JP6482573B2 - 窒化物半導体発光素子 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係る窒化物半導体発光素子の断面図であり、図2に示すI−I線における断面図である。図2は、窒化物半導体発光素子1の平面図である。
基板3は、例えばサファイア基板のような絶縁性基板であっても良いし、例えばGaN基板、SiC基板またはZnO基板などのような導電性基板であっても良い。窒化物半導体層の成長時の基板3の厚さは、基板3の大きさにより異なるため一概に言えないが、直径が150mmの基板では例えば900μm以上1200μm以下であることが好ましい。また、窒化物半導体発光素子1における基板3の厚さは、例えば50μm以上300μm以下であることが好ましい。
バッファ層5は例えばAls0Gat0Ou0N1-u0(0≦s0≦1、0≦t0≦1、0≦u0≦1、s0+t0≠0)層であることが好ましく、より好ましくはAlN層またはAlON層である。バッファ層5の厚さは特に限定されないが、3nm以上100nm以下であることが好ましく、より好ましくは5nm以上50nm以下である。
下地層7は、例えばMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法によりバッファ層5の上面に形成される。下地層7は、例えば、一般式Alx1Iny1Ga1-x1-y1N(0≦x1<1、0≦y1≦1)で表される窒化物半導体からなることが好ましい。下地層7がバッファ層5中の転位などの結晶欠陥を引き継がないようにするためには、下地層7はIII族元素としてGaを含む窒化物半導体からなることが好ましい。
n型コンタクト層8は、一般式Alx2Iny2Ga1-x2-y2N(0≦x2≦1、0≦y2≦1)で表される窒化物半導体からなる層にn型不純物がドープされた層であることが好ましく、より好ましくは一般式Alx2Ga1-x2N(0≦x2<1、好ましくは0≦x2≦0.5、より好ましくは0≦x2≦0.1)で表される窒化物半導体からなる層にn型不純物がドープされた層である。
窒化物半導体発光素子1のうちn型コンタクト層8までの下部構造の厚さは非常に大きいので、n型コンタクト層8までの下部構造を一定の結晶性を担保しつつ出来るだけ短時間で成長させる必要がある。そのため、n型コンタクト層8までの下部構造の形成温度は、一般に、発光層14の形成温度よりも数百℃高い。n型バッファ層11は、n型コンタクト層8までの下部構造の成長から発光層14の成長へ移行するためのバッファ層としての役割を有し、n型バッファ層11の成長温度はn型コンタクト層8の成長温度よりも低く発光層14の成長温度よりも高い。n型バッファ層11のうちn型コンタクト層8に接する層は低温n型窒化物半導体層9である。n型コンタクト層8の成長温度から温度を下げて低温n型窒化物半導体層9を成長させることにより、低温n型窒化物半導体層9にはVピット20が発生し始める。したがって、低温n型窒化物半導体層9はVピット20発生層として機能する。なお、低温n型窒化物半導体層9の「低温」とは、成長温度がn型コンタクト層8の成長温度よりも低いことを意味している。
低温n型窒化物半導体層(Vピット発生層)9と発光層14との間には多層構造体10が設けられていることが好ましい。多層構造体10の主たる働きは、低温n型窒化物半導体層(Vピット発生層)9と発光層14とを離隔させ、発光層14の成長開始時の成長表面構造を出来る限り平坦で滑らかにし、さらには、Vピット20を一定以上の大きさに拡大することである。
発光層14には部分的にVピット20が形成されている。「発光層14には部分的にVピット20が形成されている」とは、発光層14の上面(p型窒化物半導体層16側に位置する発光層14の面)をAFMで観察したときにVピット20が発光層14の上面において黒い点状(発光層14においては逆六角錐状の穴)に観察されることを意味する(図3参照)。図3には、発光層14の上面をAFMで観察した結果を示す。
各井戸層の組成は、窒化物半導体発光素子1に求められる発光波長に合わせて調整されることが好ましい。例えば、井戸層は、AlcGadIn1-c-dN(0≦c<1、0<d≦1)層であることが好ましく、より好ましくはAlを含まないIneGa1-eN(0<e≦1)層である。波長が375nm以下の紫外光を発光させる場合には、発光層14の井戸層のバンドギャップエネルギーを大きくする必要があるので、各井戸層の組成はAlを含むことが好ましい。
各バリア層の厚さは、特に限定されないが、1nm以上10nm以下であることが好ましく、3nm以上7nm以下であることがより好ましい。各バリア層の厚さが薄いほど、窒化物半導体発光素子1の駆動電圧が低下する。しかし、各バリア層の厚さが極端に薄ければ、窒化物半導体発光素子1の発光効率の低下を引き起こすことがある。
中間層15は、発光層14とp型窒化物半導体層16との間に設けられ、p型不純物(例えばMg)がp型窒化物半導体層16から発光層14(特に井戸層)に拡散することを防止する役割を有する。p型不純物が井戸層に拡散すると、窒化物半導体発光素子1の発光効率の低下を招くことがある。そのため、発光層14とp型窒化物半導体層16との間に中間層15を設けることが好ましい。
図1には、窒化物半導体発光素子1がp型AlGaN層16とp型GaN層17と高濃度p型GaN層18との3層構造からなるp型窒化物半導体層を備えることが記載されている。しかし、図1に記載の構成はp型窒化物半導体層の構成の一例に過ぎない。p型窒化物半導体層16,17,18は、例えば、Als4Gat4Inu4N(0≦s4≦1、0≦t4≦1、0≦u4≦1、s4+t4+u4=1)層にp型不純物がドープされた層であることが好ましく、より好ましくはAls4Ga1-s4N(0<s4≦0.4、好ましくは0.1≦s4≦0.3)層にp型不純物がドープされた層である。
n側電極21及びp側電極25は、窒化物半導体発光素子1に駆動電力を供給するための電極である。n側電極21及びp側電極25は、それぞれ、パッド電極部と、パッド電極部に接続される枝電極部とを有することが好ましい(図2)。これにより、電流を拡散させることができる。しかし、n側電極21及びp側電極25のうちの少なくとも1つはパッド電極部のみで構成されていても良い。
今般、ESD不良率(スクリーニングによりESD耐性の良否を調べた結果、得られた不良率)が膜厚比Rに依存することが分かった。図4には、下地層7の厚さT1とn型コンタクト層8の厚さT2との合計が一定である場合における膜厚比RとESD不良率との関係(実験結果)を示す。図4の縦軸に示す「ESD不良率」は、膜厚比Rが1である場合のESD不良率に対する各膜厚比RでのESD不良率の割合を意味する。
基板3の上にバッファ層5を挟んで下地層7を成長させる過程において、大量の結晶欠陥が発生する。しかし、大量の結晶欠陥は、下地層7の成長が進むにつれて、また、n型コンタクト層8の成長により、徐々に減少する。
好ましくは、下地層7は一般式Alx1Iny1Ga1-x1-y1N(0≦x1<1、0≦y1≦1)で表される窒化物半導体からなり、n型コンタクト層8は一般式Alx2Iny2Ga1-x2-y2N(0≦x2<1、0≦y2≦1)で表される窒化物半導体からなる。これにより、発光層14と下地層7及びn型コンタクト層8との格子不整合が最小限に抑制されるので、発光層14の結晶性を高めることができる。また、耐環境性に優れ、安定した使用が可能な窒化物半導体発光素子1を提供できる。
例えば次に示す方法にしたがって窒化物半導体発光素子1を製造できる。
バッファ層5が形成された基板3を第1MOCVD装置に入れ、好ましくは800℃以上1250℃以下で、より好ましくは900℃以上1150℃以下で、下地層7を成長させる。これにより、結晶欠陥が少なく且つ結晶品質に優れた下地層7が形成される。
例えばMOCVD法などにより、好ましくは800℃以上1250℃以下で、より好ましくは900℃以上1150℃以下で、下地層7の上面にn型コンタクト層8を成長させる。これにより、結晶欠陥が少なく且つ結晶品質に優れたn型コンタクト層8を成長させることができる。
n型コンタクト層8の成長温度よりも低い温度で低温n型窒化物半導体層(Vピット発生層)9を成長させることが好ましい。具体的には、低温n型窒化物半導体層(Vピット発生層)の成長温度は、950℃以下であることが好ましく、より好ましくは700℃以上であり、更に好ましくは750℃以上である。低温n型窒化物半導体層(Vピット発生層)の成長温度が700℃以上であれば、発光層14での発光効率を高く維持できる。
低温n型窒化物半導体層(Vピット発生層)9の成長温度以下の温度で多層構造体10を成長させることが好ましい。これにより、Vピット20の大きさが大きくなるので、発光層14を貫通する転位の大部分がVピット20の内側に存在することとなり、よって、窒化物半導体発光素子1の発光効率が向上する。この効果を有効に得るためには、多層構造体10の成長温度は、600℃以上であることが好ましく、より好ましくは700℃以上である。
Vピット20の平面密度を低減させるためには、次に示すことが重要である。例えば、バッファ層5の材料として窒化アルミ系材料を用い、且つ、下地層7の成長初期(基板3の表面の凹凸を下地層7で埋め込む段階)において凸部3Aへの下地層7の成長を抑制しつつ下地層7を凹部3Bにファセット成長させることによって、転位が凸部3Aの中央に集中する。これにより、下地層7からn型コンタクト層8へ伸びる転位を減らすことができ、よって、Vピット20の平面密度が低減する。また、n型コンタクト層8で転位を増やさないように、n型コンタクト層8の成長条件を最適化する必要がある。更に、低温n型窒化物半導体層9及び多層構造体10のそれぞれの成長速度を0.5nm/分以上50nm/分以下程度に保ち、且つ、これらの不純物濃度を1×1017/cm3以上1×1019/cm3以下とすることにより、Vピット20の平面密度を1.5×108/cm2以下とすることができる。より好ましくは、低温n型窒化物半導体層9及び多層構造体10のそれぞれの成長速度を1.0nm/分以上15nm/分以下程度に保ち、且つ、これらの不純物濃度を1×1018/cm3以上1×1019/cm3以下とすることである。
図1に示す窒化物半導体発光素子1は、基板3の上に順に設けられた下地層7、n型コンタクト層8、発光層14及びp型窒化物半導体層16,17,18を少なくとも備える。下地層7の厚さに対するn型コンタクト層8の厚さの割合である膜厚比Rが0.8以下である。p型窒化物半導体層16,17,18側に位置する発光層14の面におけるVピットの数密度が1.5×108/cm2以下である。これにより、実使用温度での発光効率の向上及び温度特性の向上とESD耐性の向上とを相反させることなく実現できる。
[実施例1]
<窒化物半導体発光素子の製造>
まず、凸部と凹部とからなる凹凸形状が上面に形成されたサファイア基板(直径が150mm)を準備した。凸部は、図1に示す凸部3Aの断面形状を有し、そのため、高さの低い円錐状の先端部を有していた。凸部は平面視において略三角形の頂点となる位置に設けられ、隣り合う頂点間隔は2μmであった。サファイア基板の上面における凸部の形状は略円形であり、その円の直径は1.2μm程度であった。また、凸部の高さが0.6μm程度であった。凹部は、図1に示す凹部3Bの断面形状を有していた。
得られた窒化物半導体発光素子に対して、スクリーニングを行って(ヒューマンボディモデルで2KV相当のストレスを与えて)ESD耐性の良否を調べた。その結果、ESD不良率は5%以下であり、非常に優れたESD耐性を示した。
下地層の厚さT1(図1参照)を4.5μmとしn型コンタクト層の厚さT2(図1参照)を4.5μmとしたことを除いては実施例1に記載の方法にしたがって、窒化物半導体発光素子を製造した。本比較例では、膜厚比Rは1.0であった。
<窒化物半導体発光素子の製造>
多層構造体の構成が異なることを除いては実施例1に記載の方法にしたがって窒化物半導体発光素子を製造した。具体的には、SiドープGaNからなるワイドバンドギャップ層(厚さが11nm)とSiドープInGaNからなるナローバンドギャップ層(厚さが11nm)とを交互に5組、成長させた。多層構造体10を構成するいずれの層においてもn型不純物の濃度は6×10 18 /cm 3 であった。ナローバンドギャップ層の組成はいずれにおいてもInyGa1-yN(y=0.04)であった。
実施例1に記載の方法にしたがってESD不良率を調べたところ、ESD不良率は5%以下であり、非常に優れたESD耐性を示した。
下地層の厚さT1(図1参照)を4.5μmとしn型コンタクト層の厚さT2(図1参照)を4.5μmとしたことを除いては実施例2に記載の方法にしたがって、窒化物半導体発光素子を製造した。本比較例では、膜厚比Rは1.0であった。
次に示す点を除いては実施例1に記載の方法にしたがって窒化物半導体発光素子を製造した。即ち、下地層とn型コンタクト層とを第1MOCVD装置で成長した後、サファイア基板を第1MOCVD装置から取り出して第2MOCVD装置へ入れた。その後、第2MOCVD装置において、低温n型窒化物半導体層(Vピット発生層)、多層構造体、発光層、中間層、p型Al0.18Ga0.82N層、p型GaN層及びp型コンタクト層を順に成長させた。このようにして製造された窒化物半導体発光素子に対して実施例1に記載の方法にしたがって評価を行ったところ、実施例1と本実施例とでは窒化物半導体発光素子の特性に差異がないことが分かった。
<窒化物半導体発光素子の製造>
下地層の厚さT1(図1参照)を7μmとしn型コンタクト層の厚さT2(図1参照)を2μmとしたことを除いては実施例1に記載の方法にしたがって、窒化物半導体発光素子を製造した。本実施例では、膜厚比Rは0.29であった。
実施例1に記載の方法にしたがってESD不良率を調べたところ、ESD不良率は3%以下であり、実施例1〜3よりもさらに優れたESD耐性を示した。
Claims (9)
- 基板の上に順に設けられた下地層、n型コンタクト層、発光層及びp型窒化物半導体層を少なくとも備える窒化物半導体発光素子であって、
環境温度25℃に対して、環境温度80℃での発光効率が97%以上であり、
前記下地層と前記n型コンタクト層は接しており、
前記下地層の厚さに対する前記n型コンタクト層の厚さの割合である膜厚比Rが0.8以下であり、
前記p型窒化物半導体層側に位置する前記発光層の面にVピットを有し、その数密度が1.0×108/cm2未満であることを特徴とすると窒化物半導体発光素子。 - 前記膜厚比Rが0.6以下である請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記下地層の導電型不純物の濃度が1.0×1017/cm3以下である請求項1または2に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記下地層には導電型不純物が意図的にドープされていない請求項3に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記下地層は、一般式Alx1Iny1Ga1-x1-y1N(0≦x1<1、0≦y1≦1)で表される窒化物半導体からなり、
前記n型コンタクト層は、一般式Alx2Iny2Ga1-x2-y2N(0≦x2<1、0≦y2≦1)で表される窒化物半導体からなる請求項1〜4のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。 - 前記下地層と前記n型コンタクト層とは、導電型不純物の濃度が異なり、且つ、同一組成からなる請求項5に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記下地層及び前記n型コンタクト層のいずれもがGaNからなる請求項5または6に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記下地層及び前記n型コンタクト層のいずれもがAlGaNからなる請求項5または6に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記下地層の厚さが4.5μm以上である請求項1〜8のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
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