JP6438690B2 - 板状部材の処理装置および処理方法 - Google Patents
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Description
そして、個片体が貼付された接着シートに対し、特許文献2に記載のような装置から紫外線を照射することで、接着シートの接着力を弱めた後、特許文献1に記載のような装置での検査結果に基づいて、合格片体のみをピックアップして被載置部材に移載することができる。
また、本発明の板状部材の処理装置では、前記積層手段は、シート部材に前記マスク部材が積層された原反を繰り出す繰出手段と、前記原反の前記マスク部材を前記接着シートの基材側に転写させて積層する転写手段とを備えている、ことが好ましい。
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各実施形態での同様の構成については、詳細な説明を省略する。
また、第1、第2実施形態において、X軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、第1、第2実施形態では、Y軸と平行な方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向であって図1中紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
画像形成手段43は、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、スクリーン印刷、フレキソ印刷等の方式を用いた印刷機、インクジェットプリンタ等によって構成され、基材BSにマスク部材MSで画像を形成できるようになっている。なお、マスク部材MSは、接着剤AD層の接着力を低下させる電磁波が透過しないものであればよく、例えば樹脂、ゴム、インキ、ニス等を用いることができる。
先ず、一体物WKにおけるウエハWFに対し、図示しないダイシング装置が回路形成面WF1側から接着シートASに達する切込CLを形成して複数のチップCPを形成する。次に、検査ヘッド31が支持面21A上から退避した状態で、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、一体物WKを支持手段20の支持面21A上に載置して退避する。次いで、支持手段20が図示しない減圧手段を駆動し、一体物WKを吸着保持した後、検査手段30が図示しない駆動機器を駆動し、各チップCPに対向するように検査ヘッド31を移動させる。そして、検査手段30が検査ヘッド31を駆動し、全チップCPの回路を一括して検査することで、チップCPが合格チップCP1と不合格チップCP2とに区別され、その位置データがコンピュータやシーケンサ等の図示しない制御手段に記憶される。なお、図1(B)では、合格チップCP1を白抜きで示し、不合格チップCP2に斜線を付して示した。なお、ウエハWFの外周端部に位置し、所定のチップ形状になることのないものや、所定のチップ形状になっていても回路が形成されないものは、端材ECとされ、検査が行われることなくまたは検査を行って、不合格チップCP2として区別される。
図2において、処理装置10Aは、第1実施形態の処理装置10に対し、支持手段50の凹部51Bの形状が支持手段20の凹部21Bと異なる点と、検査手段30および積層手段40の代わりに検査手段60および積層手段70を設けた点が相違する。
繰出手段80は、駆動機器としての回動モータ81Aによって回転可能に設けられ、原反RSを支持する支持ローラ81と、駆動機器としての回動モータ82Aによって回転可能に設けられた駆動ローラ82との間に原反RSを挟み込むピンチローラ83と、駆動機器としての回動モータ84Aによって回転可能に設けられた駆動ローラ84との間に、マスク部材MSが接着シートASに転写された不要原反USを挟み込むピンチローラ85と、駆動機器としての回動モータ86Aによって回転可能に設けられ、不要原反USを回収する回収ローラ86とを備えている。
転写手段90は、第1実施形態の画像形成手段43と同様の第1リニアモータ41と、第2リニアモータ42と、第2リニアモータ42のスライダ42Aに支持された転写ヘッド91とを備えている。
転写ヘッド91は、サーマルプリンタ、ドットインパクトプリンタ等の印刷機、押圧転写装置、熱転写装置等によって構成され、基材BSにマスク部材MSを転写できるようになっている。なお、マスク部材MSは、接着剤AD層の接着力を低下させる電磁波が透過しないものであればよく、例えば金属箔、樹脂、ゴム、インキ、ニス等を用いることができる。
先ず、第1実施形態と同様にして、複数のチップCPが形成された一体物WKを支持手段50の支持面21A上に載置すると、支持手段50が一体物WKを保持する。その後、検査手段60が各チップCPに対向するように検査ヘッド61を移動させるとともに、検査ヘッド61を駆動し、各チップCPを1つずつ検査することで、チップCPが合格チップCP1と不合格チップCP2とに区別され、そのデータが図示しない制御手段に記憶される。全てのチップCPの検査が完了すると、検査ヘッド61を支持面21A上から退避させる。
支持手段20、50は、積層手段40、70で基材BSにマスク部材MSを積層できるようにウエハWFを支持できればよく、例えば、ウエハWFの外側にはみ出た接着シートASを接着剤層側から支持してもよいし、ウエハWFの外側に接着シートASはみ出ていてもはみ出ていなくても、回路形成面WF1側に当接または当接することなく(例えばベルヌーイ吸着等)ウエハWFを支持してもよい。
検査手段30、60は、第1実施形態の検査ヘッド31の代わりに第2実施形態の検査ヘッド61を適用してもよいし、第2実施形態の検査ヘッド61の代わりに第1実施形態の検査ヘッド31を適用してもよい。
検査ヘッド61のプローブは、チップCPの回路を2つ以上ずつ検査可能に設けられていてもよい。
処理装置10、10Aに検査手段30、60を設けずに、他の装置でチップCPの回路の検査を行い、その検査結果を基にして、積層手段40、70で接着シートASにマスク部材MSを積層してもよい。この場合、処理装置10、10Aは、他の装置から合格チップCP1および不合格チップCP2の少なくとも一方の位置データを入手するようにすればよい。
検査手段30、60による検査工程と、積層手段40、70による積層工程とを同時または略同時に行ってもよい。
検査手段30の検査ヘッド31や検査手段30、60のアーム32に、吸引やメカチャック等の保持手段を設けてウエハWFを支持可能とし、当該検査手段30、60を支持手段としてもよい。
積層手段40、70は、個片化される前の板状部材に対してマスク部材MSを積層してもよい。
積層手段40、70は、画像形成手段43や転写ヘッド91を停止させておいて、一体物WKを移動させてもよいし、画像形成手段43や転写ヘッド91と一体物WKとの両方を移動させてもよい。
積層手段は、合格片体または不合格片体に対応する接着シートの基材側に、マスク部材としてのマスク用接着シートを貼付して積層する構成としてもよい。この場合、例えば、一方の面が接着剤層とされたマスク用接着シートが帯状の剥離シート上に仮着された接着シート原反を支持する支持ローラや受け台等の原反支持手段と、剥離シートを折り返し当該剥離シートからマスク用接着シートを剥離する剥離板や剥離ローラ等の剥離手段と、接着シートASの基材BS側にマスク用接着シートを押圧して貼付する押圧ローラや圧縮空気等の押圧手段と、駆動機器としての回動モータによって駆動する駆動ローラとの間に剥離シートを挟み込むピンチローラとを備えたものを採用することができる。
積層手段40は、検査ヘッド31を支持面21A上から退避させた後、マスク部材MSを積層する構成でもよい。
繰出手段80は、接着剤層が上方に設けられたマスク用接着シートをシート部材ST上に支持して繰り出す構成でもよい。
繰出手段は、転写手段に一体的に設けられ、当該転写手段と繰出手段とが一体的に一体物WKに対して相対移動する構成としてもよい。
シート部材STは、樹脂、紙、ゴム、布、金属箔等で構成されていてもよい。
個片体の形状は、例えば円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形等、その他の形状であってもよい。
原反RSは、例えば、マスク部材MSだけの単層のもの、シート部材STとマスク部材MSとの間に中間層を有するもの、マスク部材MSの上面にカバー層を有する等3層以上のものであってもよい。なお、原反RSがマスク部材MSの上面にカバー層を有するものの場合、マスク部材MS上からカバー層を剥離するカバー層剥離手段を設ければよい。
被載置部材は、基板、トレー、樹脂板、紙、ゴム、布、金属箔、石材、木材等何ら限定されるものではない。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20、50…支持手段
30、60…検査手段
40、70…積層手段
43…画像形成手段
80…繰出手段
90…転写手段
AD…接着剤
AS…接着シート
BS…基材
CP…チップ(個片体)
CP1…合格チップ(合格片体)
CP2…不合格チップ(不合格片体)
MS…マスク部材
RS…原反
ST…シート部材
WF…ウエハ(板状部材)
Claims (4)
- 少なくとも基材と接着剤層とが設けられた接着シートの前記接着剤層に貼付された板状部材を支持する支持手段と、
前記板状部材が個片化されて形成される各個片体毎に検査を行い、前記接着シートに貼付された各個片体を合格片体または不合格片体に区別する検査手段の検査結果を基にして、当該合格片体に対応する前記接着シートの基材側にマスク部材を積層可能な積層手段とを備えていることを特徴とする板状部材の処理装置。 - 前記積層手段は、前記接着シートの基材側に前記マスク部材で画像を形成可能な画像形成手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載の板状部材の処理装置。
- 前記積層手段は、シート部材に前記マスク部材が積層された原反を繰り出す繰出手段と、前記原反の前記マスク部材を前記接着シートの基材側に転写させて積層する転写手段とを備えていることを特徴とする請求項1に記載の板状部材の処理装置。
- 少なくとも基材と接着剤層とが設けられた接着シートの前記接着剤層に貼付された板状部材を支持する工程と、
前記板状部材が切断によって個片化される各個片体毎に検査を行い、前記接着シートに貼付された各個片体を合格片体または不合格片体に区別する検査工程の検査結果を基にして、当該合格片体に対応する前記接着シートの基材側にマスク部材を積層する工程とを備えていることを特徴とする板状部材の処理方法。
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