JP6456822B2 - 共重合体の製造方法 - Google Patents

共重合体の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6456822B2
JP6456822B2 JP2015522749A JP2015522749A JP6456822B2 JP 6456822 B2 JP6456822 B2 JP 6456822B2 JP 2015522749 A JP2015522749 A JP 2015522749A JP 2015522749 A JP2015522749 A JP 2015522749A JP 6456822 B2 JP6456822 B2 JP 6456822B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mass
copolymer
meth
monomer
hours
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2015522749A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2014199913A1 (ja
Inventor
明宏 山田
明宏 山田
原田 英治
英治 原田
高岡 利明
利明 高岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JSR Corp
NOF Corp
Original Assignee
JSR Corp
NOF Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JSR Corp, NOF Corp filed Critical JSR Corp
Publication of JPWO2014199913A1 publication Critical patent/JPWO2014199913A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6456822B2 publication Critical patent/JP6456822B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F220/00Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
    • C08F220/02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
    • C08F220/10Esters
    • C08F220/26Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen
    • C08F220/28Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen containing no aromatic rings in the alcohol moiety
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F212/00Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by an aromatic carbocyclic ring
    • C08F212/02Monomers containing only one unsaturated aliphatic radical
    • C08F212/04Monomers containing only one unsaturated aliphatic radical containing one ring
    • C08F212/06Hydrocarbons
    • C08F212/08Styrene

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Polymerization Catalysts (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)

Description

本発明は共重合体の製造方法に関し、詳細には、芳香族ビニル化合物由来の構造単位を多く含み、カルボキシ基およびエポキシ基を持つ共重合体を製造する方法に関する。
液晶表示素子等の電子材料分野などではパターン形成された膜が使用され、この膜の形成に使用されるレジスト材料の一つとして、光重合反応を利用した感放射線性樹脂組成物が開発されている。感放射線性樹脂組成物は、感度および解像度(以下、現像性ともいう。)に優れることが求められており、例えば特許文献1の感放射線性樹脂組成物が開発されている。
この感放射線性樹脂組成物に含有される共重合体は、カルボキシ基を持つ(メタ)アクリル酸由来の構造単位とエポキシ基を持つ(メタ)アクリル酸グリシジル由来の構造単位とを含むので、アルカリ現像液による現像性があり、形成された膜に耐性が得られる。さらに、この共重合体は、芳香族ビニル化合物由来の構造単位を含むので、感度および現像性に優れている。
しかし、芳香族ビニル化合物を多く含む単量体混合物を共重合させる場合、従来の重合開始剤(以下、単に開始剤ともいう。)を使用して重合反応させると、通常の重合条件では残存単量体が多くなり転化率が低くなるという問題があった。残存単量体を減らすためには、通常、開始剤量を増加させたり、反応温度を上げたり、反応時間を長くしたりする手法が採られる。しかし、それらの場合、単量体中のカルボキシ基とエポキシ基による副反応が起こり易くなり、多分散度(Mw/Mn)の高い共重合体となるので、現像性が悪くなるという問題があった。
すなわち、従来の技術では、残存単量体が少なく、転化率の高い重合反応を行なうことは困難であり、また多分散度の低い共重合体が得られていなかった。
特開2012−63626号公報
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであり、その目的は、芳香族ビニル化合物由来の構造単位を多く含み、カルボキシ基およびエポキシ基を持つ共重合体を製造する方法であって、残存単量体が少なく、転化率の高い重合反応を行なうことができ、また分散度の低い共重合体が得られる、共重合体の製造方法を提供することである。
本発明者らは、上記課題に鑑み鋭意検討した結果、芳香族ビニル化合物由来の構造単位を多く含み、カルボキシ基およびエポキシ基を持つ共重合体を製造する方法において、特定の開始剤を用いて重合反応をさせることにより、上記課題を解決しうることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち本発明は、(A)芳香族ビニル化合物の含有割合が30〜80質量%であり、(B)(メタ)アクリル酸グリシジルの含有割合が1〜30質量%であり、(C)(メタ)アクリル酸の含有割合が1〜40質量%である単量体混合物を(D)ビス(4−tert−ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカルボネートの存在下、かつ窒素雰囲気下で重合させる工程を有する、共重合体の製造方法である。
本発明の製造方法において開始剤として使用される(D)成分は、付加能力が高いので、未反応の単量体が残りやすい(A)芳香族ビニル化合物の重合反応を促進させることが可能となる。したがって、残存単量体が少なくなり反応効率を向上させることが可能となり、転化率の高い重合反応を行なうことができる。また重合温度を比較的低温にすることが可能であるので、カルボキシ基とエポキシ基との反応を抑制することができ、多分散度の低い共重合体を得ることができる。
本発明によれば、芳香族ビニル化合物由来の構造単位を多く含み、カルボキシ基およびエポキシ基を持つ共重合体を製造する方法において、残存単量体が少なく、転化率の高い重合反応を行なうことができ、また分散度の低い共重合体を得ることができる。したがって、本発明の製造方法により得られた共重合体を用いることにより、感度および現像性に優れた感放射線性樹脂組成物を得ることができる。
なお、本明細書において感放射線性樹脂組成物における放射線は、可視光線、紫外線、遠紫外線、X線、荷電粒子線等を包含する。
以下、本発明の実施形態を説明する。
本発明の共重合体の製造方法は、(A)芳香族ビニル化合物、(B)(メタ)アクリル酸グリシジル、および(C)(メタ)アクリル酸を少なくとも含み、さらに任意成分を含有しても良い単量体混合物を、開始剤である(D)ビス(4−tert−ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカルボネートの存在下で重合させる工程を有する。
まず、上記(A)〜(D)の各成分について説明する。
なお、本明細書において記号「〜」を用いて規定された数値範囲は「〜」の両端(上限および下限)の数値を含むものとする。例えば「2〜5」は2以上5以下を表す。
<(A)芳香族ビニル化合物>
(A)成分は芳香族ビニル化合物であり、芳香族ビニル化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン、p−メチルスチレン、m−メチルスチレン、o−メチルスチレン、p−エチルスチレン、m−エチルスチレン、o−エチルスチレン、t−ブチルスチレン、クロロスチレン、ヒドロキシスチレン、t−ブトキシスチレン、ビニルトルエン、ビニルナフタレンなどが挙げられ、その中でもスチレン、α−メチルスチレン、p−メチルスチレンおよびヒドロキシスチレンが好ましく、特にスチレンが好ましい。なお、(A)成分として2種以上の芳香族ビニル化合物を用いてもよい。
単量体混合物中における(A)成分の含有割合は、30〜80質量%である。好ましくは40〜75質量%であり、45〜70質量%がより好ましい。30質量%より少ない場合には、共重合体を感放射線性樹脂組成物に用いた際に解像度が低下するおそれがある。また80質量%より多い場合には、残存単量体が多くなると共に転化率が下がり、製造効率が低下するおそれがある。
<(B)(メタ)アクリル酸グリシジル>
(B)成分は(メタ)アクリル酸グリシジルであり、アクリル酸グリシジルおよびメタクリル酸グリシジルが挙げられ、工業的に容易に入手可能であることからメタクリル酸グリシジルが好ましい。なお、アクリル酸グリシジルおよびメタクリル酸グリシジルのうち一方または両方を用いることができる。
単量体混合物中における(B)成分の含有割合は、1〜30質量%であり、好ましくは5〜25質量%である。
<(C)(メタ)アクリル酸>
(C)成分は(メタ)アクリル酸であり、アクリル酸およびメタクリル酸が挙げられる。なお、アクリル酸およびメタクリル酸のうち一方または両方を用いることができる。
単量体混合物中における(C)成分の含有割合は、1〜40質量%であり、好ましくは5〜30質量%である。
<(D)ビス(4−tert−ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカルボネート>
本発明の製造方法で用いられる開始剤である(D)成分は、ビス(4−tert−ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカルボネートである。この開始剤は、付加能力が高く、低温活性であるので重合温度を比較的低温にすることが可能である。そのため、(A)芳香族ビニル化合物の重合反応を促進させ、また副反応を抑えて多分散度の低い共重合体が得られる。
(D)成分の使用量は、用いる単量体の組み合わせや、反応条件などに応じて適宜設定することができる。なお、開始剤の投入に際しては、全量を一括仕込みしてもよいし、一部を一括仕込みして残りを滴下などで徐々に添加してもよく、あるいは全量を徐々に添加してもよい。また、単量体とともに開始剤を徐々に添加すると、反応の制御が容易となるので好ましく、さらに残存単量体を低減するために単量体添加後にも開始剤を添加してもよい。
<その他の単量体>
本発明の製造方法で用いられる単量体混合物には、上記(A)〜(C)成分以外の他の単量体を1種または2種以上含んでいてもよく、その含有割合は、単量体混合物中において0〜20質量%である。
なお、上記(A)〜(C)成分および任意成分としての他の単量体から構成される単量体混合物の総量は100質量%である。
他の単量体としては、上記(A)〜(C)成分以外の単量体であり、かつ共重合が可能である単量体であれば特に限定されるものではないが、(メタ)アクリル酸エステル系単量体が好ましい。例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸ペンチル、(メタ)アクリル酸ヘキシル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ヘプチル、(メタ)アクリル酸オクチル、(メタ)アクリル酸−2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ノニル、(メタ)アクリル酸デシル、(メタ)アクリル酸ドデシル、(メタ)アクリル酸フェニル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸−2−メトキシエチル、(メタ)アクリル酸−3−メトキシブチル、(メタ)アクリル酸−2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル酸ステアリル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニル、(メタ)アクリル酸のエチレンオキサイド付加物などを挙げることができる。なお、(メタ)アクリル酸は、アクリル酸およびメタクリル酸を表す。
<重合反応>
上記単量体混合物を開始剤である(D)成分の存在下で重合させるに際しては、通常のラジカル重合を行う方法として知られている方法を採用することができ、例えば、溶液重合、乳化重合、懸濁重合などを採用することができる。例えば、溶液重合においては、単量体および開始剤を含有する溶液を、溶媒または単量体を含有する溶液に滴下して重合反応させる方法や、単量体を含有する溶液と開始剤を含有する溶液を各々別に、溶媒または単量体を含有する溶液に滴下して重合反応させる方法などを挙げることができる。また開始剤は固体のまま使用しても、溶媒と混合して使用しても良い。
重合反応時には、分子量調整のために、必要に応じて、通常用いられる連鎖移動剤を用いてもよい。
重合反応時には、単量体混合物、開始剤、必要に応じて連鎖移動剤の投入後、熟成を行うことが好ましい。熟成条件としては、開始剤を完全に分解することのできる重合温度、重合時間とするのが好ましい。
溶液重合による重合反応に用いられる溶媒としては、使用する単量体を溶解可能な溶剤であれば使用することができ、例えば、アルコール類、エーテル類、ケトン類、アミド類、エステル類を挙げることができる。これらの溶媒は、単独で使用することができ、また2種以上を混合した混合溶媒として使用することができる。
溶媒量としては、単量体混合物の総量100質量部に対して、例えば、100〜1,000質量部が好ましい。溶媒量がこの範囲のとき、重合体溶液が撹拌しやすく均一な溶液にできるとともに、分子量の調整も行いやすく、単量体が残存しにくい。
重合反応後の溶液は、そのまま感放射線性樹脂組成物の調製に使用しても良いし、共重合体を単離するために通常行なわれる操作、例えば再沈殿、溶剤除去などの操作を行って共重合体を単離した後、感放射線性樹脂組成物の調製に使用しても良い。
本発明の製造方法によれば、芳香族ビニル化合物由来の構造単位を多く含み、カルボキシ基およびエポキシ基を持つ共重合体の重合反応を高い転化率、例えば転化率80%以上で行なうことができる。
また、本発明の製造方法により、多分散度の低い共重合体、例えば、多分散度(Mw/Mn)が3以下の共重合体を得ることができる。
なお、共重合体の転化率は重合体溶液に含まれる単量体量をガスクロマトグラフ(GC)により分析して求めることができ、共重合体の多分散度(Mw/Mn)はゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)測定により求めることができる。Mwは重量平均分子量を、Mnは数平均分子量をそれぞれ表す。
以下、実施例および比較例を挙げて本発明をさらに詳細に説明する。なお、各種物性値、測定、および評価は以下の方法に従った。また、実施例および比較例において、質量部は単量体混合物の総量100質量部に対する質量部を表し、質量%は単量体混合物(総量100質量%)中における含有割合を表す。
(1)転化率
重合体溶液に含まれる単量体量を下記方法により定量し、転化率を算出した。
重合体溶液3gと内部標準物質のビフェニル0.01gをアセトン35gに溶解させ、分析試料を調製した。試料をガスクロマトグラフ(GC)により下記条件で分析し、内部標準法により定量した。
GC装置:(株)島津製作所製、GC−2014
検出器:FID
インジェクション温度:200℃
検出器温度:250℃
カラム温度:50℃10分保持、毎分10℃昇温、250℃10分保持
カラム:アジレント・テクノロジー(株)製、DB−17(内径0.25mm、長さ30m、膜厚0.25μm)
そして、原料の物質収支および残存単量体量から単量体の転化率(%)を算出した。
(2)重合体の重量平均分子量(Mw)、多分散度(Mw/Mn)
ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)測定により、下記条件で求めた。
GPC装置:東ソー(株)製、HLC−8220
カラム:昭和電工(株)製、Shodex KF−805L
溶媒:テトラヒドロフラン
標準物質:ポリスチレン
また実施例中の略号は以下のとおりである。
PGMEA:酢酸プロピレングリコールモノメチルエーテル
GMA:メタクリル酸グリシジル
MAA:メタクリル酸
EMA:メタクリル酸エチル
DCPMA:メタクリル酸ジシクロペンタニル
TCP:ビス(4−tert−ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカルボネート(商品名:パーロイルTCP、日油(株)製)
V−65:2,2’−アゾビス−(2,4−ジメチルバレロニトリル)(和光純薬工業(株)製)
MSD:α−メチルスチレンダイマー(商品名:ノフマーMSD、日油(株)製)
パーオクタND:1,1,3,3−テトラメチルブチル−パーオキシネオデカネート(日油(株)製:純度70%品)
(実施例1)
攪拌器、温度計、冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えた2リットルのセパラブルフラスコに、PGMEA637g(200質量部)を導入し、65℃に昇温後、スチレン191.1g(60質量%)、GMA63.7g(20質量%)、MAA63.7g(20質量%)を2時間かけて滴下した。並行して、TCP44.6g(14質量部)を2時間かけて分割投入した。滴下終了後2時間熟成させ、共重合体溶液を得た。重合反応は窒素雰囲気下で行なった。
得られた共重合体溶液を評価したところ、転化率は84.9%であった。また共重合体のMwは10,000であり、Mw/Mnは1.8であった。
(実施例2)
攪拌器、温度計、冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えた2リットルのセパラブルフラスコに、PGMEA654g(200質量部)を導入し、65℃に昇温後、スチレン196.1g(60質量%)、GMA65.4g(20質量%)、MAA65.4g(20質量%)を2時間かけて滴下した。並行して、TCP19.6g(6質量部)を2時間かけて分割投入した。滴下終了後2時間熟成させ、共重合体溶液を得た。重合反応は窒素雰囲気下で行なった。
得られた共重合体溶液を評価したところ、転化率は80.8%であった。また得られた共重合体のMwは50,000であり、Mw/Mnは2.5であった。
(実施例3)
攪拌器、温度計、冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えた2リットルのセパラブルフラスコに、PGMEA625g(200質量部)を導入し、65℃に昇温後、スチレン187.5g(60質量%)、GMA62.5g(20質量%)、MAA62.5g(20質量%)を2時間かけて滴下した。並行して、TCP62.5g(20質量部)を2時間かけて分割投入した。滴下終了後2時間熟成させ、共重合体溶液を得た。重合反応は窒素雰囲気下で行なった。
得られた共重合体溶液を評価したところ、転化率は86.6%であった。また得られた共重合体のMwは5,100であり、Mw/Mnは1.7であった。
(実施例4)
攪拌器、温度計、冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えた2リットルのセパラブルフラスコに、PGMEA637g(200質量部%)を導入し、65℃に昇温後、スチレン191.1g(60質量%)、GMA63.7g(20質量%)、MAA47.8g(15質量%)、EMA15.9g(5質量%)を2時間かけて滴下した。並行して、TCP44.6g(14質量部)を2時間かけて分割投入した。滴下終了後2時間熟成させ、共重合体溶液を得た。重合反応は窒素雰囲気下で行なった。
得られた共重合体溶液を評価したところ、転化率は85.2%であった。また得られた共重合体のMwは9,800であり、Mw/Mnは1.8であった。
(実施例5)
攪拌器、温度計、冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えた2リットルのセパラブルフラスコに、PGMEA637g(200質量部)を導入し、65℃に昇温後、スチレン191.1g(60質量%)、GMA63.7g(20質量%)、MAA47.8g(15質量%)、DCPMA15.9g(5質量%)を2時間かけて滴下した。並行して、TCP44.6g(14質量部)を2時間かけて分割投入した。滴下終了後2時間熟成させ、共重合体溶液を得た。重合反応は窒素雰囲気下で行なった。
得られた共重合体溶液を評価したところ、転化率は84.3%であった。また得られた共重合体のMwは9,800であり、Mw/Mnは1.8であった。
これら実施例で得られた共重合体溶液および共重合体を評価した結果を表1に示す。
Figure 0006456822
(比較例1)
攪拌器、温度計、冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えた2リットルのセパラブルフラスコに、PGMEA627g(193質量部)、MSD3.2g(1質量部)を導入し、70℃に昇温後、スチレン194.8g(60質量%)、GMA32.5g(10質量%)、MAA64.9g(20質量%)、EMA32.5g(10質量%)を2時間かけて滴下した。並行して、V−65の22.7g(7質量部)をPGMEA22g(7質量部)に溶解した開始剤溶液を2時間かけて滴下した。滴下終了後2時間熟成させ、共重合体溶液を得た。重合反応は窒素雰囲気下で行なった。
得られた共重合体溶液を評価したところ、転化率は68.0%であった。また得られた共重合体のMwは11,000であり、Mw/Mnは2.5であった。
(比較例2)
攪拌器、温度計、冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えた2リットルのセパラブルフラスコに、PGMEA622g(192質量部)、MSD3.2g(1質量部)を導入し、70℃に昇温後、スチレン194.2g(60質量%)、GMA32.4g(10質量%)、MAA64.7g(20質量%)、EMA32.4g(10質量%)を2時間かけて滴下した。並行して、V−65の25.9g(8質量部)をPGMEA22g(7質量部)に溶解した開始剤溶液を2時間かけて滴下した。終了後2時間熟成した後、さらに追加的にV−65の3.2g(1質量部)をPGMEA3g(1質量部)に溶解した開始剤溶液を滴下し、さらに2時間熟成して共重合体溶液を得た。重合反応は窒素雰囲気下で行なった。
得られた共重合体溶液を評価したところ、転化率は81.8%であった。また得られた共重合体のMwは25,000であり、Mw/Mnは3.5であった。
(比較例3)
攪拌器、温度計、冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えた2リットルのセパラブルフラスコに、PGMEA637g(200質量部)を導入し、65℃に昇温後、スチレン191.1g(60質量%)、GMA63.7g(20質量%)、MAA63.7g(20質量%)を2時間かけて滴下した。並行して、パーオクタND44.6g(14質量部)を2時間かけて滴下した。滴下終了後2時間熟成させ、共重合体溶液を得た。重合反応は窒素雰囲気下で行なった。
得られた共重合体溶液を評価したところ、転化率は72.7%であった。また得られた共重合体のMwは9,000であり、Mw/Mnは1.9であった。
これら比較例で得られた共重合体溶液および共重合体を評価した結果を表2に示す。
Figure 0006456822
表1に示される結果から、本発明の製造法に係る実施例によれば、残存単量体量が少なく、転化率が高い重合反応が行われており、多分散度の低い共重合体が効率よく得られていることが分かる。
一方、表2に示される結果から、本発明で用いられる開始剤以外の開始剤を用いた比較例1および3では、残存単量体が多く、重合反応の転化率が低くなることが分かる。また、開始剤を追加して二段階で重合反応を行なった場合(比較例2)、転化率は向上するものの、多分散度の高い共重合体が得られることが分かる。
本発明の製造方法により得られる共重合体は、芳香族ビニル化合物由来の構造単位を多く含み、また多分散度(Mw/Mn)が低いので、感放射線性樹脂組成物に含有される共重合体として用いることにより、感度および現像性に優れた感放射線性樹脂組成物を得ることができる。

Claims (1)

  1. (A)芳香族ビニル化合物の含有割合が30〜80質量%であり、(B)(メタ)アクリル酸グリシジルの含有割合が1〜30質量%であり、(C)(メタ)アクリル酸の含有割合が1〜40質量%である単量体混合物を(D)ビス(4−tert−ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカルボネートの存在下、かつ窒素雰囲気下で重合させる工程を有する、共重合体の製造方法。
JP2015522749A 2013-06-11 2014-06-06 共重合体の製造方法 Active JP6456822B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013123252 2013-06-11
JP2013123252 2013-06-11
PCT/JP2014/065069 WO2014199913A1 (ja) 2013-06-11 2014-06-06 共重合体の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2014199913A1 JPWO2014199913A1 (ja) 2017-02-23
JP6456822B2 true JP6456822B2 (ja) 2019-01-23

Family

ID=52022209

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015522749A Active JP6456822B2 (ja) 2013-06-11 2014-06-06 共重合体の製造方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6456822B2 (ja)
KR (1) KR102174140B1 (ja)
CN (1) CN105246926B (ja)
WO (1) WO2014199913A1 (ja)

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2580901A (en) * 1948-06-19 1952-01-01 American Cyanamid Co Copolymer of styrene, glycidyl acrylate, and glycidyl methacrylate
JPS5672009A (en) * 1979-11-09 1981-06-16 Exxon Research Engineering Co Graft vulcanization of elestomer having adsorptive monomer
FR2606775B1 (fr) * 1986-11-14 1989-07-07 Charbonnages Ste Chimique Copolymeres (meth)acryliques autoreticulables a basses temperatures
JPH0770242A (ja) * 1993-09-06 1995-03-14 Daicel Chem Ind Ltd 側鎖にアリル基を有するビニル共重合体およびその製造方法
UA60351C2 (uk) * 1997-11-21 2003-10-15 Акцо Нобель Н.В. Спосіб модифікації поліпропілену
JP3941692B2 (ja) * 2001-03-15 2007-07-04 東亞合成株式会社 共重合体の製造方法
JP2003057821A (ja) * 2001-08-13 2003-02-28 Showa Highpolymer Co Ltd 感光性樹脂および感光性樹脂組成物
JP5320760B2 (ja) * 2007-07-27 2013-10-23 三菱化学株式会社 カラーフィルタ用着色組成物、カラーフィルタ、及び液晶表示装置
US8378044B2 (en) * 2008-05-09 2013-02-19 Kyoto University Living radical polymerization method using alcohol as catalyst
DE102008059050A1 (de) * 2008-11-26 2010-05-27 Tesa Se Thermisch vernetzende Polyacrylate und Verfahren zu deren Herstellung
EP2456792B1 (en) * 2009-07-21 2014-03-12 BASF Corporation Process for the production of condensation polymers via in-reactor chain extension and products thereof
JP5636839B2 (ja) * 2010-09-16 2014-12-10 Jsr株式会社 感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜、層間絶縁膜の形成方法及び表示素子
CN102675538B (zh) * 2012-05-23 2014-07-30 江苏明月光电科技有限公司 用于制备高透光率高耐候性光学镜片材料的组合物

Also Published As

Publication number Publication date
WO2014199913A1 (ja) 2014-12-18
JPWO2014199913A1 (ja) 2017-02-23
KR102174140B1 (ko) 2020-11-04
KR20160018773A (ko) 2016-02-17
CN105246926B (zh) 2018-04-03
CN105246926A (zh) 2016-01-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Becer et al. Libraries of methacrylic acid and oligo (ethylene glycol) methacrylate copolymers with LCST behavior
TW201114782A (en) Method for producing polymer, polymer for lithography, composition for resist and method for producing substrate
TWI458744B (zh) Novel polymer
US20190330427A1 (en) Emulsion particle, emulsion comprising same, method for manufacturing emulsion
WO2015163321A1 (ja) ブロックポリマ
JPWO2016132723A1 (ja) 重合体およびポジ型レジスト組成物
JP6604333B2 (ja) 共重合体の製造方法
JP6456822B2 (ja) 共重合体の製造方法
CN114456071A (zh) 一种自监测型丙烯酸酯及其制备方法和应用
JP2021191857A (ja) フォトレジスト樹脂の製造方法
JP2018102159A (ja) バイオチップ用感光性組成物及びバイオチップの製造方法
JPH0532733A (ja) 塗料用ワニスの製造方法
JP2019023319A (ja) ブロックポリマ及びその製造方法
JP2015214614A (ja) ブロックポリマ及びその製造方法
KR100594396B1 (ko) 액정표시패널의 상, 하판 사이에 스페이서용으로 사용되는감광성 수지 조성물
JP7318570B2 (ja) レジスト用樹脂組成物および感光性樹脂組成物
JP7004216B2 (ja) オーバーコート材またはレジスト樹脂用共重合体
JP6484927B2 (ja) ブロックポリマ及びその製造方法
JP6783605B2 (ja) 樹脂組成物
JP2004018791A (ja) アクリル共重合体の製造方法
US9291895B2 (en) Binder composition and processes for the preparation thereof
JP2016204633A (ja) フォトレジスト用樹脂、フォトレジスト樹脂の製造方法、フォトレジスト用樹脂組成物、及びパターン形成方法
JP2024109155A (ja) アルカリ現像性ポリマー及びアルカリ現像性ポリマー組成物
JPWO2020149387A1 (ja) 架橋性ブロック共重合体及びその製造方法並びに伸縮性部材
JP2019023320A (ja) ブロックポリマ及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170410

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180605

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181211

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181219

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6456822

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150