JP6420834B2 - ラジアルpn接合ナノワイヤ太陽電池 - Google Patents

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Description

本発明は光起電力デバイスに関するものであり、特に、高い太陽電池効率のためのラジアルpn接合を有するナノワイヤ太陽電池に関するものである。
光起電力デバイスは、一般に平面薄膜構造を用い、マイナスにドーピングされた(n型)材料をプラスにドーピングされた(p型)材料上に積層させるか、あるいはプラスにドーピングされた(p型)材料をマイナスにドーピングされた(n型)材料上に積層させる。これらの平面光起電力デバイスでは、光吸収物質のバンドギャップ・エネルギーよりも大きいエネルギーを有する入射光子を効果的に吸収するのに十分なほど光吸収層を厚くする必要がある。しかし、光吸収層を平面構造内でより厚く作製すると、このことは、光発生キャリアの効果的な捕集を犠牲にする、というのは、光吸収層の厚さが少数キャリアの拡散長よりも大きくなり得るからである。従って、代表的な平面光起電力デバイスの設計は、効率的な光吸収のための光吸収層の厚さとキャリア捕集の有効性との歩み寄りをもたらし、これにより、これらのデバイスの効率に限界を与える。
例えば、代表的な薄膜GaAs太陽電池は、そのバンドギャップ・エネルギーよりも高いエネルギーを有する光子を効果的に吸収するために厚さ数ミクロンの吸収層を必要とするが、少数キャリアの拡散長は一般に二、三百ナノメートルしかないので、光発生キャリアの多数は捕集することができない。
平面pn接合を光起電力デバイス内に用いるよりもむしろ、ラジアルpn接合が研究されている。これらの構造では、長いp型中心コアが基板外に延び、n型シェルがこのコアを取り巻く。代案の構成では、コアがn型材料であるのに対し、シェルはp型材料で形成される。この構造を用いて、2つの型の光発生キャリアの一方を、コアの全長に沿った光吸収に直交するようにシェル内に捕集する。pn接合とは異なり、コアの長さを増加させて光吸収を改善することは、キャリアが捕集される前に進む必要のある距離を増加させず、従って、代表的な平面デバイスに見られる光吸収とキャリア捕集とのトレードオフをもたらさない。
基板外に延びるナノワイヤの製造における近年の開発は、ラジアルpn接合型光起電力デバイスを製造することを可能にした。しかし、これらのラジアルpn接合で達成される効率は、相応の平面デバイスよりも大幅に低く、ONE SUN社のAM1.5G太陽光スペクトル照明下で10%未満の太陽電池効率しか達成しない。
単接合光起電力デバイスが、〜33.5%のショックレー−クワイサー(Shockley-Queisser)限界にできる限り近く、さらにはこの限界を超える太陽電池効率を達成することが望まれる、というのは、より高い太陽電池効率は、太陽電池(ソーラー)パネルの1平方メートル当たりに捕集される太陽エネルギーをより大きくして、より小さい設置面積、及びより安価な設置の可能性をもたらすからである。
1つの好適例では、本発明は、基板に固定された少なくとも1つのナノワイヤ構造を備えた光起電力デバイスを提供し、少なくとも1つのナノワイヤ構造の各々が、高濃度にドーピングされたp型コア、及びp型コアの周囲のn型シェルを具え、p型コアは、基板に固定された近端、及び基板から離れるように延びる遠端を有する。
p型コア及びn型シェルを有するナノワイヤは、平面光起電力デバイスに比べて改善されたキャリア捕集を可能にし、太陽電池効率が向上する可能性をもたらす。平面光起電力デバイスでは、p型ドーピングの増加により太陽電池効率が低下するのに対し、ナノワイヤ・コアは、p型層を高濃度にドーピングすることによって太陽電池効率の大幅な向上がもたらされることが判明している。
一部の好適例では、p型コア及びn型シェルがIII-V族化合物である。
一部の好適例では、p型コアがGaAsで形成され、n型シェルがAlxGa1-xAsで形成される。GaAs化合物は光起電力デバイスに特に適している、というのは、約1.4eVのバンドギャップ・エネルギーが、ショックレー−クワイサー・モデルに応じた高い太陽電池効率を可能にするからである。
一部の好適例では、x(Alモル分率)が0.2以下の値を有する。0.2のAlモル分率は、表面再結合、及びナノワイヤのコアとシェルとの境界面にある伝導帯におけるエネルギー帯(エネルギーバンド)を最小にすることができる。
一部の好適例では、p型コアが、擬フェルミ準位エネルギー分裂を最大にすること、ナノワイヤ構造のビルトイン(作り付け)電界を最大にすること、ナノワイヤ構造の吸収スペクトルを拡張すること、及びコア内に向かう太陽光の回折及び反射の一方または両方を最大にすること、のうち少なくとも1つを行うのに十分な高濃度にドーピングされている。コア内に向かう回折及び/または反射を最大にすることによって、光反射を低減し、光閉じ込めを増強すると共に、光の再利用を最大にすることができる。
一部の好適例では、p型コアのドーピング密度が1018cm-3より大きく、1019cm-3より大きいことが好ましい。
一部の好適例では、n型シェルが低濃度にドーピングされている。n型ナノワイヤ・シェルを低濃度にドーピングすることによって、キャリア散乱によるキャリア損失を最小にし、これによりキャリア捕集効率及び太陽光発電(ソーラーパワー)の変換効率を最大にすることができる。さらに、n型シェルを低濃度にドーピングすることによって、シェル内のデプレッション(空乏)領域を最大にして、シェル内のキャリア再結合を最小にすることができ、従って、キャリア捕集効率及び太陽光発電の変換効率を最大にすることができる。
一部の好適例では、n型シェルのドーピング密度が1017cm-3未満であり、約1016cm-3未満であることが好ましい。
一部の好適例では、p型コアのドーピング密度が1016cm-3以上かつ1018cm-3未満である。
一部の好適例では、n型シェルが、当該n型シェル内のキャリア再結合を最小にするのに十分なほど薄い。さらに、低濃度にドーピングされた薄いシェルは、高エネルギー電子または高温電子(ホットエレクトロン)の捕集を可能にし、従って、極めて高い太陽光発電の変換効率を達成することを可能にする。
一部の好適例では、n型シェルが20nm〜50nmの厚さを有し、40nmの厚さを有することが好ましい。
一部の好適例では、p型コアの直径が、入射する太陽光スペクトルとナノワイヤの光伝搬モードとのスペクトル・オーバーラップ(重複)を最大にするのに十分なほど大きい。p型コアの直径は、キャリア捕集と、入射する太陽光スペクトルとナノワイヤの光伝搬モードとのスペクトル・オーバーラップとの良好な釣り合いを実現するのに十分なほど大きくすることもできる。
一部の好適例では、p型コアの直径が300nmより大きく、400nmより大きいことが好ましい。
一部の好適例では、ナノワイヤの長さが、入射する太陽光スペクトルのうち深く侵入するスペクトル成分を吸収するのに十分なほど長い。ナノワイヤの長さは、重度なホール・パイルアップの悪影響を回避するように制限することができる。
一部の好適例では、ナノワイヤの長さが5μm〜7μmであり、6μmであることが好ましい。
一部の好適例では、上記基板がシリコンを含む。
一部の好適例では、上記基板が(グラフェンまたは修飾グラフェンのような)黒鉛(グラファイト)層を具えている。黒鉛層は導電性が高く、従って太陽光発電の変換効率を向上させ、キャリア損失を最小にすることができる。
一部の好適例では、ナノワイヤの遠端が反射防止コーティングを具えている。
一部の好適例では、少なくとも1つのナノワイヤ構造の各々が透明導電性酸化物(TCO:transparent conductive oxide)でコーティングされている。
一部の好適例では、平面TCO接点が、少なくとも1つのナノワイヤ構造の上方に存在する。
一部の好適例では、平面TCO接点と少なくとも1つのナノワイヤ構造との間に絶縁ポリマーが配置されている。
一部の好適例では、p型コアが300nm(好適には400nm)より大きい半径を有し、1018cm-3(好適には1019cm-3)より大きいドーピング密度を有するGaAsで形成され、n型シェルが50nm(好適には40nm)未満の厚さを有し、1017cm-3(好適には1016cm-3)未満のドーピング密度を有するAl0.2Ga0.8Asで形成され、ナノワイヤ構造が5μm〜7μm、好適には約6μmの長さを有する。こうした材料パラメータとナノワイヤ直径との組合せは、20%を上回る、好適には30%を上回る高い太陽電池効率をもたらすことができる。
他の好適例では、本発明は、基板上に成長させた少なくとも1つのナノワイヤを具えた光起電力デバイスを製造する方法を提供し、この方法は:高濃度にドーピングされたp型コア、及びp型コアの周囲のn型シェルを具えたナノワイヤを成長させるステップを含み、p型コアは、基板に固定された近端、及び基板から離れるように延びる遠端を有する。
他の好適例では、本発明は、上述した好適例において説明した複数の光起電力デバイスを具えた太陽電池を提供し、これら複数の光起電力デバイスは、8%より大きい、好適には20%より大きい、より好適には50〜55%の充填率を有するアレイの形に配置されている。高密度に充填された光起電力デバイスのアレイを太陽電池内に配置することによって、光捕捉が改善され、これにより太陽電池効率が増加する。
他の好適例では、本発明は、基板に固定された少なくとも1つのナノワイヤ構造を具えた光起電力デバイスを提供し、少なくとも1つのナノワイヤ構造の各々が、少なくとも1つのナノワイヤ構造の上方にある平面TCO接点、p型コア、及びp型コアの周囲のn型シェルを具え、平面TCO接点と少なくとも1つのナノワイヤ構造との間に絶縁ポリマーが配置され、p型コアは、基板に固定された近端、及び基板から離れるように延びる遠端を有する。
以下、本発明が提案するやり方を、添付する以下の図面を参照しながら詳細に説明する。
基板上の単一コア−シェル型ナノワイヤ太陽電池の断面図である。 基板上のコア−シェル型ナノワイヤのアレイから作製された太陽電池を例示する概略図である。 基板上のコア−シェル型ナノワイヤのアレイから作製された太陽電池を例示する概略図である。 ナノワイヤの最適パラメータを定めるために用いる計算方法を説明する3層スラブを示す図である。 p型ナノワイヤ・コアのドーピング密度のある範囲についての、短絡状態におけるエネルギー帯図である。 短絡電流密度及び開放回路電圧をp型ナノワイヤ・コアのドーピング密度の関数として示すグラフである。 p型ナノワイヤ・コアのドーピング密度のある範囲についての、短絡状態における電界プロファイルを示す図である。 n型ナノワイヤ・シェルのドーピング密度のある範囲についての、短絡状態におけるエネルギー帯図である。 短絡電流密度及び開放回路電圧をn型ナノワイヤ・シェルのドーピング密度の関数として示すグラフである。 n型ナノワイヤ・シェルのドーピング密度のある範囲についての、短絡状態における電界プロファイルを示す図である。 ナノワイヤの太陽電池効率を、p型ナノワイヤ・コアのドーピング密度及びn型ナノワイヤ・シェルのドーピング密度の関数として示す図である。 Alナノワイヤ・シェルのモル分率のある範囲についての、短絡状態におけるエネルギー帯図である。 Alナノワイヤ・シェルのモル分率のある範囲についての、短絡状態における電界プロファイルを示す図である。 短絡電流密度及び開放電圧を、Alナノワイヤ・シェルのモル分率の関数として示すグラフである。 太陽電池効率をAlナノワイヤ・シェルのモル分率の関数として示すグラフである。 ナノワイヤ長のある範囲について、太陽電池効率をp型コアのナノワイヤ直径の関数として示すグラフである。 太陽電池効率をナノワイヤ長の関数として示すグラフである。 ナノワイヤ長のある範囲についての、ナノワイヤの全長に沿ったホール電流密度のプロファイルを示す図である。 太陽電池効率を、異なる種類のTCO接点を有するシェルの厚さの関数として示すグラフである。 最適条件における、異なる種類のTCO接点を有するナノワイヤのJ−V(実効電流密度と電圧との関係)特性を示すグラフである。 理論的な理想条件における、異なる種類のTCO接点を有するナノワイヤのJ−V特性を示すグラフである。 最適条件における、異なる種類のTCO接点についてのエネルギー帯図である。 最適条件における、異なる種類のTCO接点を有する複数プロファイルのナノワイヤのキャリア密度を示す図である。 最適条件における、異なる種類のTCO接点を有する複数プロファイルのナノワイヤの再結合速度を示す図である。 ナノワイヤ・アレイの太陽電池効率が、当該アレイのナノワイヤ充填率の影響を受ける様子を示すグラフである。 ナノワイヤ・アレイのJ−V特性、太陽電池効率、開放回路電圧、及び曲線因子を、太陽光線のゼニス(天頂)入射角のある範囲にわたって示すグラフである。 ナノワイヤ・アレイのJ−V特性、太陽電池効率、開放回路電圧、及び曲線因子を、太陽光線のアジマス(方位)入射角のある範囲にわたって示すグラフである。
ここで図1を参照し、図1は、ナノワイヤ構造の例の断面図を示す。p型コア120を、例えば無触媒プロセスまたは触媒補助プロセスにより基板110上に成長させることができ、あるいは、遠端が基板110に固定されると共に、遠端が基板110から離れるように延びることを保証する他の何らかの手段によって製造することができる。p型コアは、GaAs(ガリウムヒ素、ヒ化ガリウム)のようなIII-V族化合物とすることができる、というのは、こうした化合物は、その1.4eVのバンドギャップ・エネルギーにより、ショックレー−クワイサー・モデルにおける最大の太陽電池効率を達成するのに適したものとなるからである。基板110をp型基板にして、キャリアがp型コアから流れ通ることを可能にすることができる。
基板110は、例えばp型シリコン、あるいは他のあらゆる半導体とすることができる。基板110は、黒鉛層のような高導電性の層を含むことができる。この基板は、最上部に薄い黒鉛層を有するシリコンベース、さらにはガラスのような絶縁層の最上部にある薄い黒鉛層、のような層の組合せを具えることができる。発生する電荷キャリアの輸送を可能にしつつ、コア−シェル型ナノワイヤが基板から成長して固定されたままであることを可能にするのに適した基板の選定は、当業者にとって明らかである。
n型シェル130は、p型コア120の周囲に形成される。n型シェルは、同様に無触媒プロセスまたは触媒補助プロセスを用いて、あるいは他の何らかの手段によって、p型コアの周囲に成長させることができる。n型シェルは、AlxGa1-xAsのようなIII-V族化合物とすることができ、ここに「x」はAlのモル分率である。
n型シェル130は、当該シェル130と基板110との間に絶縁層140を有することによって、基板110から電気絶縁することができる。この絶縁層は、例えばSiO2とすることができ、p型コア及びn型シェルを成長させる前に基板上に配置することができる。
n型シェル130への電気接点を形成するために、上記デバイスは、最上部に堆積した透明導電性酸化物(TCO)150製または黒鉛層製のいずれかの、共形の接点または平面形の上部接点のいずれかを有することができる。
上記デバイスに電気的負荷を接続するために、金属接点を当該デバイスの最上部160及び最下部170に堆積させ、これにより、上部金属接点160がTCO層150または黒鉛層と接触し、従ってn型シェルと接触し、下部金属接点170がp型基板110と接触し、従ってp型コア120と接触することができる。
図2Aに、基板210上に配置されたナノワイヤのアレイの概略図を示す。1本のナノワイヤは、その内部を示すように図示し、その中心にあるp型コア220は基板210から離れるように延び、p型コア120は、その周囲にn型シェル230を有し、ナノワイヤ全体がTCO層250でコーティングされている。図2は、基板210とn型シェル230との間に、SiO2のような絶縁層240が存在することができることを示している。上部金属接点260は電気的負荷280の負端子に接続されているのに対し、下部接点270は電気的負荷280の正端子に接続されている。
代表的にはAM1.5Gの太陽光スペクトルを有する光290がナノワイヤ・アレイに入射すると、各ナノワイヤにおいてキャリアが発生して、電流が電気的負荷280を通って流れる。
図2Bに、図2Aに例示する実施形態の代案実施形態の概略図を示す。図2Aと同様に、1本のナノワイヤは、その内部を示すように図示し、その中心にあるp型コアは基板210から離れるように延び、p型コア220は、その周囲にn型シェル230を有する。基板210とn型シェル230との間には、SiO2のような絶縁層240が存在することができ、下部接点270が基板210の下に配置されている。図2Aは、各個別のナノワイヤ構造をコーティングする共形のTCO層を例示するのに対し、図2Bに例示する実施形態は、ナノワイヤのアレイを覆う平面形のTCO接点256を有し、上部金属接点260が平面形TCO接点256に接続されている。平面形TCO接点256は、透明層、好適にはポリマー255によって支持することができ、この透明層は、各ナノワイヤ構造を実質的に包囲して、ナノワイヤ構造間の隙間を満たして、太陽光を効果的にナノワイヤ内に集中させて閉じ込めて、太陽光吸収及び光子再利用を最大にし、従って太陽光発電の変換効率を最大にする。
一部の実施形態では、ナノワイヤが略円柱形であり、円柱形のコア及びその周囲に円柱形のシェルを有する。このナノワイヤはプリズム形にすることができ、六角形のようなn辺多角形の底面が当該プリズムの近端で基板に接触し、その遠端にある他方の面は基板から離れるように延びる。他の実施形態では、ナノワイヤが略円錐形であり、その底面が基板に近い近端にあり、その頂点は基板から離れた遠端にある。一部の実施形態では、高濃度にn型ドーピングされたキャップが、n型シェルとTCOまたは黒鉛層との間に存在する。
ラジアルpn接合に関係する物理学は、確立された平面pn接合の光起電力デバイスの物理学とは異なる。従って、効率的なラジアルpn接合を設計するに際し、最大の太陽電池効率を達成するためには、平面pn接合に関連する周知の仮定、設計検討、及び先入観に挑戦する必要がある。従って、新規なラジアルpn接合のデバイス物理学を学習するに際し、新たな計算法及び考察を行う必要がある。
pn接合デバイスでは、少数キャリア輸送が重要な考慮事項になり得る、というのは、少数キャリア輸送が多数キャリア輸送を制御するからである。従って、ラジアルpn接合を設計する際には、所望の電圧−電流特性を得るために、少数キャリアの輸送に注意を払うべきである。
平面pn接合の太陽電池とは異なり、ラジアルpn接合のナノワイヤ太陽電池の境界面は本質的に三次元である。従って、計算はより高価になるが、提案する解決策において用いるモデルでは、ラジアルpn接合のナノワイヤ太陽電池を三次元にモデル化して、ラジアル境界条件のような境界条件を定義する。従来のやり方は、一般に二次元シミュレーションを用いてシミュレーション計算の複雑度を低減してきたが、こうした簡略化に関連する誤差は、三次元分析が必要になるほど十分に大きい。
pn接合の挙動をシミュレーション計算する際には、計算上の要求が主要な関心事であるので、そして三次元モデルを利用することは計算コストを大幅に増加させるので、必要な計算資源を管理可能な範囲内に保つためには、計算効率を他所に見出す必要がある。従って、提案する解決策では、有限要素法及び伝達(転送)行列法を用いて、ラジアルpn接合の電気特性及び光学特性をシミュレーション計算する。より具体的には、複素波動インピーダンスを用いてデバイス内の光輸送をシミュレーション計算し、ポアソン方程式及びキャリア連続の式を解いて電気輸送を定める。
実行する計算では、GaAs/AlxGa1-xAsコア−シェル型ナノワイヤ構造を用いる。しかし、III-V族化合物のようなp型/n型コア−シェル構造に計算を適合させる方法、及びこれらのシミュレーションの結果を他の材料選定に適合させることができる方法は、当業者にとって明らかなはずである。
100nmのコア直径、100nmのシェルの厚さ、及び3μmのナノワイヤ長を仮定することによって、高い計算効率がもたらされ、従って、これらのパラメータが最初に変化していなければ、これらのパラメータは、特に、構成するために実際に実現可能なものと一致しているので これらのパラメータをシミュレーションに用いる。
シミュレーションの計算効率を向上させるためには、アレイよりもむしろ単一のナノワイヤ構造のみをシミュレーション計算する方が有利であり得る。このことは実行するのに適した簡略化である、というのは、アレイの代わりに個別のナノワイヤを考慮することによって考慮されない唯一の効果は、光トラッピング(捕捉)/集中/閉じ込め効果であり、これらの効果は、いずれにせよ、計算される太陽電池効率を低下させない。逆に、光トラッピング/集中/閉じ込め効果は、計算される太陽電池効率をさらに向上させる。
計算上の要求と現実的な結果との適切な妥協を保証するために、複素波動インピーダンス法を用いて、単一のラジアルpn接合のGaAs/AlxGa1-xAsコア−シェル型ナノワイヤ太陽電池を通る太陽光の伝搬をシミュレーション計算する。伝達行列法及び有限要素法を用いて電磁波の伝搬を効率的に計算するために、この方法を用いることができる。この方法は、伝搬媒体を微細フラグメント(片)に離散化すること、フラグメント毎に伝達行列を構成すること、及び有限要素法を用いて伝達行列を解くことを含む。
図3に、3層のスラブ(310、320及び330)を用いた複素波動インピーダンス法を例として示す。この例では、3層のスラブ(310、320及び330)を通って互いに逆向きに伝搬する2つの光波Ψ1及びΨ2を考える。光波Ψ1は、上付きの「+」符号及び矢印352で示す前進成分
351を有する。光波Ψ1は、上付きの「−」符号及び矢印342で示す後進成分
341も有する。各光波は異なるスラブnx-1310、nx320、及びnx+1330を通過するので、当該光波が通過中のスラブを下付き符号で示す。例えば、成分
は、一番右のスラブnx+1330内の前進成分Ψ2である。
中央の層nx320内の前進光波
及び
は次式で表される:
ここに、ζx,x+1は、中央層nx320とその右側の層nx+1330との境界面についての伝達行列である。
中央層nx320内の後進または反射光波
及び
は次式で表される:
ここに、ζx(l)は、中央層nx320についての伝搬伝達行列である。伝搬伝達行列ζx(l)及び界面伝達行列ζx,x+1は次式のように表される:
ここに、nxは層xの複素屈折率であり、θxは層xの屈折角であり、l(エル)は所定層内の伝搬距離であり、Zx(Zx+1)は層x(x+1)の複素波動インピーダンスである。電気的横波(TE波:transverse electric wave)については、Zxの数式はnxcos(θx)であり、磁気的横波(TM波:transverse magnetic wave)については、Zxはnx÷cos(θx)として表される。層nx320内の空間的輝度
は次式で与えられる:
ここに、Z0は自由空間の複素波動インピーダンスである。
ラジアルpn接合GaAs/AlxGa1-xAsのコア−シェル型ナノワイヤ太陽電池の特性をシミュレーション計算するために、光学的シミュレーションを電気的シミュレーションと結合させて、デバイスの電気特性を定める。特定の現象を説明するための特定モデルを利用して、ポアソン方程式及び電荷キャリア連続の式を解くことによって、キャリア輸送シミュレーションを実行することができる。
このシミュレーションから現実的な結果を得るために、材料の物理的パラメータができる限り正確であり、これらの物理的パラメータに影響を与える現象が必要なだけ説明されることを保証するための特別な注意を払うことができる。
例えば、ドーピングレベルの変化に起因するGaAsバンドギャップ付近の光吸収の変化の大きさは、従来、吸収ピークの大きさに比べれば比較的小さいものとして観測されており、従って、従来のやり方はこの影響を無視してきたかもしれない。しかし、ラジアルpn接合では、光発生に対する影響が、実際には相当量であることが判明している。従来のやり方は、上記の現象を無視すると、太陽エネルギー変換効率では約60%の過小推定があったことが発見されている。従って、提案する解決策において用いるシミュレーションでは、材料の複素屈折率及びキャリア輸送に関連するパラメータを高精度で表現する。
使用する材料の光吸収係数αは、複素屈折率から次式の関係により定まる:
ここに、
は複素屈折率の虚部である。αが既知であれば、光発生は次の方程式で計算することができる:
ここに、ηiは内部量子効率であり、hはプランク定数であり、νは入射光の周波数である。各光子が1つの電子−ホール対を発生するものと仮定すれば、ηiの値を1にとることができる。
計算するための他のパラメータは、GaAs、AlxGa1-xAs、及びSiにおけるドーピング依存性のキャリア移動度(それぞれμGaAs、μAlGaAs、μSi)であり、これらのパラメータは次式の経験的モデルを用いて定めることができる:
ここに、NA,Dはドーピング密度であり、μmin、μmax、μ0、μ1、γm、β、N0、Pc、Cr及びCsは、材料固有のモデル・パラメータである。放射再結合、オージェ(Auger)再結合、ショックレー−リード−ホール(Shockley-Read-Hall)再結合、及び表面再結合による光発生キャリアの損失が太陽電池の太陽エネルギー変換効率に大きな影響を与え得るので、これらの処理の一部または全部を、次の数学モデルを用いて考慮することができる。放射再結合速度Rradiativeは、次の方程式を用いて定まる:
ここに、Cradiativeは放射係数であり、n、p及びniは、それぞれ電子密度、ホール密度、及び実効固有電子密度である。オージェ再結合速度RAugerは、次の方程式によって得ることができる:
ここに、Cn_Auger及びCp_Augerは、それぞれ電子及びホールのオージェ再結合係数である。ショックレー−リード−ホール再結合速度RSRHは次式より定めることができる:
ここに、τp及びτnは、それぞれホール寿命及び電子寿命である。これらのホール寿命及び電子寿命は、次のドーピング密度とキャリア寿命との関係式を用いて定めることができる:
ここに、NA,Dはドーピング密度であり、Nrefは基準ドーピング密度である。表面再結合速度Rsurfaceは次式を用いて定めることができる:
ここに、sp及びsnは、それぞれホール及び電子の表面再結合速度である。最後に、トラップアシスト・オージェ再結合速度RTAAは、次の方程式を用いて計算することができる:
ここに、
及び
は、それぞれホール及び電子のトラップアシスト・オージェ再結合係数である。
上述したパラメータは、シミュレーションを実行する際に関係し得るパラメータの例である。しかし、半導体デバイスの文献中及びその分野の基本式中で容易に得られ、含めるべきことを当業者が知っている他のいくつかのパラメータが存在する。
以上の方法に基づいてシミュレーションを実行して、ラジアルpn接合におけるバンド構造、電界分布及びキャリア再結合の、ドーピングレベルのようなパラメータに対する依存性、ナノワイヤの材料組成及び構造を定めて、太陽電池効率を向上させるパラメータの組合せを見出すことができる。
p型コアのドーピング密度の影響は、n型シェルのドーピング密度を一定に保ちつつ、p型ドーピング密度のある範囲にわたるエネルギー帯図中の変化を評価することによって定めることができる。
図4に、p型コアのドーピング密度のある範囲についての、短絡状態におけるエネルギー帯図をシミュレーション計算した結果を示す。図4に提示するシミュレーションの例では、p型コアがGaAsであり、n型シェルがAl0.2Ga0.8Asであり、p型ドーピング密度の範囲は1016cm-3〜1020cm-3である。
1016cm-3のp型ドーピング密度についてのエネルギー帯図を410に示す。x軸はp型コアの中心(x=0μmで示す)からの水平距離を示し、y軸はエネルギー帯のエネルギーレベル(eV)を示す。−0.05μmの所の垂直線411は、n型シェルとp型コアとの境界を示し、+0.05μmの所の線も同様である。
実線412は、ラジアルpn接合のプロファイルに沿った伝導帯Ecを示す。同様に、線422、432、442及び452は、それぞれ1017cm-3、1018cm-3、1019cm-3、及び1020cm-3のp型コアのドーピング密度における伝導帯を示す。他の実線415は、ラジアルpn接合のプロファイルに沿った価電子帯Evであり、線425、435、445、及び455は、それぞれ1017cm-3、1018cm-3、1019cm-3、及び1020cm-3のp型コアのドーピング密度における価電子帯を示す。
グラフ410中に擬フェルミ準位エネルギー分裂が示され、点線413は電子の擬フェルミ準位エネルギー(EF-e)を示し、点線414はホールの擬フェルミ準位エネルギー(EF-h)を示す。電子の擬フェルミ準位エネルギーは、1017cm-3、1018cm-3、1019cm-3、及び1020cm-3のp型コアのドーピング密度について、それぞれ線423、433、443、及び453でも示し、ホールの擬フェルミ準位エネルギーは、1017cm-3、1018cm-3、1019cm-3、及び1020cm-3のp型コアのドーピング密度について、それぞれ線424、434、444、及び454で示す。
擬フェルミ準位エネルギー分裂は、NA=1016cm-3(410)及びNA=1017cm-3(420)では、413と414、及び423と424のプロファイルで示すように、比較的一定に留まる。しかし、NA=1018cm-3に増加したp型コアのドーピング密度を示すエネルギー帯図430では、433及び434に示すように、エネルギー帯図420中の擬フェルミ準位エネルギー分裂423及び424に比べれば、擬フェルミ準位エネルギー分裂の大きな段階的変化が存在する。p型コアのドーピング密度が1019cm-3(440)及び1020cm-3(450)に増加すると、この段階的変化が存在し続ける。従って、これらの材料パラメータについては、p型GaAsコアのドーピング密度が1017cm-3より高くなると、開放回路電圧が大幅に増加するものと期待することが妥当である。
高濃度にドーピングしたp型GaAsコアは、太陽光を垂直軸の向きに(即ち、コア内に向けて)回折させる点でも有利であり、そして反射防止コーティングの無い平面pn接合のGaAs太陽電池に比べて光反射損失の10%低減を生じさせることができ、同時に光子再利用を改善することができる。
図5に、短絡電流密度及び開放回路電圧のグラフをp型コアのドーピング密度の関数として示し、p型コアのドーピング密度を1017cm-3より上に増加させると、開放回路電圧510が0.383Vから0.889Vに大幅に増加する様子を示す。p型コアのドーピングの同じ増加において、短絡電流密度520の同様に大きな増加が存在する。
平面pn接合に関する周知の一般的知識の教示を考えれば、この結果は驚くべきものである、というのは、ドーピングレベルの変化に起因するGaAsバンドギャップ付近の光吸収の変化は、吸収ピークの大きさに比べれば一般に非常に小さいからである。三次元モデルを用いて計算を実行することによって、そして、例えばキャリア輸送及び光吸収に関連するパラメータの精度を維持することに特別な注意を払うことによって、p型コアのドーピングを増加させて開放回路電圧及び短絡電流密度が向上する結果が発見された。
図6に、p型コアのドーピング密度のある範囲にわたる、短絡状態における電界プロファイルを示す。グラフ601は、p型コアのドーピング密度が1016cm-3(610)及び1017cm-3(620)である電界プロファイルを示す。1016cm-3(610)から1017cm-3(620)へのドーピング密度の増加は、電界プロファイルの比較的小さい増加を生じさせている。一方、グラフ602は1018cm-3(630)及びより高いp型ドーピングレベルについての電界プロファイルを示す。グラフ601と602を比べれば、p型ドーピングが1017cm-3より上に増加すると、それぞれp型ドーピング密度1018cm-3、1019cm-3、及び1020cm-3についての大幅に強く良好に分布した電界プロファイル630、640及び650で示すように、電界が大幅に増加することが示される。この結果は、p型ドーピング密度を1017cm-3より上に増加させることが、より高いキャリア捕集効率の結果として短絡電流の大幅な増加をもたらすことを示している。
1018cm-3より高いp型コアのドーピング密度については、p型コアが高濃度にドーピングされた際のp型コアのバンドギャップ縮小により短絡電流密度がわずかに増加し、このことが吸収スペクトルを拡張させる。
以上の結果より、ナノワイヤ構造のp型コアを高濃度にドーピングすることによって、擬フェルミ準位エネルギー分裂の増加、及びより強く良好に分布した電界をラジアルpn接合内にもたらすことができることは明らかである。このことは、高濃度にドーピングされたp型コアにおける開放回路電圧及び短絡電流を大幅に増加させ、これにより、より高い太陽電池効率をもたらすことが判明している。
「高濃度にドーピングされた」とは、現在技術において周知の用語であり、一般に、ドーパント原子の数が1万個の原子当たり1個以上のオーダーである際に用いられる。高濃度にドーピングされた材料のドーピング密度は、その材料に応じて変化し、p型GaAsは、1018cm-3であれば高濃度にドーピングされていると考えることができるのに対し、p型シリコンについては、この値は1020cm-3より高くなり得る。この状況で選定した材料パラメータについては、1017cm-3を上回るp型コアのドーピング密度が高い太陽電池効率をもたらす。
他の例では、直径400nmのGaAsコア、及び1016cm-3のn型ドーピング密度を有する厚さ50nmのAl0.2Ga0.8Asシェルを有する長さ3μmのナノワイヤの特性について分析を実行した。この例では、p型ドーピング密度が増加しており、p型ドーピングの増加に伴いGaAs吸収スペクトルの長波長側の端が広がると、2×1017cm-3〜4×1017cm-3のコア・ドーピング密度で短絡電流密度が急峻に増加する。p型ドーピングがさらに増加して吸収スペクトルの広がりが止まると、短絡電流密度は最終的に3×1018cm-3で飽和する。
p型ドーピング密度を増加させると内部電界も増加し、これにより、コア及びシェル内のデプレッション領域の幅を変化させて、ビルトイン起電力を相応に変化させる。従って、1018cm-3を上回るコア密度については、キャリア拡散が止まるとシェル内のデプレッション領域の広がりが停止し得るのに対し、コア内のデプレッション領域はより狭くなる。従って、1018cm-3を上回るコア・ドーピング密度におけるビルトイン起電力は、内部電界が増加してもおよそ一定に留まることができ、1018cm-3を上回るコア・ドーピング密度については一定の開放回路電圧がもたらされる。
さらに他の例では、(図2Aのように)共形側壁のTCO接点を有するナノワイヤ内のコア・ドーピング密度を変化させるのではなく、(図2Bのように)平面TCO接点を有するナノワイヤ内のコア・ドーピング密度を変化させる際に、シミュレーションを実行することができる。実行したシミュレーションの例では、平面TCO接点を有するナノワイヤ構造が、直径400nmのGaAsコア、及び1016cm-3のn型ドーピング密度を有する厚さ50nmのAl0.2Ga0.8Asシェルを有する。この平面TCO接点を有するナノワイヤは、共形接点を有する等価なナノワイヤと比べて、ずっと高い短絡電流密度及び開放回路電圧を有することができる。このことは、平面接点は、共形接点におけるのと同量のバンド曲がりの問題がなく、従って、未捕集キャリアの確立が低減され、より大きな起電力を生じさせるからである。しかし、およそ7×1016cm-3を上回るp型ドーピング密度では、平面接点の実施形態にキャリアなだれ効果が生じて、これにより未捕集キャリアを生じさせて、およそ1.6×1017cm-3のコア・ドーピング密度で接合破壊をもたらすことがある。
以上に提供したシミュレーションの例では、平面TCO接点を有するナノワイヤが、7×1016cm-3のコア・ドーピング密度で10.5%の最大太陽電池効率に達することができるのに対し、共形接点を有するナノワイヤは、6×1018cm-3のコア・ドーピング密度で10.3%の最大太陽電池効率に達することができる。
図7に、n型シェルのドーピング密度のある範囲について短絡状態においてシミュレーション計算したエネルギー帯図を示す。図7に提示するシミュレーションの例では、n型シェルがAl0.2Ga0.8Asであり、p型コアがGaAsであり、p型ドーピング密度は1019cm-3に固定され、n型シェルのドーピング密度は1016cm-3〜1019cm-3の範囲である。
n型シェルのドーピング密度1016cm-3についてのエネルギー帯図を710に示す。実線711は、ラジアルpn接合のプロファイルに沿った伝導帯Ecを示す。同様に、線721、731、及び741は、それぞれn型シェルのドーピング密度1017cm-3、1018cm-3、及び1019cm-3についての伝導帯を示す。他の実線714は、ラジアルpn接合のプロファイルに沿った価電子帯Evを示し、線724、734、及び744は、それぞれ、n型シェルのドーピング密度1017cm-3、1018cm-3、及び1019cm-3についての価電子帯を示す。
擬フェルミ準位エネルギー分裂がグラフ710中に示され、点線712は電子の擬フェルミ準位エネルギー(EF-e)を示し、点線713はホールの擬フェルミ準位エネルギーレベル(EF-h)を示す。電子の擬フェルミ準位エネルギーは、n型シェルのドーピング密度1017cm-3、1018cm-3、及び1019cm-3についても、それぞれ線722、732、及び742として示し、ホールの擬フェルミ準位エネルギーは、n型シェルのドーピング密度1017cm-3、1018cm-3、及び1019cm-3についても、それぞれ線723、733、及び744として示す。
4つの図710、720、730及び740にわたって示すように、p型コアとn型シェルとの間の擬フェルミ準位エネルギー分裂は、n型シェルのドーピング密度を1016cm-3から1020cm-3まで増加する際には比較的一定であり、シェル内のn型ドーピング密度に対する開放回路電圧の依存性が潜在的に弱いことを示している。
図8に、n型シェルのドーピング密度が上記の範囲にわたって増加する際の、短絡電流密度のグラフ820及び開放回路電圧のグラフ810を、n型ドーピング密度の関数として示す。実際に、1018cm-3を上回るドーピング密度では、p型コアとn型シェルとの間の擬フェルミ準位エネルギー分裂が減少すること、及び電界の増加がデプレッション幅の減少に追い付かないことの結果として、開放回路電圧810が次第に減少し始めることが注目に値する。
図9に、n型ドーピング密度のある範囲にわたる、短絡状態における電界プロファイルを示す。グラフ901は、n型ドーピング密度が1016cm-3(910)及び1017cm-3(920)である場合の電界プロファイルを示す。これらのドーピング密度については、デプレッション幅が比較的広く示されている。
グラフ902は、1018cm-3(930)及び1019cm-3(940)のより高いn型シェルのドーピング密度についての電界プロファイルを示す。グラフ901中の電界プロファイルに比べれば、電界はより大きいがデプレッション幅は大幅に減少している。その結果、開放回路電圧はわずかに低減するに過ぎない。ドーピング密度が1018cm-3(930)から1019cm-3(940)に増加すると、デプレッション幅が低減して開放回路電圧を少し低下させる、というのは、ドーピング密度の増加に伴う電界の増加がデプレッション幅の減少に追い付かないからである。
図9に示す電界のプロットは、p型コア内のデプレッション幅がn型シェルのドーピング密度の増加と共に増加するのに対し、n型シェル内のデプレッション幅は減少することを示している。従って、こうしたn型デプレッション幅の減少は短絡電流の減少をもたらす。図8の線820に示すように、短絡電流密度はn型シェルのドーピング密度の増加と共に減少している、というのは、n型シェル内のデプレッション幅が狭まるに連れて、シェル内のキャリア−キャリア散乱によるキャリア再結合が増加したからである。
図7、8及び9に示すシミュレーションの例より、n型シェルが低濃度に、例えばAl0.2Ga0.8Asについては1016cm-3にドーピングされるべきであることを保証することが有利であり得る。「低濃度にドーピングされる」とは現在技術において周知の用語であり、一般に、ドーパント原子の数が1億個の原子当たり1個以下のオーダーである際に用いられる。
図10は、ナノワイヤの太陽電池効率を、コアのドーピング密度1020及びシェルのドーピング密度1010の両者の関数として示す図である。この図は、以上に示す発見を集約し、一般に、より高いp型コアのドーピング密度及びより低いn型シェルのドーピング密度が望ましいことを示している。特に、p型コアのドーピング密度は1017cm-3より大きくあるべきであり、少なくとも1018cm-3であることがより好ましく、約1019cm-3であることがさらに好ましい。この図は、高い太陽電池効率を達成するためには、n型シェルのドーピング密度が低くあるべきであり、1017cm-3未満であることが好ましく、約1016cm-3であることがより好ましいことも示している。
以上に例示するシミュレーションの例より、高い太陽電池効率を達成するためには、p型コア及びn型シェルの好適なドーピング密度の範囲にわたって、n型シェルは〜30から40nmよりも大幅に厚くするべきではないことも判明している、というのは、さもなければ、キャリア−キャリア散乱が増大し始めるからである。従って、シェル内のキャリア再結合/キャリア−キャリア散乱の低減によりキャリア捕集効率を最大にするためには、低濃度にドーピングされたn型シェルは、できる限り薄くするべきであり、そして〜30から40nmよりも大幅に薄くするべきではない。従って、n型シェルは60nmより薄いことが好ましく、50nm以下であることがより好ましく、使用する材料パラメータ次第では約30〜40nmであることがさらに好ましい。
p型のGaAsコア及びn型のAlxGa1-xAsシェルを用いるナノワイヤ構造では、AlxGa1-xAsのモル分率が太陽電池の太陽電池効率に影響し得る。従って、p型コア及びn型シェルのドーピング密度を、それぞれ1019cm-3及び1016cm-3に一定に保てば、Alモル分率のある範囲にわたってシミュレーションを実行することができる。
図11に、x=0,1からx=0.9までのAlモル分率の範囲にわたる、短絡状態におけるエネルギー帯図を示す。実線の束1100はAlモル分率のある範囲にわたる伝導帯を示し、最も低い線1101はx=0.1の最低のAlモル分率に相当し、最も高い線1109はx=0.9の最高のAlモル分率に相当する。1101と1109の間の実線は、これらのAlモル分率の極値間の伝導帯の漸進的変化を示す。伝導帯1100は、±0.05μmの所にあるヘテロ接合において、Alモル分率が高くなるほど伝導帯のエネルギー障壁が増加することを示している。
実線の束1130は、Alモル分率のある範囲にわたる価電子帯を示し、最も高い線1131はx=0.1の最低のAlモル分率に相当し、最も低い線1139はx=0.9の最高のAlモル分率に相当する。
点線の束1110は電子の擬フェルミ準位エネルギー(EF-e)を示し、最も低い線1111はx=0.1の最低のAlモル分率に相当し、最も高い線1119はx=0.9の最高のAlモル分率に相当する。この図は、ホールの擬フェルミ準位EF-hも点線の束1120で示し、最も高い線1121はx=0.1の最低のAlモル分率に相当し、最も低い線1129はx=0.9の最高のAlモル分率に相当する。2つの束1110及び1120は、擬フェルミ準位エネルギー分裂がAlモル分率と共に増加する様子を示し、Alモル分率が増加するに連れてキャリア捕集が劣化することを示し、従って、電界及び開放回路電圧は増加するが、短絡電流は減少することを示す。
図12に、ナノワイヤ・シェル内のAlモル分率のある範囲にわたる短絡状態におけるAlモル分率のある範囲にわたる電界プロファイルを示す。図示する実線の束のうち、最も低い線1201はX=0.1の最低のAlモル分率の電界プロファイルに相当し、最も高い線1209はx=0.9の最高のAlモル分率の電界プロファイルに相当する。実線1204はx=0.4のAlモル分率の電界プロファイルに相当するが、1201と1209の間の実線は、これらのAlモル分率の極値間の電界の漸進的変化を示すので、このグラフは、x=0.4のAlモル分率より上では、Alモル分率のさらなる増加は電界の限られた変化しかもたらさないことも示している。
電界プロファイル1201〜1209は、Alモル分率の増加が概ねより高い電界をもたらすことを示しているが、x=0.41204のAlモル分率より上では、電界の増加が飽和により制限されることも示している。この飽和は、AlxGa1-xAsにおける最低の伝導帯がΓ点からX点に行って(Γ点及びX点はブリルアン(Brillouin)領域の臨界点である)間接バンドギャップになり、その後にxが増加すると共に非常に低速で変化する際に生じる。
図13は、短絡電流密度及び開放回路電圧をAlモル分率の関数として示すグラフであり、図12においてx=0.4を上回るAlモル分率から観測される飽和の影響を例示する。開放回路電圧1310は、x=0からx=0.4までは大幅に増加するように示されているが、x=0.4より上では、飽和により開放回路電圧が制限されて増加しないことになる。
さらに、短絡電流密度の線1320は、Alモル分率を増加させることが、図11に示すヘテロ接合における伝導帯エネルギー障壁の増加による短絡電流密度に影響を与えることを示している。
図14は、太陽電池効率1410をAlモル分率の関数として示すグラフであり、図11〜13において観測される結果の組合せ効果を例示する。短絡電流密度はAlモル分率(の増加)と共に減少するが、太陽電池効率1410に対する影響は、Alモル分率が増加するに連れて電界が増加することによって弱められて、この影響が飽和によって低減される前のx=0.2おいてピークが生じる。従って、x=0.2のAlモル分率より上では、太陽電池効率が低下するように示されている。
以上のシミュレーション結果は、Alモル分率を低く、好適にはx=0.3未満に、より好適にはx=0.1〜x=0.3に、さらに好適にはx=0.2に保つことが有利であり得ることを示している。
各ナノワイヤの直径は太陽電池効率に影響を与え得る。従って、異なるコア直径、シェルの厚さ、及びナノワイヤ長についてシミュレーション計算することが有利であり得る。図15は、ナノワイヤ長のある範囲について、太陽電池効率をp型コアの直径の関数として示すグラフである。図15に例示するシミュレーションでは、p型コア及びn型シェルのドーピング密度を、それぞれ4×1019cm-3及び4×1016cm-3の一定値に保ち、シェルの厚さ及びAlモル分率は、それぞれ50nm及びx=0.2に固定した。
実線1510は、1μmの長さ及び50nm〜500nmのp型コア直径で、ナノワイヤ構造の太陽電池効率が変化する様子を示す。線1520及び1530は、同様に、p型コア直径のある範囲にわたる太陽電池効率の変化を示すが、長さ2μm及び3μmのナノワイヤによる。1μmのナノワイヤ1510については、太陽電池効率の第1ピークが直径200nmに見られ、第2のより大きなピークが400nmのコア直径に見られる。2μmのナノワイヤ1520については、太陽電池効率は、250nmまでのコア直径では概ね増加し、コア直径に伴う大幅な増加は、400nmにおけるピークまでに始まる。同様に、3μmについては、太陽電池効率は、300nm〜500nmにある実質的なピークへの急な上昇の前の250nmまでは、コア直径と共にわずかに上昇する。これらのシミュレーション結果は、コア直径を250nm〜500nmにすることが有利であり得ること、300nm〜450nmにすることが好ましく、約400nmにすることがより好ましいことを示している。
以上のシミュレーショによって定められる400nmの最適なコア直径は、ラジアルpn接合の光学モードとAM1.5G太陽光スペクトルとのスペクトル・オーバーラップが最大になること、並びにキャリア捕集の度合いの結果とすることができ、これにより、最適な吸収及びキャリア再生率、並びにキャリア捕集効率を生み出す。
図15は、ナノワイヤの長さを1μmから3μmに増加させることによって太陽電池効率の増加が生じることも示し、ナノワイヤの長さと太陽電池効率との関係を示している。適切なナノワイヤ長を用いることは、AM1.5G太陽光スペクトルのうちナノワイヤの光学モードとオーバーラップするスペクトル成分が最大に吸収されて、ラジアルpn接合にとって最適な太陽電池効率を生み出すことを可能にする、というのは高濃度にドーピングされたp型コアが、バンドギャップ縮小の結果として拡張された吸収帯域幅を有するからである。最適なナノワイヤ長を定めるために、p型コアのドーピング密度、n型シェルのドーピング密度、シェルの厚さ、Alモル分率、及びコア直径を、例えば、それぞれ4×1019cm-3、4×1016cm-3、50nm、x=0.2、及び400nmの一定値に保ってシミュレーションを実行することができる。
図16は、太陽電池効率を、1μm〜30μmのナノワイヤ長の関数として示すグラフであり、共形TCO接点と平面TCO接点とを用いた差異も例示する。区分1611及び1631は、ナノワイヤ長を1μm〜6μmに増加させることによって、深く侵入するAM1.5G太陽光スペクトル成分の吸収が増加することの結果として太陽電池効率の急速な増加が生じることを示している。しかし、過剰な無放射キャリア再結合を生じさせるp型コア内の重度なホール・パイルアップに起因する、ナノワイヤ長6μmと7μmの間に示す太陽電池効率の大幅な低下が存在する。
その後の7μmから17μmまでのナノワイヤ長の増加(1612及び1632)は、17μmにおける2回目の重度なホール・パイルアップまでは、太陽電池効率の同様な増加を生じさせる。このサイクルは、p型コアの吸収帯内のAM1.5G太陽光スペクトル成分が、ナノワイヤを軸方向に貫通する際に弱まるに連れて、線1613及び1633のより低い傾きによって示されるように、太陽電池効率の増加速度を次第に低下させながら繰り返される。ナノワイヤ長が、AM1.5G太陽光スペクトルの全成分を吸収帯内で十分に吸収する長さよりも大幅に長い際には、ナノワイヤ長が増加すると共に太陽電池効率が増加する速度が、最終的にマイナスになる。
図16は、共形側壁のTCO接点(図2Aの250参照)を有するナノワイヤ構造と平面TCO接点(図2Bの256参照)との太陽電池効率の差異も例示する。このグラフは、ナノワイヤが長さ1μm〜2μmである場合を除いて、平面TCO接点を有する太陽電池が、共形TCO接点を有する太陽電池よりも高い太陽電池効率を有することを示している。
平面TCO接点の場合の、ナノワイヤ長の増加に伴う太陽電池効率の増加は、共形側壁TCO接点の場合に比べて急峻である。平面TCO接点により、太陽電池効率は、6μm長の共形TCO接点の13.7%の効率に比べれば、6μm長のナノワイヤについてはおよそ14.1%のピークに達する。長さを6μmから7μmに増加させることによって、共形及び平面接点について、それぞれ9.7%及び9.5%への太陽電池効率の低下が生じる。
平面TCO接点は共形側壁TCO接点よりも良好に機能する、というのは、平面TCO接点には、共形側壁TCO接点のようにキャリアのダイナミクス(動特性)/輸送及び光子再利用効率を制限する重度なバンド曲がりの問題がないからである。
より短いナノワイヤ長(1μm及び2μm)では、平面TCO接点による太陽電池効率の方が低い、というのは、より高エネルギーの電子の寿命がより短いことに起因して、高エネルギー光子によって発生する電子を、共形側壁TCO接点の場合ほど効率的に捕集することができないからである。これらのより短い長さでは、平面TCO接点が、共形TCO接点を有する太陽電池よりも低い実効電流密度を有する。
平面TCO接点は、共形TCO接点を有する太陽電池よりも少し高い開放回路電圧をもたらすことができるが、高エネルギーの光子によって発生する電子の損失を補償するには十分でない。平面TCO接点を有する太陽電池における少し高い開放回路電圧は、コア及びシェル内の大幅に高い放射、オージェ、及びSRH(ショックレー−リード−ホール)再結合速度に起因し、平面TCO接点を有する太陽電池では、(コア及びシェル内の)より高い放射再結合速度及び(コア内の)より高いオージェ再結合速度が、コア内の電子の擬フェルミ準位エネルギーを増加させる。
図16において観測される重度なホール・パイルアップを図17に例示し、図17は、ホール電流密度の軸方向プロファイルを、5μm(1705)、6μm(1706)、7μm(1707)、及び8μm(1708)について示す。5μmの線1705から6μmの線1706への変化は、ナノワイヤ長の増加による重度なホール・パイルアップの兆候が存在しないこと、及びより長い長さがホール電流密度の増加をもたらすことを示している。しかし、6μmの線1706から7μmの線1707への変化は、ホール電流密度の大幅な減少を示し、軸方向プロファイルで示すように、ホール・パイルアップの影響がナノワイヤの全長を通って伝搬することを示している。
7μm(1707)から8μm(1708)へのナノワイヤ長のさらなる増加は、ホール電流密度の増加を示している、というのは、ナノワイヤが、低い吸収係数を有するAM1.5G太陽光スペクトル成分の吸収により光発生キャリア数を増大させるからである。これらの追加的な光発生ホールはp型基板から1μm以内に発生するので、これらのホールはp型コアから半径方向にp型基板へ掃引され、下部の接点から外部回路へ掃引されて、平衡状態におけるホール電流密度の増加をもたらし、従って、重度なホール・パイルアップには寄与しない。追加的な光発生電子は、p型コアからn型シェルへ急速に移動して、上部接点から外部回路へ流れる。
以上のシミュレーション結果より、ナノワイヤ長を特定値に制限することが有利であり得る。従って、ナノワイヤ長、特にp型コア長を、シミュレーションにおいて特定された、重度なホール・パイルアップの前に局所的に最長の長さを示すピークのうちの1つに制限することが好ましいことがある。ナノワイヤ長は、5〜7μm及び15〜17μmの範囲のうち少なくとも一方から選択され、5〜6μm及び15〜16μmの範囲のうち少なくとも一方から選択することが好ましく、6μm及び16μmの一方から選択することがより好ましく、6μmにすることがさらに好ましい。
図18に、シェルの厚さの太陽電池効率に対する影響を例示する。線1810は、シェルの厚さと太陽電池効率との関係を、共形TCO接点を有する電池について示すのに対し、線1820は、平面TCO接点を使用した際の関係を示す。線1810及び1820は、より薄いシェルがより高い電池効率を生み出すが、ナノワイヤの光学モードが漏洩性になると最終的に低下することを示している。この漏洩性は、シェルが光をナノワイヤ内に効果的に閉じ込めるには薄くなり過ぎて、最適点から外れる光学モードを生じさせることに起因し得る。GaAs/Al0.2Ga0.8Asコア−シェル型ナノワイヤの光学モードは、シェルの厚さが30nmになると不安定になり、30nmより薄いシェルについては、太陽電池効率が急峻に低下する。従って、共形側壁または平面のTCO接点を有するラジアルpn接合のGaAs/Al0.2Ga0.8Asコア−シェル型ナノワイヤ太陽電池用の最も薄いシェルは、約40nmにすることができる。
20nm以下のシェルの厚さでは、平面TCO接点を有する太陽電池の太陽電池効率1820が、共形TCO接点を有する太陽電池の太陽電池効率未満に低下する、というのは、コアから再放出される光子が、電子−ホール対をシェル内に発生することなしに光学的に漏洩性のシェルを貫通するからである。従って、シェルの厚さが20nmになると、平面TCO接点(これにより、GaAs/Al0.2Ga0.8Asの境界面における伝導帯エネルギー障壁が大幅に高くなる)を有する太陽電池内の電流密度は、共形TCO接点を有する太陽電池の電流密度を下回って、より低い太陽電池効率をもたらす。
他の例では、共形側壁接点を有する長さ6μmのナノワイヤ、6×1018cm-3のp型ドーピングを有する直径400nmのGaAsコア、及び3×1016cm-3のn型ドーピング密度を有するAl0.2Ga0.8Asシェルをシミュレーション計算した。このナノワイヤの太陽電池効率は、シェルをより薄くするに連れて増加して、さらに薄いシェルにおける約11%の太陽電池効率へ急に下降する前に、厚さ40nmで14.4%の太陽電池効率のピークに達する。他の例では、平面接点を有する長さ6μmのナノワイヤ、7×1016cm-3のp型ドーピングを有する直径400nmのGaAsコア、及び1016cm-3のn型ドーピング密度を有するAl0.2Ga0.8Asシェルをシミュレーション計算した。ここでは、シェルが48nmより薄くなると十分にイオン化され、従って、この例での最高の太陽電池効率は、シェルが厚さ48nmである際の14.4%である。
図19に、長さ6μmのナノワイヤ、直径400nmのGaAsコア(NA=4×1019cm-3)、厚さ40nmのAl0.2Ga0.8Asシェル(ND=4×1018cm-3)を有し、共形TCO接点(線1910で示す)または平面TCO接点(線1920で示す)のいずれかを有する太陽電池について、実効的なJ−V特性(実効電流密度と電圧との関係)を例示する。平面TCO接点を有するナノワイヤはおよそ45.1mA/cm2の実効短絡電流密度及びおよそ1.03Vの開放回路電圧を示しているのに対し、共形TCO接点を有するナノワイヤは、およそ43.7mA/cm2の実効短絡電流密度及びおよそ0.94Vの開放回路電圧を示している。
図20に、光反射損失のない理想的な場合についてのJ−V特性を示すことによって、光反射損失の影響を例示する。このグラフは、長さ6μmのナノワイヤ、直径400nmのGaAsコア(NA=4×1019cm-3)、厚さ40nmのAl0.2Ga0.8Asシェル(ND=4×1018cm-3)を有する太陽電池に指向している。このグラフは、光反射ゼロの共形TCO接点を有する電池のJ−V特性2010及びその理論的限界2020、並びに光反射ゼロの平面TCO接点を有する電池のJ−V特性2030及びその理論的限界2040を示す。この理論的限界は、キャリア再結合も光反射損失も存在しない場合に考えられる。
平面TCO接点を有する光反射ゼロの電池(2030)については、実効短絡電流密度及び開放回路電流が、それぞれ、およそ83.6mA/cm3及び1.05Vである。このことは、高エネルギー電子または高温電子(ホットエレクトロン)を捕集する能力に起因し、こうした能力は、高電界、及びキャリア−キャリア散乱を最小にする低濃度にドーピングされた薄いシェル、並びにナノワイヤの光学モードの強力な光閉じ込めによって可能になり、こうした光閉じ込めは、本質的に高い光子再利用率及びキャリア発生率を生じさせる。理論的限界(2040)における平面TCO接点を有する電池については、実効短絡電流密度及び開放回路電流は、それぞれ、およそ87.6mA/cm2及び10.7Vである。
図21に、共形の上部接点及び平面接点を有する電池について、短絡状態におけるエネルギー帯図をシミュレーション計算した結果を示す。図21に提示するシミュレーションの例では、ナノワイヤが長さ6μmを有し、Al0.2Ga0.8Asシェルが4×1016cm-3のドーピング密度及び50nmの厚さを有し、GaAsコアが4×1019cm-3のドーピング密度及び400nmの直径を有する。
共形TCO接点を有する太陽電池についてのエネルギー帯図を2101に示す。線2110は、ラジアルpn接合のプロファイルに沿った伝導帯Ecを示し、線2113はラジアルpn接合に沿った価電子帯Evを示す。擬フェルミ準位エネルギー分裂がグラフ2101中に示され、線2111は電子の擬フェルミ準位エネルギー(EF-e)を示し、線2112はホールの擬フェルミ準位エネルギーEF-h)を示す。同様に、グラフ2102では、線2120、2121、2122及び2123が、平面TCO接点を有する太陽電池についての、それぞれEc、EF-e、EF-h、及びEvを示す。
グラフ2101及び2102に示すように、GaAs/Al0.2Ga0.8Asの境界面における伝導エネルギー障壁は、平面TCO接点では大幅に高く、共形TCO接点(2101)におけるバンド曲がりは、平面TCO接点(2102)では持ち上がっている。さらに、平面TCO接点では、シェル内の電子の擬フェルミ準位エネルギーが大幅に高く、シェル内のホールの擬フェルミ準位エネルギーの落ち込みが非常に小さい。これらの特性は、平面TCO接点を有する太陽電池では、共形TCO接点を有する太陽電池に比べてより効率的なキャリア輸送が行われることを示唆している。
図22に、キャリア密度がラジアルpn接合のプロファイル全体にわたって変化する様子を、共形TCO接点を有する太陽電池(グラフ2201)及び平面TCO接点を有する太陽電池(グラフ2202)について示す。図22においてシミュレーション計算したナノワイヤの特性は、図21においてシミュレーション計算したナノワイヤの特性と同様である。線2210及び2220は、それぞれ共形TCO接点及び平面TCO接点を有する太陽電池についてのプロファイル全体にわたるホール密度を示し、線2211及び2221は、それぞれ共形TCO接点及び平面TCO接点を有する太陽電池についてのプロファイル全体にわたる電子密度を示す。
グラフ2201及び2202は、シェルにおけるホール密度及びコアにおける電子密度が、平面TCO接点では共形TCO接点よりもずっと高いことを示している。平面TCO接点を有する太陽電池内のGaAs/Al0.2Ga0.8Asの境界面におけるより高い伝導帯エネルギー障壁が、コア内の電子密度を増加させてコア内により高い再結合速度を生じさせ、より高い光子再利用効率を生じさせる。
図23に、図21及び22においてシミュレーション計算した太陽電池と同じ特性を有する、共形TCO接点及び平面TCO接点を有する太陽電池について、プロファイルに沿った再結合速度を示す。具体的には、グラフ2301は、オージェ再結合速度を、共形TCO接点を有する太陽電池(線2311)及び平面TCO接点を有する太陽電池(線2310)について示し、挿入図2315は、x軸上の値−0.2μm〜0μmについてのグラフ2301の拡大図を提供する。同様に、グラフ2302は、放射再結合速度を、共形TCO接点を有する太陽電池(線2321)及び平面TCO接点を有する太陽電池(線2320)について示し、グラフ2303は、ショックレー−リード−ホール(SRH)再結合速度を、共形TCO接点を有する太陽電池(線2331)及び平面TCO接点を有する太陽電池(線2330)について示し、挿入図2325及び2335も提供する。
各グラフ2301、2302及び2303では、キャリア再結合速度が、平面TCO接点を有する太陽電池では大幅に高いことがわかる。
コア内のより高い再結合速度は、平面TCO接点を有する太陽電池内のコアから再放出される光子の吸収により、シェル内のより高いホール密度をもたらし、電子流に寄与する。同じく、シェル内のより高いホール密度は、より高いキャリア再結合速度をシェル内にもたらし、これにより、より高い放射再結合速度が光子再利用を増加させる。
(コア内及びシェル内の)より高い放射再結合速度及び(コア内の)より高いオージェ再結合速度の結果として、コア内の電子の擬フェルミ準位エネルギーが増加して、平面TCO接点を有する太陽電池内により高い開放回路電圧をもたらす。
平面TCO接点を有する太陽電池内のGaAs/Al0.2Ga0.8Asの境界面には、大幅に高い伝導帯エネルギー障壁が存在するが、2μmより長いナノワイヤの実効電流密度は、コアから再放出される光子の吸収の結果としてのシェル内のより良好な光子再利用に起因して、共形側壁TCO接点を有する太陽電池よりもまだ高い。このことは、平面TCO接点を有する太陽電池内のシェル内のキャリア再結合速度は、共形側壁TCO接点を有する太陽電池よりも高いが、平面TCO接点を有する太陽電池のキャリア捕集効率及び光子再利用効率は、共形側壁TCO接点を有する太陽電池のキャリア捕集効率及び光子再利用効率よりも高いことを示している。
これらのナノワイヤを利用する光起電力デバイスの太陽電池効率は、ナノワイヤの充填比を最適化して光トラッピング/集中/閉じ込め効果を改善し、反射防止コーティングを付加することにより反射を低減することによって、より高い電力節約効率に達することができる。
ナノワイヤのアレイ内への充填比を最適化するために、追加的なシミュレーションを行った。図24に、ナノワイヤ・アレイ内へのナノワイヤの充填率が太陽電池効率に影響を与える様子を示す。図24に示すシミュレーションでは、(光反射損失を最小にするために、ZnOのようなTCOと整合する、その熱拡散能力及び屈折率により選定された)Si3N4内に埋め込まれ、以上に示す最適化された特性を有する、平面TCO接点を有する六角形ナノワイヤを使用した。シミュレーションでは、ナノワイヤ・アレイ内のピッチ長を変化させて、光トラッピング及び太陽電池特性をナノワイヤ充填率の関数として調べた。
図24のグラフは、太陽電池効率2410が充填率と共に直線的に増加することを示している。このグラフは、隣接するナノワイヤ間の面対面の間隔が充填率と共に変化する様子も示す。隣接するナノワイヤ間の面対面の間隔がおよそ160nm〜174nmになると、提供するシミュレーションの例では、太陽光がナノワイヤ・アレイ内に非常に強力に捕捉されて最適な太陽電池効率が達成される。
面対面の間隔を174nm未満に低減することは、回折損失が増加する結果として太陽電池効率を飽和させて、太陽光がナノワイヤ間の空間に入ることを妨げる。このシミュレーションの例では、太陽光がナノワイヤ間の空間に入ることを可能にするにはピッチ長が小さ過ぎると、太陽電池効率が38%未満に低下する。
8%まで低下した充填率でも、10%の太陽電池効率が生じ、この値は、現在報告されているコア−セル型ナノワイヤ・アレイの太陽電池効率と同程度である。従って、充填率は8%より大きいことが好ましい。充填率は20%より大きいことがより好ましく、回折損失の増加により太陽電池効率が低下し始める点に近いことがさらに好ましく、本例ではこの値が53.9%である。
図24のシミュレーションは、AM1.5G太陽光における25°のゼニス角及び0°のアジマス角の入射角で実行した。ゼニス角2431は、ナノワイヤの垂直なz軸2430に対する角度としてとった。アジマス角2432は、入射する太陽光線と六角形ナノワイヤの側面の法線2430との間の水平角としてとった。
他の例では、AM1.5G太陽光における60°のゼニス角及び0°のアジマス角の入射角で、平面TCO接点、7×1016cm-3のp型ドーピングを有する直径400nmのGaAsコア、及び1016cm-3のn型ドーピング密度を有するAl0.2Ga0.8Asシェルを有する長さ6μmのナノワイヤについてシミュレーションを実行した。この例では、太陽電池効率は、ナノワイヤの充填率が増加するに連れて増加するが、ナノワイヤ間の間隔が回折限界の場合未満に低下すると、ますます大きくなる回折損失の結果として大幅に減少する。ナノワイヤが160nmだけ離間し、充填率がおよそ57.2%である際には、33.4%のピーク太陽電池効率が達成される。間隔が160nmより小さくなると、太陽電池効率が大幅に(150nmの間隔では23.9%の太陽電池効率まで)低下する。
ナノワイヤ・アレイ太陽電池上への太陽光の入射角は、太陽光の捕捉(トラッピング)に重大な影響を与え得る。図25に、太陽光のゼニス角が、53.9%の充填率及び0°のアジマス角を有する最適化されたナノワイヤ・アレイの短絡電流密度2510、太陽電池効率2520、開放回路電圧2530、及び曲線因子2540に影響を与える様子を示す。このグラフは、高い太陽電池効率を達成するためには、ゼニス角を15°〜65°内にするべきであることを示している。15°未満及び75°を上回る入射角については、太陽電池効率が、それぞれ0°及び89°で急峻に下降する。このことは高い反射損失の結果であり、こうした高い反射損失は、短絡電流密度を、15°から65°までの入射角における71mA/cm2〜80mA/cm2から、0°及び89°の入射角における、それぞれ24.3mA/cm2及び10.1mA/cm2まで低減する。開放回路電圧及び曲線因子は、0°〜89°の入射角の範囲全体を通して比較的一定のままである。
ナノワイヤが六角形の形状であるので、入射する太陽光線のアジマス角も、ナノワイヤ・アレイ太陽電池の特性に影響を与えるはずである。図26に、太陽光のアジマス角が、53.9%の充填率及び25°のゼニス角に最適化されたナノワイヤ・アレイのの短絡電流密度2610、太陽電池効率2620、開放回路電圧2630、及び曲線因子2640に影響を与える様子を例示する。
短絡電流密度は、太陽が六角形ナノワイヤの側面の法線上にある際に、0°のアジマス角で約79.6mA/cm2の最大値になるように示されている。アジマス角が30°まで増加するに連れて、電流密度はおよそ64.5mA/cm2の最小値まで低下するように示され、この角度では、太陽が六角形ワイヤの2つの直接対向する角と同一直線上に並ぶ。短絡電流密度がアジマス角と共に変化することの結果として、太陽電池効率も下降及び上昇する。開放回路電圧及び曲線因子は、アジマス角の範囲全体にわたって比較的一定のままである。
図25及び26に例示するシミュレーションは、最適化されたナノワイヤ・アレイ太陽電池が、広範囲のゼニス角及びすべてのアジマス角にわたって高い太陽電池効率を呈することを示している。
他の例では、ゼニス角及びアジマス角を変化させることの影響を測定するために、平面TCO接点を有するナノワイヤについてシミュレーションを実行した。平面TCO接点を有する太陽電池については、ゼニス角0°〜10°の範囲では、光が側面からナノワイヤ上に集中するので短絡電流密度が急峻に増加している。10°から75°までのゼニス角の範囲では、平面TCO接点の表面における光反射損失が増加して、ナノワイヤ側面における光反射損失及び照射長が相応に減少することの結果として、短絡電流密度が飽和して他の安定状態に至るまで次第に減少する。75°を上回るゼニス角については、平面TCO接点の表面における光反射損失がますます高くなること、及びナノワイヤ側面の照射長が短くなることにより、短絡電流密度が急峻に下降する。
開放回路電圧は、0°から10°まで、及び75°から89°までの範囲のゼニス角における小量のロールオフ(落ち込み)を除けば本質的に一定である。開放回路電圧のこうした小量の変化は、未捕集キャリアの小量の変化に起因し、これによりビルトイン起電力がわずかに変化する。同様に、曲線因子は、0°から10°まで、及び75°から89°までの範囲のゼニス角における小量の増加を除けば本質的に一定のままである。
図25中にプロットした太陽電池効率は照射されるウェハー表面領域に基づくが、太陽電池効率のより良い計算は、実際の吸収領域に基づく。吸収に基づく太陽電池効率は、1°〜30°のゼニス角にわたって、2.5%から28.5%まで大幅に増加する、というのは、ナノワイヤ側面で反射されて出て行く太陽光がより少なくなり、これによりナノワイヤ内に吸収される太陽光の量が増加するからである。
35°から70°までのゼニス角については、空気/電池の境界面における光反射損失が減少すると、吸収に基づく太陽電池効率は29.6%〜31.8%に飽和する。70°を超えるゼニス角では、空気/電池の境界面における光反射損失がますます大きくなることにより、吸収に基づく太陽電池効率は急峻に下降する。従って、ナノワイヤの間隔が〜174nmである本例では、吸収に基づく太陽電池効率の最高値は31.8%であり、この値ではゼニス角及びアジマス角が、それぞれ60°及び0°である。
以前の例と同様に、入射光のアジマス角が開放回路電圧及び曲線因子に与える影響は無視でき、開放回路電圧及び曲線因子は、大方は不変のままであり、それぞれ0.93V及び0.73に留まる。短絡電流密度は、58.8mA/cm2の最大値から30°における45mA/cm2の最小値まで次第に低下する。従って、吸収に基づく太陽電池効率は、アジマス角が変化するに連れて26%〜31.8%の間で下降及び上昇する。
一例では、平面TCO接点及び次のパラメータを有するナノワイヤのアレイを有するナノワイヤ構造について、33.4%の太陽電池効率が達成される:7×1016cm-3のドーピング密度を有する直径400nmのp型GaAsコア、このコアの周囲の1016cm-3のドーピング密度を有する厚さ50nmのn型Al0.2Ga0.8Asシェル、6μmのナノワイヤ長、160nmの面対面の間隔、57.2%の充填率、入射光の0°のアジマス角、及び入射光の60°のゼニス角。この太陽電池効率は、単一pn接合のGaAs太陽電池については高い、というのは、現在最良の単一接合薄膜GaAs太陽電池で達成される〜28から29%の太陽電池効率を上回り、10%未満の効率を有する現在のラジアルpn接合太陽電池を大幅に超えるからである。
以上のパラメータの組合せは最適な太陽電池効率をもたらすことができるが、以上に示す個別のパラメータ範囲の各々が、それぞれの太陽電池効率向上をもたらす。以上に定めた種々の異なるパラメータを一緒に、あるいは分離して用いて、ラジアルpn接合太陽電池の太陽電池効率を向上させることができる。
pn接合の特性を定めるためのコンピュータ計算方法が存在するが、複数の予想外かつ有用な結果を生じさせるシミュレーションを設計するに際し、新規性及び進歩性のある考察が行われてきた。提案する解決策のパラメータを正確に計算するための計算上の要求は抑えるほど大きく、従って、当業者は、例えば、どのような選定が適切であるか、どの物理的効果をモデルに含めるべきか、どのようなモデル化システムを用いるべきか、及びどのようなメッシュを使用すべきであるかについての具体的な選定を行わなければならない。こうしたシステムをモデル化する以前の試みは、一貫性がなく無関係な結果を生じさ、所定の大きさのパラメータ空間に対する誤ったメッシュのような不適切な選定を与えていた。半導体デバイス物理学及びコンピュータによるモデル化における広範囲の分野にわたる大量の知識のみにより、そして平面薄膜太陽電池における既知の設計動向に関連する予想及び偏見を克服することのみによって、提案する解決策の一貫性があり予想外の結果が見出された。
本発明は、上述した実施形態に記載した随意的特徴の組合せの並べ替えを含むことは明らかである。特に、添付した従属請求項に記載する特徴は、当該従属請求項に関連して設けることができる他のあらゆる独立請求項と組み合わせて開示されること、及び本発明は、これらの従属請求項の特徴と、当該従属請求項が元々従属する独立請求項との組合せのみに限定されないことは明らかである。

Claims (23)

  1. 基板に固定された少なくとも1つのナノワイヤ構造を具えた光起電力デバイスであって、
    前記少なくとも1つのナノワイヤ構造の各々が、
    p型コアであって、前記基板に固定された近端及び前記基板から離れるように延びる遠端を有するp型コアと、
    前記p型コアの周囲に配置されてラジアルpn接合を形成するn型シェルと
    を具え
    前記n型シェルは10 17 cm -3 未満のドーピング密度で低濃度にドーピングされ、
    前記p型コアは前記n型シェルよりも高濃度にドーピングされ、
    前記p型コアはGaAsで形成され、前記n型シェルはAl x Ga 1-x Asで形成され、xは0.2以下の値を有する、光起電力デバイス。
  2. 前記p型コアが、
    擬フェルミ準位エネルギー分裂を最大にすること、
    前記ナノワイヤ構造のビルトイン電界を最大にすること、
    前記ナノワイヤ構造の吸収スペクトルを拡張すること、及び
    前記コア内に向かう太陽光の回折及び反射の少なくとも一方を最大にすること、
    のうち少なくとも1つを行うのに十分な高濃度にドーピングされている、請求項1に記載の光起電力デバイス。
  3. 前記p型コアのドーピング密度が10 18 cm -3 よりも大きく、好適には10 19 cm -3 よりも大きい、請求項1または2に記載の光起電力デバイス。
  4. 前記p型コアのドーピング密度が10 16 cm -3 以上かつ10 18 cm -3 未満である、請求項1または2に記載の光起電力デバイス。
  5. 前記n型シェルが、
    当該n型シェル内のデプレッション領域を最大にすること、及び
    キャリア−キャリア散乱を最小にすること
    のうち少なくとも一方を行うのに十分な低濃度にドーピングされている、請求項1〜4のいずれかに記載の光起電力デバイス。
  6. 前記n型シェルのドーピング密度が10 16 cm -3 未満である、請求項1〜5のいずれかに記載の光起電力デバイス。
  7. 前記n型シェルが、当該n型シェル内のキャリア−キャリア散乱損失を最小にするのに十分なほど薄い、請求項1〜6のいずれかに記載の光起電力デバイス。
  8. 前記n型シェルが、20nm〜50nmの厚さ、好適には30nmの厚さを有する、請求項1〜7のいずれかに記載の光起電力デバイス。
  9. 前記p型コアの直径が、入射する太陽光スペクトルと前記ナノワイヤ構造の光伝搬モードとのスペクトル・オーバーラップを最大にするのに十分なほど大きい、請求項1〜8のいずれかに記載の光起電力デバイス。
  10. 前記p型コアの直径が300nmより大きく、好適には400nmより大きい、請求項1〜9のいずれかに記載の光起電力デバイス。
  11. 前記ナノワイヤ構造の長さが、入射する太陽光スペクトルのうち深く侵入するスペクトル成分を吸収するのに十分なほど長い、請求項1〜10のいずれかに記載の光起電力デバイス。
  12. 前記ナノワイヤ構造の長さが、ホール・パイルアップを最小にするように制限されている、請求項1〜11のいずれかに記載の光起電力デバイス。
  13. 前記ナノワイヤ構造の長さが5μm〜7μmである、請求項1〜12のいずれかに記載の光起電力デバイス。
  14. 前記基板がシリコンを含む、請求項1〜13のいずれかに記載の光起電力デバイス。
  15. 前記基板が黒鉛層を含む、請求項1〜14のいずれかに記載の光起電力デバイス。
  16. 前記ナノワイヤ構造の遠端が反射防止コーティングを具えている、請求項1〜15のいずれかに記載の光起電力デバイス。
  17. 前記少なくとも1つのナノワイヤ構造の各々が、透明導電性酸化物(TCO)でコーティングされている、請求項1〜16のいずれかに記載の光起電力デバイス。
  18. 前記少なくとも1つのナノワイヤ構造の上方に平面TCO接点を具えている、請求項1〜16のいずれかに記載の光起電力デバイス。
  19. 前記平面TCO接点と前記少なくとも1つのナノワイヤ構造との間に絶縁ポリマーが配置されている、請求項18に記載の光起電力デバイス。
  20. 前記p型コアが、300nmより大きい半径、好適には400nmより大きい半径を有し、10 18 cm -3 より大きいドーピング密度、好適には10 19 cm -3 より大きいドーピング密度を有するGaAsで形成され、前記n型シェルが、50nm未満の厚さ、好適には40nm未満の厚さを有し、10 17 cm -3 未満のドーピング密度、好適には10 16 cm -3 未満のドーピング密度を有するAl 0.2 Ga 0.8 Asで形成され、前記ナノワイヤ構造が、5μmより長い長さ、好適には5μm〜7μmの長さ、より好適には6μmの長さを有する、請求項1に記載の光起電力デバイス。
  21. 基板上に成長させた少なくとも1つのナノワイヤを具えた光起電力デバイスを製造する方法であって、
    p型コア、及びこのp型コアの周囲に配置されてラジアルpn接合を形成するn型シェルを具えたナノワイヤを成長させるステップを含み、
    前記p型コアが、前記基板に固定された近端及び前記基板から離れるように延びる遠端を有し、
    前記n型シェルは10 17 cm -3 未満のドーピング密度で低濃度にドーピングされ、
    前記p型コアは前記n型シェルよりも高濃度にドーピングされ、
    前記p型コアはGaAsで形成され、前記n型シェルはAl x Ga 1-x Asで形成され、ここにxは0.2以下の値を有する、光起電力デバイスの製造方法。
  22. 請求項1〜20のいずれかに記載の光起電力デバイスを複数具えた太陽電池であって、
    前記前記複数の光起電力デバイスがアレイの形に配置され、このアレイが、8%より大きい充填率、好適には20%より大きい充填率、より好適には50〜55%の充填率を有する、太陽電池。
  23. 基板に固定された少なくとも1つのナノワイヤ構造を具えた光起電力デバイスであって、前記少なくとも1つのナノワイヤ構造の各々が、
    前記少なくとも1つのナノワイヤ構造の上方の平面TCO接点と、
    前記基板に固定された近端及び前記基板から離れるように延びる遠端を有するp型コアと、
    前記p型コアの周囲に配置されてラジアルpn接合を形成するn型シェルとを具え、
    前記n型シェルは10 17 cm -3 未満のドーピング密度で低濃度にドーピングされ、
    前記p型コアは前記n型シェルよりも高濃度にドーピングされ、
    前記p型コアはGaAsで形成され、前記n型シェルはAl x Ga 1-x Asで形成され、ここにxは0.2以下の値を有し、
    前記平面TCO接点と前記少なくとも1つのナノワイヤ構造との間に絶縁ポリマーが配置されている、光起電力デバイス。
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