JP2001080909A - オゾン発生器 - Google Patents
オゾン発生器Info
- Publication number
- JP2001080909A JP2001080909A JP25527999A JP25527999A JP2001080909A JP 2001080909 A JP2001080909 A JP 2001080909A JP 25527999 A JP25527999 A JP 25527999A JP 25527999 A JP25527999 A JP 25527999A JP 2001080909 A JP2001080909 A JP 2001080909A
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- Japan
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- ground electrode
- electrode
- dielectric
- high voltage
- voltage electrode
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- Pending
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 単位体積当たりのオゾン発生量が大きく、設
置スペースの小さな無声放電方式のオゾン発生器を得
る。 【解決手段】本発明のオゾン発生器は、高電圧電源１に
接続された高電圧電極と、冷却水を通じる通路を設けた
金属製の容器からなる接地電極２と、高電圧電極および
前記接地電極の少なくとも一方の表面に設けた誘電体と
を備え、高電圧電極または接地電極と誘電体とを微小空
隙を介して対向させ無声放電によりオゾンを発生させる
オゾン発生器において、高電圧電極および接地電極を櫛
歯形状とし、この櫛歯同士を互いに入り組ませ微小空隙
を介して対向させた構造にしている。また、誘電体をア
ルミナのセラミックスとしてもよい。
置スペースの小さな無声放電方式のオゾン発生器を得
る。 【解決手段】本発明のオゾン発生器は、高電圧電源１に
接続された高電圧電極と、冷却水を通じる通路を設けた
金属製の容器からなる接地電極２と、高電圧電極および
前記接地電極の少なくとも一方の表面に設けた誘電体と
を備え、高電圧電極または接地電極と誘電体とを微小空
隙を介して対向させ無声放電によりオゾンを発生させる
オゾン発生器において、高電圧電極および接地電極を櫛
歯形状とし、この櫛歯同士を互いに入り組ませ微小空隙
を介して対向させた構造にしている。また、誘電体をア
ルミナのセラミックスとしてもよい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、無声放電によりオ
ゾンを発生させるオゾン発生器に関する。
ゾンを発生させるオゾン発生器に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在用いられているオゾン発生器の多く
は、無声放電や沿面放電によりオゾンを発生させる方式
である。無声放電方式のオゾン発生器は上下水処理など
主に産業用に用いられ、沿面放電方式はトイレ脱臭など
主に民生用に用いられている。無声放電方式の基本構造
として、図２に示すものがある( 例えば特開昭52-15492
号公報) 。すなわち、高電圧電極１と接地電極２とを対
向させて配設し、高電圧電極１の接地電極２に対向する
面に誘電体３を固定した構造をしており、誘電体３と接
地電極２とは通常１〜２ｍｍの空隙を保持して対向して
いる。この原理をもとに実用向きに改良された無声放電
方式のオゾン発生器として図３に示すものがある( 例え
ば、特開平6-234507号公報) 。図において、１ａは高電
圧電極、２は接地電極、４はガラス誘電体、６は筐体、
７は高電圧電源である。高電圧電極１ａは、一端が閉塞
したガラス管の内部に導体がコーティングされたもの
で、高電圧電源７の高電圧側に接続されている。接地電
極２はステンレス等の金属管からなり、ガラス誘電体４
と約１ｍｍの空隙を介して対向している。そして、放電
空間やガラス誘電体４を冷却するために、冷却水を循環
できるように冷却水供給口１０と冷却水排出口１１を設
けている。筐体６は高電圧電極１ａ、ガラス誘電体４、
接地電極２などを収納し、原料ガスを供給・排出するた
め密閉構造となっている。両端には原料ガス供給口８と
オゾン化ガス排出口９が形成されている。いま、高電圧
電極１ａに高電圧電源７から交流高電圧を印加すると、
空隙内にある気体が絶縁破壊を生じて無声放電が発生す
る。この無声放電が発生している空隙内に酸素を含むガ
スを供給すると、酸素のー部がオゾンとなって排出され
る。
は、無声放電や沿面放電によりオゾンを発生させる方式
である。無声放電方式のオゾン発生器は上下水処理など
主に産業用に用いられ、沿面放電方式はトイレ脱臭など
主に民生用に用いられている。無声放電方式の基本構造
として、図２に示すものがある( 例えば特開昭52-15492
号公報) 。すなわち、高電圧電極１と接地電極２とを対
向させて配設し、高電圧電極１の接地電極２に対向する
面に誘電体３を固定した構造をしており、誘電体３と接
地電極２とは通常１〜２ｍｍの空隙を保持して対向して
いる。この原理をもとに実用向きに改良された無声放電
方式のオゾン発生器として図３に示すものがある( 例え
ば、特開平6-234507号公報) 。図において、１ａは高電
圧電極、２は接地電極、４はガラス誘電体、６は筐体、
７は高電圧電源である。高電圧電極１ａは、一端が閉塞
したガラス管の内部に導体がコーティングされたもの
で、高電圧電源７の高電圧側に接続されている。接地電
極２はステンレス等の金属管からなり、ガラス誘電体４
と約１ｍｍの空隙を介して対向している。そして、放電
空間やガラス誘電体４を冷却するために、冷却水を循環
できるように冷却水供給口１０と冷却水排出口１１を設
けている。筐体６は高電圧電極１ａ、ガラス誘電体４、
接地電極２などを収納し、原料ガスを供給・排出するた
め密閉構造となっている。両端には原料ガス供給口８と
オゾン化ガス排出口９が形成されている。いま、高電圧
電極１ａに高電圧電源７から交流高電圧を印加すると、
空隙内にある気体が絶縁破壊を生じて無声放電が発生す
る。この無声放電が発生している空隙内に酸素を含むガ
スを供給すると、酸素のー部がオゾンとなって排出され
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の技術
では、誘電体にガラス管を使用しているためガラス管内
部がオゾン生成に寄与しない無効な空間となる。そのた
め、単位容積当たりのオゾン発生量を大きくすることが
できず、オゾン発生器を小型化できないという問題があ
った。また、発生した熱がガラス管内部の空間に蓄積さ
れるため、空隙の冷却が十分にできていないという問題
があった。本発明は、単位体積当たりのオゾン発生量が
大きく、設置スペースの小さな無声放電方式のオゾン発
生器を提供することを目的とするものである。
では、誘電体にガラス管を使用しているためガラス管内
部がオゾン生成に寄与しない無効な空間となる。そのた
め、単位容積当たりのオゾン発生量を大きくすることが
できず、オゾン発生器を小型化できないという問題があ
った。また、発生した熱がガラス管内部の空間に蓄積さ
れるため、空隙の冷却が十分にできていないという問題
があった。本発明は、単位体積当たりのオゾン発生量が
大きく、設置スペースの小さな無声放電方式のオゾン発
生器を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は高電圧電源に接続された高電圧電極と、冷
却水を通じる通路を設けた金属製の容器からなる接地電
極と、前記高電圧電極および前記接地電極の少なくとも
一方の表面に設けた誘電体とを備え、前記高電圧電極と
前記接地電極とを微小空隙を介して対向させ無声放電に
よりオゾンを発生させるオゾン発生器において、前記高
電圧電極および前記接地電極を櫛歯形状とし、この櫛歯
同士を互いに入り組ませ微小空隙を介して対向させた構
造にしている。また、前記誘電体をセラミックスとして
もよい。
め、本発明は高電圧電源に接続された高電圧電極と、冷
却水を通じる通路を設けた金属製の容器からなる接地電
極と、前記高電圧電極および前記接地電極の少なくとも
一方の表面に設けた誘電体とを備え、前記高電圧電極と
前記接地電極とを微小空隙を介して対向させ無声放電に
よりオゾンを発生させるオゾン発生器において、前記高
電圧電極および前記接地電極を櫛歯形状とし、この櫛歯
同士を互いに入り組ませ微小空隙を介して対向させた構
造にしている。また、前記誘電体をセラミックスとして
もよい。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図１は本発明のオゾン発生器を示す側断
面図である。図において、1 は櫛歯形状をした高電圧電
極、２は同じく櫛歯形状をした接地電極、５はセラミッ
クス誘電体である。その他の符号は、従来例で述べたも
のと同じであるため省略する。高電圧電極１はステンレ
ス鋼からなり、表面にアルミナのセラミックス誘電体５
でコーティングされている。接地電極２もステンレス鋼
を櫛歯状に成形し、さらに冷却水を循環できるように冷
却水供給口１０と冷却水排出口１１を有した構造にして
いる。そして、高圧電極１と接地電極２とを互いに入り
組ませ微小空隙を介して対向させた構造にしている。筐
体６は原料ガス供給口８とオゾン化ガス排出口９を有し
ている。いま、高電圧電極１と接地電極２との間に高電
圧電源７により高電圧を印加する。そうすると、微小空
隙内で無声放電が発生し、微小空隙内に供給された原料
ガス中の酸素分子の一部をオゾン化させる。高電圧電極
１の両面に水冷されている接地電極２を配設しているの
で、微小空隙が冷却されやすくなっている。つぎに、放
電面積当たりの容積を、従来例と比較した。本実施例の
オゾン発生器の放電面積当たりの容積は、従来のガラス
誘電体の無声放電オゾナイザの放電面積当たりの容積の
約８０％と小さくなっており、良好な結果が得られた。
なお、本実施例では、セラミックス誘電体を高電圧電極
の表面にコーティングした例を示したが、接地電極の表
面にセラミックス誘電体をコーティングしても、また、
高電圧電極と接地電極の両方の表面にコーティングして
も同様な効果がある。
いて説明する。図１は本発明のオゾン発生器を示す側断
面図である。図において、1 は櫛歯形状をした高電圧電
極、２は同じく櫛歯形状をした接地電極、５はセラミッ
クス誘電体である。その他の符号は、従来例で述べたも
のと同じであるため省略する。高電圧電極１はステンレ
ス鋼からなり、表面にアルミナのセラミックス誘電体５
でコーティングされている。接地電極２もステンレス鋼
を櫛歯状に成形し、さらに冷却水を循環できるように冷
却水供給口１０と冷却水排出口１１を有した構造にして
いる。そして、高圧電極１と接地電極２とを互いに入り
組ませ微小空隙を介して対向させた構造にしている。筐
体６は原料ガス供給口８とオゾン化ガス排出口９を有し
ている。いま、高電圧電極１と接地電極２との間に高電
圧電源７により高電圧を印加する。そうすると、微小空
隙内で無声放電が発生し、微小空隙内に供給された原料
ガス中の酸素分子の一部をオゾン化させる。高電圧電極
１の両面に水冷されている接地電極２を配設しているの
で、微小空隙が冷却されやすくなっている。つぎに、放
電面積当たりの容積を、従来例と比較した。本実施例の
オゾン発生器の放電面積当たりの容積は、従来のガラス
誘電体の無声放電オゾナイザの放電面積当たりの容積の
約８０％と小さくなっており、良好な結果が得られた。
なお、本実施例では、セラミックス誘電体を高電圧電極
の表面にコーティングした例を示したが、接地電極の表
面にセラミックス誘電体をコーティングしても、また、
高電圧電極と接地電極の両方の表面にコーティングして
も同様な効果がある。
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、無
声放電方式のオゾン発生器の高電圧電極と接地電極をい
ずれも櫛歯形状とし、櫛歯同士が微小空隙を介して交互
に入り組ませた構造にしてあるので、オゾン生成に寄与
しない空間を小さくでき、微小空隙が冷却されやすくな
る。したがって、容積当たりのオゾン発生量が多く、か
つ、オゾン生成効率が高い、小型化のオゾン発生器を得
る効果がある。
声放電方式のオゾン発生器の高電圧電極と接地電極をい
ずれも櫛歯形状とし、櫛歯同士が微小空隙を介して交互
に入り組ませた構造にしてあるので、オゾン生成に寄与
しない空間を小さくでき、微小空隙が冷却されやすくな
る。したがって、容積当たりのオゾン発生量が多く、か
つ、オゾン生成効率が高い、小型化のオゾン発生器を得
る効果がある。
【図１】本発明の実施例を示すオゾン発生器の側断面図
である。
である。
【図２】無声放電方式の基本構造を示す側断面図であ
る。
る。
【図３】従来のオゾン発生器を示す側断面図である。
１、１ａ：高電圧電極 ２：接地電極 ３：誘電体 ４：ガラス誘電体 ５：セラミック誘電体 ６：筐体 ７：高電圧電源 ８：原料ガス供給口 ９：オゾン化ガス排出口 １０：冷却水供給口 １１：冷却水排出口
Claims (2)
- 【請求項１】高電圧電源に接続された高電圧電極と、冷
却水を通じる通路を設けた金属製の容器からなる接地電
極と、前記高電圧電極および前記接地電極の少なくとも
一方の表面に設けた誘電体とを備え、前記高電圧電極と
前記接地電極とを微小空隙を介して対向させ無声放電に
よりオゾンを発生させるオゾン発生器において、 前記高電圧電極および前記接地電極を櫛歯形状とし、こ
の櫛歯同士を互いに入り組ませ微小空隙を介して対向さ
せたことを特徴とするオゾン発生器。 - 【請求項２】前記誘電体をセラミックスとしたことを特
徴とする請求項１記載のオゾン発生器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25527999A JP2001080909A (ja) | 1999-09-09 | 1999-09-09 | オゾン発生器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25527999A JP2001080909A (ja) | 1999-09-09 | 1999-09-09 | オゾン発生器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001080909A true JP2001080909A (ja) | 2001-03-27 |
Family
ID=17276555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25527999A Pending JP2001080909A (ja) | 1999-09-09 | 1999-09-09 | オゾン発生器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001080909A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102612250A (zh) * | 2012-03-08 | 2012-07-25 | 山东派力迪环保工程有限公司 | 一种管式介质阻挡放电等离子体产生系统及其应用 |
| WO2017154338A1 (ja) * | 2016-03-09 | 2017-09-14 | 株式会社村田製作所 | オゾン生成用素子およびオゾン生成装置 |
| CN112573487A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-03-30 | 厦门锐传科技有限公司 | 浸水式板式臭氧发生器 |
-
1999
- 1999-09-09 JP JP25527999A patent/JP2001080909A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102612250A (zh) * | 2012-03-08 | 2012-07-25 | 山东派力迪环保工程有限公司 | 一种管式介质阻挡放电等离子体产生系统及其应用 |
| WO2017154338A1 (ja) * | 2016-03-09 | 2017-09-14 | 株式会社村田製作所 | オゾン生成用素子およびオゾン生成装置 |
| CN112573487A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-03-30 | 厦门锐传科技有限公司 | 浸水式板式臭氧发生器 |
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