JP2007110019A - プラズマエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来は、エッチング途中の異常判定時には、高周波電力を電力ゼロまで一気に低下させプラズマの発生を停止させていた。このため、プラズマ中に浮遊する帯電した反応生成物が急激なプラズマの消滅により複雑な挙動を示し、静電吸着ステージの電界に勢いよく引きつけられ半導体ウェーハ5表面に強く固着し、再度、エッチング処理を継続しても、その強い固着物が原因で所謂、エッチング残り不良が発生した。
【解決手段】本発明のプラズマ停止方法は、エッチング中の高周波電力としての2100Wから、第1段階として1400Wまで低下させ、その高周波電力で0.3秒間維持する。その後さらに第2段階として700Wまで低下させ、その高周波電力で0.3秒間維持する。そして最後に、第3段階として0Wまで低下させる。即ち、高周波電力2100Wを3段階に等分して低下させる停止方法である。
【選択図】図1
【解決手段】本発明のプラズマ停止方法は、エッチング中の高周波電力としての2100Wから、第1段階として1400Wまで低下させ、その高周波電力で0.3秒間維持する。その後さらに第2段階として700Wまで低下させ、その高周波電力で0.3秒間維持する。そして最後に、第3段階として0Wまで低下させる。即ち、高周波電力2100Wを3段階に等分して低下させる停止方法である。
【選択図】図1
Description
本発明は、プラズマエッチング装置の静電吸着ステージ上に被処理体を載置し、高周波電力を供給して上部電極と下部電極間にプラズマを発生させ、各種エッチング条件(温度,圧力,流量など)の異常の有無を監視しながら、被処理体に所定のエッチング処理を施す際に、異常判定した場合には、被処理体に異常な処理が成されないように、一旦、高周波電力の供給をストップしプラズマの発生を停止させるプラズマ停止工程を含むプラズマエッチング方法に関する。
先ず、プラズマエッチング装置の概略構成と動作を説明する。図2は、プラズマエッチング装置の縦断面図である。
図2に示すように、プラズマエッチング装置1は、主に、真空チャンバ2と、その内部に対向配置された下部電極3及び上部電極4と、下部電極3上に配置され被処理体としての半導体ウェーハ5を静電吸着保持する静電吸着ステージ6と、整合器(図示せず)とブロッキングコンデンサ(図示せず)を介して下部電極3に接続された高周波電源7とで構成されている。
また、真空チャンバ2には、反応性ガスを導入するガス導入口8と、不要ガスを排気するガス排気口9とが設けられており、上部電極4は接地され、下部電極3は高周波電源7に電気的接続され、下部電極3に高周波電圧を加えることにより下部電極3と上部電極4との間の空間にプラズマを励起するようになっている。
また、静電吸着ステージ6は、内部に平板電極(図示せず)を埋設した誘電率の高い絶縁物で成り、平板電極(図示せず)は直流電源10に接続され、静電吸着力で半導体ウェーハ5を吸着保持可能となっている。
また、半導体ウェーハ5は加熱されるため、この冷却構造として、静電吸着ステージ6と半導体ウェーハ5の隙間に冷却ガス(例えば、ヘリウム)を流すための静電吸着ステージ6に設けられた複数の開口部(図示せず)と繋がった配管11と、その配管11の先に接続された冷却ガスの供給量を制御したりする冷却ガス制御部12と、その冷却ガス制御部12の末端にそれぞれ接続された排気ポンプ13及び冷却ガス供給源14とが配置されている。
また、冷却ガス制御部12は、冷却ガス供給量を制御する他、冷却ガスの実測流量値を測定し、その実測流量値を予め設定した基準値と比較して異常の有無を判定し、もし万一、異常判定した場合には、半導体ウェーハ5に異常なエッチング処理が成されないように、一旦、高周波電力の供給をストップしプラズマの発生を停止させ、その後、異常に対する処置を施した後、再度、継続してエッチング処理を施すようになっている。
尚、上記では各種エッチング条件のうち、冷却ガス流量の異常の例について述べたが、これ以外にも正常なエッチング処理を施すための各種条件として、各部の温度や圧力などの項目についても同様に監視し、もし万一、異常判定した場合には、一旦、高周波電力の供給をストップしプラズマの発生を停止させるようになっている。
このようなプラズマエッチング装置1の使用方法は、半導体ウェーハ5を静電吸着ステージ6上に静電吸着保持し、真空チャンバ2内を真空にしてガス導入口8より反応性ガスを導入した後、高周波電源7をONにして下部電極3と上部電極4間の空間にプラズマを励起させ、プラズマ中に発生するイオンや中性ラジカルで半導体ウェーハ5表面に所定のエッチング処理を施す。
その後、エッチング処理が終了したら、高周波電源7をOFFにして不要ガスをガス排気口9から排気した後、半導体ウェーハ5を静電吸着ステージ6から離脱させる。
以上の動作を繰返し、順次、半導体ウェーハ5に対してプラズマエッチング処理を行う。
次に、従来のプラズマエッチング方法における高周波電力の時間経過に伴う変化の一例を図3(a),(b)を用いて説明する。尚、図3(a)は、エッチング処理が正常に終了した場合の高周波電力の変化を示し、図3(b)は、エッチング途中で異常判定した場合の高周波電力の変化を示す説明図である。
先ず、エッチング処理が正常に終了した場合の高周波電力の変化について説明する。図3(a)に示すように、高周波電力は、供給開始(タイミング;t0)の初期においては急激な電力供給による異常放電を避けるために一定の傾斜をつけて徐々に増加させる。そしてその後、プラズマを安定して発生させる高周波電力(例えば、2100W)に達したら一定に維持しながら所定のエッチング処理を施す。その後、エッチング処理が終了(タイミング;t1)したら、急激な電力低下による異常放電を避けるために高周波電力(例えば、2100W)を段階的(図中では3段階)に下げ、かつ、下げられた電力で数秒間維持し、その後、電力ゼロ(0W)まで低下させプラズマの発生を停止させる(タイミング;t2)。(例えば、特許文献1参照)
特開2002−217168号公報 図2
次に、エッチング途中で異常判定した場合の高周波電力の変化について説明する。図3(b)に示すように、高周波電力は、供給開始(タイミング;t0)の初期においては急激な電力供給による異常放電を避けるために一定の傾斜をつけて徐々に増加させる。そしてその後、プラズマを安定して発生させる高周波電力(例えば、2100W)に達したら一定に維持しながら所定のエッチング処理を施す。本来なら図中の一点鎖線の変化をするところであるが、エッチング途中(タイミング;t3)で異常判定したため、一旦、高周波電力(例えば、2100W)を電力ゼロ(0W)まで一気に低下させプラズマの発生を停止させる。
このように高周波電力の供給開始初期および終了時には、異常放電防止のため急激な電力変化を避けるように工夫されたプラズマエッチング方法においても、エッチング途中の異常判定時の高周波電力の停止方法については特に考慮されておらず、高周波電力(例えば、2100W)を電力ゼロ(0W)まで一気に低下させプラズマの発生を停止させていた。
しかしながら、発明者は、エッチング途中の異常の有無とその後の再エッチング処理での製品の出来映えとを慎重に観察して次のような知見を得た。
その知見とは、高周波電力(例えば、2100W)を電力ゼロ(0W)まで一気に低下させた場合、プラズマ中に浮遊する帯電した反応生成物が急激なプラズマの消滅により複雑な挙動を示し、静電吸着ステージの電界に勢いよく引きつけられ半導体ウェーハ表面に強く固着するため再度、継続してエッチング処理を施しても、その強い固着物が原因で、所謂、エッチング残り不良が発生することであった。
従来は、エッチング途中の異常判定時には、高周波電力の停止方法については特に考慮されておらず高周波電力を電力ゼロまで一気に低下させプラズマの発生を停止させていた。このため、プラズマ中に浮遊する帯電した反応生成物が急激なプラズマの消滅により複雑な挙動を示し、静電吸着ステージの電界に勢いよく引きつけられ半導体ウェーハ5表面に強く固着し、再度、エッチング処理を継続しても、その強い固着物が原因で所謂、エッチング残り不良が発生した。
本発明のプラズマエッチング処理方法は、プラズマエッチング装置のチャンバ内に配置された静電吸着ステージ上に被処理体を静電吸着保持し、チャンバ内に対向配置された上部電極と下部電極間に高周波電力を供給しプラズマを発生させ、各種エッチング条件の異常の有無を監視しながら、被処理体に所定のエッチング処理を施す際に、異常判定した場合には、一旦、高周波電力の供給をストップしプラズマの発生を停止させるプラズマ停止工程を含むプラズマエッチング方法において、プラズマ停止方法は、所定時間内に、高周波電力を複数段階に分けて低下させる方法あるいは連続的に徐々に低下させる方法のいずれかであることを特徴とするプラズマエッチング方法である。
本発明のプラズマエッチング方法によれば、エッチング途中に異常判定して、一旦、プラズマ発生を停止させる際に、プラズマ中に浮遊する帯電した反応生成物が被処理体表面に強く固着することを防止し、再度、継続してエッチング処理を施したとき、所謂、エッチング残り不良を発生させることがない。
本発明は、エッチング途中に異常判定して、一旦、プラズマ発生を停止させる際に、プラズマ中に浮遊する帯電した反応生成物が被処理体表面に強く固着することを防止するという目的を、プラズマ停止方法として、所定時間内に、高周波電力を複数段階に分けて低下させるかあるいは連続的に徐々に低下させるかのいずれかとすることで実現した。
本発明のプラズマエッチング方法における高周波電力の時間経過に伴う変化の一例を図1(a),(b)を用いて説明する。尚、図1(a)は、高周波電力を段階的に低下させる場合の高周波電力の変化を示し、図1(b)は、高周波電力を連続的に徐々に低下させる場合の高周波電力の変化を示す。また、図3と同一部分には同一符号を用い、プラズマエッチング装置の概略構成および動作については、従来技術で説明した内容と同様であるため説明を省略する。
先ず、高周波電力を段階的に低下させる場合の高周波電力の変化について説明する。図1(a)に示すように、プラズマ停止方法は、例えば、エッチング中の高周波電力としての2100Wから、第1段階として1400Wまで低下させ、その高周波電力で0.3秒間維持する。その後さらに第2段階として700Wまで低下させ、その高周波電力で0.3秒間維持する。そして最後に、第3段階として0Wまで低下させる。即ち、高周波電力2100Wを3段階に等分して低下させる停止方法である。
ここで、高周波電力を一気に低下させずに3段階に等分して低下させることでプラズマ中の帯電した反応生成物が半導体ウェーハ表面に強く固着することを防止できる。また、段階数は3段階に限るわけではないが、3段階程度にすると高周波電源に対する負荷の点や制御の容易さの点で複雑にならず好適である。また、各段階での維持時間は0.3秒に限るわけではないが、トータル時間で0.5〜1秒とすると停止動作中に不要なエッチングの進行が無視できる程度となり好適である。
次に、高周波電力を連続的に徐々に低下させる場合の高周波電力の変化について説明する。図1(b)に示すように、プラズマ停止方法は、例えば、エッチング中の高周波電力としての2100Wから一定の傾斜を設けて1秒後に0Wに低下させる停止方法である。
ここで、高周波電力を一気に低下させずに一定の傾斜を設けて連続的に低下させることでプラズマ中の帯電した反応生成物が半導体ウェーハ表面に強く固着することを防止できる。また、傾斜は一定に限るわけではないが、一定の傾斜を設けて連続的に低下させると高周波電源に対する負荷の点や制御の容易さの点で複雑にならず好適である。また、低下の所要時間は1秒に限るわけではないが、0.5〜1秒とすると停止動作中に不要なエッチングの進行が無視できる程度となり好適である。
本発明は、各種エッチング条件の異常の有無を監視しながら、被処理体をエッチング処理する際に、異常判定して、一旦、プラズマ発生を停止させるプラズマ停止工程を含むプラズマエッチング方法に適用できる。
1 プラズマエッチング装置
2 真空チャンバ
3 下部電極
4 上部電極
5 半導体ウェーハ
6 静電吸着ステージ
7 高周波電源
8 ガス導入口
9 ガス排気口
10 直流電源
11 配管
12 冷却ガス制御部
13 排気ポンプ
14 冷却ガス供給源
t0 高周波電力の供給開始タイミング
t1 エッチング処理の終了タイミング
t2 高周波電力の完全停止タイミング
t3 異常判定のタイミング
2 真空チャンバ
3 下部電極
4 上部電極
5 半導体ウェーハ
6 静電吸着ステージ
7 高周波電源
8 ガス導入口
9 ガス排気口
10 直流電源
11 配管
12 冷却ガス制御部
13 排気ポンプ
14 冷却ガス供給源
t0 高周波電力の供給開始タイミング
t1 エッチング処理の終了タイミング
t2 高周波電力の完全停止タイミング
t3 異常判定のタイミング
Claims (3)
- プラズマエッチング装置のチャンバ内に配置された静電吸着ステージ上に被処理体を静電吸着保持し、前記チャンバ内に対向配置された上部電極と下部電極間に高周波電力を供給しプラズマを発生させ、各種エッチング条件の異常の有無を監視しながら、前記被処理体に所定のエッチング処理を施す際に、異常判定した場合には、一旦、前記高周波電力の供給をストップしプラズマの発生を停止させるプラズマ停止工程を含むプラズマエッチング方法において、前記プラズマ停止方法は、所定時間内に、前記高周波電力を複数段階に分けて低下させる方法あるいは連続的に徐々に低下させる方法のいずれかであることを特徴とするプラズマエッチング方法。
- 前記高周波電力を複数段階に分けて低下させる方法は、3段階に等分して低下させることを特徴とする請求項1に記載のプラズマエッチング方法。
- 前記所定時間は、0.5〜1秒であることを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマエッチング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005301746A JP2007110019A (ja) | 2005-10-17 | 2005-10-17 | プラズマエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005301746A JP2007110019A (ja) | 2005-10-17 | 2005-10-17 | プラズマエッチング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007110019A true JP2007110019A (ja) | 2007-04-26 |
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ID=38035623
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005301746A Withdrawn JP2007110019A (ja) | 2005-10-17 | 2005-10-17 | プラズマエッチング方法 |
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JP (1) | JP2007110019A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016509334A (ja) * | 2012-12-18 | 2016-03-24 | トゥルンプフ ヒュッティンガー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフトTRUMPF Huettinger GmbH + Co. KG | アーク消弧方法及び電力変換器を備えた電力供給システム |
-
2005
- 2005-10-17 JP JP2005301746A patent/JP2007110019A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016509334A (ja) * | 2012-12-18 | 2016-03-24 | トゥルンプフ ヒュッティンガー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフトTRUMPF Huettinger GmbH + Co. KG | アーク消弧方法及び電力変換器を備えた電力供給システム |
US10312064B2 (en) | 2012-12-18 | 2019-06-04 | Trumpf Huettinger Gmbh + Co. Kg | Extinguishing arcs in a plasma chamber |
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