JP6416766B2 - ターゲット供給装置 - Google Patents
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Description
1.概要
2.EUV光生成装置の全体説明
2.1 構成
2.2 動作
3.ターゲット供給装置を含むEUV光生成装置
3.1 用語の説明
3.2 第1実施形態
3.2.1 概略
3.2.2 構成
3.2.3 動作
3.2.3.1 フィルタの組み込み
3.2.3.2 ターゲット供給装置の動作
3.3 第2実施形態
3.3.1 概略
3.3.2 構成
3.3.3 動作
3.3.3.1 フィルタの製造方法とフィルタの組み込み
3.3.3.2 ターゲット供給装置の動作
3.4 第3実施形態
3.4.1 構成
3.4.2 動作
3.4.2.1 フィルタの製造方法とフィルタの組み込み
3.4.2.2 ターゲット供給装置の動作
3.5 第4実施形態
3.5.1 概略
3.5.2 構成
3.5.3 動作
3.5.3.1 フィルタの製造方法とフィルタの組み込み
3.5.3.2 ターゲット供給装置の動作
3.6 第5実施形態
3.6.1 概略
3.6.2 構成
3.6.3 動作
3.6.3.1 フィルタの製造方法とフィルタの組み込み
3.6.3.2 ターゲット供給装置の動作
3.7 第6実施形態
3.7.1 概略
3.7.2 構成
3.7.3 動作
3.7.3.1 フィルタの製造方法とフィルタの組み込み
3.7.3.2 ターゲット供給装置の動作
3.8 第7実施形態
3.8.1 概略
3.8.2 構成
3.8.3 動作
3.8.3.1 フィルタの組み込み
3.8.3.2 ターゲット供給装置の動作
3.9 第8実施形態
3.9.1 構成
3.9.2 動作
3.9.2.1 フィルタの組み込み
3.9.2.2 ターゲット供給装置の動作
3.10 第9実施形態
3.10.1 構成
3.10.2 動作
3.11 第10実施形態
3.11.1 概略
3.11.2 構成
3.11.3 動作
3.12 変形例
3.12.1 第1変形例
3.12.2 第2変形例
3.12.3 第3変形例
3.12.4 第4変形例
3.12.5 第5変形例
3.12.6 第6変形例
3.12.7 第7変形例
3.12.8 第8変形例
3.12.9 その他の変形例
本開示の実施形態においては、フィルタは、第1面に流路が形成された第1部材と、第2面が流路を覆うように配置された第2部材とを備え、第1部材は、第1面と、第1面と反対面側の第1空間との間を、流路の第1領域を介して、流体を流通させるための第1流通部を備え、第2部材は、第2面と、第2面と反対面側の第2空間との間を、流路の第1領域とは離間した第2領域を介して、流体を流通させるための第2流通部を備えてもよい。
2.1 構成
図1に、例示的なLPP方式のEUV光生成システムの構成を概略的に示す。EUV光生成装置1は、少なくとも1つのレーザ装置3と共に用いられてもよい。本願においては、EUV光生成装置1及びレーザ装置3を含むシステムを、EUV光生成システム11と称する。図1に示し、かつ、以下に詳細に説明するように、EUV光生成装置1は、チャンバ2、ターゲット供給装置7を含んでもよい。チャンバ2は、密閉可能であってもよい。ターゲット供給装置7は、例えば、チャンバ2の壁を貫通するように取り付けられてもよい。ターゲット供給装置7から供給されるターゲット物質の材料は、スズ、テルビウム、ガドリニウム、リチウム、キセノン、又は、それらの内のいずれか2つ以上の組合せを含んでもよいが、これらに限定されない。
図1を参照に、レーザ装置3から出力されたパルスレーザ光31は、レーザ光進行方向制御部34を経て、パルスレーザ光32としてウインドウ21を透過してチャンバ2内に入射してもよい。パルスレーザ光32は、少なくとも1つのレーザ光経路に沿ってチャンバ2内を進み、レーザ光集光ミラー22で反射されて、パルスレーザ光33として少なくとも1つのドロップレット27に照射されてもよい。
3.1 用語の説明
以下、図1以外の図面を用いた説明において、各図に示したXYZ軸を基準として方向を説明する場合がある。
なお、この表現は、重力方向10Bとの関係を表すものではない。
3.2.1 概略
本開示の第1実施形態のノズルにおいて、第1流通部は、第1部材を貫通する第1貫通孔により構成されてもよい。
本開示の第1実施形態のノズルにおいて、第1貫通孔は、第1部材の略中心を貫通するように形成されてもよい。
本開示の第1実施形態のノズルにおいて、第2流通部は、第2部材を貫通する第2貫通孔により構成されてもよい。
本開示の第1実施形態のノズルにおいて、流路は、第1面に形成された溝部で構成されてもよい。
図2は、第1実施形態に係るターゲット供給装置を含むEUV光生成装置の構成を概略的に示す。図3は、ターゲット供給装置の構成を概略的に示す。図4は、第2フィルタを概略的に示す斜視図である。
ターゲット生成器8Aは、タンク81Aと、ノズル基端部82Aと、ノズル先端部83Aとを備えてもよい。タンク81Aと、ノズル基端部82Aと、ノズル先端部83Aとは、例えばモリブデンなどのターゲット物質270との反応性が低い材料で構成されてもよい。
タンク81Aは、タンク本体811Aと、蓋部812Aとを備えてもよい。
タンク本体811Aは、−Z方向側の第2面に壁面を備える略円筒状に形成されてもよい。タンク本体811Aの中空部は、収容空間810Aであってもよい。タンク本体811Aの第2面中央には、+Z方向に向かって略円形に凹む凹部813Aが設けられてもよい。凹部813Aの中央には、収容空間810Aと連通する第1貫通孔814Aが設けられてもよい。
蓋部812Aは、タンク本体811Aの+Z方向側の第1面を閉塞する略円板状に形成されてもよい。蓋部812Aは、複数のボルト815Aによってタンク本体811Aの第1面に固定されてもよい。
ノズル先端部83Aは、ノズル先端部83Aとターゲット物質270との接触角が90°以上の材料で構成されるのが好ましい。あるいは、ノズル先端部83Aの少なくとも表面が、当該接触角が90°以上の材料でコーティングされてもよい。例えばターゲット物質270がスズの場合、接触角が90°以上の材料は、SiC、SiO2、Al2O3、モリブデン、タングステンであってもよい。
圧力センサ733Aは、配管734Aに設けられてもよい。圧力センサ733Aは、ターゲット制御装置71Aに電気的に接続されてもよい。圧力センサ733Aは、配管734A内に存在する不活性ガスの圧力を検出して、この検出した圧力に対応する信号をターゲット制御装置71Aに送信してもよい。
ヒータ741Aは、タンク81Aのタンク本体811Aの外周面に設けられてもよい。
ヒータ電源742Aは、温度コントローラ744Aからの信号に基づいて、ヒータ741Aに電力を供給してヒータ741Aを発熱させてもよい。それにより、タンク81A内のターゲット物質270が、タンク81Aを介して加熱され得る。
温度センサ743Aは、タンク81Aの外周面におけるノズル基端部82A側に設けられてもよいし、タンク81A内に設けられてもよい。温度センサ743Aは、タンク81Aにおける主に温度センサ743Aの設置位置およびその近傍の位置の温度を検出して、当該検出した温度に対応する信号を温度コントローラ744Aに送信するよう構成されてもよい。温度センサ743Aの設置位置およびその近傍の位置の温度は、タンク81A内のターゲット物質270の温度を反映した温度となり得る。
温度コントローラ744Aは、温度センサ743Aからの信号に基づいて、ターゲット物質270の温度を所定温度に制御するための信号をヒータ電源742Aに出力するよう構成されてもよい。
第1,第2,第3多孔質フィルタ751A,752A,753Aは略円板状に形成されてもよく、その直径は、第2貫通孔822Aの最大内径より大きくてもよい。第1,第2,第3多孔質フィルタ751A,752A,753Aは、第2貫通孔822A内において、当該第2貫通孔822Aを閉じ、かつZ軸方向に重なるように収容部823Aに収容されてもよい。このとき、第1多孔質フィルタ751Aが+Z方向側に位置し、第3多孔質フィルタ753Aが−Z方向側に位置してもよい。このように、ターゲット物質270の出力方向に沿って、貫通細孔の小さな多孔質フィルタが配置されるようにしてもよい。
ターゲット物質270がスズの場合、ターゲット生成器8Aは、スズとの反応性が低いモリブデンにより形成されてもよい。ターゲット生成器8Aがモリブデンまたはタングステンにより形成されている場合、第1,第2,第3多孔質フィルタ751A,752A,753Aは、以下の表1で示す材料のうち、いずれかの材料で形成されてもよい。モリブデンの線熱膨張係数は、5.2×10−6である。タングステンの線熱膨張係数は、4.6×10−6である。
SPGの組成の比は、以下の表2で示す比であってもよい。
第1部材77Aの+Z方向側の第1面771Aには、流路774Aが形成されてもよい。流路774Aは、複数の溝によって構成されていてもよい。流路774Aは、格子状に形成されてもよいし、放射状に形成されてもよい。図4においては、流路774Aは、第1面771Aに格子状に形成された溝部により構成されてもよい。流路774Aは、第1部材77Aの第1面771Aをエッチングすることにより形成されてもよい。流路774Aの深さ寸法である第1面771Aの直交方向の寸法は、第3多孔質フィルタ753Aを通過したパーティクルの寸法より小さくてもよい。例えば、流路774Aの深さ寸法は、3μm以下であってもよい。これにより、流路774Aは、パーティクルを捕集し得る。流路774Aは、第1貫通孔773Aまで延びてもよい。流路774Aにおける第1貫通孔773A側の端部は、第1領域775Aであってもよい。これにより、第1貫通孔773Aは、第1面771Aと、第1面771Aと反対側の第3面772A側の第1空間776Aとの間を、流路774Aの第1領域775Aを介して、流体としてのターゲット物質270を流通させるための第1流通部を構成し得る。第1実施形態では、第1貫通孔773Aは、流路774Aの第1領域775Aに流入するターゲット物質270を第1空間776Aに流出させるための第1流通部を構成し得る。
第1部材77Aの第1面771Aにおける流路774Aの外側には、平面部777Aが設けられてもよい。平面部777Aは、流路774Aを囲む円環状に設けられてもよい。平面部777Aは、第1面771Aにおけるエッチングされていない領域であってもよい。平面部777Aおよび第3面772Aは、研磨されてもよい。
第2部材78Aには、Z軸方向に貫通する4個の略円形の第2貫通孔783Aが設けられてもよい。例えば、第2貫通孔783Aの直径は、400μmであってもよい。第2貫通孔783Aは、第2部材78Aの外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。これにより、第2貫通孔783Aは、第2部材78Aの中心に対して点対称に設けられ得る。第2貫通孔783Aは、第2部材78Aが第1部材に重ねられて配置されたときに、第1貫通孔773Aの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第2貫通孔783Aの開口内に、流路774Aの一部が位置してもよい。流路774Aにおける第2貫通孔783Aの開口内に位置する領域は、第1領域とは離間した第2領域778Aであってもよい。これにより、第2貫通孔783Aは、第2面781Aと、第2面781Aと反対側の第4面782A側の第2空間784Aとの間を、流路774Aの第2領域778Aを介してターゲット物質270を流通させるための第2流通部を構成し得る。第1実施形態では、第2貫通孔783Aは、第2空間784Aに存在するターゲット物質270を流路774Aの第2領域778Aに流入させるための第2流通部を構成し得る。第2面781Aおよび第4面782Aは、研磨されてもよい。
3.2.3.1 フィルタの組み込み
以下において、第1フィルタ75Aと、第2フィルタ76Aとをターゲット生成器8Aに組み込む動作について説明する。フィルタの組み込み動作は、ターゲット生成器8Aの組み立て時や、ターゲット生成器8Aのメンテナンス時において実行されてもよい。
まず、事前に第1貫通孔773Aおよび流路774Aが形成された第1部材77Aを製造しておいてもよい。第2貫通孔783Aが形成された第2部材78Aを製造しておいてもよい。第1部材77Aおよび第2部材78Aは、後述する第2実施形態と同様の方法で製造されてもよい。第2部材78Aの第2面781Aが第1部材77Aの流路774Aを覆うように、第2部材78Aと、第1部材77Aとを配置してもよい。このとき、第1部材77Aと第2部材78Aとを拡散接合してもよい。これにより、深さ寸法が3μm以下の流路774Aを有する第2フィルタ76Aが形成され得る。なお、第1実施形態においては、第1部材と第2部材との拡散接合は必須でなくともよい。
このようにボルト839Aがノズル基端部82Aに螺合することによって、第2フィルタ76Aの第1部材77Aの第3面772Aとノズル先端部83Aとの間、第2フィルタ76Aの第2部材78Aの第4面782Aとノズル基端部82Aとの間がシールされるように、ノズル先端部83Aがノズル基端部82Aに固定され得る。第2部材78Aの4個の第2貫通孔783Aが第2貫通孔822Aの開口内に位置し、第2貫通孔822Aの内部が第2空間784Aとなり得る。第1部材77Aの第1貫通孔773Aが第3貫通孔832Aの+Z方向側の開口内に位置し、第3貫通孔832Aの内部が第1空間776Aとなり得る。
以上により、第1フィルタ75Aと、第2フィルタ76Aとのターゲット生成器8Aへの組み込みが完了し得る。
以下において、ターゲット供給装置7Aの動作について説明する。
収容空間810Aの内部に固体のターゲット物質270が収容されている状態において、ターゲット制御装置71Aは、ターゲット生成器8Aをターゲット物質270の融点以上の温度に加熱してもよい。その後、ターゲット制御装置71Aは、ターゲット生成器8A内の圧力を第1圧力に調節してもよい。
この圧力の調節によって、液体のターゲット物質270は、第1多孔質フィルタ751Aを通過し得る。ターゲット物質270が第1多孔質フィルタ751Aを通過するとき、当該第1多孔質フィルタ751Aは、その貫通細孔の口径よりも大きいパーティクルを捕集し得る。
第1多孔質フィルタ751Aを通過したターゲット物質270は、第2多孔質フィルタ752Aを通過し得る。ターゲット物質270が第2多孔質フィルタ752Aを通過するとき、当該第2多孔質フィルタ752Aは、その貫通細孔の口径よりも大きいパーティクルを捕集し得る。
第2多孔質フィルタ752Aを通過したターゲット物質270は、第3多孔質フィルタ753Aを通過し得る。ターゲット物質270が第3多孔質フィルタ753Aを通過するとき、当該第3多孔質フィルタ753Aは、その貫通細孔の口径よりも大きいパーティクルを捕集し得る。
ここで、第2フィルタ76Aに到達したターゲット物質270には、パーティクルが存在し得る。当該パーティクルは、第1,第2,第3多孔質フィルタ751A,752A,753Aの形成時あるいはノズル基端部82Aへの取り付け時に、第1,第2,第3多孔質フィルタ751A,752A,753Aに付着した、または第1,第2,第3多孔質フィルタ751A,752A,753Aで捕集できなかったものであり得る。第2フィルタ76Aは、当該パーティクルを捕集し得る。
その後、ターゲット制御装置は、ターゲット生成器8A内の圧力を第2圧力に調節して、ターゲット物質270をドロップレット27としてノズル孔833Aから出力してもよい。
3.3.1 概略
本開示の第2実施形態のフィルタにおいて、第1部材は、圧延によって略板状に形成され、流路は、第1部材の圧延方向と交差する方向に延びるように形成されてもよい。
図5Aは、第2実施形態に係る第2フィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図5Bは、図5AのB−B線に沿った断面図である。図5Cは、第2フィルタの流路を+Z方向側から見た構成を概略的に示す。
第2実施形態のターゲット供給装置は、第2フィルタ76B以外の構成については、第1実施形態のターゲット供給装置7Aと同様のものを適用してもよい。
例えば、第1流路774B1および第2流路774B2の幅寸法は、30μmであってもよい。第1流路774B1および第2流路774B2の幅寸法は、異なっていてもよい。また例えば、第3流路774B3の幅寸法は、200μmであってもよい。
第1,第2,第3流路774B1,774B2,774B3の深さ寸法は、溝部770Bの深さ寸法と同じであってよい。第1,第2,第3流路774B1,774B2,774B3の深さ寸法は、第1面771Bに直交する方向の寸法であってよい。第1,第2,第3流路774B1,774B2,774B3の深さ寸法は、第3多孔質フィルタ753Aを通過したパーティクルの寸法より小さくなり得る。これにより、流路774Bは、パーティクルを捕集し得る。
第1部材77Bの第1面771Bにおける流路774Bの外側には、平面部777Bが設けられてもよい。平面部777Bは、流路774Bを囲む円環状に設けられてもよい。平面部777Bは、第1面771Bにおけるエッチングされていない領域であってもよい。平面部777Bおよび第3面772Bは、研磨されてもよい。
第2部材78Bには、Z軸方向に貫通する8個の略円形の第2貫通孔783Bが設けられてもよい。例えば、第2貫通孔783Bの直径は、40μmであってもよい。第2貫通孔783Bは、第2部材78Bの外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。これにより、第2貫通孔783Bは、第2部材78Bの中心に対して点対称に設けられ得る。第2貫通孔783Bは、第2部材78Bが第1部材77Bに重ねられて配置されたときに、第1貫通孔773Bの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第2貫通孔783Bの開口内に、流路774Bの一部が位置してもよい。第2貫通孔783Bの開口内に位置する流路774Bの一部は、第2領域778Bであってもよい。第2領域778Bは、第3流路774B3を含んでもよい。これにより、第2貫通孔783Bは、第2面781Bと、第2面781Bと反対側の第4面782B側の第2空間784Bとの間を、流路774Bの第2領域778Bを介して、ターゲット物質を流通させるための第2流通部を構成し得る。第2実施形態では、第2貫通孔783Bは、第2空間784Bに存在するターゲット物質を流路774Bの第2領域778Bに流入させるための第2流通部を構成し得る。第2面781Bおよび第4面782Bは、研磨されてもよい。
次に、フィルタの製造方法、フィルタの組み込み、およびターゲット供給装置の動作について説明する。
以下において、第1実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
図6は、第1部材の製造方法を概略的に示す。図7は、第2部材の製造方法を概略的に示す。まず、第1部材77Bの製造方法について説明する。
図6に示すように、モリブデンで形成されたプレート100Bを準備してもよい。プレート100Bは、バルク状のモリブデンが圧延されることにより形成されてもよい。図6における上下方向が、プレート100Bの圧延方向760Bと略一致してもよい。例えば、プレート100Bは、100mm四方の正方形であってもよい。
プレート100Bの第1面101Bに、流路774Bを形成するためのマスキングを設けてもよい。マスキングは、複数の第1部材77Bの流路774Bを形成できるように構成されてもよい。ウェットエッチング法により、プレート100Bの第1面101Bをエッチングしてもよい。これにより、第1面101Bには、図5Cにおける第1流路774B1が形成され、複数の流路774Bが形成され得る。流路774Bの略中央には、十字状のマーカ102Bが形成され得る。
プレート100Bから複数の第1部材77Bを切り出してもよい。第1部材77Bの略中央に孔あけ加工を施すことで、第1貫通孔773Bを形成してもよい。このとき、マーカ102Bを目印にして孔あけ加工を施してもよい。
第1部材77Bの両面を研磨し、洗浄してもよい。以上により、第1部材77Bの製造が完了し得る。第1部材77Bの両面研磨は、エッチングおよび孔あけ加工に先立って行ってもよい。また、孔あけ加工はエッチングに先立って行ってもよい。
第1流路774B1が延びる方向が圧延方向760Bと平行な場合、第1流路774B1が延びる方向に沿って底面部の微細な溝が連続的に形成され得る。これにより、第1流路774B1における微細な溝が形成されていない部分で捕集し得るパーティクルが、微細な溝が形成された部分を通過し、第1貫通孔773Aに流入し得る。
第1流路774B1が延びる方向が圧延方向760Bと略直交する場合、または、交差する場合、微細な溝が底面部の幅方向の一方側から他方側に延びるため、第1流路774B1が延びる方向に沿って、底面部の微細な溝が連続的に設けられることを抑制し得る。これにより、第1流路774B1における微細な溝が形成されていない部分で捕集し得るパーティクルが、第1貫通孔773Aに流入することを抑制し得る。
まず、図7に示すように、モリブデンで形成されたプレート110Bを準備してもよい。プレート110Bは、プレート100Bと同様の方法により形成されてもよい。例えば、プレート110Bは、100mm四方の正方形であってもよい。
プレート110Bから複数の第2部材78Bを切り出してもよい。第2部材78Bの複数箇所に、孔あけ加工を施すことで、第2貫通孔783Bを形成してもよい。
第2部材78Bの両面を研磨し、洗浄してもよい。以上により、第2部材78Bの製造が完了し得る。
第2部材78Bの第2面781Bが第1部材77Bの流路774Bを覆うように、第2部材78Bを第1部材77B上に配置してもよい。このとき、第1部材77Bと第2部材78Bとを拡散接合してもよい。これにより、深さ寸法が3μm以下の流路774Bを有する第2フィルタ76Bが製造され得る。このとき、第2貫通孔783Bが第2部材78Bの中心を中心に点対称に設けられているため、第1部材77Bに対する第2部材78Bの配置位置が回転方向にずれても、第2貫通孔783Bの開口内に第3流路774B3が位置し、ターゲット物質が第2フィルタ76Bを流通し得る。第1,第2面771B,781Bを研磨しているため、第1面771Bと第2面781Bとの隙間が小さくなり得る。なお、第2実施形態においては、第1部材と第2部材との拡散接合は必須でなくともよい。
ノズル基端部82Aとノズル先端部83Aとの間に第2フィルタ76Bを取り付けてもよい。
これにより、第2部材78Bの8個の第2貫通孔783Bが第2貫通孔822Aの開口内に位置し、第2貫通孔822Aの内部が第2空間784Bとなり得る。第1部材77Bの第1貫通孔773Bが第3貫通孔832Aの+Z方向側の開口内に位置し、第3貫通孔832Aの内部が第1空間776Bとなり得る。
ターゲット生成器8Aがターゲット物質の融点以上の温度に加熱されている状態で、当該ターゲット生成器8A内の圧力が調節されると、パーティクルが第1フィルタ75Aで捕集されたターゲット物質が、第2フィルタ76Bを通過し得る。
第2フィルタ76Bに到達したターゲット物質は、第2部材78Bの第2貫通孔783B内に流入し得る。第2貫通孔783B内に流入したターゲット物質は、流路774Bを第3流路774B3、第2流路774B2、第1流路774B1の順序で通過し得る。このとき、流路774Bは、当該流路774Bの深さ寸法より大きいパーティクルを捕集し得る。第1,第2,第3スペーサ部7741B,7742B,7743Bの上端が第2面781Bに当接するため、第4面782Bに圧力がかかっても、流路774Bがつぶされることが抑制され得る。その後、ターゲット物質は、第1貫通孔773Bを通過し、第3貫通孔832A内に流入し得る。
3.4.1 構成
図8Aは、第3実施形態に係る第2フィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図8Bは、図8AのB−B線に沿った断面図である。図8Cは、第2フィルタの流路を+Z方向側から見た構成を概略的に示す。
第3実施形態のターゲット供給装置は、第2フィルタ76C以外の構成については、第1実施形態のターゲット供給装置7Aと同様のものを適用してもよい。
第2溝部770C2の幅寸法は、例えば70μm〜100μmであってもよい。第1流路774C1の幅寸法は、例えば150μmであってもよい。第2,第3流路774C2,774C3の幅寸法は、例えば10μmであってもよい。第4流路774C4の幅寸法は、例えば40μm〜60μmであってもよい。第5流路774C5の幅寸法は、例えば100μmであってもよい。
第2溝部770C2の深さ寸法と、第1〜第5流路774C1〜774C5の深さ寸法は、第1溝部770C1の深さ寸法と同じであってよい。第1〜第5流路774C1〜774C5の深さ寸法は、第3多孔質フィルタ753Aを通過したパーティクルの寸法より小さくなり得る。これにより、流路774Cは、微細なパーティクルを捕集し得る。
第1部材77Cの第1面771Cにおける流路774Cの外側には、図8Cに示すように、平面部777Cが設けられてもよい。平面部777Cは、円環状の部分と、当該円環状の内縁から放射状に延びる部分とで構成されてもよい。平面部777Cは、第1面771Cにおけるエッチングされていない領域であってもよい。平面部777Cおよび第3面772Cは、研磨されてもよい。
次に、フィルタの製造方法、フィルタの組み込みおよびターゲット生成器の動作について説明する。
以下において、第1実施形態および第2実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
まず、第1貫通孔773Cおよび流路774Cが形成された第1部材77Cと、第2貫通孔783Bが形成された第2部材78Bを製造してもよい。第1部材77Cは、ウェットエッチング法の代わりにドライエッチング法を用いること以外は、第1部材77Bと同様の方法で製造されてもよい。第2部材78Bの第2面781Bが第1部材77Cの流路774Cを覆うように、第2部材78Bを第1部材77Cに重ねて配置してもよい。このとき、第1部材77Cと第2部材78Bとを拡散接合してもよい。これにより、深さ寸法が3μm以下の流路774Cを有する第2フィルタ76Cが形成され得る。このとき、第2貫通孔783Bが第2部材78Bの中心を中心に点対称に設けられているため、第1部材77Cに対する第2部材78Bの配置位置が回転方向にずれても、第2貫通孔783Bの開口内に第2溝部770C2、第4,第5流路774C4,774C5の一部が位置し、ターゲット物質が第2フィルタ76Cを流通し得る。第1,第2面771C,781Bを研磨しているため、第1面771Cと第2面781Bとの隙間が小さくなり得る。なお、第3実施形態においては、第1部材と第2部材との拡散接合は必須でなくともよい。
これにより、第2部材78Bの8個の第2貫通孔783Bが第2貫通孔822Aの開口内に位置し、第2貫通孔822Aの内部が第2空間784Bとなり得る。第1部材77Cの第1貫通孔773Cが第3貫通孔832Aの+Z方向側の開口内に位置し、第3貫通孔832Aの内部が第1空間776Cとなり得る。
ターゲット生成器8Aがターゲット物質の融点以上の温度に加熱されている状態で、当該ターゲット生成器8A内の圧力が調節されると、パーティクルが第1フィルタ75Aで捕集されたターゲット物質が、第2フィルタ76Cを通過し得る。
第2フィルタ76Cに到達したターゲット物質は、第2部材78Bの第2貫通孔783B内に流入し得る。第2貫通孔783B内に流入したターゲット物質は、流路774Cを第2溝部770C2、第5流路774C5、第4流路774C4、第3流路774C3、第2流路774C2、第1流路774C1の順序で通過し得る。このとき、流路774Cは、当該流路774Cの深さ寸法より大きいパーティクルを捕集し得る。第1,第2スペーサ部7741C,7742Cの上端が第2面781Bに当接するため、第4面782Bに圧力がかかっても、流路774Cがつぶされることが抑制され得る。その後、ターゲット物質は、第1貫通孔773Cを通過し、第3貫通孔832A内に流入し得る。
3.5.1 概略
本開示の第4実施形態のフィルタにおいて、第1面には、柱状のスペーサが配置され、流路は、互いに隣接するスペーサの間の領域で構成されてもよい。
本開示の第4実施形態のフィルタにおいて、第1部材は、第1面の一部が第2面からはみ出すように配置され、流路は、第2部材の外縁に対応する位置まで形成され、第2流通部は、第2面からはみ出した第1面の一部と第2部材の外縁とに面する側方空間で構成されてもよい。
図9Aは、第4実施形態に係る第2フィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図9Bは、図9AのB−B線に沿った断面図である。
第4実施形態のターゲット供給装置は、第2フィルタ76D以外の構成については、第1実施形態のターゲット供給装置7Aと同様のものを適用してもよい。
流路774Dにおける第2部材78Dの外縁側の端部は、第2領域778Dであってもよい。これにより、第1面771Dにおける第2面781Dの外側にはみ出した部分と、第2部材78Dの外縁とに面する側方空間762Dは、第2面781Dと、第2面781Dと反対側の第4面782D側の第2空間784Dとの間を、流路774Dの第2領域778Dを介してターゲット物質を流通させるための第2流通部を構成し得る。第4実施形態では、側方空間762Dは、第2空間784Dに存在するターゲット物質を流路774Dの第2領域778Dに流入させるための第2流通部を構成し得る。第2面781Dおよび第4面782Dは、研磨されてもよい。
次に、フィルタの製造方法、フィルタの組み込みおよびターゲット生成器の動作について説明する。
以下において、第1実施形態および第2実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
まず、第1貫通孔773Dが形成された第1部材77Dを製造してもよい。第1部材77Dの第1面771Dにスペーサ7741Dを配置することで、流路774Dを形成してもよい。第2部材78Dを製造してもよい。第2部材78Dの第2面781Dが第1部材77Dの流路774Dを覆うように、第2部材78Dを第1部材77Dに重ねられて配置してもよい。このとき、第1部材77Dと第2部材78Dとを拡散接合してもよい。これにより、深さ寸法が例えば3μm以下の流路774Dを有する第2フィルタ76Dが形成され得る。
これにより、第2フィルタ76Dの側方空間762Dが第2貫通孔822Aの開口内に位置し、第2貫通孔822Aの内部が第2空間784Dとなり得る。第1部材77Dの第1貫通孔773Dが第3貫通孔832Aの+Z方向側の開口内に位置し、第3貫通孔832Aの内部が第1空間776Dとなり得る。
ターゲット生成器8Aがターゲット物質の融点以上の温度に加熱されている状態で、当該ターゲット生成器8A内の圧力が調節されると、パーティクルが第1フィルタ75Aで捕集されたターゲット物質が、第2フィルタ76Dを通過し得る。
第2フィルタ76Dに到達したターゲット物質は、側方空間762Dを介して流路774D内に流入し得る。このとき、流路774Dは、当該流路774Dの深さ寸法より大きいパーティクルを捕集し得る。スペーサ7741Dの上端が第2面781Dに当接するため、第4面782Dに圧力がかかっても、流路774Dがつぶされることが抑制され得る。その後、ターゲット物質は、第1貫通孔773Dを通過し、第3貫通孔832A内に流入し得る。
3.6.1 概略
本開示の第5実施形態のフィルタにおいて、第2貫通孔は、第2部材の略中心を貫通するように形成されてもよい。
本開示の第5実施形態のフィルタにおいて、第2部材は、第2面の一部が第1面からはみ出すように配置され、流路は、第1部材の外縁まで形成され、第1流通部は、第1面からはみ出した第2面の一部と第1部材の外縁とに面する側方空間で構成されてもよい。
図10Aは、第5実施形態に係る第2フィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図10Bは、図10AのB−B線に沿った断面図である。
第5実施形態のターゲット供給装置は、第2フィルタ76E以外の構成については、第1実施形態のターゲット供給装置7Aと同様のものを適用してもよい。
第1部材77Eの−Z方向側の第1面771Eには、複数の流路774Eが形成されてもよい。流路774Eは、第1面771Eに形成された溝部で構成されてもよい。流路774Eは、第1部材77Eの外縁と後述する貫通孔783Eとを連通するように設けられてもよい。流路774Eは、放射状に設けられてもよい。流路774Eの深さ寸法は、例えば3μm以下であってもよい。これにより、流路774Eは、パーティクルを捕集し得る。
第2部材78Eの直径は、第1部材77Eの直径より大きくてもよい。これにより、第2部材78Eは、第2面781Eの一部が第1面771Eからはみ出すように配置され得る。第2部材78Eは、第1部材77Eの下側に重なるように配置されてもよい。第2部材78Eは、第2面781Eが流路774Eを覆うように配置されてもよい。第2部材78Eの中央には、略円形の貫通孔783Eが設けられてもよい。貫通孔783Eは、本開示の第2貫通孔であってもよい。
流路774Eにおける貫通孔783E側の端部は、第2領域778Eであってもよい。これにより、貫通孔783Eは、第2面781Eと、第2面781Eと反対側の第4面782E側の第2空間784Eとの間を、流路774Eの第2領域778Eを介してターゲット物質を流通させるための第2流通部を構成し得る。第5実施形態では、貫通孔783Eは、流路774Eの第2領域778Eに流入するターゲット物質を第2空間784Eに流出させるための第2流通部を構成し得る。
次に、フィルタの製造方法、フィルタの組み込み及びターゲット生成器の動作について説明する。
以下において、第1実施形態および第2実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
まず、流路774Eが形成された第1部材77Eを製造してもよい。貫通孔783Eが形成された第2部材78Eを製造してもよい。第2部材78Eの第2面781Eが第1部材77Eの流路774Eを覆うように、第1部材77Eを第2部材78Eに重ねられて配置してもよい。このとき、第1部材77Eと第2部材78Eとを拡散接合してもよい。これにより、深さ寸法が例えば3μm以下の流路774Eを有する第2フィルタ76Eが形成され得る。
これにより、第2フィルタ76Eの側方空間761Eが第2貫通孔822Aの開口内に位置し、第2貫通孔822Aの内部が第1空間776Eとなり得る。第2部材78Eの貫通孔783Eが第3貫通孔832Aの+Z方向側の開口内に位置し、第3貫通孔832Aの内部が第2空間784Eとなり得る。
ターゲット生成器8Aがターゲット物質の融点以上の温度に加熱されている状態で、当該ターゲット生成器8A内の圧力が調節されると、パーティクルが第1フィルタ75Aで捕集されたターゲット物質が、第2フィルタ76Eを通過し得る。
第2フィルタ76Eに到達したターゲット物質は、側方空間761Eを介して流路774E内に流入し得る。このとき、流路774Eは、当該流路774Eの深さ寸法より大きいパーティクルを捕集し得る。その後、ターゲット物質は、貫通孔783Eを通過し、第3貫通孔832A内に流入し得る。
3.7.1 概略
本開示の第6実施形態のフィルタにおいて、第1部材は、第1板状部材と、第1板状部材と重ねて配置された第2板状部材とから構成され、流路は、第2板状部材を貫通する第3貫通孔により構成されてもよい。
図11Aは、第6実施形態に係る第2フィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図11Bは、図11AのB−B線に沿った断面図である。図11Cは、第2フィルタの流路の変形例を概略的に示す。
第6実施形態のターゲット供給装置は、第2フィルタ76F以外の構成については、第1実施形態のターゲット供給装置7Aと同様のものを適用してもよい。
第1板状部材77F1の厚さ寸法は、第2部材78Fの厚さ寸法より小さくてもよい。第1板状部材77F1の中央には、上下方向に貫通する第1貫通孔773Fが設けられてもよい。
第2板状部材77F2の厚さ寸法は、例えば3μm以下であってもよい。第2板状部材77F2には、上下方向に貫通するスリット状の例えば8個の第3貫通孔7741Fが設けられてもよい。第3貫通孔7741Fは、第2板状部材77F2の中心から所定距離離れた位置から放射状に延びるように設けられてもよい。第3貫通孔7741Fは、第2板状部材77F2の外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。これにより、第3貫通孔7741Fは、第2板状部材77F2の中心を中心に点対称に設けられ得る。
第2板状部材77F2は、第1板状部材77F1の+Z方向側の面に配置されてもよい。これにより、第3貫通孔7741Fは、例えば深さ寸法が3μm以下の流路774Fを構成し得る。流路774Fは、パーティクルを捕集し得る。
第1部材77Fの第1面771Fにおける流路774Fの外側には、平面部777Fが設けられてもよい。
第2部材78Fには、上下方向に貫通する8個の略円形の第2貫通孔783Fが設けられてもよい。第2貫通孔783Fは、第2部材78Fの外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。これにより、第2貫通孔783Fは、第2部材78Fの中心を中心に点対称に設けられ得る。第2貫通孔783Fは、第2部材78Fが第1部材77F上に配置されたときに、第1貫通孔773Fの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第2貫通孔783Fの開口内に、流路774Fの一部が位置してもよい。第2貫通孔783Fの開口内に位置する流路774Fの一部は、第2領域778Fであってもよい。これにより、第2貫通孔783Fは、第2面781Fと、第2面781Fと反対側の第4面782F側の第2空間784Fとの間を、流路774Fの第2領域778Fを介してターゲット物質を流通させるための第2流通部を構成し得る。第6実施形態では、第2貫通孔783Fは、第2空間784Fに存在するターゲット物質を流路774Fの第2領域778Fに流入させるための第2流通部を構成し得る。
次に、フィルタの製造方法、フィルタの組み込み及びターゲット生成器の動作について説明する。
以下において、第1実施形態および第2実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
図12は、第2フィルタの製造方法を概略的に示す。
図12に示すように、モリブデンで形成された第1板状部材77F1を準備してもよい。第1板状部材77F1は、第2実施形態における第1部材77Fと同様に、複数の第1板状部材77F1を得ることが可能な大きさのプレートから切り出されてもよい。なお、後述する第2板状部材77F2、第2部材78Fも同様に大きなプレートから切り出されてもよい。第1板状部材77F1の略中央に孔あけ加工を施すことで、第1貫通孔773Fを形成してもよい。
第1板状部材77F1の両面を研磨し、洗浄してもよい。以上により、第1板状部材77F1が製造され得る。
モリブデンで形成された第2板状部材77F2を準備してもよい。第2板状部材77F2の複数箇所に、孔あけ加工を施すことで、第3貫通孔7741Fを形成してもよい。
第2板状部材77F2の両面を研磨し、洗浄してもよい。以上により、第2板状部材77F2が製造され得る。
モリブデンで形成された第2部材78Fを準備してもよい。第2部材78Fの複数箇所に、孔あけ加工を施すことで、第2貫通孔783Fを形成してもよい。
第2部材78Fの両面を研磨し、洗浄してもよい。以上により、第2部材78Fが製造され得る。
第2部材78Fの第2面781Fが第1部材77Fの流路774Fを覆うように、第2部材78Fを第1部材77Fに重ねて配置してもよい。このとき、第1部材77Fと第2部材78Fとを拡散接合してもよい。これにより、深さ寸法が3μm以下の流路774Fを有する第2フィルタ76Fが製造され得る。このとき、第2貫通孔783Fが第2部材78Fの中心を中心に点対称に設けられているため、第1部材77Fに対する第2部材78Fの配置位置が回転方向に多少ずれても、第2貫通孔783Fの開口内に流路774Fが位置し、ターゲット物質が第2フィルタ76Fを流通し得る。第1,第2面771F,781Fを研磨しているため、第1面771Fと第2面781Fとの隙間が小さくなり得る。第1板状部材77F1と第2板状部材77F2との接合面を研磨しているため、第1板状部材77F1と第2板状部材77F2との隙間が小さくなり得る。なお、第6実施形態においては、第1部材と第2部材との拡散接合は必須でなくともよい。
これにより、第2部材78Fの8個の第2貫通孔783Fが第2貫通孔822Aの開口内に位置し、第2貫通孔822Aの内部が第2空間784Fとなり得る。第1部材77Fの第1貫通孔773Fが第3貫通孔832Aの+Z方向側の開口内に位置し、第3貫通孔832Aの内部が第1空間776Fとなり得る。
ターゲット生成器8Aがターゲット物質の融点以上の温度に加熱されている状態で、当該ターゲット生成器8A内の圧力が調節されると、パーティクルが第1フィルタ75Aで捕集されたターゲット物質が、第2フィルタ76Fを通過し得る。
第2フィルタ76Fに到達したターゲット物質は、第2部材78Fの第2貫通孔783F内に流入し得る。第2貫通孔783F内に流入したターゲット物質は、流路774Fを通過し得る。このとき、流路774Fは、当該流路774Fの深さ寸法より大きいパーティクルを捕集し得る。その後、ターゲット物質は、第1貫通孔773Fを通過し、第3貫通孔832A内に流入し得る。
3.8.1 概略
本開示の第7実施形態のターゲット供給装置において、第2部材は、第1部材に対しターゲット物質の出力方向側に配置され、第2流通部は、第2部材を貫通する第2貫通孔により構成され、第2貫通孔の出力方向側の開口は、ノズル孔を構成してもよい。
図13Aは、第7実施形態に係るターゲット供給装置の要部を概略的に示す。図13Bは、図13AのB−B線に沿った断面図である。
第7実施形態のターゲット供給装置は、ターゲット生成器8Gおよびフィルタ76G以外の構成については、第1実施形態のターゲット供給装置7Aと同様のものを適用してもよい。
ノズル基端部82Gの中央には、Z軸方向に貫通する第2貫通孔822Gが設けられてもよい。第2貫通孔822Gの内径は、例えば3mmであってもよい。ノズル基端部82Gの先端には、凹部827Gが設けられてもよい。
ノズル先端部83Gは、略円筒状に形成されてもよく、平面部分の外形寸法が第2貫通孔822Gの直径よりも大きく形成されてもよい。ノズル先端部83Gの上面には、凹部831Gが設けられてもよい。ノズル先端部83Gの中央には、上下方向に貫通する錐状孔834Gが設けられてもよい。錐状孔834Gは、−Z方向に向かうに従って径寸法が大きくなる円錐状に形成されてもよい。
第2部材78Gの中央には、Z軸方向に貫通する第2貫通孔783Gが設けられてもよい。第2貫通孔783Gは、−Z方向に向かうに従って径寸法が大きくなる円錐状に形成されてもよい。第2貫通孔783Gの上側の開口は、ノズル孔785Gを構成してもよい。ノズル孔785Gの直径は、例えば1μm〜3μmであってもよい。第2貫通孔783Gは、第2部材78Gが第1部材77Gに重ねられて配置されたときに、第1貫通孔773Gの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第2貫通孔783Gのノズル孔785Gの開口内に、流路774Gの一部が位置してもよい。第2貫通孔783Gの開口内に位置する流路774Gの一部は、第2領域778Gであってもよい。これにより、第2貫通孔783Gは、第2面781Gと、第2面781Gと反対側の第4面782G側の第2空間784Gとの間を、流路774Gの第2領域778Gを介してターゲット物質を流通させるための第2流通部を構成し得る。第7実施形態では、第2貫通孔783Gは、流路774Gの第2領域778Gに流入するターゲット物質を第2空間784Gに流出させるための第2流通部を構成し得る。第2面781Gおよび第4面782Gは、研磨されてもよい。
次に、フィルタの組み込み、およびターゲット供給装置の動作について説明する。
以下において、第1実施形態および第2実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
これにより、第1部材77Gの8個の第1貫通孔773Gが第2貫通孔822Gの開口内に位置し、第2貫通孔822Gの内部が第1空間776Gとなり得る。第2部材78Gの第2貫通孔783Gが錐状孔834Gの+Z方向側の開口内に位置し、錐状孔834Gの内部が第2空間784Gとなり得る。
ターゲット生成器8Gがターゲット物質の融点以上の温度に加熱されている状態で、当該ターゲット生成器8G内の圧力が調節されると、ターゲット物質がフィルタ76Gを通過し得る。
フィルタ76Gに到達したターゲット物質は、第1貫通孔773Gを介して流路774Gを通過し得る。このとき、流路774Gは、当該流路774Gの深さ寸法より大きいパーティクルを捕集し得る。
その後、ターゲット制御装置は、ターゲット生成器8G内の圧力を調節して、ターゲット物質をドロップレット27としてノズル孔785Gから出力してもよい。
3.9.1 構成
図14は、第8実施形態に係るターゲット供給装置の要部を概略的に示す。
第8実施形態のターゲット供給装置は、ターゲット生成器8Hを構成するフィルタ76Hの第2部材78H以外の構成については、第7実施形態のターゲット供給装置と同様のものを適用してもよい。
第2部材78Hにおける−Z方向側の第4面782Hの中央には、円錐台状の突出部786Hが設けられてもよい。突出部786Hは、電界を利用してドロップレットを生成する場合、突出部786Hに電界が集中し易いようにするために設けられてもよい。第2部材78Hの中央には、Z軸方向に貫通する第2貫通孔783Hが設けられてもよい。第2貫通孔783Hは、−Z方向に向かうに従って径寸法が小さくなる円錐状に形成されてもよい。第2貫通孔783Hの−Z方向側の開口であって突出部786Hの先端部中央の開口は、ノズル孔785Hを構成してもよい。ノズル孔785Hの直径は、例えば1μm〜3μmであってもよい。第2貫通孔783Hは、第2部材78Hが第1部材77Gに重ねられて配置されたときに、第1貫通孔773Gの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第2貫通孔783Hの開口内に、流路774Gの一部が位置してもよい。第2貫通孔783Hの開口内に位置する流路774Gの一部は、第2領域778Gであってもよい。これにより、第2貫通孔783Hは、第2面781Hと、第2面781Hと反対側の第4面782H側の第2空間784Hとの間を、流路774Gの第2領域778Gを介してターゲット物質を流通させるための第2流通部を構成し得る。第8実施形態では、第2貫通孔783Hは、流路774Gの第2領域778Gに流入するターゲット物質を第2空間784Hに流出させるための第2流通部を構成し得る。第2面781Hおよび第4面782Hは、研磨されてもよい。
次に、フィルタの組み込みおよびターゲット生成器の動作について説明する。
以下において、第1実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
まず、第1部材77Gの流路774Gが第2部材78Hの第2面781Hで覆われるように、第1部材77Gと第2部材78Hとを拡散接合してもよい。これにより、最も浅い部分の深さ寸法が3μm以下の流路774Gを有するフィルタ76Hが形成され得る。第1,第2面771G,781Hを研磨しているため、第1面771Gと第2面781Hとの隙間が小さくなり得る。
次に、ノズル基端部82Gとノズル先端部83Gとで挟み込むように、フィルタ76Hを取り付けてもよい。第2部材78Hは、第1部材77Gに対し−Z方向側に配置されてもよい。
これにより、第2部材78Hの第2貫通孔783Hが錐状孔834Gの内部に位置し、錐状孔834Gの内部が第2空間784Hとなり得る。
ターゲット生成器8Hがターゲット物質の融点以上の温度に加熱されている状態で、当該ターゲット生成器8H内の圧力が調節されると、ターゲット物質がフィルタ76Hを通過し得る。
フィルタ76Hに到達したターゲット物質は、第1貫通孔773Gを介して流路774Gを通過し得る。このとき、流路774Gは、当該流路774Gの深さ寸法より大きいパーティクルを捕集し得る。
その後、ターゲット制御装置は、ターゲット生成器8H内の圧力を調節して、ターゲット物質をドロップレット27としてノズル孔785Hから出力してもよい。
3.10.1 構成
図15Aは、第9実施形態に係るターゲット供給装置の要部を概略的に示す。図15Bは、図15AのB−B線に沿った断面図である。
第9実施形態のターゲット供給装置は、ターゲット生成器8Jを構成するフィルタ76J以外の構成については、第7実施形態のターゲット供給装置と同様のものを適用してもよい。
筒状部788Jは、板状部787Jの面方向外側の端部に設けられもよい。
次に、フィルタの組み込みについて説明する。
以下において、第1実施形態および第2実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
まず、第1部材77Jの流路774Jが第2部材78Jの第2面781Jで覆われるように、第1部材77Jを第2部材78J内に配置してもよい。これにより、深さ寸法が3μm以下の流路774Jを有するフィルタ76Jが形成され得る。
次に、パイプ84Jを第2部材78J内に配置してもよい。フィルタ76Jの第2部材78Jを図示しないボルトによりノズル基端部82Gに取り付けてもよい。このとき、パイプ84Jが凹部827Gに挿入されてもよい。第2部材78Jは、第1部材77Jに対し−Z方向側に配置されてもよい。
これにより、第1部材77Jの8個の第1貫通孔773Gが貫通孔841Jの開口内に位置し、貫通孔841Jの内部が第1空間776Jとなり得る。第2部材78Jの第2貫通孔783Hが板状部787Jの−Z方向側に位置し、当該−Z方向側の位置が第2空間784Jとなり得る。
3.11.1 概略
本開示の第10実施形態のターゲット供給装置において、第1部材は、第2部材に対しターゲット物質の出力方向側に配置され、第1流通部は、第1部材を貫通する第1貫通孔により構成され、第1貫通孔の出力方向側の開口は、ノズル孔を構成してもよい。
図16は、第10実施形態に係るターゲット供給装置の要部を概略的に示す。
第10実施形態のターゲット供給装置は、ターゲット生成器8Kを構成するフィルタ76K以外の構成については、第7実施形態のターゲット供給装置と同様のものを適用してもよい。
第1部材77Kにおける−Z方向側の第3面772Kの中央には、円錐台状の突出部793Kが設けられてもよい。第1部材77Kの中央には、第1貫通孔773Kが設けられてもよい。第1貫通孔773Kの−Z方向側の開口であって突出部793Kの先端部中央は、ノズル孔794Kを構成してもよい。ノズル孔794Kの直径は、例えば1μm〜3μmであってもよい。
第1部材77Kの+Z方向側の第1面771Kには、例えば8本の流路774Kが設けられてもよい。流路774Kは、第1面771Kに形成された溝部により構成されてもよい。流路774Kは、図11Aに示した流路774Fと同様に、第1面771Kの中心から放射状に延びるように設けられてもよい。流路774Kは、第1部材77Kの外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。流路774Kの深さ寸法は、例えば3μm以下であってもよい。
流路774Kにおける第1貫通孔773Kに連通する部分は、第1領域775Kであってもよい。これにより、第1貫通孔773Kは、第1部材77Kの第1面771Kと、第1面771Kと反対側の第3面772K側の第1空間776Kとの間を、流路774Kの第1領域775Kを介してターゲット物質を流通させるための第1流通部を構成し得る。第10実施形態では、第1貫通孔773Kは、流路774Kの第1領域775Kに流入するターゲット物質を第1空間776Kに流出させるための第1流通部を構成し得る。
第2部材78Kには、8個の略円形の第2貫通孔783Kが設けられてもよい。第2貫通孔783Kは、第2部材78Kの外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。第2貫通孔783Kは、第1貫通孔773Kの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第2貫通孔783Kの開口内に、流路774Kの端部である第2領域778Kが位置してもよい。これにより、第2貫通孔783Kは、第2面781Kと、第2面781Kと反対側の第4面782K側の第2空間784Kとの間を、流路774Kの第2領域778Kを介してターゲット物質を流通させるための第2流通部を構成し得る。第10実施形態では、第2貫通孔783Kは、第2空間784Kに存在するターゲット物質を流路774Kの第2領域778Kに流入させるための第2流通部を構成し得る。
次に、フィルタの組み込みについて説明する。
以下において、第1実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
まず、第1部材77Kの流路774Kが第2部材78Kの第2面781Kで覆われるように、第1部材77Kと第2部材78Kとを拡散接合してもよい。これにより、深さ寸法が3μm以下の流路774Kを有するフィルタ76Kが形成され得る。
次に、ノズル先端部83Gとノズル基端部82Gとの間にフィルタ76Kを取り付けてもよい。第1部材77Kは、第2部材78Kに対し−Z方向側に配置されてもよい。
これにより、第2部材78Kの第2貫通孔783Kが第2貫通孔822Gの開口内に位置し、第2貫通孔822Gの内部が第2空間784Kとなり得る。第1部材77Kの第1貫通孔773Kが錐状孔834Gの+Z方向側の開口内に位置し、錐状孔834Gの内部が第1空間776Kとなり得る。
なお、フィルタとしては、以下に示すような構成としてもよい。以下の変形例において、第1,第2部材は、ターゲット物質との反応性が低い材料で形成されてもよい。流路の深さ寸法は、例えば3μm以下であってもよい。−Z方向は、重力方向10Bと一致してもよい。
図17Aは、第1変形例に係るフィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図17Bは、図17AのB−B線に沿った断面図である。
フィルタ76Lは、図17Aおよび図17Bに示すように、第1部材77Lと、第2部材78Lとを備えてもよい。第1部材77Lおよび第2部材78Lは、略円板状に形成されてもよい。
第1部材77Lには、複数の第1貫通孔773Lが設けられてもよい。第1貫通孔773Lは、千鳥状に配置されてもよい。第1部材77Lの−Z方向側の第1面771Lには、流路774Lが形成されてもよい。流路774Lは、第1貫通孔773Lと、当該第1貫通孔773Lと隣り合う後述する第2貫通孔783Lとを連通するように設けられてもよい。流路774Lにおける第1貫通孔773L側の端部は、第1領域775Lであってもよい。これにより、第1貫通孔773Lは、第1面771Lと、第1面771Lと反対側の第3面772L側の第1空間776Lとの間で、流路774Lの第1領域775Lを介して、ターゲット物質を流通させるための第1流通部を構成し得る。
第2部材78Lには、複数の第2貫通孔783Lが設けられてもよい。第2貫通孔783Lは、互いに隣り合う第1貫通孔773Lの間に対応する位置に設けられてもよい。第2貫通孔783Lは、第1部材77Lが第2部材78L上に配置されたときに、第1貫通孔773Lの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第2貫通孔783Lの開口内に、流路774Lの第2領域778Lが位置してもよい。これにより、第2貫通孔783Lは、第2面781Lと、第2面781Lと反対側の第4面782L側の第2空間784Lとの間で、流路774Lの第2領域778Lを介して、ターゲット物質を流通させるための第2流通部を構成し得る。
図18Aは、第2変形例に係るフィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図18Bは、図18AのB−B線に沿った断面図である。
フィルタ76Mは、図18Aおよび図18Bに示すように、第1部材77Mと、第2部材78Mとを備えてもよい。第1部材77Mおよび第2部材78Mは、略円板状に形成されてもよい。
第1部材77Mには、例えば8個の第1貫通孔773Mが設けられてもよい。第1貫通孔773Mは、第1部材77Mの外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。第1部材77Mの−Z方向側の第1面771Mには、流路774Mが形成されてもよい。流路774Mは、第1貫通孔773Mと、後述する第2貫通孔783Mとを連通するように設けられてもよい。流路774Mにおける第1貫通孔773M側の端部は、第1領域775Mであってもよい。これにより、第1貫通孔773Mは、第1面771Mと、第1面771Mと反対側の第3面772M側の第1空間776Mとの間で、流路774Mの第1領域775Mを介して、ターゲット物質を流通させるための第1流通部を構成し得る。
第2部材78Mの中央には、第2貫通孔783Mが設けられてもよい。第2貫通孔783Mは、第1部材77Mが第2部材78M上に配置されたときに、第1貫通孔773Mの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第2貫通孔783Mの開口内に、流路774Mの第2領域778Mが位置してもよい。これにより、第2貫通孔783Mは、第2面781Mと、第2面781Mと反対側の第4面782M側の第2空間784Mとの間で、流路774Mの第2領域778Mを介して、ターゲット物質を流通させるための第2流通部を構成し得る。
図19Aは、第3変形例に係るフィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図19Bは、図19AのB−B線に沿った断面図である。図19Cは、図19AのC−C線に沿った断面図である。図20Aは、第3変形例に係る他のフィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図20Bは、図20AのB−B線に沿った断面図である。図21Aは、第3変形例に係る他のフィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図21Bは、第3変形例に係る他のフィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図21Cは、第3変形例に係る他のフィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図21Dは、第3変形例に係る他のフィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図21Eは、第3変形例に係る他のフィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図21Fは、第3変形例に係る他のフィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図21Gは、第3変形例に係る他のフィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。
第1部材77Nの中央より+X方向側には、第1貫通孔773Nが設けられてもよい。第1部材77Nの−Z方向側の第1面771Nには、1本の流路774Nが形成されてもよい。流路774Nは、第1貫通孔773Nから−X方向に直線状に延びるように設けられてもよい。流路774Nにおける第1貫通孔773N側の端部は、第1領域775Nであってもよい。これにより、第1貫通孔773Nは、第1面771Nと、第1面771Nと反対側の第3面772N側の第1空間776Nとの間で、流路774Nの第1領域775Nを介して、ターゲット物質を流通させるための第1流通部を構成し得る。
第2部材78Nの中央より−X方向側には、第2貫通孔783Nが設けられてもよい。第2貫通孔783Nは、第1部材77Nが第2部材78N上に配置されたときに、第1貫通孔773Nの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第2貫通孔783Nの開口内に、流路774Nの第2領域778Nが位置してもよい。これにより、第2貫通孔783Nは、第2面781Nと、第2面781Nと反対側の第4面782N側の第2空間784Nとの間で、流路774Nの第2領域778Nを介して、ターゲット物質を流通させるための第2流通部を構成し得る。
図22Aは、第4変形例に係るフィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図22Bは、図22AのB−B線に沿った断面図である。図22Cは、図22AのC−C線に沿った断面図である。
フィルタ76Pは、図22A、図22Bおよび図22Cに示すように、第1部材77Pと、第2部材78Pとを備えてもよい。
第1部材77Pは、略正方形板状に形成されてもよい。第1部材77Pの−Z方向側の第1面771Pには、直線状の流路774Pが形成されてもよい。流路774Pは、第1部材77Pの外縁と後述する貫通孔783Pとを連通するように設けられてもよい。
第2部材78Pは、略円板状に形成されてもよい。第2部材78Pの外形は、第1部材77Pの外形より大きくてもよい。これにより、第2部材78Pは、第2面781Pの一部が第1面771Pからはみ出すように配置され得る。第2部材78Pにおける+Z方向側の第2面781Pの一部には、+Z方向側に突出する突出部789Pが設けられてもよい。第2部材78Pは、第1部材77Pの−Z方向側から重なるように配置されてもよい。第2部材78Pは、突出部789Pの上面である第2面781Pが流路774Pを覆うように配置されてもよい。第2部材78Pの突出部789Pが設けられた部分には、貫通孔783Pが設けられてもよい。貫通孔783Pは、本開示の第2貫通孔であってもよい。
流路774Pにおける貫通孔783P側の端部は、第2領域778Pであってもよい。これにより、貫通孔783Pは、第2面781Pと、第2面781Pと反対側の第4面782P側の第2空間784Pとの間を、流路774Pの第2領域778Pを介してターゲット物質を流通させるための第2流通部を構成し得る。
図23Aは、第5変形例に係るフィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図23Bは、図23AのB−B線に沿った断面図である。図23Cは、図23AのC−C線に沿った断面図である。
フィルタ76Qは、図23A、図23Bおよび図23Cに示すように、第1部材77Qと、第2部材78Qとを備えてもよい。
第1部材77Qは、略正方形板状に形成されてもよい。第1部材77Qの−Z方向側の第1面771Qには、直線状の流路774Qが形成されてもよい。流路774Qは、第1部材77Qの+X方向側の外縁から、−X方向側外縁にかけて設けられてもよい。
第2部材78Qは、第1部材77Qと略等しい形状に形成されてもよい。第2部材78Qは、第1部材77Qの−Z方向側から重なるように配置されてもよい。第2部材78Qは、第1部材77Qに対して+X方向側にずれた位置に配置されてもよい。これにより、第2部材78Qは、第2面781Qの一部が第1面771Qからはみ出すように配置され得る。第1部材77Qは、第1面771Qの一部が第2面781Qからはみ出すように配置され得る。第2部材78Qは、第2面781Qが流路774Qを覆うように配置されてもよい。このとき、第1部材77Qと第2部材78Qとは、シール部材763Qにより挟まれてもよい。
流路774Qにおける第2部材78Qの−X方向側の外縁に対応する部分は、第2領域778Qであってもよい。これにより、第1面771Qにおける第2面781Qの外側にはみ出した部分と、第2部材78Qの−X方向側の外縁とに面する第2側方空間762Qは、第2面781Qと、第2面781Qと反対側の第4面782Q側の第2空間784Qとの間を、流路774Qの第2領域778Qを介してターゲット物質を流通させるための第2流通部を構成し得る。
図24Aは、第6変形例に係るフィルタを+Z方向側から見た構成を概略的に示す。図24Bは、図24AのB−B線に沿った断面図である。図24Cは、図24AのC−C線に沿った断面図である。
フィルタ76Rは、図24A、図24Bおよび図24Cに示すように、第1部材77Rと、第2部材78Rとを備えてもよい。
第1部材77Rは、略正方形板状に形成されてもよい。第1部材77Rにおける+X方向側の第1面771Rの一部には、−Z方向側に突出する突出部779Rが設けられてもよい。突出部779Rの−Z方向側の面である第1面771Rには、直線状の流路774Rが形成されてもよい。流路774Rは、第1部材77Rの+X方向側の外縁から、−X方向側外縁にかけて設けられてもよい。
第2部材78Rは、第1部材77Rと略等しい形状に形成されてもよい。第2部材78Rにおける+Z方向側の第2面781Rの一部には、+Z方向側に突出する突出部789Rが設けられてもよい。第2部材78Rは、第1部材77Rの−Z方向側から重なるように配置されてもよい。第2部材78Rは、第1部材77Rに対して+X方向側にずれた位置に配置されてもよい。第2部材78Rは、突出部789Rの+Z方向側の面である第2面781Rが流路774Rを覆うように配置されてもよい。このとき、第1部材77Rと第2部材78Rとは、シール部材763Rにより挟まれてもよい。
流路774Rにおける−X方向側の端部は、第2領域778Rであってもよい。これにより、第1面771Rにおける第2面781Rの外側にはみ出した部分と、第2部材78Rの−X方向側の外縁とに面する第2側方空間762Rは、第2面781Rと、第2面781Rと反対側の第4面782R側の第2空間784Rとの間を、流路774Rの第2領域778Rを介してターゲット物質を流通させるための第2流通部を構成し得る。
図25は、第7変形例に係るフィルタの断面図である。
フィルタ76Sは、図25に示すように、第1部材77Sと、第2部材78Sとを備えてもよい。
第1部材77Sは、略円板状に形成されてもよい。
第1部材77Sの中央より+X方向側および−X方向側には、それぞれ第1貫通孔773Sが設けられてもよい。第1貫通孔773Sは、略長方形状であってもよい。第1部材77Sの−Z方向側の第1面771Sには、1本の流路774Sが形成されてもよい。流路774Sは、第1貫通孔773S同士をつなぐように設けられてもよい。流路774Sにおける各第1貫通孔773S側の端部は、第1領域775Sであってもよい。これにより、第1貫通孔773Sは、第1面771Sと、第1面771Sと反対側の第3面772S側の第1空間776Sとの間を、流路774Sの第1領域775Sを介してターゲット物質を流通させるための第1流通部を構成し得る。
第2部材78Sは、第1部材77Sと略等しい形状に形成されてもよい。第2部材78Sは、第1部材77Sの−Z方向側から重なるように配置されてもよい。第2部材78Sは、第2面781Sが流路774Sを覆うように配置されてもよい。このとき、第1部材77Sと第2部材78Sとは、シール部材763Sにより挟まれてもよい。
第2部材78Sの中央には、略長方形状の第2貫通孔783Sが設けられてもよい。第2貫通孔783Sは、第1部材77Sが第2部材78Sに配置されたときに、第1貫通孔773Sの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第2貫通孔783Sの開口内に、流路774Sの第2領域778Sが位置してもよい。これにより、第2貫通孔783Sは、第2面781Sと、第2面781Sと反対側の第4面782S側の第2空間784Sとの間を、流路774Sの第2領域778Sを介してターゲット物質を流通させるための第2流通部を構成し得る。
図26は、第8変形例に係るフィルタの断面図である。
フィルタ76Tは、図26に示すように、第1部材77Tと、第2部材78Sとを備えてもよい。
第1部材77Tは、長方形板状に形成されてもよい。第1部材77Tの外形は、第2部材78Sの第2貫通孔783Sの外形より大きくてもよい。
第1部材77Tの−Z方向側の第1面771Tには、1本の流路774Tが形成されてもよい。流路774Tは、第1部材77Tの+X方向側の外縁から、−X方向側外縁にかけて設けられてもよい。
第2部材78Sは、第1部材77Tの−Z方向側から重なるように配置されてもよい。第2部材78Sは、第2面781Sが流路774Tを覆うように配置されてもよい。このとき、第1部材77Tと第2部材78Sとは、シール部材763Tにより挟まれてもよい。
第2貫通孔783Sの開口内に、流路774Tの第2領域778Tが位置してもよい。これにより、第2貫通孔783Sは、第2面781Sと、第2面781Sと反対側の第4面782S側の第2空間784Sとの間を、流路774Tの第2領域778Tを介してターゲット物質を流通させるための第2流通部を構成し得る。
第1〜第6実施形態および各変形例において、各フィルタ76A,76B,76C,76D,76E,76F,76L,76M,76N,76P,76Q,76R,76S,76Tを使用する際に、上下を入れ替えて配置してもよい。ターゲット供給装置に、各フィルタ76A,76B,76C,76D,76E,76F,76L,76M,76N,76P,76Q,76R,76S,76Tを重ねて配置してもよい。
各実施形態および各変形例において、第1部材と第2部材との両方に流路を設けてもよい。
各実施形態および各変形例の第1部材と第2部材との組み合わせを変更してもよい。
Claims (13)
- ターゲット物質が出力されるノズル孔が形成されたノズルを有し、内部にターゲット物質を収容するターゲット生成器と、
前記ターゲット生成器内に配置され、前記ターゲット物質内の異物が前記ノズル孔を閉塞することを抑制するためのフィルタとを備え、
前記フィルタは、第1面に流路が形成された第1部材と、
第2面が前記流路を覆うように配置された第2部材とを備え、
前記第1部材は、前記第1面と、前記第1面と反対面側の第1空間との間を、前記流路の第1領域を介して、前記ターゲット物質を流通させるための第1流通部を備え、
前記第2部材は、前記第2面と、前記第2面と反対面側の第2空間との間を、前記流路の前記第1領域とは離間した第2領域を介して、前記ターゲット物質を流通させるための第2流通部を備えるターゲット供給装置。 - 請求項1に記載のターゲット供給装置において、
前記第2部材は、前記第1部材に対し前記ターゲット物質の出力方向側に配置され、
前記第2流通部は、前記第2部材を貫通する第2貫通孔により構成され、
前記第2貫通孔の前記出力方向側の開口は、前記ノズル孔を構成するターゲット供給装置。 - 請求項1に記載のターゲット供給装置において、
前記第1部材は、前記第2部材に対し前記ターゲット物質の出力方向側に配置され、
前記第1流通部は、前記第1部材を貫通する第1貫通孔により構成され、
前記第1貫通孔の前記出力方向側の開口は、前記ノズル孔を構成するターゲット供給装置。 - 請求項1に記載のターゲット供給装置において、
前記第1流通部は、前記第1部材を貫通する第1貫通孔により構成されたターゲット供給装置。 - 請求項4に記載のターゲット供給装置において、
前記第1貫通孔は、前記第1部材の略中心を貫通するように形成されたターゲット供給装置。 - 請求項1に記載のターゲット供給装置において、
前記第2流通部は、前記第2部材を貫通する第2貫通孔により構成されたターゲット供給装置。 - 請求項6に記載のターゲット供給装置において、
前記第2貫通孔は、前記第2部材の略中心を貫通するように形成されたターゲット供給装置。 - 請求項1に記載のターゲット供給装置において、
前記流路は、前記第1面に形成された溝部で構成されたターゲット供給装置。 - 請求項1に記載のターゲット供給装置において、
前記第1面には、スペーサが配置され、
前記流路は、互いに隣接する前記スペーサの間の領域で構成されたターゲット供給装置。 - 請求項1に記載のターゲット供給装置において、
前記第1部材は、圧延によって略板状に形成され、
前記流路は、前記第1部材の圧延方向と交差する方向に延びるように形成されたターゲット供給装置。 - 請求項1に記載のターゲット供給装置において、
前記第1部材は、第1板状部材と、前記第1板状部材と重ねて配置された第2板状部材とから構成され、
前記流路は、前記第2板状部材を貫通する第3貫通孔により構成されたターゲット供給装置。 - 請求項1に記載のターゲット供給装置において、
前記第2部材は、前記第2面の一部が前記第1面からはみ出すように配置され、
前記流路は、前記第1部材の外縁まで形成され、
前記第1流通部は、前記第1面からはみ出した前記第2面の前記一部と前記第1部材の前記外縁とに面する側方空間で構成されたターゲット供給装置。 - 請求項1に記載のターゲット供給装置において、
前記第1部材は、前記第1面の一部が前記第2面からはみ出すように配置され、
前記流路は、前記第2部材の外縁に対応する位置まで形成され、
前記第2流通部は、前記第2面からはみ出した前記第1面の前記一部と前記第2部材の前記外縁とに面する側方空間で構成されたターゲット供給装置。
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