JP6445369B2 - 塗工装置および塗膜形成システム - Google Patents

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Description

この発明は、基材に対して塗工液を間欠的に塗工する技術に関する。
特許文献1〜4は、間欠塗工を行う装置を開示している。
特許文献1は、スリットダイにサックバック部位を設けることを開示している。このサックバック部位は、ピストンを駆動手段で移動させて塗料を吸引することによって、塗料の吐出を停止するものである。
また、特許文献2は、カムロブで塗工ヘッドの吐出口を周期的に開閉することによって、スラリ状の活物質の吐出および停止を行うことを開示している。
さらに、特許文献3は、ボイスコイルモータでバルブを高速に開閉することで、流体の吐出および停止を制御することを開示している。
また、特許文献4は、カムに連結されたピストンによって可撓板を周期的に変形することで、スリットダイ内の流路部の容積を変動させ、これによって塗布剤の間欠塗工を行うことを開示している。
特開2006−51407号公報 特開2013−22527号公報 特開2012−47245号公報 特開2000−33315号公報
しかしながら、特許文献1の場合、スリットダイ内の圧力が高圧となるため、ピストンの駆動手段としてサーボモータを採用した際には、高推力のものが要求される。高推力を得る手段として減速機を取付けることが一般的であるが、この場合、推力を上げることはできても、高速に動作させることが困難となる。
また、特許文献2の場合、カムロブで吐出口を確実に塞ぐために、高精度な加工が必要となる。したがって、カムロブの加工精度が低い場合には、高精度な間欠塗工を行うことが困難となるおそれがある。
さらに、特許文献3の場合、複数のバルブを同期して制御する必要があるため、高速動作(例えば、msecオーダーの動作制御)を実現する場合、制御遅延の発生や、応答性の問題等が生じるおそれがある。
また、特許文献4の場合、ポンプからの供給された分の塗布剤と、可撓板の変形によって引き込んだ分の塗布剤とで、塗布量が決定される。すると、可撓板の変形量が変わると、塗布量を均一に維持することが困難となるおそれがある。
そこで、本発明は、高速でかつ高精度な間欠塗工を行う技術を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するため、第1の態様は、基材に対して、間欠的に塗工を行う塗工装置であって、一方向に延びる吐出口が形成されており、前記吐出口に連通する塗工液用空間が内部に形成されているノズルと、前記塗工液用空間に向けて塗工液を送る送液機構と、前記送液機構から前記塗工液が送液されている前記塗工液用空間に連通する引込み空間を周期的に形成することによって、前記吐出口からの前記塗工液の吐出を間欠的に停止させるサックバック機構とを含み、前記サックバック機構は、ノズルの前記塗工液用空間に連通する孔に挿入されており、液密状態で摺動移動可能に構成された摺動部材と、前記摺動部材を前記孔に沿って周期的に往復移動させるカム機構とを有し、前記カム機構は、所定の回転軸周りに回転可能に支持されている平面カムと、前記平面カムを前記回転軸周りに回転させるモータと、前記平面カムの外周面に接触するカム接触部材と、前記カム接触部材が前記塗工液用空間に近づく方向であって、かつ前記回転軸周りに回転する前記平面カムの外周面に向けて前記カム接触部材を押すことで、前記カム接触部材を往復運動させる押圧機構と、前記カム接触部材の往復運動を前記摺動部材に伝達する動力伝達部と、を有し前記カム機構が前記摺動部材を前記塗工液用空間から離れる方向に移動させることによって、前記引込み空間が形成され前記カム機構が、前記摺動部材を前記孔における第1位置に向けて移動させることによって、前記吐出口からの前記塗工液の吐出が停止され、前記摺動部材を前記孔における前記第1位置よりも前記塗工液用空間に近づく第2位置に向けて移動させることで、前記吐出口から前記塗工液が吐出される。
また、第2の態様は、第1の態様に係る塗工装置であって、前記平面カムが、前記引込み空間を形成するための第1半径の円弧状である第1外周部を有する第1扇状部と、両端部が前記第1外周部に連続し、かつ前記第1半径よりも小さい第2半径である円弧状の第2外周部を有する第2扇状部と、を有し、前記カム機構は、前記カム接触部材を前記第1外周部に接触させることによって、規定期間の間、前記摺動部材を前記第1位置に停止させ、前記カム接触部材を前記第2外周部に接触させることによって、規定期間の間、前記摺動部材を前記第2位置に停止させる。
また、第3の態様は、第2の態様に係る塗工装置であって、前記第1外周部と前記第2外周部との間を接続する2つの接続部分において、一方の接続部分の前記回転軸周りの角度が、他方の接続部分の前記回転軸周りの角度とは相異なる
また、第4の態様は、基材に塗膜を形成する塗膜形成システムであって、第1ローラから送り出された基材を第2ローラで巻取ることによって、所定の搬送方向に連続して基材を搬送する搬送機構と、前記搬送機構によって搬送される前記基材の主面に対して、塗工液を吐出する第1から第3の態様のいずれか1態様に係る塗工装置と、前記基材に塗工された前記塗工液を乾燥させる乾燥装置とを備える。
第1から第3の態様に係る塗工装置によると、孔内を移動する部材をカム機構で周期的に移動させることによって、周期的に引込み空間を形成することができる。これによって、高速かつ正確なタイミングで、サックバックを行うことができる。したがって、高速で高精度な間欠塗工を行うことができる。
また、孔内における摺動部材の位置を、第1位置と第2位置との間で周期的に移動させることで、間欠的に塗工液の吐出を行うことができる。
また、回転する平面カムによってカム接触部材を周期運動させることで、その動力を摺動部材に伝達できる。これによって、高速な間欠塗工を実現できる。
また、第2の態様に係る塗工装置によると、カム接触部材が第1外周部及び第2外周部に交互に接触することによって、当該カム接触部材を往復運動させることができる。
また、規定期間の間、摺動部材を第1位置で停止させることで、当該規定期間に対応した期間の間、吐出口からの塗工液の吐出を停止できる。
また、規定期間の間、摺動部材を第2位置で停止させることで、サックバック機構によって塗工液の吐出量が変動することを低減できる。
また、第3の態様に係る塗工装置によると、第1外周部および第2外周部の間を接続する接続部分の形状を非対称とすることによって、摺動部材を、サックバック開始時および吐出開始時のそれぞれで、非対称的に移動させることができる。
また、第4の態様に係る塗膜形成システムによると、孔内を移動する部材をカム機構で周期的に移動させることで引込み空間を形成することによって、高速かつ正確なタイミングで、サックバックを行うことができる。したがって、高速な間欠塗工を正確に行うことができる。

実施形態に係る塗工装置を示す概略断面図である。 実施形態に係るカム機構を示す概略正面図である。 実施形態に係るカム機構を示す概略側面図である。 実施形態に係る平面カムの概略正面図である。 実施形態の変形例に係る平面カムを示す概略正面図である。 実施形態に係る塗工装置を備えた塗膜形成システムを示す図である。
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。なお、この実施形態に記載されている構成要素はあくまでも例示であり、本発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。また、図面においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数が誇張または簡略化して図示されている場合がある。
<1. 実施形態>
図1は、実施形態に係る塗工装置10を示す概略断面図である。バックアップローラ11に巻回された基材9の主面に向けて、塗工液を吐出する。塗工装置10としては、例えば、リチウムイオン二次電池の電極製造において、電極材料である活性質を含む塗工液をアルミ箔等の基材に塗工するものとして構成される。塗工装置10は、ノズル2と、送液機構3と、サックバック機構4とを備えている。
<ノズル>
ノズル2には、一方向に延びる吐出口21が形成されている。ノズル2が、吐出口21から基材9に向けて塗工液を吐出する場合、吐出口21の延びる方向が基材9の幅方向に沿う状態で、吐出口21が基材9に対向する。
ノズル2の内部には、吐出口21に連通する塗工液用空間23が形成されている。塗工液用空間23は、塗工液タンク31から送られてくる塗工液を貯める空間であって、幅広の吐出口21から均一に塗工液を吐出するための緩衝空間として機能する。
<送液機構3>
送液機構3は、塗工液タンク31と、供給配管33と、送液ポンプ35とを備えている。送液ポンプ35は、塗工液タンク31からノズル2の塗工液用空間23までを接続する供給配管33上に設けられている。送液ポンプ35は、塗工液タンク31の塗工液をノズル2の塗工液用空間23に向けて、一定流量で送るように構成されている。供給配管33のうち、送液ポンプ35からノズル2の塗工液用空間23までの部分に、供給バルブ331が設けられている。供給バルブ331は、塗工液をノズル2の塗工液用空間23に供給する際に開放される。
供給配管33のうち、送液ポンプ35からノズル2までの間を接続する部分の途中には、第1排出配管37が接続されている。当該第1排出配管37は、塗工液タンク31まで延びており、その途中に第1排出バルブ371が設けられている。第1排出バルブ371は、例えば、送液ポンプ35によるノズル2への送液を停止した場合において、供給配管33内の余剰の塗工液を塗工液タンク31に戻すときに開放される。
また、塗工液用空間23に連通するとともに、塗工液タンク31まで延びる第2排出配管39が設けられている。第2排出配管39の途中には、第2排出バルブ391が設けられている。第2排出バルブ391は、例えば、送液ポンプ35によるノズル2への送液を停止した場合において、塗工液用空間23内に残留した塗工液を塗工液タンク31に戻すときに開放される。
<サックバック機構>
サックバック機構4は、塗工液用空間23に連通する引込み空間40を周期的に形成する。塗工液用空間23に貯められた塗工液が、周期的に形成される引込み空間40に流れ込むことによって、吐出口からの塗工液の吐出が停止される。これによって、基材9の主面に、塗工液が塗工される塗工区間SC1と、塗工液が塗工されない非塗工区間SC2とが形成される。
サックバック機構4は、ノズル2の側部に固定された部分であって、塗工液用空間23に連通する円筒状の孔41を形成している。サックバック機構4は、当該孔41に挿入された摺動部材43と、当該摺動部材43を孔41に沿って周期的に往復移動させるカム機構45とを備えている。
摺動部材43は、例えば外周面が弾性部材で構成されており、孔41内を液密状態で摺動移動できるように構成されている。カム機構45は、モータ53の回転運動を往復直線運動に変換する機構である。
図2は、実施形態に係るカム機構45を示す概略正面図である。図3は、実施形態に係るカム機構45を示す概略側面図である。カム機構45は、平面カム51、モータ53、カム接触部材55、押圧機構57およびサックバックシリンジ59を備えている。
平面カム51は、回転軸511に軸支された略板状の部材であって、回転軸511からの距離が一定でない外周部を有している。モータ53は、回転軸511を回転させることによって、平面カム51を回転軸511周りに回転させる。
カム接触部材55は、平面カム51の外周面に接触する部材である。押圧機構57は、カム接触部材55、例えばエアシリンダ等で構成されており、カム接触部材55を平面カム51の外周面51Sに向けて押圧するように構成されている。カム接触部材55は、回転する平面カム51の外周面51Sに押し当てられることによって、矢印D1の押圧方向に沿って上下に往復運動する。
サックバックシリンジ59は、カム接触部材55と摺動部材43とを接続する棒状部材である。サックバックシリンジ59は、カム接触部材55の往復運動を、摺動部材43に伝達する動力伝達部の一例である。
なお、図示を省略するが、カム接触部材55にバネを取付けることによって、平面カム51から受ける反力を低減するようにしてもよい。
図4は、実施形態に係る平面カム51の概略正面図である。平面カム51は、弧状の第1外周部611を有する第1扇状部61と、弧状の第2外周部631を有する第2扇状部63とを有している。第1扇状部61の第1外周部611の両端部(点P,Q)は、それぞれ接続部分651,653を介して、第2扇状部63の第2外周部631(点R,S)の両端部に接続している。
本実施形態に係る平面カム51においては、第1扇状部61の第1外周部611が半径R1の円弧を成しており、第2扇状部63の第2外周部631が半径R2の円弧を成している。図4に示す平面カム51は、点Pから点Qまでの円弧上の中心点と、点Rから点Sまでの円弧上の中心点とを結ぶ直線LN1によって、左右対称に形成されている。
上述したカム接触部材55は、第1外周部611および第2外周部631に接触することで、塗工液用空間23から離れる方向、及び、塗工液用空間に近づく方向(ここでは、上下方向)に変位する。例えば、平面カム51が矢印D2の方向に回転することで、平面カム51のカム接触部材55との接触点が、第2外周部631の点Rから、第1外周部611の点Pに移動したとする。この場合、カム接触部材55が二点鎖線で示す位置から実線で示す位置に、第1外周部611と第2外周部631の半径差ST1(=R1−R2)の分だけ上昇移動する。すると、その半径差ST1分、サックバックシリンジ59が摺動部材43を塗工液用空間23から離れる第1位置L1に向けて移動させる。これによって、孔41内に引込み空間40が形成される。塗工液用空間23内の塗工液が、引込み空間40に引き込まれることによって、吐出口21からの塗工液の吐出が停止することとなる。
平面カム51におけるカム接触部材55との接触点が第1外周部611の点Pから点Qまで進む間は、図4に示すように、カム接触部材55が実線で示す位置に維持され、摺動部材43が第1位置L1に固定される。すなわち、摺動部材43が第1位置L1に規定期間、停止される。その間は、吐出口21からの塗工液の吐出が停止される。すなわち、矢印D2方向における、第1外周部611の点Pから点Qまでは、摺動部材43の引込みを保持する引き保持区間に相当する。
平面カム51におけるカム接触部材55との接触点が、第1外周部611の点Qから第2外周部631の点Sに移動すると、カム接触部材55が実線で示す位置から二点鎖線で示す位置に半径差ST1分だけ下降移動する。すると、その半径差ST1分、サックバックシリンジ59が摺動部材43を塗工液用空間23に近づく第2位置L2に向けて移動させる。これによって、引込み空間40の塗工液が塗工液用空間23に押し出され、再び吐出口21からの塗工液の吐出が開始される。
平面カム51におけるカム接触部材55との接触点が第2外周部631の点Sから点Rまで進む間は、図4に示すように、カム接触部材55が二点鎖線で示す位置に維持され、摺動部材43が第2位置L2に固定される。すなわち、摺動部材43が第2位置に規定期間、停止される。このため、接触点が点Rに到達するまでは、吐出口21からの塗工液の吐出が維持される。すなわち、矢印D2方向における、第2外周部631の点Sから点Rまでは、摺動部材43の押込みを保持することで、塗工液の吐出を維持する吐出維持区間に相当する。
このように、摺動部材43を第2位置L2に固定することによって、塗工液用空間23の容積が変動することを抑制できる。このため、吐出口21から吐出される塗工液の流量を、送液ポンプ35からの送液量に応じた量とすることができる。したがって、サックバック機構4によって、吐出量が変動することを低減できるため、均一な間欠塗工を実現できる。
なお、吐出を開始するために、摺動部材43を、第2位置L1から第1位置L1に移動させる場合に、それらの位置L1,L2間の1つまたは2以上の中間位置で、所定期間、停止するように、カム機構45を構成してもよい。このように、摺動部材43を、ステップ状に複数回に分けて移動させることで、塗工液用空間23内の圧力変化が急峻に起こることを低減できる。これによって、摺動部材の移動によって、吐出口21からの塗工液の吐出量が変動することを低減できる。
図4に示す平面カム51は、直線LN1を対称軸として、左右対称に形成されている。このため、接続部分651,653は、左右対称に形成されている。したがって、カム接触部材55が二点鎖線示す位置から実線で示す位置に移動する際の移動と、その逆に移動する際の移動とは、高さ位置毎の速度が双方一致しており、対称的な運動となっている。しかしながら、カム機構45に平面カム51とは異なる構造の平面カムを採用することも可能である。
図5は、実施形態の変形例に係る平面カム51aを示す概略正面図である。この平面カム51aでは、引込み空間40を形成するための弧状の第1外周部611aを有する第1扇状部61aと、第1外周部611aの両端部に連続する弧状の第2外周部631aを有する第2扇状部63とで構成されている。第1扇状部61aおよび第2扇状部63aの半径は、一定ではない。ただし、回転軸511から第1外周部611aの各部分までの距離のうち最も短い距離(最短距離R1a)は、回転軸511から第2外周部631aの各部分までの距離のうち最も長い距離(最長距離R2a)よりも長くなっている。
平面カム51aを用いた場合、矢印D2方向における、第1外周部611aの点Paから点Qaまでが、引き保持区間に相当する。また、矢印D2方向における、第2外周部631aの点Saから点Raまでが、吐出維持区間に相当する。
第1外周部611aと、第2外周部631aとの接続部分651a,653aの形状は、非対称とされている。すなわち、点Paおよび点Ra間の半径差ST1aと、点Qaおよび点Sa間の半径差ST2aとは、相異なっている。なお、塗工液の吐出を確実に停止させるためには、吐出維持区間から引き保持区間につながる接続部分651aの半径差ST1aを、引き保持区間から吐出維持区間につながる接続部分653aの半径差ST2aよりも大きくすることが好ましい。
また、平面カム51aにおいては、接続部分651aにおける点Raから点Paまでの回転軸511周りの角度α、および、接続部分653aにおける点Qaから点Saまでの回転軸511周りの角度βについても、相異なっている。角度αまたは角度βが小さいほど、カム接触部材55の高さ位置がより急激に変化することになり、摺動部材43の移動も急峻となる。
摺動部材43の移動が急峻であるほど、塗工液用空間23内の圧力変化が急峻に起こることとなる。特に、塗工液の吐出が開始される部分、すなわち、引き保持区間の点Qaから吐出維持区間の点Saまで接続部分653aは、圧力変化が小さいことが望ましい。このため、角度βについては、できるだけ大きくし、半径差ST2aについては、できるだけ小さいことが望ましい。
以上のように、本実施形態に塗工装置10によると、カム機構45を採用したサックバック機構4によって、塗工液用空間23内の圧力を変化させて、塗工液を間欠的に塗布する。また、平面カム51を回転させることで、摺動部材43を上下に昇降させることで、引込み空間40を正確なタイミングで周期的かつ高速に形成することができる。このため、サックバックを遅延なく行うことができるため、高速な間欠塗工を正確に行うことができる。また、塗工装置10では、変形しない摺動部材43を移動させるため、引込み空間40の形成精度が高くすることができるため、間欠塗工を均一に行うことができる。特に、リチウムイオン電池等の電極部材を製造する場合には、塗工区間SC1および非塗工区間SC2の長さ、および、塗工区間SC1の塗工量について、高い精度が要求される。本塗工装置10は、このような要求にも十分に対応することができる。
図6は、実施形態に係る塗工装置10を備えた塗膜形成システム100を示す図である。塗膜形成システム100は、第1ローラ71から送り出されたシート状の基材9を第2ローラ72で巻取ることで、矢印D3に示す搬送方向に連続して基材9が搬送される。なお、第1ローラ71から第2ローラ72に至るまでの基材9の搬送経路上には、基材9を支持するためのバックアップローラ11および補助ローラ73等が適宜配されている。
塗工装置10の間欠塗工によって、塗工区間SC1および非塗工区間SC2が交互に形成された基材9は、乾燥装置8に搬送される。乾燥装置8は、塗工区間SC1の塗工液を乾燥する。これによって、基材9に塗工区間SC1に塗膜が形成される。
図6に示す塗膜形成システム100では、基材9の片側主面にのみ塗膜が形成されているが、さらに、反対側の主面に塗工する塗工装置10および乾燥装置8を搬送経路上に設けることによって、基材9の両側主面に塗工が行われるようにしてもよい。
<2. 変形例>
以上、実施形態について説明してきたが、本発明は上記のようなものに限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
例えば、上記実施形態では、孔41がノズル2の内部に形成されており、引込み空間40がノズル2に形成されるようにしている。しかしながら、孔41は、塗工液用空間23に連通しておれば、他の部位に設けられていてもよい。例えば、ノズル2外の供給配管33に形成されていてもよい。
また、摺動部材43を駆動するカム機構45に用いられている平面カム51は、板カムとして構成されている。しかしながら、例えば正面カム(溝カム)、反対カムを採用してもよい。また、平面カムの代わりに、立体カム(円筒カム、端面カム、円錐カム、球面カム、射板カム)を採用してもよい。
また、カム接触部材55は、平端のものが採用されているが、突端または円端のものを採用することで、カム接触部材と平面カム間の摩擦を小さくしてもよい。
また、上記各実施形態および各変形例で説明した各構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わせたり、省略したりすることができる。
この発明は詳細に説明されたが、上記の説明は、すべての局面において、例示であって、この発明がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この発明の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。
100 塗膜形成システム
10 塗工装置
2 ノズル
21 吐出口
23 塗工液用空間
3 送液機構
31 塗工液タンク
33 供給配管
331 供給バルブ
35 送液ポンプ
37 第1排出配管
371 第1排出バルブ
39 第2排出配管
391 第2排出バルブ
4 サックバック機構
40 引込み空間
41 孔
43 摺動部材
45 カム機構
51,51a 平面カム
51S 外周面
511 回転軸
53 モータ
55 カム接触部材
57 押圧機構
59 サックバックシリンジ
61,61a 第1扇状部
611,611a 第1外周部
63,63a 第2扇状部
631,631a 第2外周部
651,653 接続部分
651a,653a 接続部分
71 第1ローラ
72 第2ローラ
73 補助ローラ
8 乾燥装置
9 基材
L1 第1位置
L2 第2位置
R1a 最短距離
R2a 最長距離
SC1 塗工区間
SC2 非塗工区間

Claims (4)

  1. 基材に対して、間欠的に塗工を行う塗工装置であって、
    一方向に延びる吐出口が形成されており、前記吐出口に連通する塗工液用空間が内部に形成されているノズルと、
    前記塗工液用空間に向けて塗工液を送る送液機構と、
    前記送液機構から前記塗工液が送液されている前記塗工液用空間に連通する引込み空間を周期的に形成することによって、前記吐出口からの前記塗工液の吐出を間欠的に停止させるサックバック機構と、
    を含み、
    前記サックバック機構は、
    ノズルの前記塗工液用空間に連通する孔に挿入されており、液密状態で摺動移動可能に構成された摺動部材と、
    前記摺動部材を前記孔に沿って周期的に往復移動させるカム機構と、
    を有し、
    前記カム機構は、
    所定の回転軸周りに回転可能に支持されている平面カムと、
    前記平面カムを前記回転軸周りに回転させるモータと、
    前記平面カムの外周面に接触するカム接触部材と、
    前記カム接触部材が前記塗工液用空間に近づく方向であって、かつ前記回転軸周りに回転する前記平面カムの外周面に向けて前記カム接触部材を押すことで、前記カム接触部材を往復運動させる押圧機構と、
    前記カム接触部材の往復運動を前記摺動部材に伝達する動力伝達部と、
    を有し、
    前記カム機構が前記摺動部材を前記塗工液用空間から離れる方向に移動させることによって、前記引込み空間が形成され
    前記カム機構が、
    前記摺動部材を前記孔における第1位置に向けて移動させることによって、前記吐出口からの前記塗工液の吐出が停止され、
    前記摺動部材を前記孔における前記第1位置よりも前記塗工液用空間に近づく第2位置に向けて移動させることで、前記吐出口から前記塗工液が吐出される、塗工装置。
  2. 請求項に記載の塗工装置であって、
    前記平面カムが、
    前記引込み空間を形成するための第1半径の円弧状である第1外周部を有する第1扇状部と、
    両端部が前記第1外周部に連続し、かつ前記第1半径よりも小さい第2半径である円弧状の第2外周部を有する第2扇状部と、
    を有し、
    前記カム機構は、
    前記カム接触部材を前記第1外周部に接触させることによって、規定期間の間、前記摺動部材を前記第1位置に停止させ
    前記カム接触部材を前記第2外周部に接触させることによって、規定期間の間、前記摺動部材を前記第2位置に停止させる、塗工装置。
  3. 請求項に記載の塗工装置であって、
    記第1外周部と前記第2外周部との間を接続する2つの接続部分において、一方の接続部分の前記回転軸周りの角度が、他方の接続部分の前記回転軸周りの角度とは相異なる、塗工装置。
  4. 基材に塗膜を形成する塗膜形成システムであって、
    第1ローラから送り出された基材を第2ローラで巻取ることによって、所定の搬送方向に連続して基材を搬送する搬送機構と、
    前記搬送機構によって搬送される前記基材の主面に対して、塗工液を吐出する請求項1から請求項のいずれか1項に記載の塗工装置と、
    前記基材に塗工された前記塗工液を乾燥させる乾燥装置と、
    を備える、塗膜形成システム。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6452850B2 (ja) * 2016-08-16 2019-01-16 株式会社サンツール サックバック式塗布ガンユニット
JP7007966B2 (ja) 2018-03-20 2022-02-10 株式会社Screenホールディングス 塗工装置および塗工方法
WO2020122162A1 (ja) * 2018-12-12 2020-06-18 三菱マテリアル株式会社 塗布工具および塗布方法
JP7410698B2 (ja) 2018-12-12 2024-01-10 Mmcリョウテック株式会社 塗布工具および塗布方法
WO2020129570A1 (ja) * 2018-12-18 2020-06-25 パナソニックIpマネジメント株式会社 間欠バルブ装置および間欠塗工装置
JP2021104479A (ja) * 2019-12-26 2021-07-26 東レエンジニアリング株式会社 塗布装置
CN115090486B (zh) * 2022-08-29 2022-11-22 合肥芯谷微电子有限公司 封装设备
JP7408261B1 (ja) 2023-03-13 2024-01-05 中外炉工業株式会社 間欠塗布装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4938994A (en) * 1987-11-23 1990-07-03 Epicor Technology, Inc. Method and apparatus for patch coating printed circuit boards
JP2000033315A (ja) * 1998-07-17 2000-02-02 Toshiba Mach Co Ltd コーティング装置およびコーティング方法
JP3162026B2 (ja) * 1997-11-18 2001-04-25 松下電器産業株式会社 塗布装置、及び塗布方法
JP3491196B2 (ja) * 1999-02-10 2004-01-26 松下電器産業株式会社 間欠塗布装置及び間欠塗布方法
JP4596614B2 (ja) * 2000-08-04 2010-12-08 東芝機械株式会社 基材表面に間欠的に塗布剤を塗布する装置
JP2002227613A (ja) * 2001-01-31 2002-08-14 Yanmar Diesel Engine Co Ltd エンジンの吸排気弁装置
DE102004029750A1 (de) * 2004-06-19 2006-01-05 Ina-Schaeffler Kg Nocken zur Beaufschlagung eines Ventiltriebs einer Brennkraftmaschine
JP4066266B2 (ja) * 2004-08-09 2008-03-26 松下電器産業株式会社 間欠塗布方法
JP5740902B2 (ja) * 2010-10-19 2015-07-01 日産自動車株式会社 塗布装置及び粘性流体の供給方法

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