JP7410698B2 - 塗布工具および塗布方法 - Google Patents

Description

本発明は、塗布工具および塗布方法に関する。

従来、スロットダイ等と呼ばれる塗布工具が知られている。スロットダイ塗工において、塗布液を塗布幅方向に均等に吐出させるための手法として、チョークバーを流路内部に出し入れ可能にし、流路を任意に規制して吐出量を調整する方法がある。この方法は、特許文献１に示されるＴ－ダイのように、押出成形などで用いられている。このＴ－ダイでは、チョークバーの操作に主に調整ボルトが用いられ、ボルトの回転量とネジピッチからバーの移動量が操作される。
特許文献２に示される押出成形用ダイのように、チョークバーの移動量を正確に測定するような工夫もされている。

特許文献３に示されるダイ塗工装置のように、チョークバーの移動量をより細かく調整するため、マイクロメータヘッドを用いた方法も考えられている。このダイ塗工装置は、塗工液流路に臨ませて配設され、塗工液流路の一方向に亘って分割した複数個の分割バーを連接したチョークバー本体と、各分割バー毎に設けた進退調節具と、を備える。各進退調節具で各分割バーを進退させることで、各分割バー毎に塗工液流路の隙間量を調節する。

実開昭５８－３３２１３号公報 実開平４－９４４２３号公報 特開２００７－４４６４３号公報

上記ダイ塗工装置は、進退調節具がダイ本体から上方に突出して延びている。このため装置を設置するにあたり、装置上方にスペースを確保しなければならない。設置スペースを大きくとるため、設置が困難な場合があり、また塗工中に進退調節具を操作することが難しい。また、被塗布物の塗布液が塗布される部分（以下、塗工部と呼ぶ）を視認しにくかった。

上記事情に鑑み、本発明は、設置スペースを小さく抑えることができ、塗工中でもチョークバーの位置を調整しやすく、塗工部を視認しやすい塗布工具、およびこれを用いた塗布方法を提供することを目的の一つとする。

本発明の塗布工具の一つの態様は、第１方向に互いに隣接配置され、前記第１方向に直交する第２方向に延びる第１ヘッド部材および第２ヘッド部材と、前記第１方向に互いに対向する前記第１ヘッド部材の内側面と前記第２ヘッド部材の内側面との間に設けられ、内部に塗布液が流通し、前記第１方向および前記第２方向に直交する第３方向において前記第１ヘッド部材の先端部と前記第２ヘッド部材の先端部との間から外部に開口するスロットと、前記第１ヘッド部材内を前記第２方向に延び、前記第１方向から前記スロットの内部に突出可能なチョークバーと、前記スロット内への前記チョークバーの突出量を調整する調整機構と、を備え、前記調整機構は、前記第１ヘッド部材内を前記第１方向に延び、前記チョークバーと固定されるシャフトと、前記第１ヘッド部材に対して前記第３方向に移動可能な移動部と、前記移動部の前記第３方向への移動量を、前記シャフトの前記第１方向への移動量に変換するカム部と、を有する。

この塗布工具では、調整機構の移動部を第３方向に移動させると、カム部によってシャフトが第１方向に移動させられる。これにより、シャフトとともにチョークバーが第１方向に移動させられて、チョークバーのスロット内への突出量が調整される。
本発明によれば、調整機構が第１ヘッド部材から第１方向に大きく出っ張ることを抑えられる。これにより、第１方向において塗布工具の設置スペースを小さく抑えることができ、塗布工具を設置しやすい。また、塗工中に操作するなどにより移動部を移動させて、チョークバーの位置を調整することが容易である。また、被塗布物の塗布液が塗布される部分（塗工部）を、塗工中でも観察しやすい。具体的には、例えば、塗布開始時に塗工状態を確認したり、塗工条件を調整したい場合などにおいて、塗工部を視認しやすい。

上記塗布工具において、前記カム部は、前記移動部の前記第３方向への移動量を、前記移動量よりも小さな値の前記シャフトの前記第１方向への移動量に変換することが好ましい。

この場合、カム部によって、移動部の第３方向への移動量よりもシャフトの第１方向への移動量が小さく抑えられるので、チョークバーのスロット内への突出量を微調整しやすい。

上記塗布工具において、前記カム部は、前記移動部に配置され、前記第３方向に向かうに従い前記第１方向に向けて延びる傾斜面と、前記シャフトに設けられ、前記傾斜面に前記第１方向から接触する接触部と、を有することが好ましい。

この場合、移動部が第３方向に移動したときに、傾斜面により接触部が第１方向に押され、接触部とともにシャフトが第１方向に移動させられる。上記構成によれば、シャフトの第１方向への移動量をより小さくして、チョークバーの位置を微調整可能である。具体的には、例えばミクロンオーダー（数μｍ単位）のチョークバーの位置調整を行うことが可能である。

上記塗布工具において、前記接触部は、前記傾斜面上を転動可能なローラーであることが好ましい。

この場合、接触部と傾斜面との摩擦抵抗が低減され、カム部の機能が安定する。

上記塗布工具において、前記カム部は、前記第２方向に延びる回動軸と、前記回動軸の中心軸回りに回動可能な回動部材と、を有し、前記回動部材は、前記第３方向において前記移動部と接触する第１接触部と、前記第１方向において前記シャフトと接触する第２接触部と、を有することが好ましい。

この場合、移動部が第３方向に移動して回動部材の第１接触部を押すと、回動部材が回動軸回りに回動させられる。これにより、回動部材の第２接触部がシャフトを第１方向に押して、チョークバーのスロット内への突出量が調整される。カム部を簡素な構成としつつ、移動部の第３方向への移動量が、カム部によって、シャフトの第１方向への移動量に安定して変換される。

上記塗布工具において、前記調整機構は、前記第１方向において前記シャフトを前記移動部および前記カム部のいずれかに向けて付勢する付勢部を有することが好ましい。

この場合、付勢部によって、シャフトが移動部および前記カム部のいずれかに向け付勢された状態が維持されるので、移動部が第３方向のいずれの向きに移動しても、カム部が安定して機能し、シャフトが第１方向のいずれの向きにも安定して移動させられる。つまり、移動部を移動させることで、チョークバーをスロット内に前進させることも、スロット内から後退させることもできる。このため、チョークバーの位置調整が行いやすい。また、付勢部の付勢力により、カム部のがたつき（バックラッシュ）が抑えられ、カム部の機能がより安定する。

上記塗布工具において、前記調整機構が、前記第２方向に並んで複数設けられることが好ましい。

この場合、複数の調整機構によって、第２方向の各位置でチョークバーのスロット内への突出量を調整できる。したがって、被塗布物に塗布される塗布液の膜厚を、スロットの第２方向の各位置で調整できる。

上記塗布工具において、前記調整機構を前記第１ヘッド部材に固定する固定部を備え、前記調整機構は、前記移動部を前記第３方向に移動可能に支持する本体部を有し、前記固定部は、前記第２方向に延び、複数の前記調整機構の各前記本体部を支持することが好ましい。

この場合、複数の調整機構の各本体部が固定部により支持されて、複数の調整機構と固定部とがユニット化されている。このユニットを第１ヘッド部材に固定することにより、塗布工具を簡単に組み立てることができる。また、このユニットを塗布工具から取り外したり交換したりすることが容易であり、メンテナンスにかかる時間を削減できる。したがって、メンテナンス等のために塗布工具の稼働を停止させる時間を少なく抑えることができ、塗布効率（生産効率）が高められる。また、ユニット化された複数の調整機構のゼロ点合わせ（位置合わせ）を簡単に行うことができ、チョークバーのスロット内への突出量を正確に管理することが可能になり、塗布精度が安定して高められる。

上記塗布工具において、前記固定部は、前記第１ヘッド部材に固定され、前記第２方向に延びる固定バーと、前記固定バーに前記第２方向に互いに間隔をあけて複数設けられ、複数の前記調整機構の各前記本体部を個別に支持する本体部支持部と、を有することが好ましい。

この場合、簡素な構造によって、上述した固定部の作用効果を得ることができる。

上記塗布工具において、前記固定バーと、複数の前記本体部支持部とが、単一の部材により一体に形成されることが好ましい。

この場合、固定バーおよび複数の本体部支持部が、単一の部材により構成されるので、塗布工具の部品点数を少なく抑えることができ、組み立てが容易である。また、固定バーと複数の本体部支持部とが相対的に位置ずれすることがなく、塗布精度が良好に維持される。また、固定バーと複数の本体部支持部との位置合わせが不要であり、メンテナンス時などの作業性が向上する。

上記塗布工具において、前記固定部が、１つのみ設けられることとしてもよい。

この場合、塗布工具の部品点数が少なく抑えられる。

上記塗布工具において、前記固定部が、前記第２方向に並んで複数設けられることとしてもよい。

この場合、固定部が第２方向に長くなり過ぎることが抑えられて、固定部の取り扱いが容易となり、塗布工具が組み立てやすい。

上記塗布工具において、前記移動部は、前記第１ヘッド部材の前記第３方向を向く先端面と、前記第１ヘッド部材の前記第１方向を向く外側面との接続部に対して、前記第３方向の後端側に配置されることが好ましい。

この場合、塗工部を観察する際に、移動部がより邪魔になりにくい。したがって、塗工部がより視認しやすい。

上記塗布工具において、前記調整機構は、前記移動部を前記第３方向に移動させる操作部を有することが好ましい。

この場合、操作部として例えばマイクロメータヘッドのダイヤル等を用い、オペレーターが操作部を手動により操作して、移動部を第３方向に適宜移動させることができる。つまり、操作部を操作することにより、スロット内へのチョークバーの突出量を適宜調整できる。

上記塗布工具において、前記調整機構は、前記移動部を前記第３方向に駆動する駆動部を有することが好ましい。

この場合、駆動部として例えば電動リニアアクチュエータのモータ等を用い、駆動部と電気的に接続された制御部等により駆動部を遠隔操作して、移動部を第３方向に適宜移動させることができる。つまり、遠隔操作により、スロット内へのチョークバーの突出量を適宜調整できる。

上記塗布工具において、前記スロットから被塗布物に塗布された塗布液の膜厚を検出する塗布膜厚検出手段と、前記塗布膜厚検出手段の検出結果に基づいて、前記膜厚が所定範囲となるように、前記駆動部により前記移動部を前記第３方向に移動させる制御部と、を備えることが好ましい。

この場合、被塗布物に塗布される塗布液の膜厚が自動的に所定範囲に収められ、塗布精度が安定して高められる。

また本発明の一つの態様は、上述の塗布工具を用いて被塗布物に塗布液を塗布する塗布方法であって、前記調整機構は、前記第２方向に並んで複数設けられ、前記塗布膜厚検出手段により、前記第２方向の複数の位置のデータ、および、前記複数の位置における各前記膜厚のデータを継続的に取得し、前記位置のデータおよび前記膜厚のデータをネットワークを介して外部サーバに収集し、前記膜厚のデータと予め設定された基準の膜厚のデータとの差の値を算出し、前記差の値と予め設定された閾値とを比較し、前記差の値が前記閾値を超えた場合には、前記第２方向において前記閾値を超えた位置に最も近い前記調整機構の前記移動部を前記駆動部で前記第３方向に駆動して、前記差の値が前記閾値以下となるように前記スロット内への前記チョークバーの突出量を調整する。

本発明の塗布方法によれば、被塗布物に塗布される塗布液の膜厚が第２方向の各位置において自動的に均等化され、塗布精度が安定して高められる。

本発明の一つの態様の塗布工具および塗布方法によれば、設置スペースを小さく抑えることができ、塗工中でもチョークバーの位置を調整しやすく、塗工部を視認しやすい。

本発明の第１実施形態の塗布工具を示す上面図である。 本発明の第１実施形態の塗布工具を示す側面図である。 図１のIII-III断面を示す断面図である。 塗布工具の要部を拡大して示す断面図である。 塗布工具の要部を拡大して示す断面図である。 本発明の第２実施形態の塗布工具を示す上面図である。 本発明の第２実施形態の塗布工具を示す側面図である。 図６のVIII-VIII断面を示す断面図である。 本発明の第３実施形態の塗布工具を示す上面図である。 本発明の第３実施形態の塗布工具の一部を示す側面図である。 本発明の第３実施形態の塗布工具を示す背面図である。 本発明の第４実施形態の塗布工具を示す上面図である。 本発明の第４実施形態の塗布工具の一部を示す側面図である。 本発明の第４実施形態の塗布工具を示す背面図である。 本発明の第５実施形態の塗布工具を示す上面図である。 図１５のXVI-XVI断面を示す断面図である。 塗布工具の要部を拡大して示す断面図である。

＜第１実施形態＞
以下、本発明の第１実施形態の塗布工具１０について、図１～図５を参照して説明する。
本実施形態の塗布工具１０は、例えば、フィルムや金属箔などの被塗布物の表面に塗布液を塗布する、いわゆるＲＯＬＬ ＴＯ ＲＯＬＬ方式のスロットダイである。

図１～図５に示すように、本実施形態の塗布工具１０は、第１ヘッド部材１と、第２ヘッド部材２と、シム部材（不図示）と、位置決めブロック３と、マニホールド４と、スロット５と、チョークバー６と、調整機構７と、カバー８と、を備える。
第１ヘッド部材１および第２ヘッド部材２は、それぞれ、略長方形板状または略直方体状である。第１ヘッド部材１と第２ヘッド部材２とは、互いの内側面同士を対向させた状態で、隣接して配置される。

〔本実施形態で用いる方向の定義〕
本実施形態では、第１ヘッド部材１と第２ヘッド部材２とが対向する方向を、第１方向と呼ぶ。第１ヘッド部材１と第２ヘッド部材２とは、第１方向に互いに隣接配置される。本実施形態において第１方向は、鉛直方向である。第１方向は、上下方向と言い換えてもよい。各図において、第１方向は、Ｚ軸方向である。第１方向のうち、第２ヘッド部材２から第１ヘッド部材１へ向かう方向（第１方向一方側）を上側（＋Ｚ側）と呼び、第１ヘッド部材１から第２ヘッド部材２へ向かう方向（第１方向他方側）を下側（－Ｚ側）と呼ぶ。

第１方向と直交する方向のうち、第１ヘッド部材１および第２ヘッド部材２が延在する方向を、第２方向と呼ぶ。つまり第１ヘッド部材１および第２ヘッド部材２は、第２方向に延びる。本実施形態において第２方向は、水平方向である。第２方向は、左右方向と言い換えてもよい。各図において、第２方向は、Ｘ軸方向である。後述する調整機構７の操作部２２を操作するオペレーターから見て、第２方向一方側を右側（＋Ｘ側）と呼び、第２方向他方側を左側（－Ｘ側）と呼ぶ。

第１方向および第２方向と直交する方向を、第３方向と呼ぶ。本実施形態において第３方向は、水平方向である。第３方向は、前後方向と言い換えてもよい。各図において、第３方向は、Ｙ軸方向である。第３方向のうち、第１ヘッド部材１と第２ヘッド部材２との間からスロット５が不図示の被塗布物に向けて開口する方向（第３方向一方側）を先端側（＋Ｙ側）と呼び、これとは反対の方向（第３方向他方側）を後端側（－Ｙ側）と呼ぶ。

〔第１ヘッド部材〕
第１ヘッド部材１は、例えばステンレス製である。
第１ヘッド部材１は、内側面１ａと、外側面１ｂと、先端面１ｃと、後端面１ｄと、左側面１ｅと、右側面１ｆと、第１凹部１１と、第２凹部１２と、シャフト孔１３と、押え板１４と、第１塗布液供給路（不図示）と、を有する。

内側面１ａは、第１ヘッド部材１の外面のうち、第２ヘッド部材２に対向する面である。内側面１ａは、第１ヘッド部材１において第１方向を向く面であり、下側を向く。内側面１ａは、第１方向に垂直な平坦面状である。

外側面１ｂは、第１ヘッド部材１の外面のうち、第２ヘッド部材２とは反対方向を向く面である。外側面１ｂは、第１ヘッド部材１において第１方向を向く面であり、上側を向く。外側面１ｂは、第１方向に垂直な平坦面状である。

先端面１ｃは、第１ヘッド部材１の外面のうち、第３方向を向く面であり、先端側を向く。先端面１ｃは、第１方向に向かうに従い第３方向に向けて傾斜して延びる。具体的に、先端面１ｃは、下側に向かうに従い先端側に向けて傾斜する。図示の例では、先端面１ｃのうち、下端部における第１方向に沿う単位長さあたりの第３方向への変位量（つまり鉛直方向に対する傾き）が、下端部以外の部分における前記変位量よりも大きい。

後端面１ｄは、第１ヘッド部材１の外面のうち、第３方向を向く面であり、後端側を向く。後端面１ｄは、第３方向に垂直な平坦面状である。
左側面１ｅは、第１ヘッド部材１の外面のうち、第２方向を向く面であり、左側を向く。左側面１ｅは、第２方向に垂直な平坦面状である。
右側面１ｆは、第１ヘッド部材１の外面のうち、第２方向を向く面であり、右側を向く。右側面１ｆは、第２方向に垂直な平坦面状である。

第１凹部１１は、内側面１ａから第１方向に窪み第２方向に延びる溝状である。第１凹部１１は、内側面１ａから上側に窪む。図示の例では、第１凹部１１の第１方向の長さが、第１凹部１１の第３方向の長さよりも長い。第１凹部１１の第２方向の長さは、第１ヘッド部材１の第２方向の全長よりも短い。第１凹部１１は、第１ヘッド部材１の左側面１ｅおよび右側面１ｆには開口しない。

第２凹部１２は、外側面１ｂから第１方向に窪み第２方向に延びる溝状である。第２凹部１２は、外側面１ｂから下側に窪む。図示の例では、第２凹部１２の第１方向の長さが、第２凹部１２の第３方向の長さよりも短い。第２凹部１２は、第１ヘッド部材１の左側面１ｅおよび右側面１ｆに開口する。
本実施形態では、第１凹部１１の溝幅（第３方向の長さ）が、第２凹部１２の溝幅よりも小さい。

シャフト孔１３は、第１ヘッド部材１に複数設けられる。複数のシャフト孔１３は、第２方向に互いに間隔をあけて配列する。
シャフト孔１３は、第１ヘッド部材１の内部を第１方向に延びる。シャフト孔１３の第１方向の両端部は、第１凹部１１と第２凹部１２とに開口する。シャフト孔１３の下端部は、第１凹部１１内に開口する。シャフト孔１３の上端部は、第２凹部１２内に開口する。つまり、第１凹部１１、第２凹部１２およびシャフト孔１３は、互いに連通する。
シャフト孔１３は、小径部１３ａと、大径部１３ｂと、座金１３ｃと、を有する。

小径部１３ａは、シャフト孔１３のうち下側部分に位置する。小径部１３ａは、上下方向に延びる円孔状である。小径部１３ａの下端部は、第１凹部１１の溝底に開口する。
大径部１３ｂは、シャフト孔１３のうち上側部分に位置する。大径部１３ｂは、上下方向に延びる円孔状である。大径部１３ｂの上端部は、第２凹部１２の溝底に開口する。大径部１３ｂの下端部は、小径部１３ａの上端部と繋がる。大径部１３ｂの内径は、小径部１３ａの内径よりも大きい。
座金１３ｃは、大径部１３ｂの底面に配置される。座金１３ｃは、一対の板面が第１方向を向く円形リング板状である。図示の例では、座金１３ｃが、第１方向に積層して複数設けられる。

押え板１４は、一対の板面が第１方向を向く板状である。押え板１４は、第２方向に延びる。押え板１４は、第２凹部１２の底部に配置される。押え板１４の一対の板面（上面および下面）のうち、下面は、第２凹部１２の底面と接触する。押え板１４の第２方向の長さは、第２凹部１２の第２方向の長さよりも短い。押え板１４は、複数のボルト２３により第２凹部１２の底部に固定される。
押え板１４は、押え板１４を第１方向に貫通する貫通孔１４ａを有する。貫通孔１４ａは、例えば円孔である。貫通孔１４ａは、押え板１４に複数設けられる。複数の貫通孔１４ａは、第２方向に互いに間隔をあけて配置される。

第１塗布液供給路（不図示）は、第１ヘッド部材１の内部を延び、後述するマニホールド４に開口する。第１塗布液供給路は、第１ヘッド部材１の内側面１ａと、例えば外側面１ｂとに開口する。第１塗布液供給路は、例えば、第１ヘッド部材１に２つ設けられ、マニホールド４の第２方向の両端部に開口する。特に図示しないが、第１塗布液供給路は、塗布工具１０の外部に設けられるポンプ等を介して、塗布液タンクと接続される。

〔第２ヘッド部材〕
第２ヘッド部材２は、例えばステンレス製である。第２ヘッド部材２は、不図示のボルト等により、第１ヘッド部材１と固定される。
第２ヘッド部材２は、内側面２ａと、外側面２ｂと、先端面２ｃと、後端面２ｄと、左側面２ｅと、右側面２ｆと、第２塗布液供給路２ｇと、を有する。

内側面２ａは、第２ヘッド部材２の外面のうち、第１ヘッド部材１に対向する面である。内側面２ａは、第２ヘッド部材２において第１方向を向く面であり、上側を向く。内側面２ａは、第１方向に垂直な平坦面状である。

外側面２ｂは、第２ヘッド部材２の外面のうち、第１ヘッド部材１とは反対方向を向く面である。外側面２ｂは、第２ヘッド部材２において第１方向を向く面であり、下側を向く。外側面２ｂは、第１方向に垂直な平坦面状である。

先端面２ｃは、第２ヘッド部材２の外面のうち、第３方向を向く面であり、先端側を向く。先端面２ｃは、第１方向に向かうに従い第３方向に向けて傾斜して延びる。具体的に、先端面２ｃは、上側に向かうに従い先端側に向けて傾斜する。図示の例では、先端面２ｃのうち、上端部における第１方向に沿う単位長さあたりの第３方向への変位量（つまり鉛直方向に対する傾き）が、上端部以外の部分における前記変位量よりも大きい。

後端面２ｄは、第２ヘッド部材２の外面のうち、第３方向を向く面であり、後端側を向く。後端面２ｄは、第３方向に垂直な平坦面状である。
左側面２ｅは、第２ヘッド部材２の外面のうち、第２方向を向く面であり、左側を向く。左側面２ｅは、第２方向に垂直な平坦面状である。
右側面２ｆは、第２ヘッド部材２の外面のうち、第２方向を向く面であり、右側を向く。右側面２ｆは、第２方向に垂直な平坦面状である。

第２塗布液供給路２ｇは、第２ヘッド部材２の内部を延び、後述するマニホールド４に開口する。第２塗布液供給路２ｇは、マニホールド４の内周面と、第２ヘッド部材２の後端面２ｄとに開口する。第２塗布液供給路２ｇは、例えば、第２ヘッド部材２に１つ設けられ、マニホールド４の第２方向の中央部に開口する。特に図示しないが、第２塗布液供給路２ｇは、塗布工具１０の外部に設けられるポンプ等を介して、塗布液タンクと接続される。

〔シム部材〕
シム部材は、例えば樹脂製である。
特に図示しないが、シム部材は、一対の板面が第１方向を向く板状である。シム部材の板厚は、例えば数百μｍである。シム部材の板厚寸法は、後述するスロット５の第１方向の開口寸法と等しい。
シム部材は、第１方向から見て、略コ字状つまり略Ｕ字状であり、先端側に向けて開口する凹所を有する。シム部材の凹所の第２方向の寸法は、スロット５の第２方向の開口寸法（開口幅）と等しく、塗布工具１０が被塗布物に塗布液を塗布する際の「塗布幅」と略同じである。

特に図示しないが、シム部材は、マニホールド４およびスロット５の第２方向の両側に位置する一対の第１部分と、マニホールド４の後端側に位置する第２部分と、を有する。
一対の第１部分は、シム部材の第２方向の両端部に位置する。一対の第１部分は、シム部材の凹所の第２方向の両側に配置される。第１部分は、第３方向に延びる。
第２部分は、シム部材の後端部に位置する。第２部分は、シム部材の凹所の後端側に配置される。第２部分は、第２方向に延びる。

〔位置決めブロック〕
位置決めブロック３は、特に第３方向において、第１ヘッド部材１と第２ヘッド部材２とを位置決めする。位置決めブロック３は、第１ヘッド部材１の先端部と、第２ヘッド部材２の先端部とを位置決めする。位置決めブロック３は、一対の板面が第３方向を向く板状であり、図示の例では長方形板状である。位置決めブロック３は、第１方向に延びる。

位置決めブロック３の一対の板面のうち、前面は、第１ヘッド部材１の後端面１ｄおよび第２ヘッド部材２の後端面２ｄと接触する。位置決めブロック３は、不図示のボルト等により、第１ヘッド部材１および第２ヘッド部材２と固定される。
位置決めブロック３は、複数設けられる。複数の位置決めブロック３は、互いに第２方向に間隔をあけて配置される。

〔マニホールド〕
マニホールド４は、第１ヘッド部材１と第２ヘッド部材２との間に設けられる。マニホールド４は、第１ヘッド部材１と第２ヘッド部材２との間に位置する空間（室）であり、内部に塗布液を一時的に保持する。マニホールド４には、第１塗布液供給路（不図示）および第２塗布液供給路２ｇから塗布液が流入し、この塗布液はマニホールド４内に一時的に保持されて、スロット５へ流出する。つまりマニホールド４の内部には、塗布液が流通する。

本実施形態では、マニホールド４が、第２ヘッド部材２の内側面２ａから第１方向に窪み第２方向に延びる溝状である。マニホールド４は、内側面２ａから下側に窪む。マニホールド４の第２方向の長さは、第２ヘッド部材２の第２方向の全長よりも短い。マニホールド４は、第２ヘッド部材２の左側面２ｅおよび右側面２ｆには開口しない。図３に示すように、マニホールド４は、第２方向に垂直な断面視で略半円形状である。

〔スロット〕
スロット５は、第１方向に互いに対向する第１ヘッド部材１の内側面１ａと第２ヘッド部材２の内側面２ａとの間に設けられる。スロット５は、内部に塗布液が流通する。スロット５は、第３方向において第１ヘッド部材１の先端部（刃先部）と第２ヘッド部材２の先端部（刃先部）との間から外部に開口する。スロット５の先端部（開口部）は、第１方向において第１ヘッド部材１の先端部と第２ヘッド部材２の先端部との間に配置され、被塗布物へ向けて先端側に開口する。スロット５の後端部は、マニホールド４と連通する。スロット５の第２方向の両端部は、上述したシム部材の一対の第１部分により画成される。

〔チョークバー〕
チョークバー６は、例えばステンレス製である。チョークバー６は、第１ヘッド部材１内を第２方向に延び、第１方向からスロット５の内部に突出可能である。チョークバー６は、スロット５のうち、第３方向においてマニホールド４とスロット５の先端部（開口部）との間に位置する部分に突出する。図示の例では、チョークバー６が、スロット５のうち、マニホールド４と接続する後端部近傍においてスロット５内に突出可能である。チョークバー６は、マニホールド４からスロット５の先端部へ向けてスロット５内を流れる塗布液の流量を調整する。

チョークバー６は、第２方向に延びる角棒状であり、本実施形態では１つ設けられる。チョークバー６の第２方向の長さは、第１ヘッド部材１の第２方向の全長よりも短い。チョークバー６の第２方向の長さは、マニホールド４の第２方向の長さおよびスロット５の第２方向の長さと、略同じである。チョークバー６は、第１ヘッド部材１の第１凹部１１内に収容される。チョークバー６は、第１方向において、第２ヘッド部材２の内側面２ａと隙間をあけて対向する。

チョークバー６は、第１凹部１１内を第１方向に摺動する。図４に示す状態では、チョークバー６の下面が、第１方向において第１ヘッド部材１の内側面１ａと同じ位置に配置される。つまりチョークバー６の下面と、第１ヘッド部材１の内側面１ａとが、互いに面一である。図５に示す状態では、チョークバー６の下面が、第１ヘッド部材１の内側面１ａよりも下側に突出する。チョークバー６が第１ヘッド部材１内を第１方向に移動することにより、スロット５内へのチョークバー６の突出量が変化し、スロット５の第１方向の内寸が変化する。

〔調整機構〕
調整機構７は、第１ヘッド部材１に対してチョークバー６を第１方向に移動させる。調整機構７は、スロット５内へのチョークバー６の突出量を調整する。図１に示すように、調整機構７は、第２方向に並んで複数設けられる。
図１～図５に示すように、調整機構７は、シャフト１５と、シール部１６と、本体部１７と、移動部１８と、カム部１９と、付勢部２１と、操作部２２と、を有する。

シャフト１５は、例えばステンレス製である。シャフト１５は、第１ヘッド部材１内を第１方向に延び、チョークバー６と固定される。シャフト１５は、各調整機構７に１つ設けられる。調整機構７が塗布工具１０に複数設けられることにより、シャフト１５も塗布工具１０に複数設けられる。複数のシャフト１５は、第２方向に互いに間隔をあけて配置される。シャフト１５は、第１ヘッド部材１のシャフト孔１３内に挿入される。シャフト１５は、第１ヘッド部材１に対して、シャフト孔１３内を第１方向に移動可能である。

本実施形態では、シャフト１５が略円柱状である。シャフト１５の第１方向の長さは、シャフト孔１３の第１方向の長さよりも長い。シャフト１５の下端面は、チョークバー６の上面と接触する。図示の例では、シャフト１５の下端部が、チョークバー６とネジにより固定される。シャフト１５の下端部は、シャフト孔１３から第１凹部１１内に突出する。シャフト１５の上端部は、シャフト孔１３から第２凹部１２内に突出する。シャフト１５の上端部は、押え板１４の貫通孔１４ａに挿入されて、押え板１４よりも上側に突出する。図示の例では、シャフト１５の上端部が、第１ヘッド部材１の外側面１ｂよりも上側に突出する。
図４に示すように、シャフト１５は、シール溝１５ａと、鍔部１５ｂと、ローラー支持部１５ｃと、を有する。

シール溝１５ａは、シャフト１５の外周面からシャフト１５の径方向内側に窪み、シャフト１５の中心軸回りに沿ってシャフト１５の外周面の全周にわたって延びる環状である。シール溝１５ａは、シャフト１５の下側部分に配置される。シール溝１５ａは、シャフト１５の径方向において、シャフト孔１３の小径部１３ａの内周面と対向する。図示の例では、シール溝１５ａが、シャフト１５の外周面に第１方向に互いに間隔をあけて複数設けられる。

鍔部１５ｂは、シャフト１５の外周面からシャフト１５の径方向外側に突出し、シャフト１５の中心軸回りに沿ってシャフト１５の外周面の全周にわたって延びる環状である。鍔部１５ｂは、一対の板面が第１方向を向く円形リング板状である。鍔部１５ｂは、シャフト１５の上側部分に配置される。鍔部１５ｂは、シャフト１５の径方向において、シャフト孔１３の大径部１３ｂの内周面と対向する。鍔部１５ｂは、シャフト１５において最も外径が大きい。鍔部１５ｂの上面は、押え板１４の下面と離間可能に接触する。

ローラー支持部１５ｃは、シャフト１５の上端部に配置される。ローラー支持部１５ｃは、第３方向から見て、略コ字状つまり略Ｕ字状であり、上側に向けて開口する凹部を有する。ローラー支持部１５ｃの凹部には、後述するカム部１９のローラー（接触部）１９ｂが配置される。ローラー支持部１５ｃは、ローラー１９ｂを回転自在に支持する。

シール部１６は、例えばゴム等の弾性材料により形成される。シール部１６は、環状であり、シャフト１５の中心軸回りに沿って延びる。シール部１６は、例えばＯリング等である。シール部１６は、１つのシャフト１５に複数設けられる。複数のシール部１６は、第１方向に互いに間隔をあけて配置される。シール部１６は、シール溝１５ａ内に配置される。

シール部１６の内周部は、シール溝１５ａの溝底と接触する。シール部１６の第１方向の両端部のうち少なくとも一方は、シール溝１５ａの溝壁と接触する。シール部１６の外周部は、シャフト孔１３の小径部１３ａの内周面と接触する。シール部１６は、小径部１３ａの内周面に対して第１方向に摺動する。

本実施形態において、本体部１７の一部、移動部１８の一部および操作部２２は、例えばマイクロメータヘッド等を構成する部材である。
本体部１７は、第１ヘッド部材１に不図示のボルト等により固定される。本体部１７は、第１ヘッド部材１の外側面１ｂに設けられる。本体部１７は、外側面１ｂ上において第２凹部１２の後端側に配置される。本体部１７は、移動部１８を第３方向に移動可能に支持する。
本体部１７は、マイクロメータヘッド本体１７ａと、取付け金具１７ｂと、を有する。

マイクロメータヘッド本体１７ａは、第３方向に延びる筒状または柱状である。マイクロメータヘッド本体１７ａは、取付け金具１７ｂと固定される。
取付け金具１７ｂは、マイクロメータヘッド本体１７ａを支持し、不図示のボルト等により第１ヘッド部材１の外側面１ｂと固定される。

移動部１８は、第１ヘッド部材１に対して第３方向に移動可能である。移動部１８は、第３方向に移動可能に本体部１７に支持される。図３に示すように、移動部１８は、第１ヘッド部材１の先端面１ｃと、第１ヘッド部材１の外側面１ｂとの接続部１ｇに対して、第３方向の後端側に配置される。接続部１ｇは、第１ヘッド部材１において先端面１ｃと外側面１ｂとが接続する角部である。
図４に示すように、移動部１８は、マイクロメータヘッド軸１８ａと、押圧ブロック１８ｂと、を有する。

マイクロメータヘッド軸１８ａは、第３方向に延びる軸状である。マイクロメータヘッド軸１８ａは、マイクロメータヘッド本体１７ａから先端側に向けて突出する。マイクロメータヘッド軸１８ａは、第３方向に移動可能にマイクロメータヘッド本体１７ａに支持される。

押圧ブロック１８ｂは、略直方体状である。押圧ブロック１８ｂは、マイクロメータヘッド軸１８ａと固定される。押圧ブロック１８ｂは、マイクロメータヘッド軸１８ａの先端部と接続され、マイクロメータヘッド軸１８ａの先端側に位置する。押圧ブロック１８ｂは、第１方向から見て、シャフト１５およびチョークバー６と重なって配置される。

カム部１９は、移動部１８の第３方向への移動量を、シャフト１５の第１方向への移動量に変換する。具体的に、カム部１９は、移動部１８の第３方向への移動量を、この移動量よりも小さな値のシャフト１５の第１方向への移動量に変換する。
カム部１９は、傾斜面１９ａと、接触部１９ｂと、を有する。

傾斜面１９ａは、移動部１８に配置され、第３方向に向かうに従い第１方向に向けて延びる。傾斜面１９ａは、押圧ブロック１８ｂの第１方向を向く面に配置される。本実施形態では、傾斜面１９ａが、押圧ブロック１８ｂの下面に配置される。傾斜面１９ａは、先端側に向かうに従い上側に向けて延びる。傾斜面１９ａは、第３方向に沿う単位長さあたりの第１方向へ向けた変位量（つまり水平方向に対する傾き）が、傾斜面１９ａの第３方向の全長にわたって一定である。傾斜面１９ａは、第３方向に対して傾斜する平坦面状である。

接触部１９ｂは、シャフト１５に設けられ、傾斜面１９ａに第１方向から接触する。接触部１９ｂは、シャフト１５の上端部に設けられる。本実施形態では、接触部１９ｂが、傾斜面１９ａ上を転動可能なローラーである。接触部１９ｂは、ローラー支持部１５ｃに回転自在に支持され、傾斜面１９ａに対して下側から接触する。接触部１９ｂの回転中心軸は、第２方向に延びる。接触部１９ｂは、傾斜面１９ａ上を第３方向に転動しつつ、第１方向に移動する。

付勢部２１は、例えば圧縮コイルバネ等の弾性部材である。付勢部２１は、第１方向に延びる円筒状であり、内部にシャフト１５が挿入される。付勢部２１は、シャフト孔１３の大径部１３ｂ内に配置されて、第１方向に伸縮する。付勢部２１の上端部は、鍔部１５ｂの下面と接触する。付勢部２１の下端部は、座金１３ｃの上面と接触する。
付勢部２１は、第１方向においてシャフト１５を移動部１８およびカム部１９のいずれかに向けて付勢する。本実施形態では付勢部２１が、第１方向においてシャフト１５を、移動部１８の押圧ブロック１８ｂおよびカム部１９の傾斜面１９ａに向けて付勢する。具体的に付勢部２１は、シャフト１５を押圧ブロック１８ｂおよび傾斜面１９ａに向けて、上側に付勢する。すなわち本実施形態では、付勢部２１が、第１方向においてシャフト１５を移動部１８およびカム部１９に向けて付勢する。

図１～図３に示すように、操作部２２は、マイクロメータヘッド本体１７ａの後端部に配置される。本実施形態では、操作部２２が、第１ヘッド部材１の後端面１ｄよりも後端側に位置する。操作部２２は、マイクロメータヘッド本体１７ａに対して、第３方向に延びる不図示のマイクロメータヘッド中心軸回りに回動される。操作部２２は、例えばマイクロメータヘッドのダイヤル等である。

操作部２２が、マイクロメータヘッド本体１７ａに対してマイクロメータヘッド中心軸回りに回動されることにより、マイクロメータヘッド本体１７ａに対してマイクロメータヘッド軸１８ａが、第３方向に移動する。つまり操作部２２は、本体部１７および第１ヘッド部材１に対して、移動部１８を第３方向に移動させる。マイクロメータヘッド本体１７ａに対して操作部２２がマイクロメータヘッド中心軸回りの一方側に回転させられたときに、移動部１８は第３方向の先端側に移動する。マイクロメータヘッド本体１７ａに対して操作部２２がマイクロメータヘッド中心軸回りの他方側に回転させられたときに、移動部１８は第３方向の後端側に移動する。

〔カバー〕
図２に示すように、カバー８は、第１ヘッド部材１に着脱可能に装着される。カバー８は、塗工中であっても第１ヘッド部材１から取り外し可能であることが好ましい。カバー８は、例えば有頂の箱状等である。カバー８は、調整機構７の移動部１８、カム部１９、シャフト１５の上端部および第２凹部１２等を、第１方向の上側、第２方向の両側および第３方向の両側から覆う。

〔本実施形態による作用効果〕
以上説明した本実施形態の塗布工具１０では、図４および図５に示すように、調整機構７の移動部１８を第３方向に移動させると、カム部１９によってシャフト１５が第１方向に移動させられる。これにより、シャフト１５とともにチョークバー６が第１方向に移動させられて、チョークバー６のスロット５内への突出量が調整される。
本実施形態によれば、調整機構７が第１ヘッド部材１から第１方向に大きく出っ張ることを抑えられる。これにより、第１方向において塗布工具１０の設置スペースを小さく抑えることができ、塗布工具１０を設置しやすい。また、塗工中に操作するなどにより移動部１８を移動させて、チョークバー６の位置を調整することが容易である。また、被塗布物の塗布液が塗布される部分（塗工部）を、塗工中でも観察しやすい。具体的には、例えば、塗布開始時に塗工状態を確認したり、塗工条件を調整したい場合などにおいて、オペレーターが調整機構７の上側のスペースを通して、塗工部を視認しやすい。

また本実施形態では、カム部１９が、移動部１８の第３方向への移動量を、この移動量よりも小さな値のシャフト１５の第１方向への移動量に変換する。
この場合、カム部１９によって、移動部１８の第３方向への移動量よりもシャフト１５の第１方向への移動量が小さく抑えられるので、チョークバー６のスロット５内への突出量を微調整しやすい。

また本実施形態では、カム部１９が傾斜面１９ａと接触部１９ｂとを有しており、移動部１８が第３方向に移動したときに、傾斜面１９ａにより接触部１９ｂが第１方向に押され、接触部１９ｂとともにシャフト１５が第１方向に移動させられる。上記構成によれば、シャフト１５の第１方向への移動量をより小さくして、チョークバー６の位置を微調整可能である。具体的には、例えばミクロンオーダー（数μｍ単位）のチョークバー６の位置調整を行うことが可能である。

また本実施形態では、接触部１９ｂが、傾斜面１９ａ上を転動可能なローラーであるので、接触部１９ｂと傾斜面１９ａとの摩擦抵抗が低減され、カム部１９の機能が安定する。

また本実施形態では、付勢部２１によって、シャフト１５が移動部１８およびカム部１９のいずれかに向け付勢された状態が維持されるので、移動部１８が第３方向のいずれの向きに移動しても、カム部１９が安定して機能し、シャフト１５が第１方向のいずれの向きにも安定して移動させられる。つまり、移動部１８を移動させることで、チョークバー６をスロット５内に前進させることも、スロット５内から後退させることもできる。このため、チョークバー６の位置調整が行いやすい。また、付勢部２１の付勢力により、傾斜面１９ａと接触部１９ｂとの接触状態が良好に維持されるので、カム部１９のがたつき（バックラッシュ）が抑えられ、カム部１９の機能がより安定する。

また本実施形態では、調整機構７が、第２方向に並んで複数設けられる。
この場合、複数の調整機構７によって、第２方向の各位置でチョークバー６のスロット５内への突出量を調整できる。したがって、被塗布物に塗布される塗布液の膜厚を、スロット５の第２方向の各位置で調整できる。

また本実施形態では、移動部１８が、第１ヘッド部材１の先端面１ｃと外側面１ｂとの接続部分に位置する接続部１ｇに対して、後端側に配置される。
この場合、オペレーターが塗工部を観察する際に、移動部１８がより邪魔になりにくい。したがって、塗工部がより視認しやすい。

また本実施形態では、調整機構７が、移動部１８を第３方向に移動させる操作部２２を有する。
この場合、操作部２２として例えばマイクロメータヘッドのダイヤル等を用い、オペレーターが操作部２２を手動により操作して、移動部１８を第３方向に適宜移動させることができる。つまり、操作部２２を操作することにより、スロット５内へのチョークバー６の突出量を適宜調整できる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態の塗布工具２０、およびこれを用いて被塗布物に塗布液を塗布する塗布方法について、図６～図８を参照して説明する。なお、第２実施形態では、第１実施形態と同じ構成要素については同じ符号を付して、その説明を省略する。

本実施形態の塗布工具２０は、前述の塗布工具１０が備える第１ヘッド部材１、第２ヘッド部材２、シム部材（不図示）、位置決めブロック３、マニホールド４、スロット５、チョークバー６、調整機構７およびカバー８以外に、さらに、塗布膜厚検出手段（不図示）と、制御部（不図示）と、を備える。
また塗布工具２０は、前述の実施形態で説明した塗布工具１０とは、調整機構７の構成が異なる。

〔調整機構〕
図６～図８に示すように、本実施形態の調整機構７は、シャフト１５と、シール部１６と、本体部１７と、移動部１８と、カム部１９と、付勢部２１と、駆動部２４と、を有する。
本実施形態において、本体部１７の一部、移動部１８の一部および駆動部２４は、例えば電動アクチュエータ等を構成する部材である。

本体部１７は、アクチュエータ本体１７ｃと、取付け金具１７ｂと、を有する。
アクチュエータ本体１７ｃは、第３方向に延びる筒状または柱状である。アクチュエータ本体１７ｃは、取付け金具１７ｂと固定される。
取付け金具１７ｂは、アクチュエータ本体１７ｃを支持し、不図示のボルト等により第１ヘッド部材１の外側面１ｂと固定される。

移動部１８は、アクチュエータ軸１８ｃと、押圧ブロック１８ｂと、を有する。
アクチュエータ軸１８ｃは、第３方向に延びる軸状である。アクチュエータ軸１８ｃは、アクチュエータ本体１７ｃから先端側に向けて突出する。アクチュエータ軸１８ｃは、第３方向に移動可能にアクチュエータ本体１７ｃに支持される。
押圧ブロック１８ｂは、アクチュエータ軸１８ｃと固定される。押圧ブロック１８ｂは、アクチュエータ軸１８ｃの先端部と接続され、アクチュエータ軸１８ｃの先端側に位置する。

駆動部２４は、アクチュエータ本体１７ｃの内部に配置される。駆動部２４は、例えばサーボモータ等の直動モータである。駆動部２４は、本体部１７および第１ヘッド部材１に対して、移動部１８を第３方向に駆動する。駆動部２４は、移動部１８を第３方向の先端側および後端側に駆動させることが可能である。

〔塗布膜厚検出手段〕
特に図示しないが、塗布膜厚検出手段は、スロット５から被塗布物に塗布された塗布液の膜厚を検出する。塗布膜厚検出手段は、塗布液が塗布された被塗布物に対して非接触に、被塗布物上の塗布液の第２方向の各位置（複数の位置）での膜厚を検出する。

〔制御部〕
特に図示しないが、制御部は、駆動部２４と電気的に接続される。制御部は、例えば制御基板等である。制御部と駆動部２４とは、配線を介して（つまり有線で）電気的に接続されてもよく、無線により電気的に接続されてもよい。
制御部は、塗布膜厚検出手段の検出結果に基づいて、被塗布物に塗布された塗布液の膜厚が所定範囲となるように、駆動部２４により移動部１８を第３方向に移動させる。

〔塗布方法〕
次に、本実施形態の塗布工具２０を用いて被塗布物に塗布液を塗布する塗布方法について説明する。なお、本実施形態の塗布工具２０においても、調整機構７は、第２方向に並んで複数設けられている。
本実施形態の塗布方法は、塗布膜厚検出手段により、第２方向の複数の位置のデータ、および、複数の位置における各膜厚のデータを継続的に取得し、位置のデータおよび膜厚のデータをネットワークを介して外部サーバに収集し、膜厚のデータと予め設定された基準の膜厚のデータとの差の値を算出し、差の値と予め設定された閾値とを比較し、差の値が閾値を超えた場合には、第２方向において閾値を超えた位置に最も近い調整機構７の移動部１８を駆動部２４で第３方向に駆動して、差の値が閾値以下となるようにスロット５内へのチョークバー６の突出量を調整する。

〔本実施形態による作用効果〕
以上説明した本実施形態の塗布工具２０によれば、前述した実施形態と同様の作用効果が得られる。

また本実施形態では、調整機構７が、移動部１８を第３方向に駆動する駆動部２４を有する。
この場合、駆動部２４として例えば電動リニアアクチュエータのモータ等を用い、駆動部２４と電気的に接続された制御部等により駆動部２４を遠隔操作して、移動部１８を第３方向に適宜移動させることができる。つまり、遠隔操作により、スロット５内へのチョークバー６の突出量を適宜調整できる。

また、本実施形態の塗布工具２０は、塗布膜厚検出手段および制御部を備えるので、被塗布物に塗布される塗布液の膜厚が自動的に所定範囲に収められ、塗布精度が安定して高められる。

また、本実施形態の塗布工具２０を用いた塗布方法によれば、被塗布物に塗布される塗布液の膜厚が第２方向の各位置において自動的に均等化され、塗布精度が安定して高められる。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態の塗布工具３０について、図９～図１１を参照して説明する。第３実施形態の塗布工具３０は、第１実施形態で説明した塗布工具１０と構成が一部異なっている。なお、本実施形態では、前述の実施形態と同じ構成要素については同じ符号を付して、その説明を省略する。

図９～図１１に示すように、本実施形態の塗布工具３０は、第１実施形態の塗布工具１０が備える第１ヘッド部材１、第２ヘッド部材２、シム部材（不図示）、位置決めブロック３、マニホールド４、スロット５、チョークバー６、調整機構７およびカバー８（不図示）以外に、さらに、固定部２５を備える。
また塗布工具３０は、第１実施形態で説明した塗布工具１０と調整機構７の構成が一部異なる。本実施形態の調整機構７は、取付け金具１７ｂを有しておらず、塗布工具３０は、取付け金具１７ｂの代わりに固定部２５を備える。

〔固定部〕
固定部２５は、調整機構７を第１ヘッド部材１に固定する。固定部２５は、第１ヘッド部材１の外側面１ｂに設けられ、第２方向に延びる。固定部２５は、複数の調整機構７の各本体部１７を支持する。具体的に、本実施形態において固定部２５は、各調整機構７のマイクロメータヘッド本体１７ａを、第１ヘッド部材１に固定する。本実施形態では固定部２５が、１つのみ設けられる。
固定部２５は、固定バー２５ａと、本体部支持部２５ｂと、固定ネジ２５ｃと、クランプネジ２５ｄと、を有する。

固定バー２５ａは、第１ヘッド部材１に固定され、第２方向に延びる。固定バー２５ａは、第２方向に延びる長方形板状である。固定バー２５ａの一対の板面（上面および下面）は、第１方向を向く。固定バー２５ａの下面は、第１ヘッド部材１の外側面１ｂと接触する。本実施形態では固定バー２５ａが、外側面１ｂのうち第２凹部１２よりも後端側に位置する。固定バー２５ａは、複数の固定ネジ２５ｃにより、第１ヘッド部材１に固定される。複数の固定ネジ２５ｃは、第２方向に互いに間隔をあけて配置される。固定バー２５ａの第２方向の長さは、マニホールド４の第２方向の長さよりも小さく、スロット５の第２方向の開口寸法（開口幅）よりも小さい。

本体部支持部２５ｂは、固定バー２５ａに第２方向に互いに間隔をあけて複数設けられ、複数の調整機構７の各本体部１７を個別に支持する。本体部支持部２５ｂは、固定バー２５ａの上面に設けられる。本体部支持部２５ｂは、固定バー２５ａの上面から上側に突出する。本実施形態では、固定バー２５ａと、複数の本体部支持部２５ｂとが、単一の部材により一体に形成される。

図１１に示すように塗布工具３０を後端側から見た背面視で、本体部支持部２５ｂは、略Ｃ字状である。本体部支持部２５ｂは、挿入孔と、スリットと、を有する。挿入孔は、本体部支持部２５ｂを第３方向に貫通する。本実施形態では挿入孔が、円孔である。挿入孔の内部には、本体部１７が挿入される。挿入孔の内部には、本体部１７の先端部が配置される。スリットは、本体部支持部２５ｂの第２方向を向く側面（本実施形態では右側面）と挿入孔とに開口する。これにより本体部支持部２５ｂは、挿入孔の内径を変化させるように弾性変形可能である。

クランプネジ２５ｄは、各本体部支持部２５ｂにそれぞれ設けられる。クランプネジ２５ｄは、本体部支持部２５ｂのスリットの上側部分と下側部分とにわたって、第１方向に延びる。クランプネジ２５ｄを締め込むことにより、本体部支持部２５ｂは弾性変形し、挿入孔の内径が狭められる。これにより、本体部１７は本体部支持部２５ｂに固定される。また、クランプネジ２５ｄを緩めることにより、本体部支持部２５ｂは復元変形し、挿入孔の内径が元の大きさに戻される。これにより、本体部１７が本体部支持部２５ｂに固定された状態が解除される。

〔本実施形態による作用効果〕
以上説明した本実施形態の塗布工具３０によれば、前述した実施形態と同様の作用効果が得られる。

また本実施形態では、複数の調整機構７の各本体部１７が固定部２５により支持されて、複数の調整機構７と固定部２５とがユニット化されている。このユニットを第１ヘッド部材１に固定することにより、塗布工具３０を簡単に組み立てることができる。また、このユニットを塗布工具３０から取り外したり交換したりすることが容易であり、メンテナンスにかかる時間を削減できる。したがって、メンテナンス等のために塗布工具３０の稼働を停止させる時間を少なく抑えることができ、塗布効率（生産効率）が高められる。また、ユニット化された複数の調整機構７のゼロ点合わせ（位置合わせ）を簡単に行うことができ、チョークバー６のスロット５内への突出量を正確に管理することが可能になり、塗布精度が安定して高められる。

また本実施形態では、固定部２５が、固定バー２５ａと、複数の本体部支持部２５ｂと、を有する。この場合、簡素な構造によって、上述した固定部２５の作用効果を得ることができる。

また本実施形態では、固定バー２５ａおよび複数の本体部支持部２５ｂが、単一の部材により構成されるので、塗布工具３０の部品点数を少なく抑えることができ、組み立てが容易である。また、固定バー２５ａと複数の本体部支持部２５ｂとが相対的に位置ずれすることがなく、塗布精度が良好に維持される。また、固定バー２５ａと複数の本体部支持部２５ｂとの位置合わせが不要であり、メンテナンス時などの作業性が向上する。

また本実施形態では、固定部２５が１つのみ設けられるので、塗布工具３０の部品点数が少なく抑えられる。

＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態の塗布工具４０について、図１２～図１４を参照して説明する。第４実施形態の塗布工具４０は、第２実施形態で説明した塗布工具２０と構成が一部異なっている。なお、本実施形態では、前述の実施形態と同じ構成要素については同じ符号を付して、その説明を省略する。

図１２～図１４に示すように、本実施形態の塗布工具４０は、第２実施形態の塗布工具２０が備える第１ヘッド部材１、第２ヘッド部材２、シム部材（不図示）、位置決めブロック３、マニホールド４、スロット５、チョークバー６、調整機構７、カバー８（不図示）、塗布膜厚検出手段（不図示）および制御部（不図示）以外に、さらに、固定部２５を備える。
また塗布工具４０は、第２実施形態で説明した塗布工具２０と調整機構７の構成が一部異なる。本実施形態の調整機構７は、取付け金具１７ｂを有しておらず、塗布工具４０は、取付け金具１７ｂの代わりに固定部２５を備える。
本実施形態において固定部２５は、各調整機構７のアクチュエータ本体１７ｃを、第１ヘッド部材１に固定する。

〔本実施形態による作用効果〕
以上説明した本実施形態の塗布工具４０によれば、前述した実施形態と同様の作用効果が得られる。

＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態の塗布工具５０について、図１５～図１７を参照して説明する。第５実施形態の塗布工具５０は、第４実施形態で説明した塗布工具４０と構成が一部異なっている。なお、本実施形態では、前述の実施形態と同じ構成要素については同じ符号を付して、その説明を省略する。

図１５～図１７に示すように、本実施形態の塗布工具５０は、第４実施形態の塗布工具４０が備える第１ヘッド部材１、第２ヘッド部材２、シム部材（不図示）、位置決めブロック３、マニホールド４、スロット５、チョークバー６、調整機構７、カバー８（不図示）、塗布膜厚検出手段（不図示）、制御部（不図示）および固定部２５を備える。なお図１５においては、位置決めブロック３の図示を省略している。
塗布工具５０は、第４実施形態で説明した塗布工具４０とは、固定部２５の構成が一部異なり、また調整機構７の構成が一部異なる。

〔固定部〕
本実施形態では、固定部２５が、固定バー２５ａと、本体部支持部２５ｂと、固定ネジ２５ｃと、クランプネジ２５ｄと、軸支部２５ｅと、ボルト部材２５ｆと、を有する。

軸支部２５ｅは、固定バー２５ａの第３方向の先端側の端部に接続される。軸支部２５ｅは、ボルト部材２５ｆにより固定バー２５ａと固定される。本実施形態ではボルト部材２５ｆが、第１方向に延びる。軸支部２５ｅは、固定バー２５ａの先端側を向く端面から、先端側へ突出する。軸支部２５ｅの先端部は、第２凹部１２の上側に位置する。すなわち、軸支部２５ｅの先端部は、第１方向つまり上下方向から見て、第２凹部１２と重なって配置される。軸支部２５ｅの先端部は、第１方向から見て、第３方向の先端側へ向けて開口するＵ字状である。軸支部２５ｅは、軸支部２５ｅの先端部に配置される一対の腕部２５ｇを有する。一対の腕部２５ｇは、第２方向に互いに間隔をあけて配置される。軸支部２５ｅのうち先端部以外の部分の下面は、第１ヘッド部材１の外側面１ｂに接触する。
軸支部２５ｅは、第２方向に互いに間隔をあけて複数設けられる。軸支部２５ｅの数は、シャフト１５の数と同じである。

〔調整機構〕
本実施形態では、調整機構７のシャフト１５が、ローラー支持部１５ｃを有していない。また鍔部１５ｂは、シャフト１５と螺着されている。このため、シャフト１５に対して鍔部１５ｂをシャフト１５の中心軸回りに回転させることにより、鍔部１５ｂは、シャフト１５に対して上下方向の位置を調整可能である。シャフト１５のうち鍔部１５ｂよりも上側に位置する部分つまり上端部は、第１方向に延びる略円柱状である。シャフト１５の上端面は、第１方向に垂直な平坦面状である。

本実施形態では、調整機構７の移動部１８が、押圧ブロック１８ｂを有していない。アクチュエータ軸１８ｃの先端面は、第３方向に垂直な平坦面状である。

本実施形態では、調整機構７のカム部１９が、傾斜面１９ａおよびローラー（接触部）１９ｂを有する代わりに、回動軸１９ｃと、回動部材１９ｄと、を有する。
回動軸１９ｃは、第２方向に延びる軸状である。回動軸１９ｃの両端部は、軸支部２５ｅの一対の腕部２５ｇに支持される。

回動部材１９ｄは、板状であり、一対の板面が第２方向を向く。回動部材１９ｄは、一対の腕部２５ｇ間に位置して回動軸１９ｃに取り付けられる部分を有する。回動部材１９ｄは、回動軸１９ｃの中心軸Ｃ回りに回動可能である。
回動部材１９ｄは、第１接触部１９ｅと、第２接触部１９ｆと、を有する。

第１接触部１９ｅは、回動部材１９ｄの外面の一部を構成する。本実施形態では第１接触部１９ｅが、回動部材１９ｄの上端部に配置され、第３方向の後端側を向く。第１接触部１９ｅは、回動軸１９ｃの中心軸Ｃよりも上側に位置する。また第１接触部１９ｅは、中心軸Ｃよりも第３方向の後端側に位置する。第１接触部１９ｅは、第３方向の後端側へ向けて凸となる凸曲面状である。第１接触部１９ｅは、アクチュエータ軸１８ｃの先端面と接触する。つまり第１接触部１９ｅは、第３方向において移動部１８と接触する。移動部１８が第３方向の先端側へ移動することにより、第１接触部１９ｅは、移動部１８によって先端側へ向けて押圧される。

第２接触部１９ｆは、回動部材１９ｄの外面の一部を構成する。本実施形態では第２接触部１９ｆが、回動部材１９ｄの下端部に配置され、第１方向の下側を向く。第２接触部１９ｆは、回動軸１９ｃの中心軸Ｃよりも第３方向の先端側に位置する。また第２接触部１９ｆは、中心軸Ｃよりも下側に位置する。第２接触部１９ｆは、第１方向の下側へ向けて凸となる凸曲面状である。第２接触部１９ｆは、シャフト１５の上端面と接触する。つまり第２接触部１９ｆは、第１方向においてシャフト１５と接触する。移動部１８が第１接触部１９ｅを第３方向の先端側へ押圧したときに、回動部材１９ｄは回動軸１９ｃの中心軸Ｃ回りに回動し、これにより第２接触部１９ｆは、シャフト１５を第１方向の下側へ向けて押圧する。

本実施形態においてもカム部１９は、移動部１８の第３方向への移動量を、シャフト１５の第１方向への移動量に変換する。
図１７に示すように、回動軸１９ｃの中心軸Ｃに垂直な断面視において、第１接触部１９ｅと移動部１８が接触する接点（以下、第１接点と呼ぶ）と、中心軸Ｃとの間の距離は、第２接触部１９ｆとシャフト１５が接触する接点（以下、第２接点と呼ぶ）と、中心軸Ｃとの間の距離とは、異なる。
具体的に本実施形態では、第２接点と中心軸Ｃとの間の距離が、第１接点と中心軸Ｃとの間の距離よりも小さい。このためカム部１９は、移動部１８の第３方向への移動量を、この移動量よりも小さな値のシャフト１５の第１方向への移動量に変換する。

本実施形態では、調整機構７の付勢部２１が、第１方向においてシャフト１５をカム部１９に向けて付勢する。具体的に付勢部２１は、シャフト１５を、カム部１９の第２接触部１９ｆに向けて上側に付勢する。

〔本実施形態による作用効果〕
以上説明した本実施形態の塗布工具５０によれば、前述した実施形態と同様の作用効果が得られる。
具体的に、移動部１８が第３方向に移動して回動部材１９ｄの第１接触部１９ｅを押すと、回動部材１９ｄが回動軸１９ｃ回りに回動させられる。これにより、回動部材１９ｄの第２接触部１９ｆがシャフト１５を第１方向に押して、チョークバー６のスロット５内への突出量が調整される。カム部１９を簡素な構成としつつ、移動部１８の第３方向への移動量が、カム部１９によって、シャフト１５の第１方向への移動量に安定して変換される。

また本実施形態では、第１接点と中心軸Ｃとの間の距離と、第２接点と中心軸Ｃとの間の距離とを適宜設定することにより、移動部１８の第３方向への移動量と、この移動量に応じたシャフト１５の第１方向への移動量と、の割合を調整可能である。

また本実施形態では、固定部２５にカム部１９が連結されており、これらがユニット化されているため、このユニットを第１ヘッド部材１に着脱することにより、塗布工具５０の組み立て性を高めたり、メンテナンスを効率よく行うことができる。

〔本発明に含まれるその他の構成〕
なお、本発明は前述の実施形態に限定されず、例えば下記に説明するように、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において構成の変更等が可能である。

前述の実施形態では、スロット５が、水平方向に向けて外部に開口しているが、スロット５が開口する第３方向は、水平方向に限らない。第３方向は、例えば鉛直方向等でもよい。この場合、塗布工具１０、２０、３０、４０、５０の設置スペースを水平方向等において小さく抑えることができる。

前述の実施形態では、チョークバー６が１つ設けられるとしたが、これに限らない。チョークバー６は、複数設けられてもよい。この場合、複数のチョークバー６は、第１凹部１１内において第２方向に互いに隣接して配置される。各チョークバー６は、各調整機構７のシャフト１５と個別に固定されてもよい。

前述の第１～第４実施形態では、カム部１９の接触部１９ｂがローラーであるとしたが、これに限らない。接触部１９ｂは、例えば、傾斜面１９ａに対して摺動可能な摺動部材等でもよい。ただし接触部１９ｂがローラーの場合には、傾斜面１９ａと接触部１９ｂとの摩擦抵抗を顕著に低減でき、より好ましい。

前述の実施形態では、マニホールド４が、第２ヘッド部材２の内側面２ａから第１方向に窪み第２方向に延びる溝状であるが、これに限らない。マニホールド４は、第１ヘッド部材１の内側面１ａから第１方向に窪み第２方向に延びる溝状でもよい。この場合、マニホールド４は、内側面１ａから上側に窪む。
また、マニホールド４は、第１ヘッド部材１の内側面１ａから上側に窪み第２方向に延びる第１溝部と、第２ヘッド部材２の内側面２ａから下側に窪み第２方向に延びる第２溝部と、を有していてもよい。第１溝部と第２溝部とは、第１方向において対向し、互いに連通する。この場合、マニホールド４は、第２方向に垂直な断面視で、全体として例えば略円形状に形成される。

また、前述の第３～第５実施形態では、固定部２５が１つのみ設けられる例を挙げたが、これに限らない。固定部２５は、第２方向に並んで複数設けられてもよい。この場合、固定部２５が第２方向に長くなり過ぎることが抑えられて、固定部２５の取り扱いが容易となり、塗布工具３０、４０、５０が組み立てやすい。

また、前述の第５実施形態では、軸支部２５ｅが固定バー２５ａとボルト部材２５ｆにより固定される例を挙げたが、これに限らない。軸支部２５ｅは、固定バー２５ａおよび本体部支持部２５ｂと、単一の部材により一体に形成されてもよい。この場合、固定バー２５ａ、複数の本体部支持部２５ｂおよび複数の軸支部２５ｅが、単一の部材により構成されるので、塗布工具５０の部品点数を少なく抑えることができ、組み立てが容易である。また、固定バー２５ａと、複数の本体部支持部２５ｂと、複数の軸支部２５ｅとが相対的に位置ずれすることがなく、塗布精度が良好に維持される。また、固定バー２５ａと、複数の本体部支持部２５ｂと、複数の軸支部２５ｅとの位置合わせが不要であり、組み立て時やメンテナンス時などの作業性が向上する。

その他、本発明の趣旨から逸脱しない範囲において、前述の実施形態、変形例及びなお書き等で説明した各構成（構成要素）を組み合わせてもよく、また、構成の付加、省略、置換、その他の変更が可能である。また本発明は、前述した実施形態によって限定されることはなく、特許請求の範囲によってのみ限定される。

本発明の塗布工具および塗布方法によれば、設置スペースを小さく抑えることができ、塗工中でもチョークバーの位置を調整しやすく、塗工部を視認しやすい。したがって、産業上の利用可能性を有する。

１…第１ヘッド部材
１ａ，２ａ…内側面
１ｂ…外側面
１ｃ…先端面
１ｇ…接続部
２…第２ヘッド部材
５…スロット
６…チョークバー
７…調整機構
１０，２０，３０，４０，５０…塗布工具
１５…シャフト
１７…本体部
１８…移動部
１９…カム部
１９ａ…傾斜面
１９ｂ…接触部（ローラー）
１９ｃ…回動軸
１９ｄ…回動部材
１９ｅ…第１接触部
１９ｆ…第２接触部
２１…付勢部
２２…操作部
２４…駆動部
２５…固定部
２５ａ…固定バー
２５ｂ…本体部支持部
Ｃ…回動軸の中心軸

Claims (17)

1. 第１方向に互いに隣接配置され、前記第１方向に直交する第２方向に延びる第１ヘッド部材および第２ヘッド部材と、
   前記第１方向に互いに対向する前記第１ヘッド部材の内側面と前記第２ヘッド部材の内側面との間に設けられ、内部に塗布液が流通し、前記第１方向および前記第２方向に直交する第３方向において前記第１ヘッド部材の先端部と前記第２ヘッド部材の先端部との間から外部に開口するスロットと、
   前記第１ヘッド部材内を前記第２方向に延び、前記第１方向から前記スロットの内部に突出可能なチョークバーと、
   前記スロット内への前記チョークバーの突出量を調整する調整機構と、を備え、
   前記調整機構は、
   前記第１ヘッド部材内を前記第１方向に延び、前記チョークバーと固定されるシャフトと、
   前記第１ヘッド部材に対して前記第３方向に移動可能な移動部と、
   前記移動部の前記第３方向への移動量を、前記シャフトの前記第１方向への移動量に変換するカム部と、を有する、
   塗布工具。
2. 前記カム部は、前記移動部の前記第３方向への移動量を、前記移動量よりも小さな値の前記シャフトの前記第１方向への移動量に変換する、
   請求項１に記載の塗布工具。
3. 前記カム部は、
   前記移動部に配置され、前記第３方向に向かうに従い前記第１方向に向けて延びる傾斜面と、
   前記シャフトに設けられ、前記傾斜面に前記第１方向から接触する接触部と、を有する、
   請求項１または２に記載の塗布工具。
4. 前記接触部は、前記傾斜面上を転動可能なローラーである、
   請求項３に記載の塗布工具。
5. 前記カム部は、
   前記第２方向に延びる回動軸と、
   前記回動軸の中心軸回りに回動可能な回動部材と、を有し、
   前記回動部材は、
   前記第３方向において前記移動部と接触する第１接触部と、
   前記第１方向において前記シャフトと接触する第２接触部と、を有する、
   請求項１または２に記載の塗布工具。
6. 前記調整機構は、前記第１方向において前記シャフトを前記移動部および前記カム部のいずれかに向けて付勢する付勢部を有する、
   請求項１から５のいずれか１項に記載の塗布工具。
7. 前記調整機構が、前記第２方向に並んで複数設けられる、
   請求項１から６のいずれか１項に記載の塗布工具。
8. 前記調整機構を前記第１ヘッド部材に固定する固定部を備え、
   前記調整機構は、前記移動部を前記第３方向に移動可能に支持する本体部を有し、
   前記固定部は、前記第２方向に延び、複数の前記調整機構の各前記本体部を支持する、
   請求項７に記載の塗布工具。
9. 前記固定部は、
   前記第１ヘッド部材に固定され、前記第２方向に延びる固定バーと、
   前記固定バーに前記第２方向に互いに間隔をあけて複数設けられ、複数の前記調整機構の各前記本体部を個別に支持する本体部支持部と、を有する、
   請求項８に記載の塗布工具。
10. 前記固定バーと、複数の前記本体部支持部とが、単一の部材により一体に形成される、
    請求項９に記載の塗布工具。
11. 前記固定部が、１つのみ設けられる、
    請求項８から１０のいずれか１項に記載の塗布工具。
12. 前記固定部が、前記第２方向に並んで複数設けられる、
    請求項８から１０のいずれか１項に記載の塗布工具。
13. 前記移動部は、前記第１ヘッド部材の前記第３方向を向く先端面と、前記第１ヘッド部材の前記第１方向を向く外側面との接続部に対して、前記第３方向の後端側に配置される、
    請求項１から１２のいずれか１項に記載の塗布工具。
14. 前記調整機構は、前記移動部を前記第３方向に移動させる操作部を有する、
    請求項１から１３のいずれか１項に記載の塗布工具。
15. 前記調整機構は、前記移動部を前記第３方向に駆動する駆動部を有する、
    請求項１から１３のいずれか１項に記載の塗布工具。
16. 前記スロットから被塗布物に塗布された塗布液の膜厚を検出する塗布膜厚検出手段と、
    前記塗布膜厚検出手段の検出結果に基づいて、前記膜厚が所定範囲となるように、前記駆動部により前記移動部を前記第３方向に移動させる制御部と、を備える、
    請求項１５に記載の塗布工具。
17. 請求項１６に記載の塗布工具を用いて被塗布物に塗布液を塗布する塗布方法であって、
    前記調整機構は、前記第２方向に並んで複数設けられ、
    前記塗布膜厚検出手段により、前記第２方向の複数の位置のデータ、および、前記複数の位置における各前記膜厚のデータを継続的に取得し、
    前記位置のデータおよび前記膜厚のデータをネットワークを介して外部サーバに収集し、
    前記膜厚のデータと予め設定された基準の膜厚のデータとの差の値を算出し、前記差の値と予め設定された閾値とを比較し、
    前記差の値が前記閾値を超えた場合には、前記第２方向において前記閾値を超えた位置に最も近い前記調整機構の前記移動部を前記駆動部で前記第３方向に駆動して、前記差の値が前記閾値以下となるように前記スロット内への前記チョークバーの突出量を調整する、
    塗布方法。

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