JP6517477B2 - 高い輻射率、光反射率および耐熱性を有するアルカリ可溶型レジストインキ組成物 - Google Patents
高い輻射率、光反射率および耐熱性を有するアルカリ可溶型レジストインキ組成物 Download PDFInfo
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Landscapes
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Description
本発明のアルカリ可溶型レジストインキ組成物に使用する光硬化性樹脂は、ノボラック型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂およびビスフェノールA型エポキシ樹脂から選ばれた1種以上の化合物と不飽和カルボン酸との反応物を有機多塩基酸無水物と反応させることにより得られるものであれば特に限定されるものではないが、ノボラック型エポキシ樹脂と不飽和モノカルボン酸を反応させ、得られた生成物に有機多塩基酸無水物を反応させたものであることが好ましい。
エポキシ化合物は、2官能以上の多官能性エポキシ樹脂であればいずれでも使用可能であり、エポキシ当量は特に制限されないが、1000以下が好ましく、100〜500が特に好ましい。多官能性エポキシ樹脂としては、例えばフェノールノボラック型エポキシ樹脂(三菱化学社製:jER152、jER154、新日鉄住金化学社製:YDCN−638)、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学社製:YDCN−700−2、YDCN−700−3、YDCN−700−5、YDCN−700−7、YDCN−700−10、YDCN−704、YDCN−704A)などのノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学社製:jER828、jER1001、jER1002、jER1003、jER1004、jER1005)などのフェノール型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂などが挙げられ、これらを単独または混合して用いることもできる。
不飽和カルボン酸は、例えばアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、桂皮酸等を代表例とするエネルギー線に活性な不飽和結合を分子内に有するカルボン酸含有物であって、これらの1種または2種以上を用いることができる。
エポキシ化合物とアクリル酸および/またはメタクリル酸との反応は、溶媒を用いずに行ってもよいが、反応を円滑に行う観点から、不活性な有機溶媒中で行うことが好ましい。その際に用いることができる有機溶媒としては、例えばn−ヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの炭化水素系溶媒;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン系溶媒;酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル系溶媒;ジエチルエーテル、テトラヒドロフランなどのエーテル系溶媒;ジクロロメタン、クロロホルム、四塩化炭素、1,2−ジクロロエタンなどのハロゲン系溶媒などを挙げることができ、これらの1種または2種以上を用いることができる。
エポキシ化合物の一部のエポキシ基と、アクリル酸および/またはメタクリル酸との反応は触媒を用いずに行ってもよいが、反応速度を速くできることから、酸付加触媒を用いて行うことが好ましい。
また、エポキシ化合物にアクリル酸および/またはメタクリル酸を反応させるにあたり、重合禁止剤を添加してもまたは添加しなくてもよく、重合禁止剤を添加した場合は、反応により生成するエポキシ基含有(メタ)アクリレート化合物の重合を防ぐことができる。
有機多塩基酸無水物は、エポキシ化合物とアクリル酸および/またはメタクリル酸などのラジカル重合性不飽和モノカルボン酸との反応で生成された水酸基に反応し、樹脂に遊離のカルボキシル基を持たせるものである。使用する有機多塩基酸無水物は特に限定されるものでなく、飽和、不飽和のいずれも使用可能である。有機多塩基酸無水物としては、飽和多塩基酸の無水物、不飽和多塩基酸の無水物が挙げられ、例えば、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルテトラヒドロフタル酸、無水メチルヘキサヒドロフタル酸、無水マレイン酸、無水琥珀酸、無水イタコン酸などが挙げられ、これらの1種または2種以上用いることができる。
本発明のアルカリ可溶型レジストインキ組成物に使用する光重合開始剤としては、公知のものを使用することができ、例えば、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾフェノン、アセトフェノンなどを挙げることができる。これらの光重合開始剤は、粉末で使用してもよいし、溶液として使用してもよい。溶媒としては、酢酸エチル、酢酸メチル、メチルエチルケトン等が挙げられる。
本発明のアルカリ可溶型レジストインキ組成物に使用する希釈剤としては、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどのエステル系溶媒、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどのアルコール系溶媒、トルエンなどの芳香族系溶媒を使用することができる。
本発明のアルカリ可溶型レジストインキ組成物に使用するアクリル系共重合体からなる熱硬化性樹脂は、(メタ)アクリレートモノマーとカルボキシル基を有する(メタ)アクリレートモノマーとを共重合させることにより得ることができる。熱硬化性樹脂は、得られたレジスト膜の熱による黄変などの変色を抑制するために、光硬化性樹脂100重量部に対して35〜600重量部含まれていることが好ましい。
本発明に使用できる(メタ)アクリレートモノマーとしては、ベンジルメタクリレート、ベンジルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、フェノキシエチルアクリレート、フェノキシエチルメタクリレート、フェノキシポリエチレングリコールアクリレート、フェノキシポリエチレングリコールメタクリレート、スチレン、ノニルフェノキシポリエチレングリコールモノアクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコールモノメタクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレンモノアクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレンモノメタクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、2−アクリロイロキシエチルフタレート、2−アクリロイロキシエチル−2−ヒドロキシエチルフタレート、2−メタクリロイロキシエチル−2−ヒドロキシプロピルフタレート、メチルアクリレート、エチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、n−プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、i−プロピルアクリレート、i−プロピルメタクリレート、n−ブチルアクリレート、n−ブチルメタクリレート、i−ブチルアクリレート、i−ブチルメタクリレート、sec−ブチルアクリレート、sec−ブチルメタクリレート、tert−ブチルアクリレート、tert−ブチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシブチルアクリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリレート、3−ヒドロキシブチルアクリレート、3−ヒドロキシブチルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、3−エチルヘキシルアクリレート、エチレングリコールモノアクリレート、エチレングリコールモノメタクリレート、グリセロールアクリレート、グリセロールメタクリレート、グリセリンモノアクリレート、グリセリンモノメタクリレート、ジメチルアミノエチルアクリレート、ジメチルアミノエチルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレートなどを挙げることができる。なお、メタクリレート系共重合体は、必要に応じて単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
本発明に使用できるカルボキシル基を有する(メタ)アクリレートモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸の他、アクリル酸ダイマー、クロトン酸、ケイ皮酸、マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、多塩基酸とヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートとの反応生成物等を挙げることができる。
本発明に使用できる重合開始剤としては、2,2‘−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)、2,2’−アゾビス−(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)などのニトリル系アゾ化合物(ニトリル系アゾ系重合開始剤);ジメチル2,2’−アゾビス(2-メチルプロピオネート)、2,2’−アゾビス(2,4,4−トリメチルペンタン)などの非ニトリル系アゾ化合物(非ニトリル系アゾ系重合開始剤);t−ヘキシルペルオキシピバレート、tert−ブチルペルオキシピバレート、3,5,5−トリメチルヘキサノイルペルオキシド、オクタノイルペルオキシド、ラウロイルペルオキシド、ステアロイルペルオキシド、1,1,3,3−テトラメチルブチルペルオキシ2−エチルヘキサノエート、サクシニックペルオキシド、2,5−ジメチル−2,5−ジ(2−エチルヘキサノイルペルオキシ)ヘキサン、1−シクロヘキシル−1−メチルエチルペルオキシ2−エチルヘキサノエート、t−ヘキシルペルオキシ2−エチルヘキサノエート、4−メチルベンゾイルペルオキシド、ベンゾイルペルオキシド、1,1’−ビス−(tert−ブチルペルオキシ)シクロヘキサンなどの有機過酸化物(パーオキサイド系重合開始剤)及び過酸化水素などが挙げられる。
本発明に使用できる溶媒としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼンなどの芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどの酢酸エステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコールなどのアルコール類;オクタン、デカンなどの脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサなどの石油系溶剤が挙げられ、これらを単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。また重合した後、一塩基、二塩基、多塩基酸を反応させてもよい用いた場合、現像性を向上させることができる。
本発明のアルカリ可溶型レジストインキ組成物に使用する酸化チタン粒子は、酸化アルミニウムで被覆されているものであれば、硫酸法、塩素法によるものや、ルチル型、アナターゼ型の酸化チタン粒子を用いることができる。酸化アルミニウムで被覆されたこれらの酸化チタン粒子はレジストインキ組成物中での分散性、保存安定性に優れており、得られたレジスト膜の白色度を高め、レジスト膜に高い輻射率、光反射率を付与する。
本発明のアルカリ可溶型レジストインキ組成物に使用する含水珪酸マグネシウム粒子(タルク)は、特に限定されるものではなく、例えば富士チタン工業社製LMS−100、LMS−200、日本タルク社製P−3、MSG等を使用することができる。含水珪酸マグネシウム粒子(タルク)は、酸化チタン粒子の配合によって付与されたレジスト膜の輻射率、光反射率をさらに高めるために寄与する。
また上記組成物を混合したものをロールミル、ビーズミル、サンドミル等の分散を行うことで、均一に分散することがより好ましい。
(1)温度計、攪拌器、滴下ロート、および還流冷却器を備えたフラスコに、クレゾールノボラック樹脂(新日鉄住金化学社製YDCN−704、エポキシ当量=208g/eq)400gと、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルアセテートを232gとを加え、加熱溶解させた。続いて、これに重合禁止剤としてハイドロキノンを0.3g、反応触媒としてトリフェニルホスフィンを13g加えた。この混合物を60〜100℃に加熱し、アクリル酸140gを徐々に滴下し、酸価が5mgKOH/g以下となるまで、約10時間反応させた。この反応生成物を、60〜90℃にまで冷却した後、テトラヒドロ無水フタル酸を145g、プロピレングリコールモノメチルアセテートを235g加え、赤外吸光分析により、酸無水物の吸収ピーク(1770及び1850cm−1)が無くなるまで約4時間反応させ、プロピレングリコールモノメチルアセテート溶液からなる光硬化性樹脂を得た。得られたプロピレングリコールモノメチルアセテート溶液は、不揮発分が60重量%、固形物の酸価が70mgKOH/gであった。
平均一次粒子径が11μmの含水珪酸マグネシウム粒子(富士チタン工業社製LMP−100)を10.7重量部配合したこと以外は、実施例1と同じ成分を同じ量(重量部)配合することにより、実施例2のアルカリ可溶型レジストインキ組成物を得た。
上記(1)で得られた光硬化性樹脂を40重量部および(2)で得られた熱硬化性樹脂を240重量部配合したこと以外は、実施例1と同じ成分を同じ量(重量部)配合することにより、実施例4のアルカリ可溶型レジストインキ組成物を得た。
熱硬化触媒としてメラミンシアヌレート(日産化学工業社製MC−6000)を9重量部を用いたこと以外は、実施例1と同じ成分を同じ量(重量部)配合することにより、実施例4のアルカリ可溶型レジストインキ組成物を得た。
感光性モノマーとしてトリス−(2−アクリロキシルエチル)イソシアヌレートを50重量部用い、さらに酸化アルミニウムで被覆された酸化チタン粒子および含水珪酸マグネシウム粒子を配合しなかったこと以外は、実施例1と同じ成分を同じ量(重量部)配合することにより、比較例1のアルカリ可溶型レジストインキ組成物を得た。
樹脂成分として上記(1)で得られた光硬化性樹脂のみを200重量部配合したこと以外は、実施例1と同じ成分を同じ量(重量部)配合することにより、比較例2のアルカリ可溶型レジストインキ組成物を得た。
酸化アルミニウムで被覆された酸化チタン粒子を160重量部配合し、そして含水珪酸マグネシウム粒子を配合しなかったこと以外は、実施例1と同じ成分を同じ量(重量部)配合することにより、比較例3のアルカリ可溶型レジストインキ組成物を得た。
酸化珪素および酸化アルミニウムで被覆された酸化チタン粒子(堺化学工業社製R−650)を160重量部配合し、そして含水珪酸マグネシウム粒子を配合しなかったこと以外は、実施例1と同じ成分を同じ量(重量部)配合することにより、比較例4のアルカリ可溶型レジストインキ組成物を得た。
酸化珪素、酸化アルミニウムおよび酸化ジルコニウムで被覆された酸化チタン粒子(石原産業社製CR−57)を160重量部配合し、そして含水珪酸マグネシウム粒子を配合しなかったこと以外は、実施例1と同じ成分を同じ量(重量部)配合することにより、比較例5のアルカリ可溶型レジストインキ組成物を得た。
感光性モノマーを用いず、さらに樹脂成分として上記(2)で得られた熱硬化性樹脂のみを425重量部配合し、そして光重合開始剤を配合しなかったこと以外は、実施例1と同じ成分を同じ量(重量部)配合することにより、比較例6のアルカリ可溶型レジストインキ組成物を得た。
熱硬化触媒と熱硬化触媒を用いず、さらに樹脂成分として上記(1)で得られた光硬化性樹脂のみを242重量部配合したこと以外は、実施例1と同じ成分を同じ量(重量部)配合することにより、比較例7のアルカリ可溶型レジストインキ組成物を得た。
1.素材:銅+ガラスエポキシ、ガラスエポキシ(ELC-4970、住友ベークライト社製)
2.前処理:素材を#1000の研磨剤にて研磨後、10%塩酸にて酸処理を行い、水洗しエアー乾燥
3.塗装方法:スクリーン印刷(ポリエステル材100メッシュ)
4.ホールドタイム:5分
5.予備乾燥:80℃×30分
6.露光:600mJ/cm2(露光機、アングラフィック株式会社製ECS-4011GX、ランプ:メタルハイドロランプM64-L41 160W/cm)
7.ホールドタイム 5分
8.現像:液温30℃の1%炭酸ナトリウムを用いて、水圧0.25MPa・sの条件で90秒水洗
9.焼成 150℃×60分
10.その他
(1)比較例6のレジストインキ組成物については、上記条件1、2,3,4後に予備乾燥80℃×30分後に焼成150℃×60分にて試験片を作製した。
(2)比較例7のレジストインキ組成物については、上記条件1、2,3,45、6後に焼成150℃×60分にて試験片を作製した。
ポリエステル素材で作成されたマイラーフィルムを用いて、プレキュア後に室温まで冷却した後、貼り付けて露光した後、異常がないか確認を行った。
○:塗膜からフィルムを剥がした時、粘着感等の異常がない
△:塗膜からフィルムを剥がした時、若干の粘着感はあるが塗膜の剥がれ等の異常がない
×:塗膜からフィルムを剥がした時、粘着感があり塗膜の剥がれがある
ラインアンドスペース(L/S)で200/200、190/190、180/180、170/170、160/160、150/150、140/140、130/130、120/120、110/110、100/100、90/90、80/80、70/70、60/60、50/50、40/40、30/30、20/20μmのライン部が銀塩で遮光されたマイラーフィルムを用いて露光前に塗膜上に貼り付け露光し各工程を行い、レーザー顕微鏡(キーエンス社製 VK-9700)を用いて測定を行い評価した。
○:L/S 100/100μm以下まで現像できていた
△:L/S 100/100~150/150μmまで現像できていた
×:L/S 150/150~200/200μmまで現像できていた
ステップタブレット(STOUFFER式)を用いて、露光前に塗膜上に貼り付け露光し各工程を行い、現像された所までの数値を読み取り評価を行った。
JIS−K5400 8.5.2に準じて碁盤目状にクロスカットを入れ、次にセロハン粘着テープ(JISZ1522に規定したもの)によるテーピング剥離後の剥がれの状態を目視により確認した。その結果を次に示すように評価した。
○:100個のクロスカット部分のうちの全てに全く変化が見られない
△:100個のクロスカット部分のうち1〜10箇所に剥がれを生じた
×:100個のクロスカット部分のうち11〜100箇所に剥がれを生じた
JIS−K5400 8.4.2に準じて鉛筆硬度にて塗膜が破壊するまでの硬度を目視にて確認した。
塗膜面を上にして裁断機にてカットし、カット面をセロハン粘着テープ(JIS−Z1522に規定したもの)によるテーピング剥離後の剥がれを目視にて確認した。その結果を次に示すように評価した。
○:塗膜の剥がれが見られない
△:素材ガラスエポキシ+銅、ガラスエポキシのどちらかに塗膜の剥がれがみられる
×:両方の素材で剥がれがみられる
10%硫酸水溶液に試験片を30分浸漬した後、評価を行った。
○:塗膜に異常は見られない
△:塗膜に若干の異常が見られた
×:塗膜の剥がれが見られた
10%水酸化ナトリウムに試験片を30分浸漬した後、評価を行った。
○:塗膜に異常は見られない
△:塗膜に若干の異常が見られた
×:塗膜の剥がれが見られた
銅35μm+ポリイミドフィルム25μm+アルミ300μm順に積層した基板(宇部エクシモ社製 ユピセル)に上記試験作成条件を用いて試験片を作成し、JIS−K5600 5.1に準じてφ2mm、90°折り曲げ塗膜にクラック等の異常がないか目視にて確認した。
○:塗膜に異常は見られない
△:クラック等の異常はあるが、塗膜の剥がれがない見られない
×:塗膜の剥がれが見られた
試験片を10%塩酸にて酸処理を行い、水洗し乾燥を行ったものを水溶性プレフラックス(四国化成社製タフエースF2 液温40℃)に60秒浸漬して処理を行い、水洗し乾燥を行ったものをはんだ槽(ソルダーコートH63A−B20 液温260℃)に30秒浸漬し、塗膜に異常がないか目視にて確認した。
○:塗膜に異常は見られない
△:塗膜に若干の異常が見られた
×:塗膜の剥がれが見られた
無電解ニッケルメッキ浴で処理した後無電解金メッキ浴にて処理を行い、塗膜に異常がないか目視にて確認した。
○:塗膜に異常は見られない
△:塗膜に若干の異常が見られた
×:塗膜の剥がれが見られた
121℃の飽和水蒸気中に9時間放置して、塗膜に異常がないか目視にて確認した。
○:塗膜に異常は見られない
△:塗膜に若干の異常が見られた
×:塗膜の剥がれが見られた
くし型電極試験片(L/S=100/100μm=銅/ガラスエポキシ)を上記試験片作製条件を用いて作製し、恒温恒湿装置にて60℃、湿度90%中でDC24Vの電圧を印加して1000時間放置した後、絶縁抵抗値を測定し評価を行った。
○:絶縁抵抗値1010以上でイオンマイグレーションが見られなかった。
△:絶縁抵抗値1010以上であったが若干のイオンマイグレーションが見られた
×:絶縁抵抗値1010以下でイオンマイグレーションが見られた
色差計(コニカミノルタ株式会社製 CM−3600d)にて450〜700nmの反射率を測定し平均した数値を測定した。
125℃の熱風乾燥炉に試験片を入れ、1000時間加熱を行った後、密着性と反射率の評価を行い確認した。
放射計(京都電子工業株式会社製 D&S AERD)にて輻射率の測定を行い確認した。
Claims (6)
- ノボラック型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂およびビスフェノールA型エポキシ樹脂から選ばれた1種以上の化合物と不飽和カルボン酸との反応物を有機多塩基酸無水物と反応させることにより得られた光硬化性樹脂と、
光重合開始剤と、
希釈剤と、
アクリル系共重合体からなる熱硬化性樹脂と、
酸化アルミニウムで被覆された酸化チタン粒子と、そして
平均一次粒子径が2μm以上15μm以下である含水珪酸マグネシウム粒子(タルク)と、
を含んでいることを特徴とするアルカリ溶液可溶型レジストインキ組成物。 - 熱硬化性樹脂は、光硬化性樹脂100重量部に対して35〜600重量部含まれていることを特徴とする請求項1に記載のアルカリ溶液可溶型レジストインキ組成物。
- 前記酸化チタン粒子は、光硬化性樹脂と熱硬化性樹脂との総和100重量部に対して50〜70重量部含まれていることを特徴とする請求項1または2に記載のアルカリ溶液可溶型レジストインキ組成物。
- 前記酸化チタン粒子の平均一次粒子径は、0.20μm以上0.30μm以下であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のアルカリ溶液可溶型レジストインキ組成物。
- 前記酸化チタン粒子は、ルチル型であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のアルカリ溶液可溶型レジストインキ組成物。
- 前記含水珪酸マグネシウム粒子は、前記酸化チタン粒子100重量部に対して5〜10重量部含まれていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のアルカリ溶液可溶型レジストインキ組成物。
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