JP6508956B2 - 変調光源 - Google Patents

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Description

本発明は、変調光源に関するものである。
従来より、小型で消費電力の低い変調光源の開発が期待されている。このような変調光源では、シリコン細線光導波路を用いた微細なリング変調器の適用が検討されている。
図11は、リング変調器を用いた従来の変調光源の概略構成を示す模式図である。
この変調光源は、分布帰還型(DFB)レーザ101、リング変調器102、光パワーモニタ用PD103、波長コントローラ104、及びヒータ105を備えて構成される。
光パワーモニタ用PD103は、リング変調器102を通過した光のパワーを検知する。波長コントローラ104は、光パワーモニタ用PD103で検知された光パワーに基づいてレーザ光の波長の制御信号を出力する。ヒータ105は、波長コントローラ104の制御信号によりリング変調器102を加熱して波長を調節する。
変調光源では、DFBレーザ101が連続発振してレーザ光を出力し、このレーザ光がリング変調器102に導かれ、リング変調器102で透過率が変調される。
リング変調器102は、共振波長において透過率が最小となるローレンツ型形状の透過スペクトルを有しており、変調信号を電圧V0と電圧V1との間で変化させて共振波長を変える。これにより、透過率が変調され、強度変調がかかった出力光を得ることができる。
特開2008−228267号公報 特開2014−78918号公報
リング変調器102の共振波長は、作製誤差又は温度変化によるリング変調器102の周回光路長の変化により変動し、発振するレーザ光の波長と乖離が起こる。この乖離を補償すべく、図12に示すように、ヒータ105でリング変調器102を加熱してリング温度を上昇させ、共振波長の調節が行われる。
しかしながらこの場合、変調光源の信頼性の確保と波長調節機構・変調の電力効率の向上(ヒータ電力や変調電力の低減)との両立が困難となるという問題がある。その理由は以下の通りである。
図13(a)のように、リング変調器102のリング半径を小さくすれば、リング体積が小さくなり、温度変動時の波長ずれを補償するために必要なヒータ電力は減少する。また、変調器の駆動回路から見た負荷となる静電容量さ小さくなるため、変調電力も減少する。ところがその一方で、最大リング共振波長間隔(FSR)分だけ必要な初期波長ずれの補償を行うときに、FSRが大きくなることにより波長補償量が増加し、結果としてリング温度の上昇量が増大して信頼性の低下を来たす。
図13(b)のように、リング変調器102のリング半径を大きくすれば、FSRが小さくなり、波長補償量が減少してリング温度の上昇量が低減し、信頼性が確保される。ところがその一方で、リング体積が大きくなり、温度変動時の波長ずれを補償するために必要なヒータ電力が増加する上、変調電力も増大する。
更に、DFBレーザ101を用いることによる問題も無視できない。即ち、DFBレーザ101の電力効率を向上させるべく、回折格子の位相シフトを無くせば歩留りが低下する。その逆に、歩留りを向上させるべく位相シフトを挿入すれば電力効率が低下する。
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、変調光源の信頼性の確保と波長調節機構及び変調の電力効率の向上との双方の要請を満足し、DFBレーザ等を用いることによる問題も生じない優れた微細な変調光源を提供することを目的とする。
変調光源の一態様は、所定の波長間隔で複数のFabry-Perotモードで発振するFPレーザと、帯域透過特性が可変である変調フィルタと前記変調フィルタを通過した光を帰還させるDBRミラーと前記通過した光のパワーを検知する光パワーモニタと、前記光パワーモニタに基づき波長制御信号を出力する波長コントローラと、前記波長制御信号に基づいて、近傍の波長ピークが帯域透過特性に含まれるように前記変調フィルタを加熱するヒータとを有する
上記の態様によれば、変調光源の信頼性の確保と波長調節機構及び変調の電力効率の向上との双方の要請を満足し、DFBレーザ等を用いることによる問題も生じない優れた微細な変調光源が実現する。
第1の実施形態による変調光源の概略構成を示す模式図である。 共振波長が発振光波長と一致する場合における共振波長のスペクトルと発振光スペクトルとの関係を示す特性図である。 初期の波長ズレが補償される状況を示す特性図である。 変調された光が出力される状況を示す特性図である。 波長制御方法を説明するための特性図である。 ヒータにより波長ズレの補償を行う際の温度上昇の状況を示す特性図である。 ヒータにより波長ズレの補償を行う際の波長シフト量及び温度上昇量を示す表の図である。 変調された光が出力される状況を示す特性図である。 第2の実施形態による変調光源の概略構成を示す模式図である。 第3の実施形態による変調光源の概略構成を示す模式図である。 リング変調器を用いた従来の変調光源の概略構成を示す模式図である。 従来の変調光源により、共振波長の調節が行われる状況を示す特性図である。 従来の変調光源における問題点を説明するための模式図である。
以下、変調光源の好適な諸実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態による変調光源の概略構成を示す模式図である。
この変調光源は、Fabry-Perot(FP)レーザ1、変調フィルタであるリング変調器2、光反射機構である分布ブラッグ反射(DBR)ミラー3、光パワーの検知部である光パワーモニタ用フォトダイオード(PD)4、波長コントローラ5、及びヒータ6を備えて構成される。
FPレーザ1は、所定の波長間隔を持つ複数のFabry-Perot(FP)モードで発振するレーザである。このFPレーザ1は、例えばInGaAsPの半導体からなり、一端に反射(HR)膜1aが形成されている。他端は膜形成をしない劈開面のみ、或いは反射率を調整する膜が形成され、HR膜1aより低い反射率となっている。
リング変調器2は、帯域透過特性を有する変調フィルタであって、例えばシリコン細線で構成されている。リング状の光導波路中にP型ドーピング領域及びN型ドーピング領域を有しており、変調信号によりその強度に応じて共振波長を変調するための一対の変調電極2a,2bが配置されている。リング変調器2は、変調電極2a,2bからP型ドーピング領域とN型ドーピング領域との間に逆バイアス電圧又は順バイアス電圧を印加することにより、光導波路の屈折率を変化させ、共振波長を変調する。
リング変調器2は、例えばシリコン細線からなる2種類の光導波路11a,11bを有している。一方の光導波路11aは、その一端にDBRミラー3が配置され、他端に光パワーモニタ用PD4が配置されている。他方の光導波路11bは、その一端が光信号の出力ポートであり、他端がFPレーザ1に接続(バットジョイント接続)されている。
DBRミラー3は、回折格子で形成されており、リング変調器2を通過した光(複数のFPモードのうちの1つに対応する光)のみを光導波路11bの他端を通じてFPレーザ1に誘導放出の種光(シード光)として帰還(フィードバック)させるものである。
光パワーモニタ用PD4は、リング変調器2を通過した光のパワーを検知する。
波長コントローラ5は、光パワーモニタ用PD4で検知された光パワーに基づいてリング変調器の波長制御信号を出力する。なお、光パワーモニタ用PD4の設置位置は、図1の位置に限定されるものではなく、光導波路のどの位置にあっても良い。
ヒータ6は、波長コントローラ5の制御信号によりリング変調器2を所定温度に加熱し、波長を調節する。
光パワーモニタ用PD4、波長コントローラ5、及びヒータ6を備えて、リング変調器2の共振波長を調節する波長調節機構が構成される。波長調節機構は、リング変調器2の帯域透過特性により所定の発振波長で選択的に光発振するに際して、共振波長を特定の発振波長と一致するように調節する。
本実施形態による変調光源では、図2に示すように、FPレーザ1により、所定の波長間隔を持つ複数のFPモードでレーザ発振が起こる。帯域透過特性を有する変調フィルタであるリング変調器2は、例えば図2中矢印で示す透過スペクトルを有している。複数のFPモードに対応するレーザ発振光のうち、透過スペクトル内の成分がシード光として選択的にFPレーザ1にフィードバックされる。これにより、リング変調器2の共振波長付近のFPモードのみが選択的に発振を誘起され、単一縦モードで選択的に発振する。発振した光は、リング変調器2に変調信号を入力することで光導波路11bの出力ポートへの結合効率が変化して強度変調され、光導波路11bの出力ポートから出力される。
図3(a)に示すように、リング変調器2の透過ピーク(共振波長スペクトルの中心波長のピーク)は初期状態においては必ずしもFPモードの波長に一致せず、波長調整が必要である。ヒータ6によりリング変調器2の温度を上昇させることにより、リング変調器2の透過ピークを長波長側へシフトさせることが可能である。図3(b)に示すように、ヒータ6の駆動に伴い、透過ピークの波長がFPモードの1つの波長に近づくに従って、当該FPモードのパワーが選択的に増大する。図3(c)に示すように、透過ピークの波長が当該FPモードの波長に完全に一致する時点では、単一のFPモードの発振となる。以上のように、本実施形態においては、リング変調器2の透過ピークは、複数のFPモードうちのいずれか1つに一致させれば良く、透過ピークの調整量は最大でもFPモードの波長間隔と同程度である。
図4に示すように、リング変調器2の変調電極2a,2bに電圧V0と電圧V1との間で変化するデジタルの変調信号を印加することにより、共振波長に変調信号強度に応じた変調を生じさせることが可能である。これにより、発振光波長における出力ポートへの透過率Tを変調させることができる。この透過率変調により出力光のパワーPoutに変調電気信号に対応した変調を与えることが可能となる。
図5(a)に示すように、ヒータ6のパワーを増大させるとリング変調器2の共振波長が長波長側へシフトし、中心波長がFPレーザ1の発振波長と一致するところで透過率Tが極小となる。更にヒータ6のパワーを増大させると波長が離れてゆき、透過率Tが増大する。変調器の変調電極に電圧V0と電圧V1との間で変調した電圧が印加される場合、共振波長にもこの電圧信号に応じて変調がかかり、結果として透過率Tを示す曲線が左右にシフトする。透過率Tを時間平均すると、図5(a)中の「平均」で示す破線のように、電圧V0の実線の曲線と電圧V1の一点鎖線の曲線とを平均した曲線に近い曲線となる。リング変調器2の光導波路間の透過率は透過率Tを反転したものであるため、光パワーの時間平均PDERは図5(a)に示す二点鎖線の曲線のようになる。即ち光パワーPDERは、「平均」の透過率の曲線の極小点で極大となる単峰性の曲線を描く。
mon(時間平均したもの)は、図5(b)に示す破線のように、図5(a)のパワーの時間平均PDERに「平均」の透過率を乗じたものであるため、双峰性の曲線を描くことになる。この場合、Pmonの曲線において極大点となるのは、透過率Tが電圧V0(実線)と電圧V1(一点鎖線)との間の変調に伴って大きく変調される点である。即ち、変調速度よりも十分遅い光パワーで時間平均PDERをモニタしながら時間平均PDERが極大値となるようにヒータ6のパワーを制御することにより、リング変調器2の共振波長を変調に適した波長に調節することができる。
シリコン細線の光導波路を用いたリンク変調器2の場合には、リング半径rを5μm程度まで減少させることが可能であり、リング半径の減少に伴い、変調電力、ヒータ6の消費電力の低減を図ることができる。リング半径を5μmよりも小さくした場合、リンク変調器2の曲げ損失が問題となる。リング半径を限界の5μmとした場合、最大リング共振波長間隔(FSR)は約19nmとなる。そのため、従来技術では、図6(a)に示すように、最大で約19nmの波長ズレ補償が必要である。
これに対して本実施形態では、FPレーザ1の共振器長を約400μmとすることにより、FSRは約0.8nmとなる。この場合、図6(b)に示すように、波長ズレ補償は最大でも0.8nmとなる。シリコン細線の光導波路における波長温度係数0.07nm/Kを用いて温度に換算すれば、図7に示すように、従来技術では271℃の温度上昇を必要とする。これに対して、本実施形態では11.4℃の温度上昇で済むことになり、従来技術に対して信頼性を大幅に改善することができる。ヒータの消費電力も同様に、0.8nm/19nm×100≒4.2%程度まで低減する。
(実施例)
以下、本実施形態による変調光源の具体的な実施例について説明する。
本実施例では、FPレーザにはInGaAsPの半導体を用い、Si PICの反対側の端面には反射率98%程度のHRコートを施し、Si PIC側の端面は劈開により30%程度の端面反射率を実現する。FPレーザの共振器長は400μm程度であり、SOI基板上に作製したテラス上にフリップ実装し、SOI基板のSOI層を加工することにより作製したシリコン細線の光導波路にバットジョイントすることにより光結合を実現する。結合先のシリコン細線の光導波路には、半径5μm程度のリング変調器を設け、バットジョイント部分に連結される入出力導波路とは別にもう一つの入出力導波路を設け、その一端に反射率50%程度のDBRミラーを回折格子により形成する。他方の端には光パワーモニタ用PDを設け、出力を波長コントローラに導くことで、光パワーモニタ用PDへ導かれた光パワーに基づくリング変調器の波長制御を行う。リング変調器の波長シフトは、波長コントローラからヒータへ出力される電流により実現される。
図8に示すように、FPレーザの共振器長を400μm程度とすることで、FPモード間隔0.9nm程度を実現することが可能である。この場合、リング変調器のリング共振半値幅を0.2nm程度とすれば、複数のFPモードのうちの1つのみを選択的にシード光としてFPレーザに帰還させ、発振させることが可能となる。リング共振半値幅を0.2nm程度とすることにより、リング変調器の変調帯域を25GHz程度まで確保することができる。
以上説明したように、本実施形態によれば、変調光源の信頼性の確保と波長調節機構の電力効率の向上との双方の要請を満足し、DFBレーザ等を用いることによる問題も生じない優れた微細な変調光源が実現する。
(第2の実施形態)
次いで、第2の実施形態について説明する。本実施形態では、第1の実施形態と同様に変調光源を開示するが、多波長の変調光源である点で第1の実施形態と相違する。
図9は、第2の実施形態による変調光源の概略構成を示す模式図である。第1の実施形態に対応する構成部材等については図1と同じ符号を付し、詳しい説明を省略する。
この変調光源は、FPレーザ1及び複数の光変調ユニット211〜21N(N≧2)を備えて構成される。
光変調ユニット21k(1≦k≦N)は、変調フィルタであるリング変調器2k、光反射機構であるDBRミラー3、光パワーの検知部である光パワーモニタ用PD4、波長コントローラ5、及びヒータ6を備えて構成される。
リング変調器21〜2Nは、例えばシリコン細線からなるN本の光導波路22a1〜22aNと、1本の光導波路22bとを有している。各光導波路22a1〜22aNは、一端にそれぞれDBRミラー3が配置され、他端に光パワーモニタ用PD4がそれぞれ配置されている。光導波路22bは、その一端が光信号の出力ポートであり、他端がFPレーザ1に接続(バットジョイント接続)されている。
なお、光パワーモニタ用PD4の位置は、図9の位置に限定されるものではなく、光導波路のどの位置にあっても良い。
本実施形態による変調光源では、FPレーザ1により、所定の波長間隔を持つ複数のFPモードでレーザ発振が起こる。帯域透過特性を有するN個のリング変調器21〜2Nを配設する。リング変調器21〜2Nは、それぞれ異なる共振波長λ1,λ2,・・・,λNを持ち、共振波長λ1,λ2,・・・,λN付近にそれぞれ透過ピークを有する。そのため、リング変調器21〜2Nの各DBRミラー3により、共振波長λ1,λ2,・・・,λN付近の光についてのみ、FPレーザ1にシード光としてフィードバックをかけることができる。これにより、それぞれ共振波長λ1,λ2,・・・,λN付近の各FPモードを発振させると同時に強度変調を与えることが可能となる。この構成により、多波長の変調光源が実現する。
以上説明したように、本実施形態によれば、変調光源の信頼性の確保と波長調節機構及び変調の電力効率の向上との双方の要請を満足し、DFBレーザ等を用いることによる問題も生じない優れた微細な多波長の変調光源が実現する。
(第3の実施形態)
次いで、第3の実施形態について説明する。本実施形態では、第1の実施形態と同様に変調光源を開示するが、多波長の変調光源である点で第1の実施形態と相違する。
図10は、第3の実施形態による変調光源の概略構成を示す模式図である。第1の実施形態に対応する構成部材等については図1と同じ符号を付し、詳しい説明を省略する。
この変調光源は、FPレーザ31及び複数の光変調ユニット321〜32N(N≧2)を備えて構成される。
FPレーザ31は、例えばInGaAsPの半導体からなり、複数のゲイン導波路311〜31Nが隣接配置されており、一端に反射(HR)膜31aが形成されている。他端は膜がないか反射率を調整する膜が形成されており、HR膜31aより低い反射率となっている。ゲイン導波路311〜31Nは、それぞれ光変調ユニット321〜32Nに接続(バットジョイント接続)されている。
光変調ユニット32k(1≦k≦N)は、変調フィルタであるリング変調器2k、光パワーの検知部である光パワーモニタ用PD4、波長コントローラ5、及びヒータ6を備えて構成されている。光変調ユニット321〜32Nには、共通のDBRミラー3が設けられている。
なお、光パワーモニタ用PD4の位置は、図10の位置に限定されるものではなく、光導波路のどの位置にあっても良い。
リング変調器21〜2Nは、例えばシリコン細線からなる1本の光導波路33aと、N本の光導波路33b1〜33bNとを有している。光導波路33aは、その一端に共通のDBRミラー3が配置され、他端が光信号の出力ポートとされている。各光導波路33b1〜33bNは、一端がFPレーザ31のゲイン導波路311〜31Nに接続(バットジョイント接続)され、他端に光パワーモニタ用PD4がそれぞれ配置されている。
本実施形態による変調光源では、FPレーザ1のゲイン導波路311〜31Nにより、所定の波長間隔を持つ複数のFPモードでレーザ発振が起こる。FPレーザ1のゲイン導波路311〜31Nに対応するように、帯域透過特性を有するN個のリング変調器211〜21Nを配設する。リング変調器211〜21Nは、それぞれ異なる共振波長λ1,λ2,・・・,λNを持ち、共振波長λ1,λ2,・・・,λN付近にそれぞれ透過ピークを有する。そのため、DBRミラー3により、共振波長λ1,λ2,・・・,λN付近の光についてのみ、FPレーザ1のゲイン導波路311〜31Nにシード光としてフィードバックをかけることができる。即ち、共振波長λ1,λ2,・・・,λN毎に異なるFPレーザが用いられることになる。これにより、それぞれ共振波長λ1,λ2,・・・,λN付近の各FPモードを発振させると同時に強度変調をかけることが可能となる。本実施形態では、各共振波長λ1,λ2,・・・,λNごとに異なるゲイン導波路311〜31Nを用い、安定した発振状態で多波長の変調光源が実現する。
以上説明したように、本実施形態によれば、変調光源の信頼性の確保と波長調節機構及び変調の電力効率の向上との双方の要請を満足し、DFBレーザ等を用いることによる問題も生じない優れた微細な多波長の変調光源が実現する。
なお、上述した第1〜第3の実施形態では、帯域透過特性を有する変調フィルタとしてリング変調器を例示したが、これに限定されることなく、例えば単なる回折格子であってもよい。Cascaded Mach-Zehnder、Arrayed Waveguide Grating(AWG)、Echelle Gratingでも良く、リング変調器を複数結合することにより帯域透過特性をより急峻にしたものであっても良い。その他、透過波長を変調することのできる帯域透過特性を有する変調フィルタであれば、如何なる変調フィルタでも適用可能である。
また、光反射機構として回折格子で形成されたDBRミラーを例示したが、これに限定されることなく、帯域透過特性を有する変調フィルタの波長バラツキをカバーする程度の広い波長範囲で反射性を有するものであれば良い。例えば、ループミラー又は光導波路端面を用いた反射鏡、光導波路端面に金属膜又は誘電体多層膜を形成することにより反射を高めたものであっても良い。
また、波長調節機構の一部としてヒータを例示したが、これに限定されることなく、変調フィルタと同様にPN又はPIN接合に対して順方向に電流を流す、或いは逆バイアス電圧を印加する方式を採用しても良い。この場合、リング変調器を2分割し、その一方を変調信号によりその強度に応じて共振波長を変調する第1の変調電極を備えた強度変調領域、他方を波長変調の制御信号を入力する第2の変調電極を備えた波長調整領域として使用する。
1,31 FPレーザ
1a HR膜
2,21〜2N,102 リング変調器
2a,2b 変調電極
3 DBRミラー
4,103 光パワーモニタ用PD
5,104 波長コントローラ
6,105 ヒータ
11a,11b,22a1〜22aN,22b,33a,33b1〜33bN 光導波路
211〜21N,321〜32N 光変調ユニット
311〜31N ゲイン導波路
101 DFBレーザ

Claims (10)

  1. 所定の波長間隔で複数のFabry-Perotモードで発振するFPレーザと、
    帯域透過特性が可変である変調フィルタと
    前記変調フィルタを通過した光を帰還させるDBRミラーと
    前記通過した光のパワーを検知する光パワーモニタと、
    前記光パワーモニタに基づき波長制御信号を出力する波長コントローラと、
    前記波長制御信号に基づいて、近傍の波長ピークが帯域透過特性に含まれるように前記変調フィルタを加熱するヒータと
    を有することを特徴とする変調光源。
  2. 前記波長コントローラは、前記光パワーモニタで検知された光パワーに基づいて中心波長をFabry-Perotモードの発振波長と一致させる前記中心波長の調節量に対応した前記波長制御信号を出力することを特徴とする請求項に記載の変調光源。
  3. 前記波長コントローラは、前記光パワーモニタにおける光パワーが極大値となるように前記波長制御信号を出力することを特徴とする請求項に記載の変調光源。
  4. 前記変調フィルタは、変調信号によりその強度に応じて中心波長を変調する第1の変調電極を備えたリング変調器であることを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の変調光源。
  5. 前記変調フィルタは、変調信号によりその強度に応じて中心波長を変調する第1の変調電極と、前記波長制御信号を入力する第2の変調電極とを備えたリング変調器であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の変調光源。
  6. 前記変調フィルタは、2種類の光導波路を有しており、
    一方の前記光導波路は、前記変調フィルタに対応し、その一端に前記DBRミラーが配置されており、
    他方の前記光導波路は、その一端が出力ポートであり、他端が前記FPレーザに接続されていることを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の変調光源。
  7. 前記変調フィルタ、前記DBRミラー、前記光パワーモニタ、及び前記波長コントローラを備えた光変調ユニットを複数含み、
    複数の前記光変調ユニットは、
    前記各変調フィルタの中心波長が相異なる値とされていることを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の変調光源。
  8. 前記変調フィルタ、前記光パワーモニタ、及び前記波長コントローラを備えた光変調ユニットを複数含み、
    複数の前記光変調ユニットは、
    前記FPレーザが複数の光増幅導波路を備えており、
    前記各変調フィルタが前記各光増幅導波路に対応し、中心波長が相異なる値とされていることを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の変調光源。
  9. 前記DBRミラーは、複数の前記光変調ユニットに共通に設けられており、
    複数の特定の発振波長で選択的に光発振し、合波されて出力することを特徴とする請求項に記載の変調光源。
  10. 前記変調フィルタは、2種類の光導波路を有しており、
    一方の前記光導波路は、その一端に前記DBRミラーが配置され、他端が出力ポートであり、
    他方の前記光導波路は、前記各変調フィルタに対応し、一端が前記各光増幅導波路に接続されていることを特徴とする請求項又はに記載の変調光源。
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