JP6456298B2 - アーク消弧方法及び電力変換器を備えた電力供給システム - Google Patents
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Description
a.プラズマチャンバ内でプラズマを発生させ、発生させたプラズマを利用してプラズマ加工処理プロセスを実施するために、プラズマ動作中、プラズマ動作電力を発生させるステップと、
b.アーク発生に関してプラズマシステムを監視するステップと、
c.ステップbにおいてアークが検出されたときには、
i.プラズマ動作電力よりも小さいアーク消弧電力を発生させて、アーク消弧動作中、プラズマチャンバへアーク消弧電力を供給するステップと
が含まれている。
a.プラズマチャンバ内でプラズマを発生させ、発生させたプラズマを利用してプラズマ加工処理プロセスを実施するために、プラズマ動作中、プラズマ動作電力を発生させるステップと、
b.アーク発生に関してプラズマシステムを監視するステップと、
c.ステップbにおいてアークが検出された場合、
i.プラズマ動作電力よりも小さいアーク消弧電力を発生させて、アーク消弧動作中、プラズマチャンバへアーク消弧電力を供給し、ディジタル/アナログ変換器(DAC)を、アーク発生に関するプラズマシステムの監視に応じて制御し、ディジタル/アナログ変換器のアナログ出力信号を、後段に設けられた増幅器経路において増幅して、プラズマ電力又はアーク消弧電力の少なくとも一部分を形成することにより、プラズマ動作電力及びアーク消弧電力を少なくとも部分的に発生させるステップ。
a.プラズマチャンバ内でプラズマを発生させ、発生させたプラズマを利用してプラズマ加工処理プロセスを実施するために、ディジタル/アナログ変換器によりアナログ信号を発生させ、このアナログ信号を増幅器経路へ供給し、そこにおいて増幅することによって、プラズマ動作中、電力を発生させるステップと、
b.アーク検出部により、アーク発生に関してプラズマシステムを監視するステップと、
c.ステップbにおいてアークが検出されたときには、
ディジタル/アナログ変換器のアナログ出力信号が変化するように、アーク検出部によりディジタル/アナログ変換器を制御するステップ。
・アナログ信号波形を形成するための信号データ値が格納されている信号データメモリ、
・アナログ信号の振幅を制御するための振幅データ値が格納されている振幅データメモリ、
・信号データ値を振幅データ値と乗算するための乗算器、
のうち1つ又は複数のユニットを備えることができる。
このようにすれば、アーク検出に対し極めて迅速に応答することができる。
・アナログ信号波形を形成するための信号データ値が格納されている信号データメモリ、
・アナログ信号の振幅を制御するための振幅データ値が格納されている振幅データメモリ、
・信号データ値を振幅データ値と乗算するための乗算器、
のうち1つ又は複数のユニットを備えることができる。
このようにすれば、アーク検出に対し著しく高速に応答することができ、それにもかかわらず、個々の増幅器経路を引き続き同期させて動作させることができる。これらのユニットを1つのDDSとして統合することができる。
1.アナログ波形を形成するための信号データ値が格納されている信号データメモリ61、
2.アナログ信号の振幅を制御するための振幅データ値が格納されている振幅データメモリ62、
3.信号データ値と振幅データ値とを乗算するための乗算器63、
4.予め定められたタイミングで信号データ値を信号データメモリ61から読み出して乗算器へ供給するために用いられるカウンタ64、
を有する。
Claims (18)
- プラズマシステム(1)におけるプラズマチャンバ(6)内のアークを消弧するためのアーク消弧方法であって、
a.前記プラズマチャンバ(6)内でプラズマを発生させ、発生させたプラズマを利用してプラズマ加工処理プロセスを実施するために、少なくとも1つのディジタル/アナログ変換器(41)によりアナログ信号を発生させ、該アナログ信号を増幅器経路(31,32)へ供給し、該増幅器経路(31,32)において増幅することによって、プラズマ動作中、電力を発生させるステップと、
b.アーク検出部により、アーク発生に関して前記プラズマシステム(1)を監視するステップと、
c.前記ステップbにおいてアークが検出されたときには、
前記少なくとも1つのディジタル/アナログ変換器(41)のアナログ出力信号が変化するように、前記アーク検出部により前記少なくとも1つのディジタル/アナログ変換器(41)を制御するステップと、
を含み、
前記ステップcにおいて、プラズマ動作電力よりも小さいアーク消弧電力を発生させて、アーク消弧動作中、前記プラズマチャンバ(6)へ該アーク消弧電力を供給し、
複数の前記ディジタル/アナログ変換器(41)を、アーク発生に関する前記プラズマシステムの監視に応じて制御し、前記ディジタル/アナログ変換器(41)の個々のアナログ出力信号を、後段に設けられた増幅器経路(31〜36)においてそれぞれ増幅して、前記プラズマ動作電力又は前記アーク消弧電力の一部分を形成し、これらの前記プラズマ動作電力又は前記アーク消弧電力の一部分を合成して、前記プラズマ動作電力又は前記アーク消弧電力の総電力を形成する、
アーク消弧方法。 - 前記少なくとも1つのディジタル/アナログ変換器(41)には、基準信号入力端子(44)が設けられており、前記基準信号入力端子(44)から前記少なくとも1つのディジタル/アナログ変換器(41)に基準信号が供給され、当該基準信号によって、前記アナログ出力信号が変化する、
請求項1に記載のアーク消弧方法。 - 前記アーク検出部はアーク管理回路(60)を制御し、該アーク管理回路(60)はさらに、前記少なくとも1つのディジタル/アナログ変換器(41)を直接、又は間接的に制御する、
請求項1又は2に記載のアーク消弧方法。 - プラズマに供給される電力Pi、及び/又は、プラズマから反射される電力Pr、及び/又は、プラズマに流れる電流、及び/又は、プラズマに加わる電圧、に関連する信号を捕捉し、該信号からアーク検出信号を形成することによって、アーク発生に関して前記プラズマシステム(1)の監視を行う、
請求項1から3のいずれか1項に記載のアーク消弧方法。 - 捕捉された前記信号を、アナログ/ディジタル変換器(59)によりディジタル値に変換し、該ディジタル値をロジック回路(53)又はプログラミング可能なロジックデバイス(PLD)へ供給し、前記ロジック回路(53)又はプログラミング可能なロジックデバイスは、前記ディジタル値を評価して前記アーク検出信号を形成する、
請求項4に記載のアーク消弧方法。 - 高周波電力を、1MHzよりも高い周波数で発生させ、前記少なくとも1つのディジタル/アナログ変換器(41)が前記周波数の信号を発生するように、前記少なくとも1つのディジタル/アナログ変換器(41)を制御することによって、前記電力を発生させる、
請求項5に記載のアーク消弧方法。 - 前記捕捉された信号を、前記アナログ/ディジタル変換器(59)によって、1MHzよりも高い周波数でサンプリングし、前記プログラミング可能なロジックデバイスを、1MHzよりも高い周波数のクロック信号によってクロック制御する、
請求項6に記載のアーク消弧方法。 - 前記アナログ/ディジタル変換器(59)及び前記プログラミング可能なロジックデバイスへ、同じクロック信号を供給する、
請求項6に記載のアーク消弧方法。 - 少なくとも2つのディジタル/アナログ変換器(41)からのアナログ出力信号を、それぞれ後段に設けられた前記増幅器経路(31〜36)において、それぞれ異なる大きさで増幅する、又はそれぞれ異なる通過時間で前記増幅器経路(31〜36)を通過させる、
請求項1から8のいずれか1項に記載のアーク消弧方法。 - 前記少なくとも1つの増幅器経路(31〜36)へ、ディジタル/アナログ変換器(41)によりディジタル信号から形成されたアナログ信号を供給し、該アナログ信号を前記増幅器経路において増幅して高周波電力信号を形成し、
信号データメモリ(61)に格納されている信号データ値を、振幅データメモリ(62)に格納されている振幅データ値と乗算することによって、前記ディジタル信号を形成する、
請求項9に記載のアーク消弧方法。 - 前記プラズマ動作電力の発生から前記アーク消弧電力の発生に切り替えるために、前記振幅データメモリ(62)に格納されている振幅データ値を変更する、
請求項10に記載のアーク消弧方法。 - 少なくとも1つのディジタル/アナログ変換器(41)へ、前記プラズマ動作中及び前記アーク消弧動作中、複数のディジタル値から成る同一のシーケンスを供給する、
請求項11に記載のアーク消弧方法。 - 前記プラズマ動作中、少なくとも1つのディジタル/アナログ変換器(41)から、前記アーク消弧動作中とは異なるアナログ出力信号を発生させる、
請求項12に記載のアーク消弧方法。 - 前記プラズマ動作中、少なくとも1つのディジタル/アナログ変換器(41)へ、前記アーク消弧動作中とは異なる基準信号を供給する、
請求項13に記載のアーク消弧方法。 - アークが検出されたときに、前記プラズマ動作電力から前記アーク消弧電力へ、段階的に又はランプ状に移行する、
請求項1から14のいずれか1項に記載のアーク消弧方法。 - 高周波信号を発生する電力変換器(30)を備えた電力供給システム(20)であって、
前記電力変換器(30)は、プラズマプロセスに高周波電力を供給するためにプラズマシステム(1)のプラズマチャンバ(6)と接続可能であり、
前記電力変換器(30)は、対応するディジタル/アナログ変換器(41)により形成されたアナログ信号が供給される第1増幅器経路(31)及び別の増幅器経路(32〜36)を備えており、
前記ディジタル/アナログ変換器(41)は、間接的に又は直接的に、アーク検出部と接続されており、
前記アーク検出部は、アーク発生に関して前記プラズマシステム(1)を監視するように構成されており、
前記アーク検出部は、
アークを検出したときに、前記ディジタル/アナログ変換器(41)のアナログ出力信号が変化するように、前記ディジタル/アナログ変換器(41)を制御し、
前記アークを検出したとき、プラズマ動作電力よりも小さいアーク消弧電力を発生させて、アーク消弧動作中、前記プラズマチャンバ(6)へ該アーク消弧電力を供給し、
複数の前記ディジタル/アナログ変換器(41)を、アーク発生に関する前記プラズマシステム(1)の監視に応じて制御し、前記ディジタル/アナログ変換器(41)の個々のアナログ出力信号を、後段に設けられた増幅器経路(31〜36)においてそれぞれ増幅して、前記プラズマ動作電力又は前記アーク消弧電力の一部分を形成し、これらの前記プラズマ動作電力又は前記アーク消弧電力の一部分を合成して、前記プラズマ動作電力又は前記アーク消弧電力の総電力を形成する、
電力供給システム。 - 前記ディジタル/アナログ変換器(41)は、さらに、基準信号入力端子(44)を備えており、
前記基準信号入力端子(44)に入力される基準信号によって、前記アナログ信号が制御される、
請求項16に記載の電力供給システム。 - 測定装置(70)が設けられており、該測定装置(70)に前記アーク検出部が組み込まれており、
前記測定装置(70)は、アナログ/ディジタル変換器(59)を備えており、
前記測定装置(70)は、アーク検出信号を発生させるためのロジック回路(53)を備えている、
請求項17に記載の電力供給システム。
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