JP6455451B2 - 同軸プローブ - Google Patents
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Description
そこで、同軸線路において、測定対象との接触部分である信号端子の構造を工夫し、高周波特性の改善のために外導体を一部除去することで、同軸プローブ全体で特性インピーダンスを保持したものがある(例えば特許文献1参照)。また、メス型の同軸コネクタを利用し、インピーダンス変動を避けられない測定対象との接触部分を極力短くする構造のものもある(例えば特許文献2参照)。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1に係る同軸プローブ1を用いたインピーダンス測定の一例を説明する図である。
同軸プローブ1は、図1に示すように、同軸ケーブル2を介して測定装置3に装着され、測定対象50に直接プロービングするものである。これにより、測定装置3にて、測定対象50の電気的な特性(特性インピーダンス)の評価を行う。
Zo≒(138/√ε)×log10(D/d) (1)
ここで、Zoは特性インピーダンス(Ω)であり、εは誘電体123の比誘電率である。
また、従来の同軸プローブでは、信号端子124とグランド端子125との間隔が、同軸線路部12の径によって決定されてしまう。そのため、測定対象50の信号パッドとグランドパッドとの間隔が、従来の同軸プローブの信号端子124とグランド端子125との間隔と異なる場合には、途端に接触困難になり、インピーダンス変動を起こしてしまう。よって、特に短配線の測定を行う際に十分な分解能を得られない。
また、装着用信号導体13を信号端子124に装着することで、測定対象50の信号パッドとグランドパッドとの間隔が、信号端子124とグランド端子125との間隔と異なる場合であっても、信号パッドとグランドパッドに接触させることができる。よって、インピーダンス変動を抑制することができ、十分な分解能を得ることができる。
この図5に示すように、装着用信号導体13を信号端子124に装着することで、従来構成に対し、インピーダンス変動が抑制され、高周波数帯における伝送特性が改善されることがわかる。
実施の形態1に示す装着用信号導体13では、図3に示すように、軸心方向に垂直な断面積が、軸心方向に沿って一様である場合について示した。しかしながら、これに限るものではなく、例えば図6に示すような形状であってもよい。
図6に示す構造とすることで、例えば外導体122に電気的に接続されるグランド端子125を、信号端子124に対して平行にできない場合であっても、信号端子124とグランド端子125の領域におけるインピーダンス補正を容易に行うことができる。
例えば、測定対象の信号パッドとグランドパッドとの間隔が同軸線路部12の径よりも小さい場合、グランド端子125を折り曲げることになる。この場合、図7(a)に示すように、実施の形態1の形状では、インピーダンスが先端部にかけて小さくなっていくことになる。それに対し、図7(b)に示すように、実施の形態2の形状では、装着用信号導体13bが先端側に向かい細くなっているので、グランド端子125との間隔を一定に維持できるため、インピーダンスを一定に維持できる。
実施の形態1に示す装着用信号導体13では、図3に示すように、軸心方向に垂直な断面の外郭形状を円形とした場合について示した。しかしながら、これに限るものではなく、例えば図8に示すような形状であってもよい。
実施の形態1に示す装着用信号導体13では、図3に示すように、軸心方向に垂直な断面の外郭形状を円形とした場合について示した。しかしながら、これに限るものではなく、例えば図9に示すような形状であってもよい。
実施の形態1〜4では、同軸プローブ装置1に装着用信号導体13を装着することにより、プローブ先端部まで良好な周波数特性および特性インピーダンスを維持することを可能とした。しかしながら、これに限るものではなく、例えば、図10に示すような形状であってもよい。
図10は、本実施の形態における装着用信号導体13の構成例を示す図である。図10に示す装着用信号導体13は、図3に示す装着用信号導体13に測定対象のプロービングを行う導体突出部990が構成され、その長手方向の中心軸は、同軸線路部12の信号端子124のその中心軸と異なっていることを特徴としている。
図11は、本実施の形態における導体突出部990の構成例を示す図である。図11に示すよう、導体突出部990の両面は、装着用信号導体13と接続される導体接続部991と測定対象と接触し、プロービングを行う導体接触部992により構成される。
導体突出部990は、例えば銅で構成され、装着用信号導体13とはんだ等で電気的に接合される。導体突出部990の直径は装着用信号導体13の直径rよりも小さいものとし、その延伸方向への長さl[mm]は測定に用いる最大周波数の波長λmaxに対して下式(2)に従って調整することが望ましい。
l=λmax/10 (2)
本記実施の形態における装着用信号導体13の長さL2は、図12に示したように、信号端子124における長さL1より大きい。これにより、図13のように信号端子124に装着用信号導体13を嵌合した場合、実施の形態1の場合と違い、信号端子124が装着用信号導体13から飛び出さない。
また、信号端子124の直径dは装着用信号導体13の挿入可能な孔131の直径d’よりもわずかに小さく(d<d’)してある。これにより、装着用信号導体13は、信号端子124の中心軸を基軸に回転することが可能である。
なお、実施の形態1では、装着用信号導体13を信号端子124に装着した後、はんだ等で装着用信号導体13と信号端子124とを電気的に接続させたが、本実施の形態では、装着用信号導体13と信号端子124とを固定せず、例えば信号端子124の直径dを装着用信号導体13の挿入可能な孔131の直径d’よりもわずかに小さく(d<d’)する関係を保ったまま嵌合させることで電気的に接続する。
図14おいて、測定対象50は、例えばICパッケージであり、同軸プローブ1を信号パッドとGNDパッドの各電極に接触させて測定を行う。
なお、7および7’は測定対象50上にある信号パッドであり、8はグランドパッド(GNDパッド)である。また、図中の990’は、装着用信号導体13を回転させた場合の導体突出部を示している。
なお、信号パッド7とGNDパッド8との間の距離は、従来の同軸プローブのグランド端子と信号端子との間の距離と一緒の場合を示しているが、信号パッド7’とGNDパッド8との間の距離は、従来の同軸プローブのグランド端子と信号端子との間の距離と違う場合を示している。
実際に測定を行う手順について説明を行う。
同軸プローブ1を用いて測定対象50の測定を行う際、まず、グランド端子125をGNDパッド8に接触するようにする。
次に、測定を行いたい対象が信号パッド7であった場合、導体突出部990を信号パッドに接触させる。
なお、測定を行いたい対象が信号パッド7’であった場合、装着賞信号導体13を回転し、導体突出部が990’の位置にくるようにする。
このように、測定対象50の信号パッドとGNDパッドとの位置関係が変化しても、装着用信号導体13を回転させることで、それぞれに接触させることが可能となる。
また、測定対象の信号パッドとGNDパッドの間隔が測定用同軸プローブのその関係より広い場合であっても、狭い場合と同様、柔軟に対応でき、且つ良好な周波数特性と特性インピーダンスの維持が可能になる。
また、実施の形態4の図8で説明したものと同様に、導体突出部990の断面形状も円形に限定されない。
Claims (11)
- 内導体及び外導体を有する同軸線路部と、
前記内導体を延長して構成された信号端子と、
前記外導体を延長して構成され、前記信号端子と並んで配置されたグランド端子と、
前記信号端子を挿入可能な孔を有する筒状構造であり、当該信号端子に装着されて電気的に接続される装着用信号導体とを備え、
前記装着用信号導体は、前記同軸線路部と接する面と対向する面に、電気的に接続された導体突出部を有し、前記導体突出部の中心軸は、前記装着用信号導体の中心軸と異なることを特徴とする同軸プローブ。 - 前記装着用信号導体の軸心方向に垂直な断面の外郭形状は円形である
ことを特徴とする請求項1記載の同軸プローブ。 - 前記装着用信号導体の軸心方向に垂直な断面の外郭形状は楕円形である
ことを特徴とする請求項1記載の同軸プローブ。 - 前記装着用信号導体の軸心方向に垂直な断面の外郭形状は長円形である
ことを特徴とする請求項1記載の同軸プローブ。 - 前記装着用信号導体の軸心方向に垂直な断面積は、前記信号端子の先端側に向かい小さく構成されている
ことを特徴とする請求項1から請求項4のうちのいずれか1項記載の同軸プローブ。 - 前記グランド端子は、前記外導体に電気的に接続された導体である
ことを特徴とする請求項1記載の同軸プローブ。 - 前記信号端子の延長方向の長さは、前記装着用信号導体よりも短く構成され、かつ、前記装着用信号導体は、前記信号端子を回転軸として回転が可能なことを特徴とする請求項1記載の同軸プローブ。
- 前記導体突出部の前記装着用信号導体の軸心方向に垂直な断面の外郭形状は円形である ことを特徴とする請求項1から請求項7のうちいずれか1項記載の同軸プローブ。
- 前記導体突出部の前記装着用信号導体の軸心方向に垂直な断面の外郭形状は楕円形である
ことを特徴とする請求項1から請求項7のうちいずれか1項記載の同軸プローブ。 - 前記導体突出部の前記装着用信号導体の軸心方向に垂直な断面の外郭形状は長円形である
ことを特徴とする請求項1から請求項7のうちいずれか1項記載の同軸プローブ。 - 前記導体突出部の前記装着用信号導体の軸心方向に垂直な断面積は、前記信号端子の先端側に向かい小さく構成された
ことを特徴とする請求項1から請求項10のうちのいずれか1項記載の同軸プローブ。
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