JP4642809B2 - プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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請求項4の発明は、被処理基板にプラズマを作用させてプラズマ処理を行うプラズマ処理方法であって、前記被処理基板を吸着保持する静電チャックに所定の直流電圧を印加しながら、前記プラズマ処理を行うための高周波電力を印加する工程と、前記プラズマ処理の終了時に、印加する高周波電力を、前記プラズマ処理時に印加された高周波電力よりも低くする工程と、前記静電チャックに、前記所定の直流電圧に対して逆極性の直流電圧を印加する工程と、前記逆極性の直流電圧の印加を停止する工程と、前記高周波電力の印加を停止する工程と、処理チャンバー内から前記被処理基板を搬出する工程と、を有し、かつ上記順番で前記各工程が実行されることを特徴とする。
請求項5の発明は、請求項4記載のプラズマ処理方法において、前記各工程の前に、さらに前記プラズマ処理を行う前記処理チャンバー内に前記被処理基板を搬入する工程と、前記プラズマ処理時に印加する高周波電力よりも低いパワーの高周波電力を印加して前記プラズマ処理に使用するプラズマよりも弱いプラズマを前記被処理基板に作用させる工程と、前記静電チャックに前記所定の直流電圧の印加を開始する工程と、を上記の順で有することを特徴とする。
請求項6の発明は、請求項1〜3,5いずれか1項記載のプラズマ処理方法であって、前記弱いプラズマが、Arガス、又はO2ガス、又はCF4ガス、又はN2ガスによって形成されたプラズマであることを特徴とする。
Claims (10)
- 被処理基板にプラズマを作用させてプラズマ処理を行うプラズマ処理方法であって、
当該プラズマ処理を行う処理チャンバー内に前記被処理基板を搬入した後で且つ前記プラズマ処理を行う前に、前記被処理基板を載置する下部電極に前記プラズマ処理時に印加する高周波電力よりも低いパワーの高周波電力を印加する工程と、
前記下部電極に対向して設けられた上部電極に前記プラズマ処理時に印加する高周波電力よりも低いパワーの高周波電力を印加する工程と、
前記被処理基板を吸着保持するための静電チャックに直流電圧を印加する工程と、
前記下部電極に前記プラズマ処理を行うための高周波電力を印加する工程と、
前記上部電極に前記プラズマ処理を行うための高周波電力を印加して、前記被処理基板にプラズマ処理を行う工程と、
を上記の順で有し、
前記上部電極に前記プラズマ処理時に印加する高周波電力よりも低いパワーの高周波電力を印加する工程では、前記プラズマ処理に使用するプラズマよりも弱いプラズマを前記被処理基板に作用させる
ことを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項1記載のプラズマ処理方法であって、
前記上部電極に前記プラズマ処理時に印加する高周波電力よりも低いパワーの高周波電力を印加する工程と、前記静電チャックに直流電圧を印加する工程との間に、
前記下部電極への前記プラズマ処理時に印加する高周波電力よりも低いパワーの高周波電力の印加を停止する工程と、
前記上部電極への前記プラズマ処理時に印加する高周波電力よりも低いパワーの高周波電力の印加を停止する工程と、
を有することを特徴とするプラズマ処理方法。 - 被処理基板にプラズマを作用させてプラズマ処理を行うプラズマ処理方法であって、
当該プラズマ処理を行う処理チャンバー内に前記被処理基板を搬入する工程と、
前記プラズマ処理時に印加する高周波電力よりも低いパワーの高周波電力を印加し、前記プラズマ処理に使用するプラズマよりも弱いプラズマを前記被処理基板に作用させる工程と、
前記被処理基板を吸着保持するための静電チャックに直流電圧を印加する工程と、
前記プラズマ処理時に印加する高周波電力よりも低いパワーの高周波電力の印加を停止する工程と、
前記プラズマ処理を行うための高周波電力を印加する工程と、
前記プラズマ処理の終了時に、印加する高周波電力を、前記プラズマ処理時に印加された高周波電力よりもパワーを低くする工程と、
前記静電チャックに対する直流電圧の印加を停止する工程と、
前記高周波電力の印加を停止する工程と、
前記処理チャンバー内から前記被処理基板を搬出する工程と、
を上記の順で有することを特徴とするプラズマ処理方法。 - 被処理基板にプラズマを作用させてプラズマ処理を行うプラズマ処理方法であって、
前記被処理基板を吸着保持する静電チャックに所定の直流電圧を印加しながら、前記プラズマ処理を行うための高周波電力を印加する工程と、
前記プラズマ処理の終了時に、印加する高周波電力を、前記プラズマ処理時に印加された高周波電力よりも低くする工程と、
前記静電チャックに、前記所定の直流電圧に対して逆極性の直流電圧を印加する工程と、
前記逆極性の直流電圧の印加を停止する工程と、
前記高周波電力の印加を停止する工程と、
処理チャンバー内から前記被処理基板を搬出する工程と、
を有し、かつ上記順番で前記各工程が実行されることを特徴とするプラズマ処理方法。 - 前記各工程の前に、さらに
前記プラズマ処理を行う前記処理チャンバー内に前記被処理基板を搬入する工程と、
前記プラズマ処理時に印加する高周波電力よりも低いパワーの高周波電力を印加して前記プラズマ処理に使用するプラズマよりも弱いプラズマを前記被処理基板に作用させる工程と、
前記静電チャックに前記所定の直流電圧の印加を開始する工程と、
を上記の順で有することを特徴とする請求項4記載のプラズマ処理方法。 - 前記弱いプラズマが、Arガス、又はO2ガス、又はCF4ガス、又はN2ガスによって形成されたプラズマであることを特徴とする請求項1〜3,5いずれか1項記載のプラズマ処理方法。
- 前記記弱いプラズマが、0.15〜1.0W/cm2の高周波電力によって形成されることを特徴とする請求項1〜3,5,6いずれか1項記載のプラズマ処理方法。
- 前記弱いプラズマを、5〜20秒の間前記被処理基板に作用させることを特徴とする請求項1〜3,5〜7いずれか1項記載のプラズマ処理方法。
- 請求項1〜3いずれか1項記載のプラズマ処理方法において、
前記静電チャックに対する直流電圧の印加を停止する際に、吸着時とは逆極性の直流電圧を前記静電チャックに印加することを特徴とするプラズマ処理方法。 - 被処理基板にプラズマ処理を施すプラズマ処理機構を具備し、当該プラズマ処理機構が、プラズマを生成するための高周波電力を供給する高周波電源と、前記被処理基板を吸着保持するための静電チャックと、前記静電チャックに直流電圧を供給する直流電源と、プラズマを生成するためのガスを供給するガス供給系とを具備したプラズマ処理装置であって、
前記プラズマ処理機構を制御し、請求項1〜9いずれか1項記載のプラズマ処理方法を行う制御部を具備したことを特徴とするプラズマ処理装置。
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