JP6521529B2 - 電子部品パッケージ及びパッケージオンパッケージ構造 - Google Patents
電子部品パッケージ及びパッケージオンパッケージ構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6521529B2 JP6521529B2 JP2016096403A JP2016096403A JP6521529B2 JP 6521529 B2 JP6521529 B2 JP 6521529B2 JP 2016096403 A JP2016096403 A JP 2016096403A JP 2016096403 A JP2016096403 A JP 2016096403A JP 6521529 B2 JP6521529 B2 JP 6521529B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- frame
- disposed
- component package
- package
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/04105—Bonding areas formed on an encapsulation of the semiconductor or solid-state body, e.g. bonding areas on chip-scale packages
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/12105—Bump connectors formed on an encapsulation of the semiconductor or solid-state body, e.g. bumps on chip-scale packages
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/16227—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/19—Manufacturing methods of high density interconnect preforms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/191—Disposition
- H01L2924/19101—Disposition of discrete passive components
- H01L2924/19105—Disposition of discrete passive components in a side-by-side arrangement on a common die mounting substrate
Description
電子機器
図3は電子部品パッケージの一例を概略的に示す断面図である。図4は図3のI−I'線に沿った電子部品パッケージの概略的な切断平面図である。図面を参照すると、一例による電子部品パッケージ100Aは、貫通孔110Xを有するフレーム110と、上記貫通孔110X内に配置された電子部品120と、上記フレーム110及び上記電子部品120の上部を少なくとも覆う絶縁部150と、上記フレーム110と上記絶縁部150との間に少なくとも一部が配置された接合部111と、上記フレーム110及び電子部品120の下部に配置された再配線部130、140と、を含む。
図28はパッケージオンパッケージ構造の一例を概略的に示す断面図である。上述の様々な例示による電子部品パッケージ100A〜100Jが、パッケージオンパッケージ構造に様々な形態で適用されることができる。例えば、図面を参照すると、一例によるパッケージオンパッケージ構造は、上述の電子部品パッケージ100Dの上部に他の電子部品パッケージ200が配置された形態を有する。
[項目1]
金属系物質またはセラミック系物質を含み、貫通孔を有するフレームと、
前記貫通孔内に配置された電子部品と、
前記フレーム及び前記電子部品の上部を少なくとも覆う絶縁部と、
前記フレームと前記絶縁部との間に少なくとも一部が配置された接合部と、
前記フレーム及び前記電子部品の下部に配置された再配線部と、
を含み、
前記接合部は、前記電子部品及び前記再配線部とは、電気的に絶縁されていて、
前記フレームはFe−Ni系合金を含む、
電子部品パッケージ。
[項目2]
前記金属系物質またはセラミック系物質は、熱導電性が1W/mK以上であり、熱膨張係数が10ppm/℃以下であり、弾性係数が100GPa以上である、
項目1に記載の電子部品パッケージ。
[項目3]
前記セラミック系物質は、ジルコニア系(ZrO 2 )、アルミナ(Al 2 O 3 )系、シリコンカーバイド系(SiC)、及びシリコンナイトライド系(Si 3 N 4 )物質からなる群から選択される少なくとも一つである、
項目1または2に記載の電子部品パッケージ。
[項目4]
前記フレームは、前記電子部品が配置され、前記貫通孔によって貫通される何れかの層(any layer)を含み、
前記フレームの何れかの層(any layer)は、熱導電性が1W/mK以上であり、熱膨張係数が10ppm/℃以下であり、弾性係数が100GPa以上である、
項目1から3のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。
[項目5]
前記接合部は、前記フレームの少なくとも一面に配置されている、
項目1から4のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。
[項目6]
前記接合部は、前記貫通孔の内壁に延びて配置されている、
項目1から4のいずれか1項に記載の電子部品パッケージ。
[項目7]
前記接合部は、第1接合部及び第2接合部を含み、
前記第1接合部は、前記フレームの向かい合う両面に配置されており、
前記第2接合部は、前記第1接合部上に配置されて前記貫通孔の内壁に延びている、
項目1から6のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。
[項目8]
第1接合部は前記貫通孔の内壁に配置されない、
項目7に記載の電子部品パッケージ。
[項目9]
前記接合部は導電性物質を含む、
項目1から8のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。
[項目10]
前記接合部は前記フレームに含まれる金属系物質またはセラミック系物質より大きい熱導電性を有する、
項目9に記載の電子部品パッケージ。
[項目11]
前記フレームを貫通する貫通配線をさらに含み、
前記フレームと前記貫通配線との間、または前記接合部と前記貫通配線との間には絶縁物質が配置されている、
項目1から10のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。
[項目12]
前記絶縁部が前記フレームの外側側部を囲んでおり、
前記フレームは外部に露出しない、
項目1から11のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。
[項目13]
前記フレームは、その内部に配置される一つ以上の放熱層を含み、
前記放熱層により、前記金属系物質またはセラミック系物質が複数の層に分けられる、
項目1から12のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。
[項目14]
前記一つ以上の放熱層は前記フレームの残りの部分より大きい熱導電性を有する、
項目3に記載の電子部品パッケージ。
[項目15]
前記再配線部の下部に配置され、第1開口部を有する外部層と、
前記第1開口部に配置された第1外部接続端子と、
をさらに含み、
前記第1外部接続端子は、少なくとも一つがファン−アウト領域に配置されている、
項目1から14のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。
[項目16]
前記絶縁部の上部に配置され、第2開口部を有するカバー層と、
前記第2開口部に配置された第2外部接続端子と、
をさらに含み、
前記第2外部接続端子は前記電子部品と電気的に連結されている、
項目1から15のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。
[項目17]
金属系物質またはセラミック系物質を含み、貫通孔を有するフレームと、
前記貫通孔内に配置された電子部品と、
前記フレーム及び前記電子部品の上部を少なくとも覆う絶縁部と、
前記フレームと前記絶縁部との間に少なくとも一部が配置された接合部と、
前記フレームを貫通する貫通配線と、
前記フレーム及び前記電子部品の下部に配置された再配線部と、
前記再配線部の下部に配置された第1外部接続端子と、
前記絶縁部の上部に配置された第2外部接続端子と、
を含み、
前記接合部は、前記電子部品及び前記再配線部とは、電気的に絶縁されていて、
前記フレームはFe−Ni系合金を含む、
第1電子部品パッケージと、
前記第1電子部品パッケージの上部に配置され、
前記第2外部接続端子を介して前記第1電子部品パッケージと連結される第2電子部品パッケージと、
を含む、
パッケージオンパッケージ構造。
[項目18]
前記第1電子部品パッケージの下部に配置され、前記第1外部接続端子を介して前記第1電子部品パッケージと連結される第3電子部品パッケージをさらに含む、
項目17に記載のパッケージオンパッケージ構造。
[項目19]
前記フレームは、前記電子部品が配置され、前記貫通孔によって貫通される何れかの層(any layer)を含み、
前記フレームの何れかの層(any layer)は、熱導電性が1W/mK以上であり、熱膨張係数が10ppm/℃以下であり、弾性係数が100GPa以上である、
項目17または18に記載のパッケージオンパッケージ構造。
[項目20]
貫通孔を有するフレームと、
前記フレームの少なくとも一面に配置された接合部と、
前記フレームの貫通孔に配置された電子部品と、
前記フレーム及び前記電子部品が配置され、前記電子部品と電気的に連結された再配線部と、
前記フレーム、前記電子部品、及び前記再配線部によって閉じ込められた前記貫通孔の空間を少なくとも満たす絶縁部と、
を含み、
前記フレームは、熱導電性が1W/mK以上であり、熱膨張係数が10ppm/℃以下であり、弾性係数が100GPa以上であり、
前記接合部は、前記電子部品及び前記再配線部とは、電気的に絶縁されていて、
前記フレームはFe−Ni系合金を含む、
電子部品パッケージ。
[項目21]
前記フレームを形成するための物質は金属系物質またはセラミック系物質である、
項目20に記載の電子部品パッケージ。
[項目22]
前記接合部は、前記フレームの少なくとも一面から前記貫通孔の内壁まで延びて配置されている、
項目20または21に記載の電子部品パッケージ。
[項目23]
前記貫通孔の内壁に配置された前記接合部の厚さは、前記フレームの少なくとも一面に配置された前記接合部の厚さより薄い、
項目22に記載の電子部品パッケージ。
[項目24]
前記接合部は導電性物質である、
項目20から23のいずれか1項に記載の電子部品パッケージ。
[項目25]
項目1から16、20から24のいずれか1項に記載の電子部品パッケージを含む、
パッケージオンパッケージ構造。
1010 メインボード
1020 チップ関連部品
1030 ネットワーク関連部品
1040 その他の部品
1050 カメラ
1060 アンテナ
1070 ディスプレイ
1080 バッテリー
1090 信号ライン
1100 スマートフォン
1101 スマートフォン本体(本体)
1110 スマートフォンメインボード(メインボード)
1120 スマートフォン内蔵電子部品(電子部品)
1130 スマートフォンカメラ(カメラ)
100、200、300 電子部品パッケージ
100A〜100J 電子部品パッケージ
110 フレーム
110A 上面
110B 下面
110Y 貫通孔
111、111A、111B 接合部
113 貫通配線
120、122、124 電子部品
120P、122P 電極パッド
110X、110X1、110X2 貫通孔
130、140 再配線部
131、141 絶縁層
132、142、152 導電性パターン
133、143 導電性ビア
150 絶縁部
161、171 開口部
165、175 外部接続端子
160 外部層
170 カバー層
190 粘着性高分子層
Claims (20)
- 金属系物質を含み、貫通孔を有するフレームと、
前記貫通孔内に配置された電子部品と、
前記フレーム及び前記電子部品の上部を少なくとも覆う絶縁部と、
前記フレームと前記絶縁部との間に少なくとも一部が配置された接合部と、
前記フレーム及び前記電子部品の下部に配置された再配線部と、
を含み、
前記接合部は、前記電子部品及び前記再配線部とは、電気的に絶縁されていて、
前記接合部は、前記貫通孔の内壁に延びて配置されている、
電子部品パッケージ。 - 前記金属系物質は、熱導電性が1W/mK以上であり、熱膨張係数が10ppm/℃以下であり、弾性係数が100GPa以上である、
請求項1に記載の電子部品パッケージ。 - 前記フレームは、前記電子部品が配置され、前記貫通孔によって貫通される何れかの層(any layer)を含み、
前記フレームの何れかの層(any layer)は、熱導電性が1W/mK以上であり、熱膨張係数が10ppm/℃以下であり、弾性係数が100GPa以上である、
請求項1または2に記載の電子部品パッケージ。 - 前記接合部は、前記フレームの少なくとも一面に配置されている、
請求項1から3のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。 - 前記接合部は、第1接合部及び第2接合部を含み、
前記第1接合部は、前記フレームの向かい合う両面に配置されており、
前記第2接合部は、前記第1接合部上に配置されて前記貫通孔の内壁に延びている、
請求項1から4のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。 - 金属系物質を含み、貫通孔を有するフレームと、
前記貫通孔内に配置された電子部品と、
前記フレーム及び前記電子部品の上部を少なくとも覆う絶縁部と、
前記フレームと前記絶縁部との間に少なくとも一部が配置された接合部と、
前記フレーム及び前記電子部品の下部に配置された再配線部と、
を含み、
前記接合部は、前記電子部品及び前記再配線部とは、電気的に絶縁されていて、
前記接合部は、第1接合部及び第2接合部を含み、
前記第1接合部は、前記フレームの向かい合う両面に配置されており、
前記第2接合部は、前記第1接合部上に配置されて前記貫通孔の内壁に延びている、
電子部品パッケージ。 - 前記第1接合部は前記貫通孔の内壁に配置されない、
請求項5または6に記載の電子部品パッケージ。 - 前記接合部は導電性物質を含む、
請求項1から7のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。 - 前記接合部は前記フレームに含まれる金属系物質より大きい熱導電性を有する、
請求項8に記載の電子部品パッケージ。 - 前記フレームを貫通する貫通配線をさらに含み、
前記フレームと前記貫通配線との間、または前記接合部と前記貫通配線との間には絶縁物質が配置されている、
請求項1から9のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。 - 前記絶縁部が前記フレームの外側側部を囲んでおり、
前記フレームは外部に露出しない、
請求項1から10のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。 - 前記フレームは、その内部に配置される一つ以上の放熱層を含み、
前記放熱層により、前記フレームが複数の層に分けられる、
請求項1から11のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。 - 金属系物質を含み、貫通孔を有するフレームと、
前記貫通孔内に配置された電子部品と、
前記フレーム及び前記電子部品の上部を少なくとも覆う絶縁部と、
前記フレームと前記絶縁部との間に少なくとも一部が配置された接合部と、
前記フレーム及び前記電子部品の下部に配置された再配線部と、
を含み、
前記接合部は、前記電子部品及び前記再配線部とは、電気的に絶縁されていて、
前記フレームは、その内部に配置される一つ以上の放熱層を含み、
前記放熱層により、前記フレームが複数の層に分けられる、
電子部品パッケージ。 - 前記一つ以上の放熱層は前記フレームの残りの部分より大きい熱導電性を有する、
請求項12または13に記載の電子部品パッケージ。 - 前記再配線部の下部に配置され、第1開口部を有する外部層と、
前記第1開口部に配置された第1外部接続端子と、
をさらに含み、
前記第1外部接続端子は、少なくとも一つがファン−アウト領域に配置されている、
請求項1から14のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。 - 前記絶縁部の上部に配置され、第2開口部を有するカバー層と、
前記第2開口部に配置された第2外部接続端子と、
をさらに含み、
前記第2外部接続端子は前記電子部品と電気的に連結されている、
請求項1から15のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。 - 前記フレームはFe−Ni系合金を含む、
請求項1から16のいずれか一項に記載の電子部品パッケージ。 - 前記再配線部の下部に配置された第1外部接続端子と、
前記絶縁部の上部に配置された第2外部接続端子と、
をさらに含む、
請求項1から17のいずれか1項に記載の電子部品パッケージである、第1電子部品パッケージと、
前記第1電子部品パッケージの上部に配置され、
前記第2外部接続端子を介して前記第1電子部品パッケージと連結される第2電子部品パッケージと、
を含む、
パッケージオンパッケージ構造。 - 前記第1電子部品パッケージの下部に配置され、前記第1外部接続端子を介して前記第1電子部品パッケージと連結される第3電子部品パッケージをさらに含む、
請求項18に記載のパッケージオンパッケージ構造。 - 請求項1から17のいずれか1項に記載の電子部品パッケージを含む、
パッケージオンパッケージ構造。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2015-0067999 | 2015-05-15 | ||
KR20150067999 | 2015-05-15 | ||
KR10-2015-0142626 | 2015-10-13 | ||
KR1020150142626A KR102021886B1 (ko) | 2015-05-15 | 2015-10-13 | 전자부품 패키지 및 패키지 온 패키지 구조 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016219798A JP2016219798A (ja) | 2016-12-22 |
JP6521529B2 true JP6521529B2 (ja) | 2019-05-29 |
Family
ID=57541641
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016096403A Active JP6521529B2 (ja) | 2015-05-15 | 2016-05-12 | 電子部品パッケージ及びパッケージオンパッケージ構造 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6521529B2 (ja) |
KR (1) | KR102021886B1 (ja) |
TW (1) | TWI658545B (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101983188B1 (ko) | 2016-12-22 | 2019-05-28 | 삼성전기주식회사 | 팬-아웃 반도체 패키지 |
JP6815880B2 (ja) * | 2017-01-25 | 2021-01-20 | 株式会社ディスコ | 半導体パッケージの製造方法 |
KR102081086B1 (ko) * | 2017-07-07 | 2020-02-25 | 삼성전자주식회사 | 팬-아웃 반도체 패키지 모듈 |
KR102038602B1 (ko) * | 2017-07-14 | 2019-10-31 | 전자부품연구원 | 고방열 팬아웃 패키지 및 그 제조방법 |
US10541209B2 (en) * | 2017-08-03 | 2020-01-21 | General Electric Company | Electronics package including integrated electromagnetic interference shield and method of manufacturing thereof |
TWI736780B (zh) | 2017-10-31 | 2021-08-21 | 台灣積體電路製造股份有限公司 | 晶片封裝及其形成方法 |
US11322449B2 (en) | 2017-10-31 | 2022-05-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Package with fan-out structures |
KR102061850B1 (ko) | 2018-02-26 | 2020-01-02 | 삼성전자주식회사 | 팬-아웃 반도체 패키지 |
KR102086361B1 (ko) * | 2018-06-04 | 2020-03-09 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 |
KR102138012B1 (ko) * | 2018-08-28 | 2020-07-27 | 삼성전자주식회사 | 팬-아웃 반도체 패키지 |
KR102513085B1 (ko) | 2018-11-20 | 2023-03-23 | 삼성전자주식회사 | 팬-아웃 반도체 패키지 |
US11251099B2 (en) * | 2019-07-31 | 2022-02-15 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Warpage control of packages using embedded core frame |
KR102609629B1 (ko) * | 2021-07-22 | 2023-12-04 | 한국전자기술연구원 | 고주파 전력 증폭기용 반도체 패키지, 그의 실장 구조 및 그의 제조 방법 |
US20230070053A1 (en) * | 2021-09-09 | 2023-03-09 | Applied Materials, Inc. | Stiffener frame for semiconductor device packages |
WO2023209861A1 (ja) * | 2022-04-27 | 2023-11-02 | 日本電信電話株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4028749B2 (ja) * | 2002-04-15 | 2007-12-26 | 日本特殊陶業株式会社 | 配線基板 |
JP2003347741A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-05 | Taiyo Yuden Co Ltd | 複合多層基板およびそれを用いたモジュール |
JP2004071698A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-03-04 | Hitachi Metals Ltd | 半導体パッケージ |
CN100508701C (zh) * | 2004-10-22 | 2009-07-01 | 株式会社村田制作所 | 复合多层基板及其制造方法 |
US7830004B2 (en) * | 2006-10-27 | 2010-11-09 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Packaging with base layers comprising alloy 42 |
TWI343110B (en) * | 2007-06-20 | 2011-06-01 | Unimicron Technology Corp | Process of embedded circuit board having a conductive hole |
JP4600443B2 (ja) * | 2007-07-09 | 2010-12-15 | 日本電気株式会社 | 半導体パッケージ及び積層型半導体パッケージ |
JP4862871B2 (ja) * | 2008-09-18 | 2012-01-25 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
JP5372579B2 (ja) * | 2009-04-10 | 2013-12-18 | 新光電気工業株式会社 | 半導体装置及びその製造方法、並びに電子装置 |
JP2011187830A (ja) * | 2010-03-10 | 2011-09-22 | Tdk Corp | 電子部品内蔵基板及びその製造方法 |
JP2011211099A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Tdk Corp | 電子部品内蔵基板及び電子部品内蔵基板の製造方法 |
JP2013211480A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Fujikura Ltd | 部品内蔵基板 |
US8901435B2 (en) * | 2012-08-14 | 2014-12-02 | Bridge Semiconductor Corporation | Hybrid wiring board with built-in stopper, interposer and build-up circuitry |
US9318411B2 (en) * | 2013-11-13 | 2016-04-19 | Brodge Semiconductor Corporation | Semiconductor package with package-on-package stacking capability and method of manufacturing the same |
-
2015
- 2015-10-13 KR KR1020150142626A patent/KR102021886B1/ko active IP Right Grant
-
2016
- 2016-05-12 JP JP2016096403A patent/JP6521529B2/ja active Active
- 2016-05-12 TW TW105114641A patent/TWI658545B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201709439A (zh) | 2017-03-01 |
JP2016219798A (ja) | 2016-12-22 |
TWI658545B (zh) | 2019-05-01 |
KR20160134435A (ko) | 2016-11-23 |
KR102021886B1 (ko) | 2019-09-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6521529B2 (ja) | 電子部品パッケージ及びパッケージオンパッケージ構造 | |
JP6494122B2 (ja) | ファン−アウト半導体パッケージ | |
KR102052900B1 (ko) | 팬-아웃 반도체 패키지 | |
US10388614B2 (en) | Fan-out semiconductor package and method of manufacturing same | |
TWI767890B (zh) | 扇出型半導體封裝及其製造方法 | |
US10109588B2 (en) | Electronic component package and package-on-package structure including the same | |
JP6478943B2 (ja) | ファンアウト半導体パッケージ及びその製造方法 | |
KR102012443B1 (ko) | 팬-아웃 반도체 패키지 | |
KR102065943B1 (ko) | 팬-아웃 반도체 패키지 및 그 제조 방법 | |
JP6497684B2 (ja) | ファン−アウト半導体パッケージ | |
JP6576383B2 (ja) | ファン−アウト半導体パッケージ | |
JP6561038B2 (ja) | ファン−アウト半導体パッケージ | |
US20170278812A1 (en) | Fan-out semiconductor package | |
KR102016491B1 (ko) | 팬-아웃 반도체 패키지 | |
KR102017635B1 (ko) | 팬-아웃 반도체 패키지 | |
JP2017220659A (ja) | ファン−アウト半導体パッケージ | |
KR101973426B1 (ko) | 전자부품 패키지 및 그 제조방법 | |
KR102003390B1 (ko) | 팬-아웃 반도체 패키지 | |
KR101973430B1 (ko) | 팬-아웃 반도체 패키지 | |
KR20200012393A (ko) | 팬-아웃 반도체 패키지 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170912 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180508 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190304 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190326 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190422 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6521529 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20190705 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |