また、請求項８に対応する発明では、上記
請求項１に対応する発明のオゾン発生装置において、電
極基板の誘電体の厚さを一定としないようにしている。
請求項１に対応する発明のオゾン発生装置において、電
極基板の誘電体の厚さを一定としないようにしている。
【００２９】従って、請求項８に対応する発明のオゾン
発生装置においては、電極基板の誘電体の厚さを一定と
しないようにすることにより、放電電極と誘電体の接触
付近で形成される強い沿面放電を抑制して、沿面放電を
制御することができ、極めて安定したオゾン発生特性を
得ることができる。
発生装置においては、電極基板の誘電体の厚さを一定と
しないようにすることにより、放電電極と誘電体の接触
付近で形成される強い沿面放電を抑制して、沿面放電を
制御することができ、極めて安定したオゾン発生特性を
得ることができる。
【００３０】さらに、請求項９に対応する発明では、上
記請求項１に対応する発明のオゾン発生装置において、
誘電体の放電面側に金属電極と誘電体被覆された電極と
を設置し、当該両者の間で高電圧を印加して放電を発生
させるようにしている。
記請求項１に対応する発明のオゾン発生装置において、
誘電体の放電面側に金属電極と誘電体被覆された電極と
を設置し、当該両者の間で高電圧を印加して放電を発生
させるようにしている。
【００３１】従って、請求項９に対応する発明のオゾン
発生装置においては、誘電体の放電面側に金属電極と誘
電体被覆された電極とを設置し、当該両者の間で高電圧
を印加して放電を発生させることにより、放電長を一定
に制御することができ、極めて安定したオゾン発生特性
を得ることができる。
発生装置においては、誘電体の放電面側に金属電極と誘
電体被覆された電極とを設置し、当該両者の間で高電圧
を印加して放電を発生させることにより、放電長を一定
に制御することができ、極めて安定したオゾン発生特性
を得ることができる。
【００３２】以上により、窒素酸化物の生成を抑制し
て、高濃度、高発生効率、高信頼性のオゾン発生装置を
得ることが可能となる。
て、高濃度、高発生効率、高信頼性のオゾン発生装置を
得ることが可能となる。
【００３３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
て図面を参照して詳細に説明する。
【００３４】（第１の実施の形態）図１は、本実施の形
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図である。
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図である。
【００３５】図１において、圧力容器３の内部に収納さ
れた誘電体１とこの誘電体１の一方の面に一定間隔で配
置された放電電極２Ａを少なくとも一箇所以上形成し、
誘電体１のもう一方の一部の面を導電性の膜等で被覆し
た放電電極（電極基板）２Ｂとを設置し、放電容器１の
ガス入口６より、原料ガスとして酸素濃度５０%以下の
乾燥空気のガスを供給し、また圧力容器３外部の電源４
より、碍子５を介して放電電極２Ａ、２Ｂ間に高電圧を
印加することで、放電電極２Ａの縁から誘電体１上に沿
面放電８を発生させ、オゾン化空気を生成させて、ガス
出口７より圧力容器３外部に排出させる構成としてい
る。
れた誘電体１とこの誘電体１の一方の面に一定間隔で配
置された放電電極２Ａを少なくとも一箇所以上形成し、
誘電体１のもう一方の一部の面を導電性の膜等で被覆し
た放電電極（電極基板）２Ｂとを設置し、放電容器１の
ガス入口６より、原料ガスとして酸素濃度５０%以下の
乾燥空気のガスを供給し、また圧力容器３外部の電源４
より、碍子５を介して放電電極２Ａ、２Ｂ間に高電圧を
印加することで、放電電極２Ａの縁から誘電体１上に沿
面放電８を発生させ、オゾン化空気を生成させて、ガス
出口７より圧力容器３外部に排出させる構成としてい
る。
【００３６】ここで、本実施の形態では、原料ガスの圧
力を０.２ＭＰａ以上とするようにしている。
力を０.２ＭＰａ以上とするようにしている。
【００３７】次に、以上のように構成した本実施の形態
によるオゾン発生装置においては、通常、原料ガス中に
含まれる窒素ガスが、沿面放電８によって窒素酸化物が
生成されるが、圧力容器３内部の原料ガスの圧力を０.
２ＭＰａ以上とするようにしていることにより、オゾン
を分解する窒素酸化物の生成を抑制することができるた
め、オゾン発生特性が良好となり、高オゾン濃度、高オ
ゾン生成効率で高信頼性のオゾン発生装置を得ることが
できる。
によるオゾン発生装置においては、通常、原料ガス中に
含まれる窒素ガスが、沿面放電８によって窒素酸化物が
生成されるが、圧力容器３内部の原料ガスの圧力を０.
２ＭＰａ以上とするようにしていることにより、オゾン
を分解する窒素酸化物の生成を抑制することができるた
め、オゾン発生特性が良好となり、高オゾン濃度、高オ
ゾン生成効率で高信頼性のオゾン発生装置を得ることが
できる。
【００３８】上述したように、本実施の形態では、窒素
酸化物の生成を抑制して、高濃度のオゾンを高効率で発
生させることができ、極めて信頼性の高いオゾン発生装
置を得ることが可能となる。
酸化物の生成を抑制して、高濃度のオゾンを高効率で発
生させることができ、極めて信頼性の高いオゾン発生装
置を得ることが可能となる。
【００３９】（第２の実施の形態）図２は、本実施の形
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図であり、
図１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図であり、
図１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００４０】すなわち、本実施の形態によるオゾン発生
装置は、図２に示すように、前記図１における電極基板
の導電性の膜を被覆した面、すなわち誘電体１の沿面放
電８が形成されない放電電極２Ｂの面に、冷却体９を設
置した構成としている。
装置は、図２に示すように、前記図１における電極基板
の導電性の膜を被覆した面、すなわち誘電体１の沿面放
電８が形成されない放電電極２Ｂの面に、冷却体９を設
置した構成としている。
【００４１】次に、以上のように構成した本実施の形態
によるオゾン発生装置においては、誘電体１の沿面放電
８が形成されない放電電極２Ｂの面に、冷却体９を設置
して誘電体１を冷却するようにしていることにより、沿
面放電８が形成される誘電体１面上のガス温度を下げる
ことができ、冷却効果が大きくなり、オゾン生成効率の
高いオゾン発生装置を得ることができる。
によるオゾン発生装置においては、誘電体１の沿面放電
８が形成されない放電電極２Ｂの面に、冷却体９を設置
して誘電体１を冷却するようにしていることにより、沿
面放電８が形成される誘電体１面上のガス温度を下げる
ことができ、冷却効果が大きくなり、オゾン生成効率の
高いオゾン発生装置を得ることができる。
【００４２】上述したように、本実施の形態では、放電
空間中のガス温度を下げることができ、オゾンの熱によ
る自己分解を抑制することができ、オゾン発生特性を向
上することができるオゾン発生装置を得ることが可能と
なる。
空間中のガス温度を下げることができ、オゾンの熱によ
る自己分解を抑制することができ、オゾン発生特性を向
上することができるオゾン発生装置を得ることが可能と
なる。
【００４３】（第３の実施の形態）図３は、本実施の形
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図であり、
図２と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図であり、
図２と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００４４】すなわち、本実施の形態によるオゾン発生
装置は、図３に示すように、前記図２における電極基板
の導電性の膜、すなわち放電電極２Ｂを省略した構成と
している。
装置は、図３に示すように、前記図２における電極基板
の導電性の膜、すなわち放電電極２Ｂを省略した構成と
している。
【００４５】次に、以上のように構成した本実施の形態
によるオゾン発生装置においては、誘電体１の導電性の
膜等を被覆した放電電極２Ｂに冷却体９を設置した時
に、その放電電極２Ｂを省略するようにしていることに
より、コストを下げたオゾン発生装置を得ることができ
る。
によるオゾン発生装置においては、誘電体１の導電性の
膜等を被覆した放電電極２Ｂに冷却体９を設置した時
に、その放電電極２Ｂを省略するようにしていることに
より、コストを下げたオゾン発生装置を得ることができ
る。
【００４６】上述したように、本実施の形態では、電極
基板のコストを低減することができるオゾン発生装置を
得ることが可能となる。
基板のコストを低減することができるオゾン発生装置を
得ることが可能となる。
【００４７】（第４の実施の形態）図４は、本実施の形
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図であり、
図２と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図であり、
図２と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００４８】すなわち、本実施の形態によるオゾン発生
装置は、図４に示すように、前記図２における一つの冷
却体９の表裏面に、電極基板、すなわち誘電体１の放電
電極２Ｂを設置した構成としている。
装置は、図４に示すように、前記図２における一つの冷
却体９の表裏面に、電極基板、すなわち誘電体１の放電
電極２Ｂを設置した構成としている。
【００４９】次に、以上のように構成した本実施の形態
によるオゾン発生装置においては、一つの冷却体９の表
裏面に誘電体１の放電電極２Ｂを設置するようにしてい
ることにより、１つの冷却体９に２つ以上の誘電体１を
設置でき、コンパクトなオゾン発生装置を得ることがで
きる。
によるオゾン発生装置においては、一つの冷却体９の表
裏面に誘電体１の放電電極２Ｂを設置するようにしてい
ることにより、１つの冷却体９に２つ以上の誘電体１を
設置でき、コンパクトなオゾン発生装置を得ることがで
きる。
【００５０】上述したように、本実施の形態では、コン
パクトなオゾン発生装置を得ることが可能となる。
パクトなオゾン発生装置を得ることが可能となる。
【００５１】（第５の実施の形態）図５は、本実施の形
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図であり、
図２と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図であり、
図２と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００５２】すなわち、本実施の形態によるオゾン発生
装置は、図５に示すように、前記図２における放電電極
２Ａ、２Ｂが設置された電極基板、すなわち誘電体１と
冷却板９のセットを積層化した構成としている。
装置は、図５に示すように、前記図２における放電電極
２Ａ、２Ｂが設置された電極基板、すなわち誘電体１と
冷却板９のセットを積層化した構成としている。
【００５３】次に、以上のように構成した本実施の形態
によるオゾン発生装置においては、放電電極２Ａ、２Ｂ
が設置された誘電体１と冷却板９のセットを積層化して
配置するようにしていることにより、大容量のオゾン発
生量の場合でも、コンパクトなオゾン発生装置を得るこ
とができる。
によるオゾン発生装置においては、放電電極２Ａ、２Ｂ
が設置された誘電体１と冷却板９のセットを積層化して
配置するようにしていることにより、大容量のオゾン発
生量の場合でも、コンパクトなオゾン発生装置を得るこ
とができる。
【００５４】上述したように、本実施の形態では、オゾ
ン発生量の大きい場合でも、コンパクトなオゾン発生装
置を得ることが可能となる。
ン発生量の大きい場合でも、コンパクトなオゾン発生装
置を得ることが可能となる。
【００５５】（第６の実施の形態）図６は、本実施の形
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図であり、
図１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図であり、
図１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００５６】すなわち、本実施の形態によるオゾン発生
装置は、図６に示すように、前記図１における電極基
板、すなわち誘電体１の沿面放電８空間側に、ガス流路
を形成するためのガスガイド１０を設置した構成として
いる。
装置は、図６に示すように、前記図１における電極基
板、すなわち誘電体１の沿面放電８空間側に、ガス流路
を形成するためのガスガイド１０を設置した構成として
いる。
【００５７】次に、以上のように構成した本実施の形態
によるオゾン発生装置においては、誘電体１の沿面放電
８空間側に、ガス流路を形成するためのガスガイド１０
を設置するようにしていることにより、沿面放電８で生
成されたオゾンが、圧力容器３内部の空間に拡散するこ
とがなく、高いオゾン濃度のままで圧力容器３外部に排
出することができ、高濃度のオゾン発生装置を得ること
ができる。
によるオゾン発生装置においては、誘電体１の沿面放電
８空間側に、ガス流路を形成するためのガスガイド１０
を設置するようにしていることにより、沿面放電８で生
成されたオゾンが、圧力容器３内部の空間に拡散するこ
とがなく、高いオゾン濃度のままで圧力容器３外部に排
出することができ、高濃度のオゾン発生装置を得ること
ができる。
【００５８】上述したように、本実施の形態では、高濃
度のオゾンを発生させることができるオゾン発生装置を
得ることが可能となる。
度のオゾンを発生させることができるオゾン発生装置を
得ることが可能となる。
【００５９】（第７の実施の形態）図７は、本実施の形
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図であり、
図１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図であり、
図１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００６０】すなわち、本実施の形態によるオゾン発生
装置は、図７に示すように、前記図１における電極基板
上、すなわち誘電体１上で一定間隔に配置された放電電
極２Ａとほぼ同一方向に原料ガスを流す構成としてい
る。
装置は、図７に示すように、前記図１における電極基板
上、すなわち誘電体１上で一定間隔に配置された放電電
極２Ａとほぼ同一方向に原料ガスを流す構成としてい
る。
【００６１】次に、以上のように構成した本実施の形態
によるオゾン発生装置においては、電極基板上で一定間
隔に配置された放電電極２Ａとほぼ同一方向に原料ガス
を流すようにしていることにより、放電電極２Ａ面のガ
ス流を安定させることができ、オゾン発生特性も極めて
安定したオゾン発生装置を得ることができる。
によるオゾン発生装置においては、電極基板上で一定間
隔に配置された放電電極２Ａとほぼ同一方向に原料ガス
を流すようにしていることにより、放電電極２Ａ面のガ
ス流を安定させることができ、オゾン発生特性も極めて
安定したオゾン発生装置を得ることができる。
【００６２】上述したように、本実施の形態では、極め
て安定したオゾン発生特性を得ることができるオゾン発
生装置を得ることが可能となる。
て安定したオゾン発生特性を得ることができるオゾン発
生装置を得ることが可能となる。
【００６３】（第８の実施の形態）図８は、本実施の形
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図であり、
図１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図であり、
図１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００６４】すなわち、本実施の形態によるオゾン発生
装置は、図８に示すように、前記図１における電極基板
の誘電体１の厚さを一定としない構成としている。
装置は、図８に示すように、前記図１における電極基板
の誘電体１の厚さを一定としない構成としている。
【００６５】次に、以上のように構成した本実施の形態
によるオゾン発生装置においては、電極基板の誘電体１
の厚さを一定としないようにしていることにより、誘電
体１と放電電極２Ａの縁で最も強く形成される沿面放電
８の強度を抑制して、沿面放電８を制御することがで
き、窒素酸化物の生成を抑制することができ、窒素酸化
物によるオゾン分解を抑えることができるため、高濃度
で高発生効率のオゾン発生装置を得ることができる。
によるオゾン発生装置においては、電極基板の誘電体１
の厚さを一定としないようにしていることにより、誘電
体１と放電電極２Ａの縁で最も強く形成される沿面放電
８の強度を抑制して、沿面放電８を制御することがで
き、窒素酸化物の生成を抑制することができ、窒素酸化
物によるオゾン分解を抑えることができるため、高濃度
で高発生効率のオゾン発生装置を得ることができる。
【００６６】上述したように、本実施の形態では、高濃
度のオゾンを高効率で発生させることができるオゾン発
生装置を得ることが可能となる。
度のオゾンを高効率で発生させることができるオゾン発
生装置を得ることが可能となる。
【００６７】（第９の実施の形態）図９は、本実施の形
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図であり、
図１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図であり、
図１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００６８】すなわち、本実施の形態によるオゾン発生
装置は、図９に示すように、前記図１における誘電体１
の一方の面に冷却体９を設置し、誘電体１の他方の面、
すなわち放電面に金属の放電電極２Ａと誘電体被覆され
た放電電極２Ｂとを設置し、これら両者の間で高電圧を
印加して放電を発生させる構成としている。
装置は、図９に示すように、前記図１における誘電体１
の一方の面に冷却体９を設置し、誘電体１の他方の面、
すなわち放電面に金属の放電電極２Ａと誘電体被覆され
た放電電極２Ｂとを設置し、これら両者の間で高電圧を
印加して放電を発生させる構成としている。
【００６９】次に、以上のように構成した本実施の形態
によるオゾン発生装置においては、誘電体１の一方の面
に冷却体９を設置し、他方の面に金属の放電電極２Ａと
誘電体被覆された放電電極２Ｂとを設置し、両者の間で
高電圧を印加して放電を発生させるようにしていること
により、放電長を一定に制御することができ、オゾン発
生特性も極めて安定したオゾン発生装置を得ることがで
きる。
によるオゾン発生装置においては、誘電体１の一方の面
に冷却体９を設置し、他方の面に金属の放電電極２Ａと
誘電体被覆された放電電極２Ｂとを設置し、両者の間で
高電圧を印加して放電を発生させるようにしていること
により、放電長を一定に制御することができ、オゾン発
生特性も極めて安定したオゾン発生装置を得ることがで
きる。
【００７０】上述したように、本実施の形態では、極め
て安定したオゾン発生特性を得ることができるオゾン発
生装置を得ることが可能となる。
て安定したオゾン発生特性を得ることができるオゾン発
生装置を得ることが可能となる。
【００７１】（その他の実施の形態）尚、本発明は、上
記各実施の形態に限定されるものではなく、実施段階で
はその要旨を逸脱しない範囲で、種々に変形して実施す
ることが可能である。また、各実施の形態は可能な限り
適宜組合わせて実施してもよく、その場合には組合わせ
た作用効果を得ることができる。さらに、上記各実施の
形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される
複数の構成要件における適宜な組合わせにより、種々の
発明を抽出することができる。例えば、実施の形態に示
される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されて
も、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題（の
少なくとも一つ）が解決でき、発明の効果の欄で述べら
れている効果（の少なくとも一つ）が得られる場合に
は、この構成要件が削除された構成を発明として抽出す
ることができる。
記各実施の形態に限定されるものではなく、実施段階で
はその要旨を逸脱しない範囲で、種々に変形して実施す
ることが可能である。また、各実施の形態は可能な限り
適宜組合わせて実施してもよく、その場合には組合わせ
た作用効果を得ることができる。さらに、上記各実施の
形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される
複数の構成要件における適宜な組合わせにより、種々の
発明を抽出することができる。例えば、実施の形態に示
される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されて
も、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題（の
少なくとも一つ）が解決でき、発明の効果の欄で述べら
れている効果（の少なくとも一つ）が得られる場合に
は、この構成要件が削除された構成を発明として抽出す
ることができる。
【００７２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、原
料ガスに含まれる窒素が沿面放電によってオゾンを分解
する窒素酸化物の生成を抑制することができ、高濃度で
高発生効率のオゾン発生装置を提供することが可能とな
る。
料ガスに含まれる窒素が沿面放電によってオゾンを分解
する窒素酸化物の生成を抑制することができ、高濃度で
高発生効率のオゾン発生装置を提供することが可能とな
る。
【００７３】また、本発明によれば、冷却体に対して、
その両面に放電電極を配置した誘電体を設置すること
で、効率的でコンパクト化、コストダウンを図ることが
できるオゾン発生装置を提供することが可能となる。
その両面に放電電極を配置した誘電体を設置すること
で、効率的でコンパクト化、コストダウンを図ることが
できるオゾン発生装置を提供することが可能となる。
【００７４】さらに、本発明によれば、オゾン発生ユニ
ットを積層化することで、容易に大容量化を図ることが
でき、構成要素の共通化および標準化を図ることができ
るオゾン発生装置を提供することが可能となる。
ットを積層化することで、容易に大容量化を図ることが
でき、構成要素の共通化および標準化を図ることができ
るオゾン発生装置を提供することが可能となる。
【図１】本発明によるオゾン発生装置の第１の実施の形
態を示す概要図。
態を示す概要図。
【図２】本発明によるオゾン発生装置の第２の実施の形
態を示す概要図。
態を示す概要図。
【図３】本発明によるオゾン発生装置の第３の実施の形
態を示す概要図。
態を示す概要図。
【図４】本発明によるオゾン発生装置の第４の実施の形
態を示す概要図。
態を示す概要図。
【図５】本発明によるオゾン発生装置の第５の実施の形
態を示す概要図。
態を示す概要図。
【図６】本発明によるオゾン発生装置の第６の実施の形
態を示す概要図。
態を示す概要図。
【図７】本発明によるオゾン発生装置の第７の実施の形
態を示す概要図。
態を示す概要図。
【図８】本発明によるオゾン発生装置の第８の実施の形
態を示す概要図。
態を示す概要図。
【図９】本発明によるオゾン発生装置の第９の実施の形
態を示す概要図。
態を示す概要図。
【図１０】従来のオゾン発生装置の構成例を示す概要
図。
図。
１…誘電体
２Ａ、２Ｂ…放電電極
３…圧力容器
４…電源
５…碍子
６…ガス入口
７…ガス出口
８…沿面放電
９…冷却体
１０…ガスガイド。
フロントページの続き
(72)発明者 野口 基
東京都港区芝浦一丁目１番１号 株式会社
東芝本社事務所内
(72)発明者 沖田 裕二
東京都府中市晴見町２丁目24番地の１ 東
芝アイティー・コントロールシステム株式
会社内
Ｆターム(参考） 4G042 CA01 CB05 CC02 CC05 CC11
CC12 CE04
Claims (9)
- 【請求項１】 圧力容器の内部に収納された誘電体と当
該誘電体の一方の面に一定間隔で配置された放電電極を
形成し、少なくとも一本の電極を有し、前記誘電体のも
う一方の一部の面を導電性の膜で被覆した電極基板とを
設置し、原料ガスとして乾燥空気のガスを前記圧力容器
の外部から供給する放電空間を形成し、前記圧力容器の
内部に収め、前記電極基板の表裏の電極間に高電圧を印
加してオゾン化ガスを生成させるオゾン発生装置におい
て、 前記原料ガスの圧力を０.２ＭＰａ以上とするようにし
たことを特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項２】 前記請求項１に記載のオゾン発生装置に
おいて、 前記電極基板の導電性の膜を被覆した面に冷却体を設置
するようにしたことを特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項３】 前記請求項２に記載のオゾン発生装置に
おいて、 前記電極基板の導電性の膜を省略するようにしたことを
特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項４】 前記請求項２に記載のオゾン発生装置に
おいて、 前記一つの冷却体の表裏面に前記電極基板を配置するよ
うにしたことを特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項５】 前記請求項２に記載のオゾン発生装置に
おいて、 前記電極基板と前記冷却体とを積層化するようにしたこ
とを特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項６】 前記請求項１に記載のオゾン発生装置に
おいて、 前記電極基板の放電空間側に、あるガス流空間を形成す
るためのガスガイドを設置するようにしたことを特徴と
するオゾン発生装置。 - 【請求項７】 前記請求項１に記載のオゾン発生装置に
おいて、 前記電極基板上で一定間隔に配置された放電電極とほぼ
同一方向に原料ガスを流すようにしたことを特徴とする
オゾン発生装置。 - 【請求項８】 前記請求項１に記載のオゾン発生装置に
おいて、 前記電極基板の誘電体の厚さを一定としないようにした
ことを特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項９】 前記請求項１に記載のオゾン発生装置に
おいて、 前記誘電体の放電面側に金属電極と誘電体被覆された電
極とを設置し、当該両者の間で高電圧を印加して放電を
発生させるようにしたことを特徴とするオゾン発生装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001280707A JP2003089507A (ja) | 2001-09-14 | 2001-09-14 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001280707A JP2003089507A (ja) | 2001-09-14 | 2001-09-14 | オゾン発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003089507A true JP2003089507A (ja) | 2003-03-28 |
Family
ID=19104653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001280707A Pending JP2003089507A (ja) | 2001-09-14 | 2001-09-14 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003089507A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005080264A1 (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-01 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | オゾン発生装置およびオゾン発生方法 |
| JP2009114003A (ja) * | 2007-11-02 | 2009-05-28 | Metawater Co Ltd | オゾン発生装置 |
| JP2020065966A (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 三菱電機株式会社 | 浄化装置およびオゾン供給装置 |
| JP2021155251A (ja) * | 2020-03-26 | 2021-10-07 | 株式会社オーク製作所 | オゾン生成装置、オゾン生成方法および窒素酸化物検出方法 |
-
2001
- 2001-09-14 JP JP2001280707A patent/JP2003089507A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005080264A1 (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-01 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | オゾン発生装置およびオゾン発生方法 |
| US7382087B2 (en) | 2004-02-25 | 2008-06-03 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | Ozone generator system and ozone generating method |
| JP2009114003A (ja) * | 2007-11-02 | 2009-05-28 | Metawater Co Ltd | オゾン発生装置 |
| JP2020065966A (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 三菱電機株式会社 | 浄化装置およびオゾン供給装置 |
| JP2021155251A (ja) * | 2020-03-26 | 2021-10-07 | 株式会社オーク製作所 | オゾン生成装置、オゾン生成方法および窒素酸化物検出方法 |
| JP7518644B2 (ja) | 2020-03-26 | 2024-07-18 | 株式会社オーク製作所 | オゾン生成装置、オゾン生成方法および窒素酸化物検出方法 |
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