JP6438916B2 - スプリットフロー真空ポンプ - Google Patents
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Description
2 マルチチャンバー真空装置
3 チャンバー
4 チャンバー
5 チャンバー
6 チャンバー
7 分離壁
8 分離壁
9 分離壁
10 孔部
11 孔部
12 孔部
13 シャフト
14 ローターディスク
15 ローターディスク
16 ローターディスク
17 ローターディスク
18 ローターディスク
19 ローターディスク
20 ステーターディスク
21 ディスクパケットを有するターボ分子ポンプ段
22 ディスクパケットを有するターボ分子ポンプ段
23 主インレット
24 主インレット
25 主インレット
26 主インレット
27 副インレット
28 副インレット
29 最も大きな直径を有するシャフト13の領域
30 より小さな直径を有するシャフト13の領域
31 より小さな直径を有するシャフト13の領域
32 最も小さい直径を有するシャフト13の領域
33 最も小さい直径を有するシャフト13の領域
34 ストッパー
35 ストッパー
36 ストッパー
37 ストッパー
38 スリーブ
39 溝
40 溝
41 ハウジング
42 ネック部
43 マグネット支承部
43a ホルダー
43b カウンター支承部
44 ローターディスクパケットを有するターボ分子ポンプ段
45 ローターディスクパケットを有するターボ分子ポンプ段
46 ローターディスクパケットを有するターボ分子ポンプ段
47 ガス流の矢印
48 ガス流の矢印
49 ターボ分子ポンプ段
50 ボール支承部
51 モーター
52 副インレット
53 溝
54 溝
55 孔部
56 切断点
57 溝
58 溝
59 スリーブ
60 ハウジング
61 インレット
62 ウェブ
72 真空コネクター
73 真空コネクター
75 真空コネクター
76 エラストマーシール
77 間隙シール
78 吸引チャネル
79 中間吸引部
80 吸引開口部
81 導通穴
82 接続部
83 孔部
101 モーター磁石
102 シャフトのネック部
103 リング
104 ローター軸13の端部
105 スリーブ59の端部
106 スリーブ59の端部
107 シャフト要素
108 シャフト要素
109 中空空間
110 シャフト端部
111 マグネット支承部
112 マグネットリング
113 マグネットリング
114 ボール支承部
115 ばね
116 内部穴
117 キャリア
118 構造要素
119 ローターディスク
120 ローターディスク
121 ステーターディスク
122 ステーターディスク
123 ステーターディスク
124 副インレット
125 副インレット
126 ローター
127 結束部
A 矢印
B 矢印
L 軸方向の長さ
M 中心軸
Claims (12)
- 少なくとも二つの半径方向のインレットを有するスプリットフロー真空ポンプであって、真空ポンプがステーターディスクと、シャフト上に設けられたローターディスクを有し、シャフト上に少なくとも一つのディスクパケットが設けられているスプリットフロー真空ポンプにおいて、
シャフト(13)内に半径方向に少なくとも二つの溝(39,40,53,54,57,58)及び/又は孔部(55,56)が設けられており、これらがシャフトの軸方向において、シャフト(13)の周囲方向においてよりも長く形成されており、
シャフト(13)上に少なくとも一つのスリーブ(59)が設けられており、
スリーブ(59)が少なくとも一方の端部(106)に担持リング(103)を有し、
少なくとも一つのスリーブ(59)が、一方の側(105)でシャフト(13)上に、そして反対の側(106)で少なくとも一つの担持リング(103)上に支承されており、スリーブ(59)を担持するシャフト(13)の領域と、少なくとも一つの担持リング(103)の間に、マグネット支承部の少なくとも一つのマグネットリングが設けられていることを特徴とするスプリットフロー真空ポンプ。 - 少なくとも二つの溝(39,40,53,54,57,58)及び/又は孔部(55,56)がシャフト(13)内に放射相称に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
- 少なくとも二つの溝(39,40,53,54,57,58)及び/又は孔部(55,56)が少なくとも一つのリングを形成しつつシャフト(13)内に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
- 溝(39,40,53,54,57,58)及び/又は孔部(55,56)が長方形の及び/又は外側から内側に向かって先細の、及び/又は外側から内側に向かって拡張する、及び/又は段形状に逃された断面を有することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
- 孔部(55,56)が貫通穴として形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
- シャフト(13)上の少なくとも溝(39,40,53,54,57,58,63,64)及び/又は孔部の領域に、スリーブ(59)が設けられていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
- 先細の領域における少なくとも一方の軸端部(104)に、少なくとも一つのスリーブ(59)が設けられていることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項の記載のスプリットフロー真空ポンプ。
- 少なくとも一つのスリーブ(59)が中実材料のシャフト(13)の領域に設けられていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
- 少なくとも一つのスリーブ(59)がローター軸を有さない領域で二つのシャフト要素(107,108)の間に設けられていることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
- スリーブ(59)内に、少なくとも一つの孔部(83)が設けられていることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
- シャフト(13)が、長手軸に沿って設けられた内部穴(116)を有することを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
- 内部穴(116)が設けられているシャフト端部(110)が、断面において内部支承ピボットを有なさい鍋形状に形成されていることを特徴とする請求項11に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
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