JP6482866B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
例えば、特許文献1には、シリコン基板の表面側のペレット分割予定境界線に従って有底の溝を形成する工程と、基板の裏面側を当該溝の底部が開口しペレットが形成されるまで研削する工程とを具備するペレットの製造方法が記載されている。特許文献1によれば、裏面研削後のシリコン基板の厚さが薄い場合に、基板の割れを防止できる旨が記載されている。特許文献1に記載された製造方法は、「先ダイシング法」または「DBG(Dicing Before Grinding)プロセス」と呼ばれる場合がある。
このような態様によれば、第一の面が第三の粘着シートにより保護された状態で、溝の形成を行っているため、切削屑による第一の面の汚染や破損を防止できる。
このような態様によれば、複数の半導体チップ単位に個片化することができる。
この態様によれば、第二の粘着シートを引き延ばすエキスパンド工程において、複数の半導体チップ同士の間隔を大きく拡げ易くなる。
この態様によれば、複数の半導体チップの整列状態を乱すことなく複数の半導体チップ間の間隔を大きく拡げたうえで、封止部材で複数の半導体チップを覆うことができる。しかも、この態様によれば、個片化された半導体チップを、1個ずつ第一の粘着シートから別の粘着シートや支持体にピック・アンド・プレイスによって再配列することなく、封止部材で覆うことができる。それゆえ、この態様によれば、WLPの製造プロセスの工程を簡略化することができる。
以下、本実施形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。
半導体ウエハWは、例えば、シリコン半導体ウエハであってもよいし、ガリウム・砒素などの化合物半導体ウエハであってもよい。回路面W1に回路W2を形成する方法としては、汎用されている方法が挙げられ、例えば、エッチング法、およびリフトオフ法などが挙げられる。
第三の基材フィルム31の材質は、特に限定されない。第三の基材フィルム31の材質としては、例えば、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリエステル樹脂(ポリエチレンテレフタレート等)、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、およびポリスチレン樹脂などが挙げられる。
図1(B)には、半導体ウエハWの回路面W1側から所定深さの溝を形成する工程(溝形成工程と称する場合がある。)を説明する図が示されている。
溝形成工程において、保護シート30側からダイシング装置のダイシングブレードなどを用いて半導体ウエハに切込みを入れる。その際、保護シート30を完全に切断し、かつ、半導体ウエハWの回路面W1から、半導体ウエハWの厚さよりも浅い深さの切込みを入れて、溝W5を形成する。溝W5は、半導体ウエハWの回路面W1に形成された複数の回路W2を区画するように形成される。溝W5の深さは、目的とする半導体チップの厚みよりもやや深い程度であれば、特に限定はされない。溝W5の形成時には、半導体ウエハWからの切削屑が発生する。本実施形態では、回路面W1が保護シート30により保護された状態で、溝W5の形成を行っているため、切削屑による回路面W1や回路W2の汚染や破損を防止できる。
図1(C)には、溝W5を形成した後、半導体ウエハWの第二の面としての裏面W6を研削する工程(研削工程と称する場合がある。)を説明する図が示されている。
本実施形態では、研削する前に、保護シート30側に、第一の粘着シート10を貼着する。第一の粘着シート10を貼着した後、グラインダー50を用いて、裏面W6側から半導体ウエハWを研削する。研削により、半導体ウエハWの厚みが薄くなり、最終的に複数の半導体チップCPへ分割される。溝W5の底部が除去されるまで裏面W6側から研削を行い、半導体ウエハWを回路W2ごとに個片化する。その後、必要に応じてさらに裏面研削を行い、所定厚さの半導体チップCPを得ることができる。本実施形態では、第三の面としての裏面W3が露出するまで研削する。
図1(D)には、分割された複数の半導体チップCPが保護シート30および第一の粘着シート10に保持された状態が示されている。
第一の基材フィルム11の材質は、特に限定されない。第一の基材フィルム11の材質としては、例えば、第三の基材フィルム31について例示した材質と同様の材質が挙げられる。
図2(A)には、研削工程の後、第二の粘着シート20を、複数の半導体チップCPに貼付する工程(貼付工程と称する場合がある。)を説明する図が示されている。
第二の粘着シート20は、半導体チップCPの裏面W3に貼着される。第二の粘着シート20は、第二の基材フィルム21と、第二の粘着剤層22とを有する。
第二の基材フィルム21の材質は、特に限定されない。第二の基材フィルム21の材質としては、例えば、第三の基材フィルム31について例示した材質と同様の材質が挙げられる。
図2(B)には、第二の粘着シート20を貼付した後に、第一の粘着シート10および保護シート30を剥離する工程(剥離工程と称する場合がある。)を説明する図が示されている。
本実施形態では、前述の通り、保護シート30には第一の粘着シート10が貼着されている。第一の粘着シート10を剥離する際に、切断された保護シート30を同伴して剥離する。保護シート30を剥離すると、複数の半導体チップCPの回路面W1が露出する。本実施形態では、図2(B)に示されているように、先ダイシング法によって分割された半導体チップCP間の距離をD1とする。距離D1としては、例えば、15μm以上110μm以下とすることが好ましい。
図2(C)には、複数の半導体チップCPを保持する第二の粘着シート20を引き延ばす工程(エキスパンド工程と称する場合がある。)を説明する図が示されている。
エキスパンド工程では、複数の半導体チップCP間の間隔をさらに拡げる。エキスパンド工程において第二の粘着シート20を引き延ばす方法は、特に限定されない。第二の粘着シート20を引き延ばす方法としては、例えば、環状または円状のエキスパンダを押し当てて第二の粘着シート20を引き延ばす方法や、把持部材などを用いて第二の粘着シートの外周部を掴んで引き延ばす方法などが挙げられる。
図3には、封止部材60を用いて複数の半導体チップCPを封止する工程(封止工程と称する場合がある。)を説明する図が示されている。
図3(A)には、エキスパンド工程の後に、第四の粘着シートとしての表面保護シート40を複数の半導体チップCPに貼付する工程を説明する図が示されている。
第二の粘着シート20を引き延ばして複数の半導体チップCP間の間隔を距離D2まで拡げた後、半導体チップCPの回路面W1に表面保護シート40を貼着する。表面保護シート40は、第四の基材フィルム41と、第四の粘着剤層42とを有する。表面保護シート40は、回路面W1を第四の粘着剤層42で覆うように貼着されることが好ましい。
第四の粘着剤層42は、第四の基材フィルム41に積層されている。第四の粘着剤層42に含まれる粘着剤は、特に限定されず広く適用できる。第四の粘着剤層42に含まれる粘着剤としては、例えば、第三の粘着剤層32について説明した粘着剤と同様の粘着剤が挙げられる。なお、粘着剤の種類は、用途や貼着される被着体の種類等を考慮して選択される。第四の粘着剤層42にも、エネルギー線重合性化合物が配合されていてもよい。
回路面W1を残して複数の半導体チップCPを、封止部材60によって覆うことにより封止体3が形成される。複数の半導体チップCPの間にも封止部材60が充填されている。本実施形態では、表面保護シート40により回路面W1および回路W2が覆われているので、封止部材60で回路面W1が覆われることを防止できる。
封止部材60で複数の半導体チップCPを覆う方法は、特に限定されない。例えば、金型内に、第四の表面保護シート40で回路面W1を覆ったまま複数の半導体チップCPを収容し、金型内に流動性の樹脂材料を注入し、樹脂材料を硬化させる方法を採用してもよい。また、シート状の封止樹脂を複数の半導体チップCPの裏面W3を覆うように載置し、封止樹脂を加熱することで、複数の半導体チップCPを封止樹脂に埋め込ませる方法を採用してもよい。封止部材60の材質としては、例えば、エポキシ樹脂などが挙げられる。封止部材60として用いられるエポキシ樹脂には、例えば、フェノール樹脂、エラストマ―、無機充填材、および硬化促進剤などが含まれていてもよい。
図4および図5には、複数の半導体チップCPを用いて半導体パッケージの製造工程を説明する図が示されている。本実施形態は、このような半導体パッケージの製造工程を含んでいることが好ましい。
図4(A)には、表面保護シート40を剥離した後の封止体3の断面図が示されている。本実施形態では、表面保護シート40が剥離された後の封止体3に再配線層を形成する再配線層形成工程をさらに含むことが好ましい。再配線層形成工程においては、露出した複数の半導体チップCPの回路W2と接続する再配線を、回路面W1の上および封止体3の面3Sの上に形成する。再配線の形成に当たっては、まず、絶縁層を封止体3に形成する。
図5(B)には、封止体3の外部電極パッド5Aに外部端子電極を接続させる工程を説明する断面図が示されている。第二の絶縁層62から露出する外部電極パッド5Aに、はんだボール等の外部端子電極7を載置し、はんだ接合などにより、外部端子電極7と外部電極パッド5Aとを電気的に接続させる。はんだボールの材質は、特に限定されず、例えば、含鉛はんだや無鉛はんだ等が挙げられる。
図5(C)には、外部端子電極7が接続された封止体3を個片化させる工程(第二のダイシング工程と称する場合がある。)を説明する断面図が示されている。この第二のダイシング工程では、封止体3を半導体チップCP単位で個片化する。封止体3を個片化させる方法は、特に限定されない。例えば、前述の半導体ウエハWをダイシングした方法と同様の方法を採用して、封止体3を個片化することができる。封止体3を個片化させる工程は、封止体3をダイシングシート等の粘着シートに貼着させて実施してもよい。
本実施形態では、個片化された半導体パッケージ1を、プリント配線基板等に実装する工程を含むことも好ましい。
第二実施形態は、第一実施形態における第一の粘着シート10を剥離する工程から再配線層形成工程までのプロセスに関して、第一実施形態と相違する。第二実施形態は、その他の点において第一実施形態と同様であるため、説明を省略または簡略化する。
本実施形態では、半導体チップCPの裏面W3に第二の粘着シート20を貼付した後、第一の粘着シート10だけを剥離する工程を含む。すなわち、第一実施形態では、第一の粘着シート10を剥離する際に、切断された保護シート30を同伴して剥離したのに対し、本実施形態では、保護シート30を半導体チップCPの回路面W1に残したまま第一の粘着シート10を剥離する。
第二の粘着シート20には、回路面W1が保護シート30に覆われた半導体チップCPが複数個、保持されている。本実施形態のエキスパンド工程では、このような状態で第二の粘着シート20を引き延ばして、複数の半導体チップCP間を距離D2まで拡げる。
第一実施形態では、回路面W1に表面保護シート40を貼着し、第二の粘着シート20を剥離し、封止部材60を用いて半導体チップCPを封止したのに対し、本実施形態では、すでに回路面W1に保護シート30が貼着されているので、表面保護シート40を貼着しなくてもよく、半導体チップCPの裏面W3に第二の粘着シートが貼着されたたまま封止できる。回路面W1を残して複数の半導体チップCPを封止部材60によって覆うことにより封止体3Aが形成される。封止体3Aの面3Sと半導体チップCPの回路面W1とが同一面であることが好ましい。
第三実施形態は、第一実施形態における第二のエキスパンド工程を実施するまでの工程に関して、第一実施形態と同様である。そのため、同様な点については、説明を省略または簡略化する。以下、第三実施形態のうち、第一実施形態との相違に係る点を説明する。
本発明は、上述の実施形態に何ら限定されない。本発明は、本発明の目的を達成できる範囲で、上述の実施形態を変形した態様などを含む。
Claims (3)
- 半導体ウエハの第一の面に第三の粘着シートを貼付する工程と、
前記第三の粘着シートを切断して前記第一の面に前記半導体ウエハの厚さよりも浅い切込み深さの溝を形成する工程と、
前記溝が形成された前記第一の面の切断された前記第三の粘着シートに第一の粘着シートを貼付する工程と、
前記第一の粘着シートが貼付された前記第一の面とは反対面である第二の面を研削して前記半導体ウエハの厚さを薄くし、前記半導体ウエハを複数の半導体チップに分割する工程と、
前記第二の面を研削して現れた前記複数の半導体チップの第三の面に第二の粘着シートを貼付する工程と、
前記第三の粘着シートを前記第一の面に残したまま前記第一の粘着シートを剥離する工程と、
前記第二の粘着シートを引き延ばして前記複数の半導体チップ同士の間隔を拡げる工程と、
前記複数の半導体チップ同士の間隔を拡げた後、前記第三の面に前記第二の粘着シートが貼着されたまま、かつ、前記第三の粘着シートが貼着された前記第一の面を残して、前記複数の半導体チップを封止部材で覆う工程と、を備える
半導体装置の製造方法。 - 前記第一の面には、複数の回路が形成されており、
前記溝は、前記回路を区画するように形成される、
請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第二の粘着シートは、前記第一の粘着シートよりも引張弾性率が小さい、
請求項1または請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
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