JP6439241B2 - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6439241B2 JP6439241B2 JP2013214599A JP2013214599A JP6439241B2 JP 6439241 B2 JP6439241 B2 JP 6439241B2 JP 2013214599 A JP2013214599 A JP 2013214599A JP 2013214599 A JP2013214599 A JP 2013214599A JP 6439241 B2 JP6439241 B2 JP 6439241B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductor layer
- ground conductor
- opening
- semiconductor device
- frequency signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 50
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 63
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 40
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 21
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 11
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 4
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Microwave Amplifiers (AREA)
- Amplifiers (AREA)
Description
図3は、本実施形態に係る半導体装置の斜視図である。
図10は、本実施形態に係る半導体装置の斜視図である。
図14(a)、(b)は、縁部25zに付す凹凸の他の例について示す平面図である。
図15は、本実施形態に係る半導体装置の斜視図である。
次に、第1〜第3実施形態の効果を確認するために本願発明者が行ったシミュレーションについて、図16を参照しながら説明する。
Claims (5)
- 基板と、
前記基板の上に設けられ、互いに間隔がおかれた第1の開口と第2の開口とを備えた接地導体層と、
前記接地導体層の上に設けられ、高周波信号が入力される入力端子と出力端子とを備えた増幅器とを備え、
平面視において、前記入力端子と前記出力端子とを結ぶ第1の仮想線が、前記第1の開口と前記第2の開口の間を通り、
前記第1の仮想線に垂直な方向に沿った前記第1の開口と前記第2の開口の各々の幅が、前記高周波信号の波長の1/4であることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の開口と前記第2の開口とを結ぶ第2の仮想線と前記第1の仮想線との交点が、前記入力端子よりも前記出力端子寄りに位置することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1の開口が、前記第1の仮想線の延在方向に間隔をおいて複数設けられ、
前記第2の開口が、前記第1の仮想線の延在方向に間隔をおいて複数設けられたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体装置。 - 前記接地導体層は、前記第1の仮想線に平行な縁部を有し、
平面視で前記縁部に凹凸が付されたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 基板と、
前記基板の上に設けられ、平面視で凹凸が付された縁部を有する接地導体層と、
前記接地導体層の上に設けられ、高周波信号が入力される入力端子と出力端子とを備えた増幅器とを備え、
平面視において、前記入力端子と前記出力端子とを結ぶ仮想線が、前記縁部の延在方向に沿って延び、
前記凹凸の凸部の幅が前記高周波信号の波長の0.1倍であり、かつ前記凸部のピッチが前記高周波信号の波長の0.34倍であることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013214599A JP6439241B2 (ja) | 2013-10-15 | 2013-10-15 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013214599A JP6439241B2 (ja) | 2013-10-15 | 2013-10-15 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015080018A JP2015080018A (ja) | 2015-04-23 |
JP6439241B2 true JP6439241B2 (ja) | 2018-12-19 |
Family
ID=53011132
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013214599A Expired - Fee Related JP6439241B2 (ja) | 2013-10-15 | 2013-10-15 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6439241B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6620656B2 (ja) | 2016-04-20 | 2019-12-18 | 三菱電機株式会社 | 集積回路 |
JP2020088468A (ja) * | 2018-11-19 | 2020-06-04 | 富士通株式会社 | 増幅器及び増幅装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5240776A (en) * | 1975-09-26 | 1977-03-29 | Nippon Electric Co | Film circuit unit |
JP3181710B2 (ja) * | 1992-08-31 | 2001-07-03 | 株式会社日立製作所 | 多層プリント回路基板モジュールおよび多層プリント回路基板装置 |
JP3242817B2 (ja) * | 1995-07-13 | 2001-12-25 | 三菱電機株式会社 | マイクロ波回路装置 |
JP3983456B2 (ja) * | 2000-05-10 | 2007-09-26 | 三菱電機株式会社 | 多層基板モジュール |
WO2008114610A1 (ja) * | 2007-03-19 | 2008-09-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 高周波回路装置、能動回路装置および送受信装置 |
JPWO2009048095A1 (ja) * | 2007-10-09 | 2011-02-24 | 日本電気株式会社 | 伝送線路を有する回路装置及びプリント回路基板 |
-
2013
- 2013-10-15 JP JP2013214599A patent/JP6439241B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015080018A (ja) | 2015-04-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2011066822A (ja) | フィルタ及び増幅回路 | |
US9000865B2 (en) | Power dividing and power combining circuits | |
JP6439241B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5689841B2 (ja) | 方向性結合型ミキサー回路 | |
US10177455B2 (en) | Systems and methods for differential dipole-based waveguide power combining | |
GB2571214A (en) | Terminal device | |
JP6385623B2 (ja) | 3電力分配器及びマルチビーム形成回路 | |
US9647310B2 (en) | Coplanar waveguide transmission line structure configured into non-linear paths to define inductors which inhibit unwanted signals and pass desired signals | |
JP6835293B2 (ja) | 高周波電力増幅器 | |
US20210036673A1 (en) | Power combiner circuit | |
JP5118597B2 (ja) | 電力分配合成器 | |
US9503035B2 (en) | High-frequency amplifier | |
JP6318548B2 (ja) | 増幅回路 | |
JP2012054874A (ja) | 高周波増幅器 | |
JP3771221B2 (ja) | 十字型t分岐回路 | |
JP5910963B2 (ja) | カプラおよび半導体装置 | |
JP4270000B2 (ja) | 不等電力分配合成器 | |
US9484609B2 (en) | Microwave coupling structure for suppressing common mode signals while passing differential mode signals between a pair of coplanar waveguide (CPW) transmission lines | |
WO2013046278A1 (ja) | 可変移相器及びフェイズドアレイ型受信機 | |
JP2014175792A (ja) | 分配器、合成器、並びに分配器及び合成器を備えた電子装置 | |
WO2017199429A1 (ja) | 電力増幅器 | |
JP2006019798A (ja) | マイクロ波回路 | |
JP6311528B2 (ja) | 増幅器 | |
US20120299632A1 (en) | Simultaneous signal input matching and linearization | |
JP2009171048A (ja) | カスコード増幅器を用いた回路 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160405 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170704 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170829 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180116 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20180308 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20180313 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20180904 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180926 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20181003 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181023 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181105 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6439241 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |