JP5740902B2 - 塗布装置及び粘性流体の供給方法 - Google Patents

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Description

本発明は塗布装置及び粘性流体の供給方法に関する。
特許文献1には、塗布対象物に合成樹脂液、塗料等の液体を所定の間隔を空けて塗布するためのバルブを備えた塗布装置が開示されている。
特開2001−38276号公報
しかしながら、前述した従来の塗布装置では、電極材と溶媒とを混練させたスラリー状の電極混練物などの粘性流体を塗布しようとすると、その粘性のためにバルブの開閉タイミングと、スリットダイから粘性流体が吐出されるタイミングとがずれてしまい、塗布開始時にスリットダイから吐出される粘性流体の流量が安定しないという問題点があった。
本発明はこのような問題点に着目してなされたものであり、粘性流体を塗布対象部に塗布する場合であっても、塗布開始時にスリットダイから吐出される粘性流体の流量を安定させることを目的とする。
本発明は、粘性流体を塗布対象物に塗布する塗布部と、塗布部へ供給する粘性流体の供給量を制御する制御部と、を備える塗布装置である。そして、制御部が、制御部の内部に粘性流体を導入するための導入ポートと、導入ポートからその制御部の内部に導入された粘性流体を外部へ排出するための排出ポートと、導入ポートに連通して粘性流体が導入される第1貯留室と、第1貯留室に連通する加圧室と、加圧室及び排出ポートに連通する第2貯留室と、第1貯留室内に摺動可能に配置され、摺動動作によって導入ポートを開閉することで第1貯留室に導入される粘性流体の導入量を制御するとともに、その摺動動作によって粘性流体を加圧室に導入してその加圧室内を加圧する導入量制御部材と、第2貯留室内に摺動可能に配置され、導入量制御部材により導入ポートが閉じられているときに加圧室内で加圧された粘性流体を摺動動作によって第2貯留室に導入するとともに、その摺動動作によって排出ポートを開閉することで加圧室内の圧力によって第2貯留室から排出ポートを介して塗布部に排出される粘性流体の排出量を制御する排出量制御部材と、を備えることを特徴とする。
また、本発明は、導入ポートと、導入ポートに連通する第1貯留室と、第1貯留室内に摺動可能に配置され、第1貯留室内を摺動することで導入ポートを開閉する導入量制御部材と、第1貯留室に連通する加圧室と、加圧室に連通する第2貯留室と、第2貯留室に連通する排出ポートと、第2貯留室内に摺動可能に配置され、第2貯留室内を摺動することで排出ポートを開閉する排出量制御部材と、を備える流量制御弁を介して粘性流体を塗布部へ供給する供給方法である。そしてその供給方法が、導入量制御部材を前記導入ポートが開かれる方向に摺動させて第1貯留室内に粘性流体を導入する工程と、導入量制御部材を導入ポートが閉じられる方向に摺動させて第1貯留室内の粘性流体を加圧室に導入する工程と、導入量制御部材と排出量制御部材とによって加圧室を密閉して加圧室内の粘性流体を加圧する工程と、導入量制御部材により導入ポートが閉じられているときに排出量制御部材を排出ポートが開かれる方向に摺動させて第2貯留室内に加圧室で加圧された粘性流体を導入し、加圧室内の圧力によって排出ポートから粘性流体を排出して塗布部に供給する工程と、を備えることを特徴とする。
本発明によれば、制御部の内部に導入された粘性流体を、導入量制御弁と排出量制御弁の双方の開閉動作(摺動動作)によって一旦加圧室で加圧した後に排出することができる。これにより、加圧室で加圧した粘性流体を塗布部へと圧送することができるので、塗布部から吐出される粘性流体の流量を塗布開始時から安定させることができる。
リチウムイオン二次電池の概略図である。 本発明の第1実施形態による電極製造装置の概略構成図である。 本発明の第1実施形態による間欠供給バルブの詳細を示す断面図である。 本発明の第1実施形態による間欠供給バルブの開閉タイミングを示したタイムチャートである。 間欠供給バルブを内部に設けた本発明の第2実施形態によるスリットダイの断面図である。 塗布工程における問題点を説明する図である。
以下、図面等を参照して本発明の実施形態について説明する。
(第1実施形態)
図1は、リチウムイオン二次電池1の概略図である。図1(A)はリチウムイオン二次電池1の斜視図であり、図1(B)は図1(A)のB−B断面図である。
図1(A)及び図1(B)に示すように、リチウムイオン二次電池1は、蓄電要素2と、蓄電要素2を収容する外装ケース3と、を備える。
蓄電要素2は、正極4、電解質層としてのセパレータ5、及び負極6を順次積層した積層体として構成される。正極4は板状の正極集電体4aの両面に正極層4bを有しており、負極6は板状の負極集電体6aの両面に負極層6bを有している。なお、蓄電要素2の最外層に配置される正極4については、正極集電体4aの片面にのみ正極層4bが形成される。
隣接する正極4、セパレータ5、及び負極6が一つの単位電池7を構成しており、リチウムイオン電池1は積層された複数の単位電池7をそれぞれ電気的に並列接続して構成される。
外装ケース3は、アルミニウム等の金属をポリプロピレンフィルム等の絶縁体で被覆した高分子−金属複合ラミネートフィルムのシート材からなる。外装ケース3は、蓄電要素2を収納した状態で、ケース外周部が熱融着によって接合される。この外装ケース3には、蓄電要素2からの電力を外部に取り出すため、外部端子としての正極タブ8及び負極タブ9が設けられる。
正極タブ8の一端は外装ケース3の外側に配置され、正極タブ8の他端は外装ケース3の内部で各正極集電体4aの集合部に接続される。負極タブ9の一端は外装ケース3の外側に配置され、負極タブ9の他端は外装ケース3の内部で各負極集電体6aの集合部に接続される。
次に、電極(正極4又は負極6)の一般的な製造方法について簡単に説明する。
一般的に電極は、電極材と溶媒とを混練させたスラリー状の電極混練物を所定の間隔を空けて集電体(正極集電体4a又は負極集電体6a)に塗布する塗布工程の後に、電極混練物の溶媒を揮発させて固形分100%の電極層(正極層4b又は負極層6b)を形成する乾燥工程などを経て製造される。塗布工程においては、電極混練物の供給経路等に設けた間欠供給バルブを開閉することによって、電極混練物を所定の間隔を空けて集電体に塗布している。
しかしながら、このようにして電極を製造する場合、塗布工程において以下のような問題があることがわかった。図6は、本実施形態のものとは異なる従来例による間欠供給バルブを使用したときの塗布工程における問題点を説明する図である。図6において、実線は従来例による間欠供給バルブの開閉タイミングを示し、破線は従来例による間欠供給バルブの開閉に応じてその間欠供給バルブから吐出される電極混練物の吐出量を示す。
図6に示すように、電極混練物はスラリー状の粘性流体であるため、間欠供給バルブを開いてから塗布量が一定になるまでに時間がかかり、また、間欠供給バルブを閉じてからもしばらく電極混練物が塗布される状態が続く。つまり、間欠供給バルブの開閉タイミング通りに電極混練物が吐出されず、塗布開始時及び塗布終了時における電極混練物の吐出量が安定しないという問題があることがわかった。
そこで本実施形態では、間欠供給バルブの内部で一旦電極混練物を加圧することで、塗布開始時及び塗布終了時における電極混練物の吐出量を安定させることとした。以下、この本実施形態による間欠供給バルブを使用した電極製造装置について説明する。
図2は、リチウムイオン電池1の電極製造時に使用する、本実施形態による間欠供給バルブを使用した電極製造装置100の概略構成図である。
電極製造装置100は、搬送装置10と、混練装置20と、塗布装置30と、乾燥装置40と、を備える。
電極製造装置100は、搬送装置10によって搬送される金属箔14の表面に、混練装置20で混練した電極混練物21を塗布装置30によって塗布し、乾燥装置40によって電極混練物21を乾燥させて電極を製造する装置である。必要に応じて乾燥後にプレス装置などによって電極をプレスして厚みなどを調整しても良い。
以下、電極製造装置100を構成する各装置について詳しく説明する。
搬送装置10は、引取ロール11と、巻取ロール12と、サポートロール13と、を備える。搬送装置10は、ロールトゥロール方式によって正極集電体4a又は負極集電体6aとなる薄い膜状の金属箔14(厚さ10[μm]〜40[μm])を引取ロール11から巻取ロール12へと搬送する。
本実施形態では、正極4を製造する場合には正極集電体4aとなる金属箔14としてアルミニウム箔を使用し、負極6を製造する場合には負極集電体6aとなる金属箔14として銅箔を使用するが、これに限られるものではない。
引取ロール11には、金属箔14が巻かれる。引取ロール11は制動機構15を備えており、この制動機構15によって引取ロール11の回転が適宜規制され、金属箔14に所定の張力が付与される。
巻取ロール12は、駆動モータ16によって回転駆動され、引取ロール11から引き取った金属箔14を巻き取る。
サポートロール13は、引取ロール11と巻取ロール12との間の金属箔搬送経路に複数設けられ、搬送中の金属箔14の下面を保持する。
混練装置20は二軸混練機であり、電極材を溶媒中で均一に分散させてスラリー状の電極混練物21を製造する装置である。混練装置20は二軸混練機に限られるものではなく、例えば遊星式ミキサやニーダを用いても良い。
電極混練物21には、正極4を製造する場合に製造される正極混練物と、負極6を製造する場合に製造される負極混練物と、がある。
正極混練物を製造する場合は、混練装置20に電極材としての正極活物質、導電助剤、及びバインダ(結着剤)が投入され、これらが溶媒中で均一に分散させられる。負極混練物を製造する場合は、混練装置20に電極材としての負極活物質、導電助剤、及びバインダが投入され、これらが溶媒中で均一に分散させられる。
正極活物質は、リチウム金属酸化物などのリチウムイオンを吸蔵・放出する物質である。本実施形態では、正極活物質としてマンガン酸リチウムを使用する。
負極活物質は、リチウム金属酸化物やハードカーボン、グラファイトなどのリチウムイオンを放出・吸蔵する物質である。本実施形態では、負極活物質としてハードカーボンを使用する。
導電助剤は、カーボン材料(カーボン粉末やカーボンファイバ)などの導電性を高める物質である。カーボン粉末としては、アセチレンブラック、ファーネスブラック、及びケッチェンブラックなどの種々のカーボンブラックや、グラファイト粉末を使用することができる。本実施形態では、正極混練物を製造する場合も負極混練物を製造する場合も共に、導電助剤としてカーボンブラックを使用する。
バインダは、活物質微粒子同士を結び付ける物質である。本実施形態では、正極混練物を製造する場合も負極混練物を製造する場合も共に、バインダとしてポリフッ化ビニリデン(PVDF)を使用するが、これに限られるものではない。
溶媒は、電極材を溶かす液体である。本実施形態では、正極混練物を製造する場合も負極混練物を製造する場合も共に、溶媒としてN−メチルピロリドン(NMP)を使用するが、これに限られるものではない。
塗布装置30は、混練装置20で製造された電極混練物21を金属箔14の表面に塗布する装置であって、供給配管31と、モーノポンプ32と、フィルタ33と、間欠供給バルブ34と、スリットダイ35と、回収配管36と、回収バルブ37と、を備える。
供給配管31は、一端が混練装置20の下方に接続され、他端がスリットダイ35に接続される配管である。
モーノポンプ32は、供給配管31に設けられ、混練装置20で製造された電極混練物21を供給配管31を介して間欠供給バルブ34へ送り込む。
フィルタ33は、モーノポンプ32よりも下流の供給配管31に設けられ、電極混練物21に混入したゴミや塵、埃などのコンタミを取り除く。
間欠供給バルブ34は、スリットダイ35の近傍の供給配管31に設けられ、所定の間隔で開閉が行われるバルブである。間欠供給バルブ34は、モーノポンプから送り込まれてきた電極混練物を所定の圧力まで加圧し、その加圧した電極混練物をスリットダイ35に圧送する。これにより、スリットダイ35から吐出される初期の電極混練物の吐出量を安定させることができる。間欠供給バルブ34の詳細な構成については、図3を参照して詳述する。
スリットダイ35は、間欠供給バルブ34から所定の間隔を空けて圧送されてきた電極混練物21を、先端部に形成されたスリット351から押し出して搬送途中の金属箔14の表面に塗布する。スリットダイ35は、金属箔14の搬送方向と直角に電極混練物21を押し出して塗布する。
回収配管36は、一端がフィルタ33と間欠供給バルブ34との間の供給配管31に接続され、他端が混練装置20の上方に接続される配管である。
回収バルブ37は、供給配管31と回収配管36との接続部に設けられる。回収バルブ37が開かれていれば、モーノポンプ32から圧送された電極混練物21は、回収配管36を介して混練装置20に戻される。一方で、回収バルブ37が閉じていれば、モーノポンプ32から圧送された電極混練物21は、供給配管31を介して間欠供給バルブ34に供給される。
乾燥装置40は例えば熱風乾燥炉であり、金属箔搬送経路に設けられる。乾燥装置40は、装置内の温度を所定温度に保ちつつ電極混練物21に熱風を吹き付け、電極混練物21に含まれる溶媒を揮発させて固形分100%の電極層を形成する。
図3は、間欠供給バルブ34の詳細を示す断面図である。
間欠供給バルブ34は、内部に第1貯留室340、加圧室341、第2貯留室342、第1圧縮空気供給室343、及び第2圧縮空気供給室344が区画形成された筒状の筐体345と、第1貯留室340及び第1圧縮空気供給室343の内部を筐体345の軸方向に往復移動する導入量制御弁346と、第2貯留室342及び第2圧縮空気供給室344の内部を筐体345の軸方向に往復移動する排出量制御弁347と、を備える。
第1貯留室340には、モーノポンプ32によって圧送されて供給配管31を流れてきた電極混練物が導入され、一時的に溜められる。第1貯留室340に電極混練物を導入するために、筐体345には第1貯留室340に開口するとともに、モーノポンプ側の供給配管31aに接続される導入ポート345aが形成される。
加圧室341は、第1貯留室340と第2貯留室342との間に形成され、それぞれと連通している。第1貯留室340に供給された電極混練物は、加圧室341に供給されて所定圧力まで加圧された後、第2貯留室342へ供給される。
第2貯留室342には、加圧室341で加圧され、スリットダイ35へ吐出される電極混練物が一時的に溜められる。第2貯留室342からスリットダイ35へ電極混練物を吐出するために、筐体345には第2貯留室342に開口するとともに、スリットダイ35側の供給配管31bに接続される排出ポート345bが形成される。
第1圧縮空気供給室343は、第1貯留室340の図中下方に形成される。第1圧縮空気供給室343には、導入量制御弁346を駆動する圧縮空気が供給される。圧縮空気の供給・排出を行うための給排ポートとして、筐体345には第1圧縮空気供給室343に開口する第1ポート345c及び第2ポート345dが形成される。
第2圧縮空気供給室344は、第2貯留室342の図中上方に形成される。第2圧縮空気供給室344には、排出量制御弁347を駆動する圧縮空気が供給される。圧縮空気の供給・排出を行うための給排ポートとして、筐体345には第2圧縮空気供給室344に開口する第3ポート345e及び第4ポート345fが形成される。
導入量制御弁346は、第1圧縮空気供給室343に配置される薄肉ランド部346aと、第1貯留室340に配置される厚肉ランド部346bと、厚肉ランド部346bから図中上方に突出する突出部346cと、薄肉ランド部346aと厚肉ランド部346bとを接続するシャフト346dと、を備える。
薄肉ランド部346aは、第1圧縮空気供給室343の内径に略一致する外径を有する。薄肉ランド部346aは、第1ポート345cから第1圧縮空気供給室343に圧縮空気が供給されたときに、圧縮空気によって図中下方に押圧されて移動し、これにより導入量制御弁346が全体として図中下方に移動する。一方、薄肉ランド部346aは、第2ポート345dから第1圧縮空気供給室343に圧縮空気が供給されたときに、圧縮空気によって図中上方に押圧されて移動し、これにより導入量制御弁346が全体として図中上方に移動する。
厚肉ランド部346bは、第1貯留室340の内径に略一致する外径を有し、第1貯留室340の内部を筐体345の軸方向に往復移動することで、導入ポート345aを開閉する。具体的には、第1ポート345cから第1圧縮空気供給室343に圧縮空気が供給されたときに、第1貯留室340の底面に当接して導入ポート345aを開く。一方、第2ポート345dから第1圧縮空気供給室343に圧縮空気が供給されたときに、第1貯留室340の上面に当接して導入ポート345aを閉じるとともに、第1貯留室340内の電極混練物を加圧室341へ導入する。
突出部346cは、第1貯留室340と加圧室341とを連通する第1連通路348の内径に略一致する外径を有する。突出部347cは、第2ポート345dから第1圧縮空気供給室343に圧縮空気が供給されたときに、第1連通路348を塞いで電極混練物を加圧室341に押し込む。
排出量制御弁347は、第2圧縮空気供給室344に配置される薄肉ランド部347aと、第2貯留室342に配置される厚肉ランド部347bと、厚肉ランド部347bから図中下方に突出する突出部347cと、薄肉ランド部347aと厚肉ランド部347bとを接続するシャフト347dと、を備える。
薄肉ランド部347aは、第2圧縮空気供給室344の内径に略一致する外径を有する。薄肉ランド部347aは、第3ポート345eから第2圧縮空気供給室344に圧縮空気が供給されたときに、圧縮空気によって図中上方に押圧されて移動し、これにより排出量制御弁347が全体として図中上方に移動する。一方、第4ポート345fから第2圧縮空気供給室344に圧縮空気が供給されたときに、圧縮空気によって図中下方に押圧されて移動し、これにより排出量制御弁347が全体として図中下方に移動する。
厚肉ランド部347bは、第2貯留室342の内径に略一致する外径を有し、第2貯留室342の内部を筐体345の軸方向に往復移動することで、排出ポート345bを開閉する。具体的には、第3ポート345eから第1圧縮空気供給室343に圧縮空気が供給されたときに、第2貯留室342の上面に当接して排出ポート345bを開く。一方、第4ポート345fから第2圧縮空気供給室344に圧縮空気が供給されたときに、第2貯留室342の底面に当接して排出ポート345bを閉じるとともに、第2貯留室342内の余った電極混練物を加圧室341へ戻す。
突出部347cは、加圧室341と第2貯留室342とを連通する第2連通路349の内径に略一致する外径を有する。突出部347cは、第4ポート345fから第2圧縮空気供給室344に圧縮空気が供給されたときに、第2連通路349を塞いで電極混練物を加圧室341に押し込む。
次に、さらに図4を参照して本実施形態による間欠供給バルブ34の作用及び開閉タイミングについて説明する。
図4は、本実施形態による間欠供給バルブ34の開閉タイミングを示したタイムチャートである。
図4(A)及び図4(B)に示すように、時刻t0では、導入ポート345a及び排出ポート345bは、導入量制御弁346及び排出量制御弁347によって閉じられている。
時刻t1で、第1ポート345cから第1圧縮空気供給室343に圧縮空気が供給されると、導入量制御弁346が図中下方に移動する。これにより、図4(A)に示すように、導入量制御弁346の厚肉ランド部347bによって閉じられていた導入ポート345aが開かれ、第1貯留室340に電極混練物が導入される。
時刻t2で、第2ポート345dから第1圧縮空気供給室343に圧縮空気が供給されると、導入量制御弁346が図中上方に移動する。これにより、導入量制御弁346の厚肉ランド部347bによって第1貯留室340内の電極混練物が加圧室341に送り込まれるとともに、図4(A)に示すように、導入ポート345aが閉じられて第1貯留室340への電極混練物の導入が停止される。
ここで、時刻t2から時刻t3までの間は、図4(A)及び図4(B)に示すように、導入ポート345a及び排出ポート345bが閉じられた状態となっている。つまり、導入量制御弁346の突出部347cによって第1連通路348が塞がれ、排出量制御弁347の突出部347cによって第2連通路349が塞がれた状態となっており、この間に加圧室341で電極混練物が所定の圧力まで加圧されることになる。
時刻t3で、第3ポート345eから第2圧縮空気供給室344に圧縮空気が供給されると、排出量制御弁347が図中上方に移動する。これにより、図4(B)に示すように、排出量制御弁347の厚肉ランド部347bによって閉じられていた排出ポート345bが開かれ、加圧室341で所定の圧力まで加圧された電極混練物が第2貯留室342から排出ポート345bを介してスリットダイ35へ圧送される。
このように、本実施形態によれば、加圧室341で所定の圧力まで加圧した電極混練物をスリットダイ35へと圧送することができるので、スリットダイ35から吐出される初期の電極混練物の吐出量を安定させることができる。
時刻t4で、第4ポート345fから第2圧縮空気供給室344に圧縮空気が供給されると、排出量制御弁347が図中下方に移動する。これにより、排出量制御弁347の厚肉ランド部347bによって第2貯留室342内の電極混練物が加圧室341に戻されるとともに、図4(B)に示すように、排出ポート345bが閉じられてスリットダイ35への電極混練物の圧送が停止される。
ここで、排出ポート345bが閉じられると、排出ポート345bとスリットダイ35へ圧送されていく電極混練物との間の供給配管31の内部が負圧となるので、電極混練物が排出ポート345b側に吸引されることになる。したがって、本実施形態によれば、スリットダイ35による集電体への電極混練物の塗布終了時の吐出量を安定させることができる。
以上説明した本実施形態によれば、間欠供給バルブ34内に導入された電極混練物を、導入量制御弁346と排出量制御弁347の双方の開閉動作(摺動動作)によって一旦加圧室341で加圧した後に吐出することができる。これにより、加圧室341で加圧した電極混練物をスリットダイ35へと圧送することができるので、スリットダイ35から吐出される初期の電極混練物の吐出量を安定させることができる。
また、排出量制御弁347によって排出ポート345bが閉じられたときは、排出ポート345bとスリットダイ35へ圧送されていく電極混練物との間の供給配管31の内部が負圧となるので、電極混練物が排出ポート345b側に吸引されることになる。これにより、スリットダイ35による集電体への電極混練物の塗布終了時の吐出量を安定させることができる。
さらに、間欠供給バルブ34をスリットダイ35の近傍の供給配管31に設けることで、間欠供給バルブ34から吐出された電極混練物のスリットダイ35までの圧力損失を低減することができる。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について説明する。本発明の第2実施形態は、スリットダイ35と間欠供給バルブ34とを一体化した点で第1実施形態と相違する。以下、その相違点を中心に説明する。なお、以下に示す各実施形態では前述した実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号を用いて重複する説明を適宜省略する。
図5は、本実施形態による間欠供給バルブ34を内部に設けたスリットダイ35の断面図である。
図5に示すように、スリットダイ35のスリット351側に第2貯留室342及び第2圧縮空気供給室344を配置し、加圧室341を介してスリット351の反対側に第1貯留室340及び第1圧縮空気供給室343を配置する。
このようにスリットダイ35の内部に間欠供給バルブ34を設けることで、第1実施形態と同様の効果が得られるほか、電極混練物を直接スリット351に排出することができるので、電極混練物の圧力損失をより低減することができる。
なお、本発明は上記の実施形態に限定されずに、その技術的な思想の範囲内において種々の変更がなしうることは明白である。
31 供給配管(配管)
34 間欠供給バルブ(制御部)
35 スリットダイ(塗布部)
340 第1貯留室
341 加圧室
342 第2貯留室
343 第1圧縮空気供給室
344 第2圧縮空気供給室
345a 導入ポート
345b 排出ポート
346 導入量制御弁(導入量制御部材)
346a 薄肉ランド部(第1駆動部材)
346c 突出部(密閉部)
346d シャフト(第1シャフト)
347 排出量制御弁(排出量制御部材)
347a 薄肉ランド部(第2駆動部材)
347c 突出部(密閉部)
347d シャフト(第2シャフト)
348 第1連通路
349 第2連通路

Claims (7)

  1. 粘性流体を塗布対象物に塗布する塗布部と、
    前記塗布部へ供給する粘性流体の供給量を制御する制御部と、
    を備える塗布装置であって、
    前記制御部は、
    その制御部の内部に粘性流体を導入するための導入ポートと、
    前記導入ポートからその制御部の内部に導入された粘性流体を外部へ排出するための排出ポートと、
    前記導入ポートに連通して粘性流体が導入される第1貯留室と、
    前記第1貯留室に連通する加圧室と、
    前記加圧室及び前記排出ポートに連通する第2貯留室と、
    前記第1貯留室内に摺動可能に配置され、摺動動作によって前記導入ポートを開閉することで前記第1貯留室に導入される粘性流体の導入量を制御するとともに、その摺動動作によって粘性流体を前記加圧室に導入してその加圧室内を加圧する導入量制御部材と、
    前記第2貯留室内に摺動可能に配置され、前記導入量制御部材により前記導入ポートが閉じられているときに前記加圧室内で加圧された粘性流体を摺動動作によって前記第2貯留室に導入するとともに、その摺動動作によって前記排出ポートを開閉することで前記加圧室内の圧力によって前記第2貯留室から前記排出ポートを介して前記塗布部に排出される粘性流体の排出量を制御する排出量制御部材と、
    を備えることを特徴とする塗布装置。
  2. 前記導入量制御部材は、
    粘性流体を前記加圧室に導入するときに、前記第1貯留室と前記加圧室とを連通する第1連通路に挿入されて前記加圧室を密閉する密閉部を備える、
    ことを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
  3. 前記排出量制御部材は、
    粘性流体を前記第2貯留室に導入するときまで、前記加圧室と前記第2貯留室とを連通する第2連通路に挿入されて前記加圧室を密閉する密閉部を備える、
    ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の塗布装置。
  4. 前記制御は、
    圧縮空気が供給される第1圧縮空気供給室及び第2圧縮空気供給室と、
    前記第1圧縮空気供給室に摺動可能に配置され、第1シャフトによって前記導入量制御部材に接続されるとともに、供給された圧縮空気によって押圧されることで前記第1圧縮空気供給室内を摺動して前記導入量制御部材を駆動する第1駆動部材と、
    前記第2圧縮空気供給室に摺動可能に配置され、第2シャフトによって前記排出量制御部材に接続されるとともに、供給された圧縮空気によって押圧されることで前記第2圧縮空気供給室内を摺動して前記排出量制御部材を駆動する第2駆動部材と、
    を備えることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか1つに記載の塗布装置。
  5. 前記制御は、前記塗布部内に設けられる、
    ことを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれか1つに記載の塗布装置。
  6. 一端が前記塗布部に接続されて、粘性流体が流れる配管を備え、
    前記制御は、前記塗布部近傍の前記配管に設けられる、
    ことを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれか1つに記載の塗布装置。
  7. 導入ポートと、
    前記導入ポートに連通する第1貯留室と、
    前記第1貯留室内に摺動可能に配置され、前記第1貯留室内を摺動することで前記導入ポートを開閉する導入量制御部材と、
    前記第1貯留室に連通する加圧室と、
    前記加圧室に連通する第2貯留室と、
    前記第2貯留室に連通する排出ポートと、
    前記第2貯留室内に摺動可能に配置され、前記第2貯留室内を摺動することで前記排出ポートを開閉する排出量制御部材と、
    を備える流量制御弁を介して粘性流体を塗布部へ供給する粘性流体の供給方法であって、
    前記導入量制御部材を前記導入ポートが開かれる方向に摺動させて前記第1貯留室内に粘性流体を導入する工程と、
    前記導入量制御部材を前記導入ポートが閉じられる方向に摺動させて前記第1貯留室内の粘性流体を前記加圧室に導入する工程と、
    前記導入量制御部材と前記排出量制御部材とによって前記加圧室を密閉して前記加圧室内の粘性流体を加圧する工程と、
    前記導入量制御部材により前記導入ポートが閉じられているときに前記排出量制御部材を前記排出ポートが開かれる方向に摺動させて前記第2貯留室内に前記加圧室で加圧された粘性流体を導入し、前記加圧室内の圧力によって前記排出ポートから粘性流体を排出して前記塗布部に供給する工程と、
    を備えることを特徴とする粘性流体の供給方法。
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