JP6438636B1 - 磁気抵抗効果素子 - Google Patents
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Abstract
Description
AgγX1−γ …(1)
式中、Xは、Al、Cu、Ga、Ge、As、Y、La、Sm、Yb、及びPtからなる群より選択される一の元素を表し、γは、0<γ<1である。
Co2LαMβ …(2)
式中、Lは、Mn及びFeの少なくとも一以上の元素であり、Mは、Si、Al、Ga、及びGeからなる群より選択される一以上の元素を表し、0.7<α<1.6であり、0.65<β<1.35である。
AgγX1−γ …(1)
この一般式(1)において、Xは、Al、Cu、Ga、Ge、As、Y、La、Sm、Yb、及びPtからなる群より選択される一の元素であり、γは、0<γ<1である。非磁性金属層35の厚さは、例えば、1nm以上、10nm以下である。非磁性スペーサ層33は、第一の非磁性挿入層36及び第二の非磁性挿入層37の一方のみを有してもよい。
Co2LαMβ …(2)
一般式(2)において、Lは、Mn及びFeの少なくとも一以上の元素であり、Mは、Si、Al、Ga、及びGeからなる群より選択される一以上の元素である。また、0.7<α<1.6であり、0.65<β<1.35である。
格子不整合率(%)=((a×√2−b)/b)×100(%) …(3)
この式(3)において、aは、表2に示す第1例〜第29例の格子定数、bは、表3に示す合金A〜合金Gの格子定数を示す。また、√2は、2の平方根を意味する。式(3)によって、第1例〜第29例のそれぞれの(001)面の[110]方向と、合金A〜合金Gのそれぞれの(001)面の[100]方向との格子不整合率を算出している。
MR比(%)=((RAP−RP)/RP)×100(%) …(4)
この式(4)において、RAPは、第一の強磁性層の磁化の向きと第二の強磁性層の磁化の向きとが反平行であるときの磁気抵抗効果素子の抵抗の大きさである。また、RPは、第一の強磁性層の磁化の向きと第二の強磁性層の磁化の向きとが平行であるときの磁気抵抗効果素子の抵抗の大きさである。
実施例1の磁気抵抗効果素子を以下のように作成した。表5に示すように、第一の非磁性挿入層及び第二の非磁性挿入層のAg合金の材料に共にAg0.7Al0.3を用い、第一の強磁性層及び第二の強磁性層の材料に共にCo0.5Fe0.5を用いて、上記実施形態の磁気抵抗効果素子1に対応する磁気抵抗効果素子を作製した。第一の非磁性挿入層及び第二の非磁性挿入層の厚さは、共に0.5nmとした。非磁性金属層の材料にAgを用い、非磁性金属層の厚さは、5nmとした。第一の強磁性層の厚さは、3nmとし、第二の強磁性層の厚さは、3nmとした。基板にはMgO単結晶を用い、下地層にはAgを用いた。キャップ層にはRuを用いた。基板上の各層の作製は、スパッタ法により行った。この磁気抵抗効果素子の形成後に、磁場中熱処理を行い、第一の強磁性層及び第二の強磁性層に対して一軸磁気異方性を付与した。この磁場中熱処理における熱処理温度を300℃とし、印加磁場の強度を5kOe(399kA/m)とした。
表5に示すように、実施例1に対して、第一の非磁性挿入層及び第二の非磁性挿入層の材料、第一の強磁性層及び第二の強磁性層の材料を変更した上で、実施例1と同様の作製及び見積もり手順によって、磁気抵抗効果素子の作製及びMR比の見積もりを行った。第一の非磁性挿入層及び第二の非磁性挿入層の材料は互いに同一であり、非磁性金属層の材料はAgとした。第一の強磁性層及び第二の強磁性層の材料は互いに同一とした。非磁性金属層、第一の強磁性層及び第二の強磁性層の厚さは、それぞれ、実施例1の各層の厚さと同一とした。
非磁性金属層の材料にAgを用い、第一の強磁性層及び第二の強磁性層の材料に共にCo0.5Fe0.5を用いた。また、第一の非磁性挿入層及び第二の非磁性挿入層を共に設けないで、実施例1と同様の作製及び見積もり手順によって、磁気抵抗効果素子の作製及びMR比の見積もりを行った。非磁性金属層、第一の強磁性層及び第二の強磁性層の厚さは、それぞれ、実施例1の各層の厚さと同一とした。
Claims (8)
- 磁化固定層としての第一の強磁性層と、
磁化自由層としての第二の強磁性層と、
前記第一の強磁性層と前記第二の強磁性層との間に設けられた非磁性スペーサ層と、
を備え、
前記非磁性スペーサ層は、Agからなる非磁性金属層と、当該非磁性金属層の下面に設けられる第一の非磁性挿入層及び当該非磁性金属層の上面に設けられる第二の非磁性挿入層の少なくとも一つとを有し、前記第一の非磁性挿入層及び前記第二の非磁性挿入層は、一般式(1)で表わされるAg合金を含み、それにより前記非磁性スペーサ層と、前記第一の強磁性層及び/又は前記第二の強磁性層との間の格子不整合は、前記非磁性スペーサ層全体がAgからなるときの格子不整合に比べて小さくなり、
前記一般式(1)において、0.75<γ<1である、磁気抵抗効果素子。
AgγX1−γ …(1)
[式中、Xは、Al、Cu、Ga、Ge、As、Y、La、Sm、Yb、及びPtからなる群より選択される一の元素を表し、γは、0<γ<1である。] - 前記一般式(1)で表される前記Ag合金の結晶構造は、面心立方格子構造を有する、請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第一の強磁性層及び前記第二の強磁性層の少なくとも一つは、一般式(2)で表されるホイスラー合金を含む、請求項1又は2に記載の磁気抵抗効果素子。
Co2LαMβ …(2)
[式中、Lは、Mn及びFeの少なくとも一以上の元素であり、Mは、Si、Al、Ga、及びGeからなる群より選択される一以上の元素を表し、0.7<α<1.6であり、0.65<β<1.35である。] - 前記一般式(1)において、前記Xは、Y、La、Sm、Yb、及びPtからなる群より選択される一の元素である、請求項3に記載の磁気抵抗効果素子。
- 磁化固定層としての第一の強磁性層と、
磁化自由層としての第二の強磁性層と、
前記第一の強磁性層と前記第二の強磁性層との間に設けられた非磁性スペーサ層と、
を備え、
前記非磁性スペーサ層は、Agからなる非磁性金属層と、当該非磁性金属層の下面に設けられる第一の非磁性挿入層及び当該非磁性金属層の上面に設けられる第二の非磁性挿入層の少なくとも一つとを有し、前記第一の非磁性挿入層及び前記第二の非磁性挿入層は、一般式(1)で表わされるAg合金を含み、それにより前記非磁性スペーサ層と、前記第一の強磁性層及び/又は前記第二の強磁性層との間の格子不整合は、前記非磁性スペーサ層全体がAgからなるときの格子不整合に比べて小さくなり、
Ag γ X 1−γ …(1)
[式中、Xは、Al、Cu、Ga、Ge、As、Y、La、Sm、Yb、及びPtからなる群より選択される一の元素を表し、γは、0<γ<1である。]
前記第一の強磁性層及び前記第二の強磁性層の少なくとも一つは、一般式(2)で表されるホイスラー合金を含み、
Co 2 L α M β …(2)
[式中、Lは、Mn及びFeの少なくとも一以上の元素であり、Mは、Si、Al、Ga、及びGeからなる群より選択される一以上の元素を表し、0.7<α<1.6であり、0.65<β<1.35である。]
前記一般式(1)において、前記Xは、Y、La、Sm、Yb、及びPtからなる群より選択される一の元素である、磁気抵抗効果素子。 - 前記一般式(1)で表される前記Ag合金の結晶構造は、面心立方格子構造を有する、請求項5に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記一般式(2)において、2<α+β<2.6である、請求項3〜6のいずれか一項に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第一の非磁性挿入層の厚さをt1としたとき、0.2nm<t1<10nmであり、
前記第二の非磁性挿入層の厚さをt2としたとき、0.2nm<t2<10nmである、請求項1〜7のいずれか一項に記載の磁気抵抗効果素子。
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Citations (6)
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---|---|---|---|---|
JP2007059927A (ja) * | 2002-03-28 | 2007-03-08 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気再生装置 |
JP2007273657A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Tdk Corp | 磁気抵抗効果素子およびその製造方法、ならびに薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドアームアセンブリおよび磁気ディスク装置 |
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JP2014049145A (ja) * | 2012-08-29 | 2014-03-17 | Hitachi Ltd | 磁気ヘッド及び磁気記憶装置 |
WO2016017612A1 (ja) * | 2014-08-01 | 2016-02-04 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 磁気抵抗素子、当該磁気抵抗素子を用いた磁気ヘッド及び磁気再生装置 |
JP2017027647A (ja) * | 2015-07-28 | 2017-02-02 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 磁気抵抗素子、その用途及び製造方法、並びにホイスラー合金の製造方法 |
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Patent Citations (6)
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JP2007273657A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Tdk Corp | 磁気抵抗効果素子およびその製造方法、ならびに薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドアームアセンブリおよび磁気ディスク装置 |
JP2007317824A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Tdk Corp | 磁気抵抗効果素子およびその製造方法、ならびに薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドアームアセンブリおよび磁気ディスク装置 |
JP2014049145A (ja) * | 2012-08-29 | 2014-03-17 | Hitachi Ltd | 磁気ヘッド及び磁気記憶装置 |
WO2016017612A1 (ja) * | 2014-08-01 | 2016-02-04 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 磁気抵抗素子、当該磁気抵抗素子を用いた磁気ヘッド及び磁気再生装置 |
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