JP6540097B2 - 波長可変レーザ装置 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 107
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 59
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 24
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 31
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 23
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 239000012792 core layer Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 5
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 5
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 3
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005699 Stark effect Effects 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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Description
発明の目的および利点は、請求の範囲に具体的に記載された構成要素および組み合わせによって実現され達成される。前述の一般的な説明および以下の詳細な説明は、典型例および説明のためのものであって、本発明を限定するためのものではない、と理解されるものである。
※RDBR=DBR反射率、Rfacet=低反射膜の反射率、G=線形の利得
(付記1)第1の半導体光増幅素子と、前記第1の半導体光増幅素子の2つの光入出力部のうち一方に光接続された波長可変フィルタと、前記第1の半導体光増幅素子の前記光入出力部のうち他方に光接続され、少なくとも前記波長可変フィルタの可変波長範囲の波長の光を反射するミラーと、前記ミラーの前記第1の半導体光増幅素子とは逆側に、2つの光入力部のうちの一方が光接続された第2の半導体光増幅素子と、前記第2の半導体光増幅素子と前記ミラーの間か、前記第2の半導体光増幅素子の前記ミラーとは逆側のいずれか一方に設けられた位相制御部と、前記第2の半導体光増幅素子の光出力端側に配置された低反射膜と、を有する波長可変レーザ装置。
(付記2)0(dB)<(前記ミラーの損失dB+前記低反射膜のミラー損失(dB)−((前記第2の半導体光増幅素子の利得(dB)×2))<34(dB)の関係にあることを特徴とする付記1に記載の波長可変レーザ装置。
(付記3)前記第2の半導体光増幅素子の前記利得、前記ミラーの反射率および前記低反射膜の反射率は、前記第2の半導体光増幅素子内を通る光の波長の変化に対する前記第2の半導体光増幅素子の前記利得の変動量が1dB以上となる条件に調整されることを特徴とする付記1又は付記2に記載の波長可変レーザ装置。
(付記4)前記低反射膜は1%以下の反射率を有することを特徴とする付記1乃至付記3のいずれか1つに記載の波長可変レーザ装置。
(付記5)前記ミラーと前記第1の半導体光増幅素子と前記波長可変フィルタ内のミラーからなるレーザ共振器の第1光路長に対して、前記ミラーと前記低反射膜までの第2光路長が半分以下であることを特徴とする付記1乃至付記4のいずれか1つに記載の波長可変レーザ装置。
(付記6)前記波長可変フィルタ内の前記ミラーはループミラーであることを特徴とする付記5に記載の波長可変レーザ装置。
(付記7)前記ミラーがDBRミラーかエッチドミラーであることを特徴とする付記1乃至付記6のいずれか1つに記載の波長可変レーザ装置。
(付記8)前記波長可変フィルタは、2つのリング共振器、2つのファブリペローエタロン、2つの抽出格子DBRミラー、2つの超格子構造DBRのいずれかを含むことを特徴とする付記1乃至付記7のいずれか1つに記載の波長可変レーザ装置。
(付記9)前記第1の半導体光増幅素子のうち前記波長可変フィルタに光接続する端には無反射膜が形成されていることを特徴とする付記8に記載の波長可変レーザ装置。
(付記10)前記低反射膜を通して前記第2の半導体光増幅素子からの光出力の少なくとも一部の強度をモニタする光検出素子と、前記位相制御部の位相を調整する位相制御電源と、前記光検出器の検出値に基づいて前記位相制御電源に位相調整用信号を送る制御部と、を有することを特徴とする付記1乃至付記9のいずれか1つに記載の波長可変レーザ装置。
(付記11)前記制御部は、前記光検出器の検出値が極大となる条件で前記位相制御部の導波路屈折率を調整する信号を位相制御電源に送ることを特徴とする付記10に記載の波長可変レーザ装置。
2 ビームスプリッタ
3 フォトダイオード
4 制御部
5 位相調整用電源
6a、6b 温度調整部
10 SOA集積素子
11 第1のSOA
12 DBRミラー
13 位相制御部
15 第2のSOA
19 低反射膜
20 波長可変フィルタ
21 Si基板
22、23 リング導波路
24〜26 光導波路
27 ループミラー
28、29 波長可変リング共振器
31、32 ファブリペローエタロン
33 ミラー
41、42 抽出格子DBRミラー
43 光カプラ
Claims (5)
- 第1の半導体光増幅素子と、
前記第1の半導体光増幅素子の2つの光入出力部のうち一方に光接続された波長可変フィルタと、
前記第1の半導体光増幅素子の前記2つの光入出力部のうち他方に光接続され、少なくとも前記波長可変フィルタの可変波長範囲の波長の光を反射するミラーと、
前記ミラーの前記第1半導体光増幅素子とは逆側に、2つの光入力部のうちの一方が光接続された第2の半導体光増幅素子と、
前記第2の半導体光増幅素子と前記ミラーの間か、前記第2の半導体光増幅素子の前記ミラーとは逆側のいずれか一方の光導波路に設けられた位相制御部と、
前記第2の半導体光増幅素子の前記2つの入出力部のうちの他方の光出力端側に配置された低反射膜と、
前記低反射膜を通して前記第2の半導体光増幅素子から出力される光出力の少なくとも一部の強度をモニタする光検出素子と、
前記位相制御部の位相を調整する位相制御電源と、
前記第2の半導体光増幅素子への電流を制御することにより前記第2の半導体光増幅素子が共振のない状態となるように利得を調整し、さらに前記光検出素子の検出値に基づいて前記位相制御電源から前記位相制御部への位相調整用信号を制御することにより、前記第2の半導体光増幅素子の前記光出力の強度を極大にして第2の半導体光増幅素子の利得変動の極大の波長を前記波長可変フィルタにより選択される光の波長と一致させ、前記低反射膜からの反射戻り光の位相を前記波長可変フィルタと前記ミラーにより形成されるレーザ共振器内の光の位相に合せるように制御する制御部と、
を有する波長可変レーザ装置。 - 0(dB)<(前記ミラーの損失dB+前記低反射膜のミラー損失(dB)−((前記第2の半導体光増幅素子の利得(dB)×2))<34(dB)の関係にあることを特徴とする請求項1に記載の波長可変レーザ装置。
- 前記低反射膜は、1%以下の反射率を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の波長可変レーザ装置。
- 前記ミラーと前記第1の半導体光増幅素子と前記波長可変フィルタ内のミラーからなるレーザ共振器の第1光路長に対して、前記ミラーと前記低反射膜までの第2光路長が半分以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の波長可変レーザ装置。
- 前記制御部は、前記光検出器の検出値が極大となる条件で前記位相制御部の導波路屈折率を調整する信号を位相制御電源に送ることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の波長可変レーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015038597A JP6540097B2 (ja) | 2015-02-27 | 2015-02-27 | 波長可変レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015038597A JP6540097B2 (ja) | 2015-02-27 | 2015-02-27 | 波長可変レーザ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016162828A JP2016162828A (ja) | 2016-09-05 |
JP6540097B2 true JP6540097B2 (ja) | 2019-07-10 |
Family
ID=56845355
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015038597A Expired - Fee Related JP6540097B2 (ja) | 2015-02-27 | 2015-02-27 | 波長可変レーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6540097B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102384230B1 (ko) | 2017-10-12 | 2022-04-07 | 삼성전자주식회사 | 가변 레이저 소자 |
JP7060395B2 (ja) | 2018-02-14 | 2022-04-26 | 古河電気工業株式会社 | 波長可変レーザ素子 |
JP2023109024A (ja) * | 2022-01-26 | 2023-08-07 | 古河電気工業株式会社 | 光モジュール |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010245122A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Nec Corp | 波長可変光源および狭線幅化方法 |
US8737446B2 (en) * | 2010-03-25 | 2014-05-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Semiconductor laser |
JP2013168500A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Mitsubishi Electric Corp | 光半導体装置 |
-
2015
- 2015-02-27 JP JP2015038597A patent/JP6540097B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016162828A (ja) | 2016-09-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171215 |
|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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