JP2013043137A - 塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧力変動吸収機構70は、圧力吸収部71と流量抵抗部72とを備える。圧力吸収部71は、塗布液供給管64から送液される塗布液の圧力変動に伴って弾性変形することにより塗布液の収容部の体積を変化させるものであり、肉薄の樹脂製の軟質チューブ73から構成される。また、流量抵抗部72は、塗布液供給管64や軟質チューブ73よりも内径が小さい、すなわち、より小さなオリフィスを有する肉厚の樹脂製の硬質チューブ74から構成される。
【選択図】 図5
Description
11 基板移動機構
12 レール
13 基台
14 回転台
15 撮像部
16 試験塗布ステージ部
17 受液部
18 受液部
19 ノズルピッチ調整機構
20 塗布ヘッド
21 ヘッド移動機構
22 ガイド部
23 ノズル
24 塗布液貯留部
25 エア供給源
31 スライダ
32 貫通孔
33 プーリ
34 同期ベルト
61 ポンプ
62 マスフローコントローラ
63 電磁開閉弁
64 塗布液供給管
70 圧力変動吸収機構
71 圧力吸収部
72 流量抵抗部
73 軟質チューブ
74 硬質チューブ
81 チャンバー
82 流路
83 塗布液の貯留部
84 薄膜
85 管路
86 隔壁
100 ガラス基板
Claims (7)
- 基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部に保持された基板に対して塗布液を吐出するノズルと、前記ノズルを基板の表面に対して平行な主走査方向に往復移動させる主走査方向移動機構と、前記基板保持部を前記主走査方向と直交し、かつ、基板の表面に対して平行な副走査方向に、前記ノズルに対して相対的に移動させる副走査方向移動機構と、塗布液貯留部から前記ノズルに対して塗布液を送液するための可撓性の塗布液供給管と、を備えた塗布装置において、
前記塗布液供給管から送液される塗布液の圧力変動に伴って弾性変形することにより塗布液の収容部の体積を変化させる圧力吸収部と、前記塗布液供給管より小さなオリフィスを有する流量抵抗部とを有し、前記ノズルと前記塗布液供給管との間に配設されるとともに、前記ノズルと一体となって移動する圧力変動吸収機構を備えたことを特徴とする塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置において、
前記圧力吸収部は、樹脂製の軟質チューブから構成される塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置において、
前記樹脂製の軟質チューブは、その外径が1mm乃至3mmであり、その内径が0.5mm乃至2.5mmである塗布装置。 - 請求項2または請求項3に記載の塗布装置において、
前記流量抵抗部は、前記塗布液供給管および前記軟質チューブより小さい内径を有する樹脂製の硬質チューブである塗布装置。 - 請求項4に記載の塗布装置において、
前記硬質チューブは、その外径が1mm乃至3mmであり、その内径が0.05mm乃至0.2mmである塗布装置。 - 基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部に保持された基板に対して塗布液を吐出するノズルと、前記ノズルを基板の表面に対して平行な主走査方向に往復移動させる主走査方向移動機構と、前記基板保持部を前記主走査方向と直交し、かつ、基板の表面に対して平行な副走査方向に、前記ノズルに対して相対的に移動させる副走査方向移動機構と、塗布液貯留部から前記ノズルに対して塗布液を送液するための可撓性の塗布液供給管と、を備えた塗布装置において、
肉厚が薄い軟質チューブより構成され、前記塗布液供給管から送液される塗布液の圧力変動に伴って弾性変形することにより塗布液の収容部の体積を変化させる圧力吸収部と、前記塗布液供給管および前記軟質チューブより小さい内径を有し、前記軟質チューブより肉厚が厚い樹脂製の硬質チューブより構成された流量抵抗部とを有し、前記ノズルと前記塗布液供給管との間に配設されるとともに、前記ノズルと一体となって移動する圧力変動吸収機構を備えたことを特徴とする塗布装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の塗布装置において、
前記ノズルは、前記副走査方向に関して所定のピッチで複数個配設されており、前記塗布液供給管と前記圧力変動吸収機構は、各ノズルに対応して複数配設されるとともに、
前記複数の塗布液供給管は、各々、前記塗布液貯留部から塗布液を圧送するポンプとマスフローコントローラを介して連結されている塗布装置。
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1062943A (ja) * | 1996-08-14 | 1998-03-06 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 感光材料処理装置の処理液供給装置 |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1062943A (ja) * | 1996-08-14 | 1998-03-06 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 感光材料処理装置の処理液供給装置 |
JP2009131735A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015150499A (ja) * | 2014-02-14 | 2015-08-24 | 株式会社Screenホールディングス | 塗布装置 |
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