JP6450563B2 - 限外ろ過膜の診断方法並びに診断装置及び超純水製造システム - Google Patents
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また、本発明は、UFモジュールに備えられるUFの劣化又は破断を、超純水装置を停止させることなく、安定した水質を維持したまま、かつ簡易に診断し、高純度の超純水を安定的に製造することのできる超純水製造システムを提供することを目的とする。
また、限外ろ過膜の透過水又は濃縮水をろ過するろ過装置は、上下に重なる上部部材及び下部部材と、前記上部部材及び前記下部部材の重なり合う中心部に円錐状の凹部として形成された空洞部と、前記上部部材の上部に前記空洞部に連通するように突設され、前記サンプル水を導入する取水端管と、前記下部部材の下部に前記空洞部に連通するように突設され、前記サンプル水を排出する排水端管と、前記上部部材及び前記下部部材の間に、前記空洞部を上下に2分するように水密的に介挿された孔径が0.01μm以上0.4μm以下の平膜と、前記上部部材及び前記下部部材を互いに締め付け固定するキャップナットとを備えることが好ましい。
また、本発明の超純水製造システムによれば、UFモジュールに備えられるUFの劣化又は破断を、超純水装置を停止させることなく、安定した水質を維持したまま、かつ、簡便で迅速に診断し、高純度の超純水を安定的に製造することができる。
図1は、第1の実施形態に係る粗大粒子数測定用ろ過装置(限外ろ過膜の診断装置)10を備える超純水製造システム1の一例を概略的に示すブロック図である。粗大粒子数測定用ろ過装置10は、超純水を製造するUFモジュールの透過水又は濃縮水を取水したサンプル水中の粗大粒子を捕捉してUFの劣化又は破断あるいは両者を検査する装置である。なお、粗大粒子数測定用ろ過装置10はUFモジュールの透過水及び濃縮水の両者を取水したサンプル水中の粗大粒子を捕捉してもよい。劣化を診断されるUFモジュールの通水方式は外圧式と内圧式の両方を用いることが出来るが、外圧式が好ましい。
キャップ42、ベース44、エッチングプレート51は、ドレンスクリーン50、粗大粒子測定用ろ過膜45、キャップナット48はそれぞれ着脱自在に取付けることが可能である。
熱交換器(HEX)131:
日阪製作所社製プレート式熱交換器のUXシリーズ、RXシリーズ、LXシリーズ、SXシリーズ等
紫外線酸化装置(TOD−UV)132:
日本フォトサイエンス社製の紫外線酸化分解装置(TOC-UV)JPWシリーズ、SUVシリーズ、AUVシリーズ等
膜脱気装置(MDG)133:
メンブラーナ社製のLiqui−celシリーズ
ポリッシャー(Poliser)134:
DOW Chemical社製の非再生型MBイオン交換樹脂、Duolite MBGPを用いたもの等
限外ろ過膜装置(UFモジュール)14:
旭化成ケミカルズ社製のUF、OLTシリーズ、日東電工社製のUF、NTU―3306−K6R、NTU―3306−K6R-UP等
・・・(1)
(例1〜6)
図1に示す超純水製造システム1と同様の超純水製造システムのサンプリング口に取り付けられたサンプリング管に、サンプリングコックを介して、図2に示す粗大粒子測定用ろ過装置2と同様の粗大粒子数測定用ろ過装置を接続した。また、超純水製造システムの限外ろ過膜装置の透過水配管に取水管を取り付け、パーティクルカウンターを設置した。さらに、サンプリング管に、分岐管を用いてUF中空糸膜を備えたろ過装置を接続した。UF中空糸膜ろ過装置は、比較試験のために、サンプル水中の0.03μm以上の微粒子を捕捉できるように設置したものである。
サンプリング管及びサンプリングコックは純水で充分にブローし、サンプリングコックはさらに熱水またはエタノールを用いて殺菌を行った後、サンプリング口に取り付けた。
また、上記で計測した0.03μm以上の微粒子数を用いて、粗大粒子濃度と同様に、下記式(2)を用いてサンプル水中の0.03μm以上の微粒子濃度を算出した。
・・・(2)
表1において、例1、2は、粗大粒子測定用ろ過装置を用い、棒状粗大粒子濃度を測定した結果、例3、4は、パーティクルカウンター法によって微粒子濃度を測定した結果、例5、6はUF中空糸膜を用いて微粒子濃度を測定した結果を示している。
例7〜19では、実際に計測、観察されたサンプル水の棒状粗大粒子のうち、任意に選択した13個について、SEM観察写真からそれぞれの最大径、最小径を測定し、アスペクト比を算出した。結果を表2に示す。例5〜17で計測された棒状粗大粒子の最大径の、平均は2.5μm、最大値は5.2μm、最小値は1.2μmであった。また、最小径の、平均は0.1μm、最大値は0.3μm、最小値は0.1μmであった。これらのアスペクト比の平均値は20.1であり、最小値は12.0、最大値は26.3であった。以上の結果を表2に示す。
例20〜23では、棒状粗大粒子、粗大粒子数測定用ろ過膜、超純水製造システムにおける限外ろ過膜装置に使用されているUFの構成元素について、それぞれEDX(Genesis2000、EDAX製)によって分析した結果を表3に示す。
Claims (7)
- 超純水を製造する限外ろ過膜の透過水又は濃縮水中の最大径が0.4μmを超え10μm以下の粗大粒子を捕捉可能なろ過膜で、前記限外ろ過膜の透過水又は濃縮水を全量ろ過する工程と、
前記ろ過膜表面の前記粗大粒子数を測定し、前記粗大粒子数が所定の閾値を超えたときに前記限外ろ過膜が劣化したことを判断する工程と、を備えることを特徴とする限外ろ過膜の診断方法。 - 前記ろ過膜表面の前記粗大粒子の形状を観察する工程を備えることを特徴とする請求項1記載の限外ろ過膜の診断方法。
- 前記ろ過膜表面の前記粗大粒子の構成元素を分析する工程を備えることを特徴とする請求項1又は2記載の限外ろ過膜の診断方法。
- 前記粗大粒子の形状は、略棒状であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の限外ろ過膜の診断方法。
- 前記粗大粒子の形状は、アスペクト比(最大径/最小径)で5以上100以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の限外ろ過膜の診断方法。
- 前記限外ろ過膜の透過水又は濃縮水を全量ろ過する工程は、
上下に重なる上部部材及び下部部材と、
前記上部部材及び前記下部部材の重なり合う中心部に円錐状の凹部として形成された空洞部と、
前記上部部材の上部に前記空洞部に連通するように突設され、前記サンプル水を導入する取水端管と、
前記下部部材の下部に前記空洞部に連通するように突設され、前記サンプル水を排出する排水端管と、
前記上部部材及び前記下部部材の間に、前記空洞部を上下に2分するように水密的に介挿された孔径が0.01μm以上0.4μm以下の平膜と、
前記上部部材及び前記下部部材を互いに締め付け固定するキャップナットとを備えるろ過装置によって、ろ過することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載の限外ろ過膜の診断方法。 - 原水に含まれる懸濁物質を除去する前処理装置と、
前記前処理装置で処理された前処理水中のイオン及び非イオン性物質を除去する一次純水システムと、
前記一次システムで処理された一次純水中の微量残留物を除去する二次純水システムとを備え、
前記二次純水システムに限外ろ過膜モジュールを備えて超純水を製造する超純水製造方法であって、
前記限外ろ過膜モジュールの透過水配管又は濃縮水配管に、
直接又は枝管を介して、最大径が0.4μmを超え10μm以下の粗大粒子を捕捉可能なろ過膜を備えるろ過装置を接続し、
前記ろ過装置によって前記限外ろ過膜の透過水又は濃縮水を全量ろ過して、
その後、前記ろ過膜表面の前記粗大粒子数を測定し、前記粗大粒子数が所定の閾値を超えたときに前記限外ろ過膜が劣化したことを判断することを特徴とする超純水製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014220185A JP6450563B2 (ja) | 2014-10-29 | 2014-10-29 | 限外ろ過膜の診断方法並びに診断装置及び超純水製造システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014220185A JP6450563B2 (ja) | 2014-10-29 | 2014-10-29 | 限外ろ過膜の診断方法並びに診断装置及び超純水製造システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016083646A JP2016083646A (ja) | 2016-05-19 |
JP6450563B2 true JP6450563B2 (ja) | 2019-01-09 |
Family
ID=55972722
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014220185A Active JP6450563B2 (ja) | 2014-10-29 | 2014-10-29 | 限外ろ過膜の診断方法並びに診断装置及び超純水製造システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6450563B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6871763B2 (ja) | 2017-03-09 | 2021-05-12 | オルガノ株式会社 | 中空糸膜装置の清浄度の評価方法、洗浄方法及び中空糸膜装置の洗浄装置 |
JP6943119B2 (ja) * | 2017-09-28 | 2021-09-29 | 栗田工業株式会社 | 膜モジュールの評価方法、評価装置および超純水製造装置 |
WO2019188963A1 (ja) | 2018-03-27 | 2019-10-03 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 超純水製造システム及び超純水製造システムの運転方法 |
WO2019188964A1 (ja) | 2018-03-27 | 2019-10-03 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 超純水製造システム及び超純水製造方法 |
JP2020171892A (ja) * | 2019-04-11 | 2020-10-22 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 中空糸膜損傷検出装置及び超純水製造装置並びに中空糸膜損傷検出方法 |
CN114191987B (zh) * | 2020-09-02 | 2023-12-22 | 中国石油天然气股份有限公司 | 滤膜测试装置 |
CN114405283A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-29 | 武汉艾科滤膜技术有限公司 | 用于超滤膜完整性诊断的水膜发生装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0615271A (ja) * | 1992-06-12 | 1994-01-25 | Suido Kiko Kk | 透過膜による上水道用ろ過装置 |
JP3202532B2 (ja) * | 1995-03-16 | 2001-08-27 | オルガノ株式会社 | 膜破損検出方法及び装置 |
JP3807552B2 (ja) * | 2003-06-20 | 2006-08-09 | 富士電機システムズ株式会社 | 膜ろ過装置の膜損傷検知方法および装置 |
JP2005185944A (ja) * | 2003-12-25 | 2005-07-14 | Tsukishima Kikai Co Ltd | 濾過膜破損検出装置 |
JP4972971B2 (ja) * | 2006-03-22 | 2012-07-11 | 栗田工業株式会社 | イオン交換樹脂または限外ろ過膜の検査方法 |
CN101983175A (zh) * | 2008-03-31 | 2011-03-02 | 栗田工业株式会社 | 纯水制造方法及纯水制造装置 |
JP2011247675A (ja) * | 2010-05-25 | 2011-12-08 | Japan Organo Co Ltd | 純水中の微粒子数測定用の濾過装置および微粒子数測定方法 |
JP2014000548A (ja) * | 2012-06-20 | 2014-01-09 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 超純水製造システムの立ち上げ時の洗浄方法 |
-
2014
- 2014-10-29 JP JP2014220185A patent/JP6450563B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016083646A (ja) | 2016-05-19 |
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